JP4609187B2

JP4609187B2 - Manufacturing method of multi-faced metal mask

Info

Publication number: JP4609187B2
Application number: JP2005156861A
Authority: JP
Inventors: 宏史土居; 剛広西
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2005-05-30
Filing date: 2005-05-30
Publication date: 2011-01-12
Anticipated expiration: 2025-05-30
Also published as: JP2006331973A

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬと称す）素子の表示媒体を蒸着、スパッター等で形成するときに使用する多面付けメタルマスクの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a multi-faced metal mask used when forming a display medium of an organic electroluminescence (hereinafter referred to as organic EL) element by vapor deposition, sputtering, or the like.

有機ＥＬ素子は、自発光型であるため視野角依存性がなく視認性に優れていること、応答速度が速いこと、低消費電力であること、動画表示に適していること、構造が簡単で軽く薄くできることなどの特徴を有しているため、かなり注目されているディスプレイ素子の一つである。 The organic EL element is self-luminous, so it has no viewing angle dependency, excellent visibility, fast response speed, low power consumption, suitable for video display, and simple structure. Since it has features such as being light and thin, it is one of the display elements that have attracted considerable attention.

有機ＥＬ素子は、透明基板上に、透明電極と、有機ＥＬ媒体と、金属電極とが順次積層されて構成される。例えば、有機ＥＬ媒体は、有機発光層の単一層、あるいは有機正孔輸送層、有機発光層及び有機電子輸送層の３層構造の媒体、または有機正孔輸送層及び有機発光層２層構造の媒体、さらにこれらの適切な層間に電子或いは正孔の注入層を挿入した積層体の媒体などである。 The organic EL element is configured by sequentially laminating a transparent electrode, an organic EL medium, and a metal electrode on a transparent substrate. For example, the organic EL medium is a single layer of an organic light emitting layer, or a medium of a three-layer structure of an organic hole transport layer, an organic light emitting layer and an organic electron transport layer, or a layer structure of an organic hole transport layer and an organic light emitting layer. And a laminated medium in which an electron or hole injection layer is inserted between these appropriate layers.

マトリクス表示タイプの有機ＥＬ表示パネルは、透明電極層を含む行電極と、有機ＥＬ媒体と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極とが順次積層されて構成されている。行電極は、各々が帯状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて互いに平行となるように配列されており、列電極も同様である。
このように、マトリクス表示タイプの有機ＥＬ表示パネルは、複数の行と列の電極の交点に有機ＥＬ素子からなる発光画素を配置して、画像表示を行っている。 A matrix display type organic EL display panel is configured by sequentially laminating a row electrode including a transparent electrode layer, an organic EL medium, and a column electrode including a metal electrode layer intersecting the row electrode. The row electrodes are each formed in a strip shape and are arranged so as to be parallel to each other at a predetermined interval, and the same applies to the column electrodes.
As described above, the matrix display type organic EL display panel performs image display by arranging light emitting pixels made of organic EL elements at intersections of electrodes in a plurality of rows and columns.

一方、有機ＥＬ表示パネルの製造工程では、透明基板上に透明電極層を形成後、有機ＥＬ媒体が成膜される。有機ＥＬ媒体は、発光画素に対応する１層以上の薄膜ではあるが、通常、メタルマスクを用いた蒸着法により形成される。
これは、有機ＥＬ媒体薄膜を通常用いられるフォトリソグラフィ法にてパターニング処理すると、フォトレジスト中の溶剤の有機ＥＬ媒体薄膜への侵入や、レジストベーク中の高温雰囲気や、レジスト現像液またはエッチング液の有機ＥＬ媒体薄膜への浸入や、ドライエッチング時のプラズマによる有機ＥＬ媒体薄膜へのダメージにより、得られた有機ＥＬ素子特性が劣化するという問題があり、現在はメタルマスクを用いた蒸着法にて有機ＥＬ素子が作製されている。 On the other hand, in the manufacturing process of an organic EL display panel, an organic EL medium is formed after forming a transparent electrode layer on a transparent substrate. The organic EL medium is a thin film having one or more layers corresponding to the light emitting pixels, but is usually formed by an evaporation method using a metal mask.
This is because when the organic EL medium thin film is patterned by a commonly used photolithography method, the solvent in the photoresist penetrates into the organic EL medium thin film, the high temperature atmosphere in the resist baking, the resist developer or the etching solution. There is a problem that the characteristics of the obtained organic EL element deteriorate due to the penetration into the organic EL medium thin film and the damage to the organic EL medium thin film due to the plasma at the time of dry etching. At present, the vapor deposition method using a metal mask is used. An organic EL element is produced.

有機ＥＬ表示パネルを製造する場合、有機ＥＬ表示パネルが小型表示パネルでは、製造効率を高めるために、小型有機ＥＬパネルを多面付けした大型の処理基板を用いてパネルの製造を行い、最後に小切れ分割して、所望の有機ＥＬ表示パネルを作製するという多面付け製造プロセスが採用されている。 When manufacturing an organic EL display panel, if the organic EL display panel is a small display panel, in order to increase manufacturing efficiency, the panel is manufactured using a large processing substrate on which a small organic EL panel is multifaceted. A multi-sided manufacturing process in which a desired organic EL display panel is manufactured by cutting and dividing is employed.

有機ＥＬ表示パネルの多面付け製造プロセスでメタルマスクを用いた蒸着法にて有機ＥＬ素子を作製する工程では、図６（ａ）及び（ｂ）に示すような、単位マスク１２０を所望の数だけ面付けした多面取り用メタルマスク２００が提案されている（例えば、特許文献１参照）。 In the step of manufacturing an organic EL element by a vapor deposition method using a metal mask in a multi-face manufacturing process of an organic EL display panel, a desired number of unit masks 120 as shown in FIGS. 6A and 6B are used. An impositioned metal mask 200 for multi-chamfering has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

この多面取り用メタルマスク２００は、蒸着用の単位メタルマスク１２０を多面取り枠１１１に所定の数（ここでは８個）取り付けたものである。
単位メタルマスク１２０は、メタル枠１２２とマスク領域１２１とで構成されており、マ
スク領域１２１は、蒸着源からの蒸着物質が通過する複数の貫通開口（特に、図示せず）を有している。 The multi-sided metal mask 200 is obtained by attaching a predetermined number (eight in this case) of unit metal masks 120 for vapor deposition to the multi-sided frame 111.
The unit metal mask 120 includes a metal frame 122 and a mask region 121, and the mask region 121 has a plurality of through openings (not shown) through which a vapor deposition material from a vapor deposition source passes. .

単位メタルマスク１２０は、ニッケルやステンレス材をフォトエッチング法でパターニング処理して作製され、多面取り枠１１１に設けられた開口部１１２の縁部にメタル枠１２２部がスポット溶接、テープによる貼り付けなどによって接合される（図７（ａ）及び（ｂ）参照）。
開口部１１２の縁部には、単位メタルマスク１２０と位置合わせするための位置合わせ用マークが、レーザマーキングなどにより付与されている。
The unit metal mask 120 is manufactured by patterning nickel or stainless steel using a photo-etching method, and the metal frame 122 is spot welded to the edge of the opening 112 provided in the multi-faced frame 111 or attached by tape. (See FIGS. 7A and 7B).
An alignment mark for alignment with the unit metal mask 120 is applied to the edge of the opening 112 by laser marking or the like.

上記したように、多面取り用メタルマスク２００は、単位メタルマスク１２０を多面取り枠１１１に所定個数取り付けて作製するため、有機ＥＬ表示パネルの表示画面の大型化、高精細化が要求されてくると、単位メタルマスク１２０の多面取り枠１１１に取り付ける際の合わせ精度では対応しきれないという問題を有している。
また、有機ＥＬ表示パネルの製造工程では、１枚の基板への面付け数を増やして、有機ＥＬ表示パネルの製造コストを低減するために、大型の多面取り用メタルマスクが要求されている。
特開２００１−２３７０７３号公報 As described above, the multi-sided metal mask 200 is manufactured by attaching a predetermined number of the unit metal masks 120 to the multi-sided frame 111, and therefore, the display screen of the organic EL display panel is required to have a larger size and higher definition. In addition, there is a problem that the alignment accuracy when the unit metal mask 120 is attached to the multi-chamfer frame 111 cannot be fully handled.
Further, in the manufacturing process of the organic EL display panel, a large-sized multi-sided metal mask is required in order to increase the number of impositions on one substrate and reduce the manufacturing cost of the organic EL display panel.
JP 2001-237073 A

本発明は上記問題点及び要求に鑑み考案されたもので、大型の多面付けメタルマスクを作製する際、多面付け枠への単位マスクの取り付け回数を減少させて、個々の単位マスクの位置精度を向上させることができる多面付けメタルマスクの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been devised in view of the above problems and requirements.When manufacturing a large-sized multi-faced metal mask, the number of times the unit mask is attached to the multi-faced frame is reduced, and the position accuracy of each unit mask is increased. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multi-faced metal mask that can be improved.

本発明は、上記課題を達成するために、本発明では、少なくとも以下の工程を具備することを特徴とする多面付けメタルマスクの製造方法としたものである。
（ａ）単位メタルマスクが複数個配置された多面付けマスクをブロック単位で分割し、外周部に接合領域と、端部に位置合わせ用マークを有する合わせ固定領域と、ムシリ加工線
とを有する分割メタルマスクを得る工程。
（ｂ）前記分割メタルマスクの合わせ固定領域の位置合わせ用マークを使って位置合わせして、合わせ固定領域同士を固定した複合メタルマスクを作製する工程。
（ｃ）複合メタルマスクの接合領域を多面付け枠の支持枠上に接合する工程。
（ｄ）ムシリ加工線にて合わせ固定領域をムシリ取る工程。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for producing a multi-faced metal mask characterized by comprising at least the following steps.
(A) Dividing a multi-sided mask in which a plurality of unit metal masks are arranged into blocks, and having a joining area on the outer periphery, an alignment fixing area having an alignment mark at an end, and a squeezed line A step of obtaining a metal mask.
(B) A step of producing a composite metal mask in which the alignment and fixing regions are fixed to each other by using alignment marks in the alignment and fixing regions of the divided metal mask.
(C) The process of joining the joining area | region of a composite metal mask on the support frame of a multi-faced frame.
(D) A step of squeezing the mating and fixing region with a squeezing line.

本発明の多面付けメタルマスクの製造方法では、最初に多面付けマスクの分割を行って、分割メタルマスクを作成し、この分割メタルマスクを位置合わせして複合メタルマスクを作製し、複合メタルマスクを面付け枠に固定して多面付けメタルマスクを作製している。
そのため、多面付けメタルマスクが大型化しても分割メタルマスクのサイズを従来より使用しているパターニング処理装置で処理できるサイズ内に設定してやれば、既存のメタルマスクのパターニング処理設備がそのまま使用できる。
また、分割メタルマスクを位置合わせして複合メタルマスクを作製して、所定サイズの多面付けメタルマスクを作製しているので、単位メタルマスクの面付け位置精度が確認でき、位置精度に優れた多面付けメタルマスクを得ることができる。
また、複合メタルマスクを面付け枠に固定した後分割メタルマスクの重なり部をムシリ除
去するので、メタルマスクの平坦性を確保できる。 In the method for manufacturing a multi-sided metal mask of the present invention, first, the multi-sided mask is divided to create a divided metal mask, and this divided metal mask is aligned to produce a composite metal mask. A multi-sided metal mask is manufactured by fixing to an imposition frame.
Therefore, even if the multi-faced metal mask is enlarged, if the size of the divided metal mask is set within a size that can be processed by a patterning processing apparatus that has been conventionally used, the existing metal mask patterning processing equipment can be used as it is.
In addition, since the composite metal mask is manufactured by aligning the divided metal masks and the multi-sided metal mask of a predetermined size is manufactured, the surface positioning accuracy of the unit metal mask can be confirmed, and the multi-sides with excellent positional accuracy An attached metal mask can be obtained.
Further, since the overlapping portion of the divided metal mask is removed after the composite metal mask is fixed to the imposition frame, the flatness of the metal mask can be ensured.

本発明の多面付けメタルマスクの製造方法の実施形態につき説明する。
図１（ａ）は、多面付けメタルマスクの製造方法にて作製した多面付けメタルマスク１００の模式平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。
この事例の多面付けメタルマスク１００では、２個の分割メタルマスク１０Ｒ及び１０Ｌより構成され、単位マスク１１が１２面付けされた分割メタルマスク１０Ｒ及び分割メタルマスク１０Ｌが面付け枠３０の枠２１及び支持枠２２上に固定されたものである。 An embodiment of the method for manufacturing a multi-faced metal mask of the present invention will be described.
1A is a schematic plan view of a multi-faced metal mask 100 manufactured by the method for manufacturing a multi-faced metal mask, and FIG. 1B is a schematic plan view of FIG. FIG.
In the multi-faced metal mask 100 of this example, it is composed of two divided metal masks 10R and 10L, and the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L on which the unit mask 11 is 12-faced are the frame 21 of the imposition frame 30 and It is fixed on the support frame 22.

以下、本発明の多面付けメタルマスクの製造方法について説明する。
最近有機ＥＬ表示パネルを製造する場合、有機ＥＬ表示パネルが小型表示パネルでは、パネルのコストダウン及び製造効率を高めるために、小型有機ＥＬパネルを多面付けした大型の処理基板を用いてパネルの製造を行い、最後に小切れ分割して、所望の有機ＥＬ表示パネルを作製するという多面付け製造プロセスが採用されている。
多面付け製造プロセスに用いられるＥＬ素子作製用の蒸着マスクも大型の多面付けメタルマスクが使用されている。 Hereinafter, the manufacturing method of the multi-faced metal mask of the present invention will be described.
When an organic EL display panel is manufactured recently, if the organic EL display panel is a small display panel, in order to reduce the cost of the panel and increase the manufacturing efficiency, the panel is manufactured using a large processing substrate with a multifaceted small organic EL panel. And a multi-sided manufacturing process is employed in which a desired organic EL display panel is manufactured by dividing into small pieces at the end.
A large-sized multi-sided metal mask is also used as an evaporation mask for manufacturing an EL element used in the multi-sided manufacturing process.

多面付けメタルマスクは、ニッケルやステンレス材をフォトエッチング法でパターニング処理して作製されるため、多面付けメタルマスクのサイズがパターニング処理装置が処理できるサイズを上回ると、多面付けメタルマスクを分割する必要がある。
本発明者らは、分割した多面付けメタルマスクを作製する際、単位メタルマスクを如何に精度良く面付け枠に面付けするかについて、鋭意検討した結果本発明の多面付けメタルマスクの製造方法を考案するに至った。 Multi-faced metal masks are manufactured by patterning nickel or stainless steel using photo-etching. Therefore, if the size of the multi-faced metal mask exceeds the size that can be processed by the patterning equipment, it is necessary to divide the multi-faced metal mask. There is.
As a result of intensive studies on how to accurately place the unit metal mask on the imposition frame when producing the divided multi-imposition metal mask, the present inventors have developed a method for producing a multi-imposition metal mask according to the present invention. It came to devise.

まず、単位メタルマスクが複数個配置された多面付けマスクをブロック単位で分割し、単位メタルマスクが所定個数配置された分割メタルマスクに分割する（図２（ａ）及び（ｂ）参照）。
この事例では、単位メタルマスク１１が１２面付けされた分割メタルマスク１０Ｒ及び分割メタルマスク１０Ｌより構成されているが、分割メタルマスク１０Ｒ及び分割メタルマスク１０Ｌのサイズは、上記メタルマスクのパターニング処理設備で取り扱えるサイズで決定される。
また、単位メタルマスク１１の面付け数１２は、あくまでも一例であって、単位メタルマスク１１及び多面付けメタルマスクのサイズによって適宜設定されるものである。 First, a multi-sided mask in which a plurality of unit metal masks are arranged is divided into blocks, and divided into divided metal masks in which a predetermined number of unit metal masks are arranged (see FIGS. 2A and 2B).
In this example, the unit metal mask 11 is composed of the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L with 12 faces. The size of the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L is the above-described patterning equipment for the metal mask. It is determined by the size that can be handled.
Further, the number of impositions 12 of the unit metal mask 11 is merely an example, and is appropriately set depending on the sizes of the unit metal mask 11 and the multi-faced metal mask.

分割メタルマスク１０Ｒ及び分割メタルマスク１０Ｌの端部には、分割メタルマスク０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとを予めアライメントして固定する合わせ固定領域１４が設けられている。
また、分割メタルマスクの外周部には、面付け枠の支持枠に固定する接合領域１３が設けられている。
合わせ固定領域１４には、位置合わせ用マーク１６が設けれれており、位置合わせ用マーク１６にて分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとの位置合わせを行うようにしている。
At the end portions of the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L, an alignment fixing region 14 for aligning and fixing the divided metal mask 0R and the divided metal mask 10L in advance is provided.
Moreover, the joining area | region 13 fixed to the support frame of an imposition frame is provided in the outer peripheral part of the division | segmentation metal mask.
The combined fixed region 14 is being provided with alignment marks 16, so that to align the split metal mask 10R and split metal mask 10L at the alignment mark 16.

また、接合領域１３と合わせ固定領域１４との間には、ハーフエッチング線もしくはミシン目状の貫通孔からなるムシリ加工線１５が設けられており、接合領域１３を面付け枠の支持枠に固定した後ムシリ加工線１５より分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとが重なった合わせ固定領域１４をムシリ取るようにしている。 In addition, a half-processed line or a perforated through-hole 15 is provided between the bonding region 13 and the alignment fixing region 14, and the bonding region 13 is fixed to the support frame of the imposition frame. After that, the alignment fixing region 14 where the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L overlap is removed from the squeezed line 15.

次に、分割メタルマスク１０Ｒ及び分割メタルマスク１０Ｌの端部に設けられた位置合わせ用マーク１６を使って、分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌの位置合わせを行い、合わせ固定領域１４の位置合わせ用マーク１６を除く領域をスポット溶接、超音波溶接等を行い、分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとを合わせ固定領域１４で固定した複合メタルマスク２０を作製する（図３（ａ）及び（ｂ）参照）。
Next, using the alignment marks 16 provided at the ends of the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L, the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L are aligned, and the alignment fixing region 14 is aligned. The region excluding the mark 16 is subjected to spot welding, ultrasonic welding, or the like, and the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L are combined and fixed in the fixed region 14 (see FIGS. 3A and 3B). b)).

ここで、分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌの位置合わせは、位置合わせ用マーク１６としてそれぞれアライメント貫通孔を分割メタルマスク作製持に形成して、別途基材上に位置合わせ用マーク１６と同ピッチのガイドピンが形成された合わせ治具を準備し、ガイドピンに分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌの貫通孔を差し込んで位置合わせし、合わせ固定領域１４の位置合わせ用マーク１６を除く領域をスポット溶接、超音波溶接等を行った後ガイドピンが形成された合わせ治具を除去するのが最も効率的で、精度良く位置合わせができる。
分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌの位置合わせを行ってスポット溶接、超音波溶接等で固定する前に、測長機等で単位メタルマスク１１のピッチを確認することにより、より精度の高い複合メタルマスクを得ることができる。
Here, the alignment of the split metal mask 10R and split metal mask 10L is to form the respective alignment holes as the alignment mark 16 on the split metal mask making lifting, the alignment mark 16 on a separate substrate same An alignment jig on which pitch guide pins are formed is prepared, the through holes of the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L are inserted into the guide pins for alignment, and the alignment fixing region 14 excluding the alignment mark 16 After performing spot welding, ultrasonic welding, etc., it is most efficient to remove the alignment jig on which the guide pins are formed, and alignment can be performed with high accuracy.
Before aligning the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L and fixing them by spot welding, ultrasonic welding, etc., the pitch of the unit metal mask 11 is confirmed with a length measuring machine, etc. A metal mask can be obtained.

この他の位置合わせ法としては、位置合わせ用マーク１６として分割メタルマスク１０Ｒには位置合わせマーク＋を、分割メタルマスク１０Ｌには貫通孔をそれぞれ分割メタルマスク作製持に形成し、分割メタルマスク１０Ｌの貫通孔より分割メタルマスク１０Ｒの位置合わせマーク＋を覗いて、位置合わせすることもできる。
As another alignment method, the alignment mark 16 is formed as the alignment mark 16 in the divided metal mask 10R, and the through hole is formed in the divided metal mask 10L, and the divided metal mask 10L is formed. It is also possible to perform alignment by looking through the alignment mark + of the divided metal mask 10R from the through-hole.

次に、図４（ａ）及び（ｂ）に示すような、枠３１及び支持枠３２とからなる面付け枠３０を作製する。
面付け枠３０は、アルミニウム基材を、フォトエッチング加工、機械加工、プレス加工等により作製される。 Next, as shown in FIGS. 4A and 4B, an imposition frame 30 including a frame 31 and a support frame 32 is produced.
The imposition frame 30 is made of an aluminum base material by photoetching, machining, pressing, or the like.

次に、上記分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとを合わせ固定領域１４で固定した複合メタルマスク２０を面付け枠３０上に位置合わせして載置し、複合メタルマスク２０の接合領域１３を面付け枠３０の支持枠３２に、複合メタルマスク２０のメタル枠１２を面付け枠３０の枠３１にそれぞれスポット溶接、超音波溶接等を行い、面付け枠３０に複合メタルマスク２０を固定する。 Next, the composite metal mask 20 in which the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L are combined and fixed in the fixing region 14 is positioned and placed on the imposition frame 30, and the bonding region 13 of the composite metal mask 20 is formed. The composite metal mask 20 is fixed to the imposition frame 30 by performing spot welding, ultrasonic welding, etc. on the support frame 32 of the imposition frame 30 and the metal frame 12 of the complex metal mask 20 on the imposition frame 30 respectively. .

さらに、複合メタルマスク２０の合わせ固定領域１４をムシリ加工線１５よりムシリ取って、面付け枠３０上に分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとが所定位置に形成され、単位メタルマスク１１が２４面付けされた多面付けメタルマスク１００を得る（図１（ａ）及び（ｂ）参照）。
ここで、複合メタルマスク２０の合わせ固定領域１４をムシリ加工線１５よりムシリ取るのは、分割メタルマスク１０Ｒと分割メタルマスク１０Ｌとの合わせ固定領域１４の重なり部を除去するもので、これにより多面付けメタルマスクの平坦性が確保される。
上記の多面付けメタルマスクの製造方法では、分割メタルマスクの分割数が２個の場合について説明したが、これはあくまでも一つの事例であって、分割メタルマスクの分割数は２個以上であればいくつでも構わない。 Further, the alignment fixing region 14 of the composite metal mask 20 is removed from the squeeze line 15 so that the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L are formed at predetermined positions on the imposition frame 30, and the unit metal mask 11 is 24. An impositioned multi-faced metal mask 100 is obtained (see FIGS. 1A and 1B).
Here, the alignment fixing region 14 of the composite metal mask 20 is removed from the squeeze line 15 by removing the overlapping portion of the alignment fixing region 14 between the divided metal mask 10R and the divided metal mask 10L. The flatness of the attached metal mask is ensured.
In the above-described method for manufacturing a multifaceted metal mask, the case where the number of divisions of the divided metal mask is two has been described. However, this is only an example, and the number of divisions of the divided metal mask is two or more. It doesn't matter how many.

このように、本発明の多面付けメタルマスクの製造方法では、最初に多面付けマスクの分割を行って、分割メタルマスクを作成し、この分割メタルマスクを位置合わせして複合メタルマスクを作製し、複合メタルマスクを面付け枠に固定して多面付けメタルマスクを作製するため、多面付けメタルマスクが大型化しても分割メタルマスクのサイズを作製するパターニング処理装置で処理できるサイズ内に設定してやれば、既存のメタルマスクのパターニング処理設備がそのまま使用できる。
また、分割メタルマスクを位置合わせして複合メタルマスクを作製して、所定サイズの多面付けメタルマスクを作製しているので、単位メタルマスクの面付け位置精度が確認でき、位置精度に優れた多面付けメタルマスクを得ることができる。
また、複合メタルマスクを面付け枠に固定した後分割メタルマスクの重なり部をムシリ除去するので、メタルマスクの平坦性を確保できる。 Thus, in the method for producing a multi-faced metal mask of the present invention, first, the multi-faceted mask is divided to create a divided metal mask, and the divided metal mask is aligned to produce a composite metal mask, Since the composite metal mask is fixed to the imposition frame to produce a multi-faced metal mask, even if the multi-faced metal mask is enlarged, if the size of the divided metal mask is set to a size that can be processed by the patterning processing apparatus, Existing metal mask patterning equipment can be used as is.
In addition, since the composite metal mask is manufactured by aligning the divided metal masks and the multi-sided metal mask of a predetermined size is manufactured, the surface positioning accuracy of the unit metal mask can be confirmed, and the multi-sides with excellent positional accuracy An attached metal mask can be obtained.
Further, since the overlapping portion of the divided metal mask is removed after the composite metal mask is fixed to the imposition frame, the flatness of the metal mask can be ensured.

（ａ）は、本発明の多面付けメタルマスクの製造方法にて作製した多面付けメタルマスクの一例を示す模式平面図である。（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic plan view which shows an example of the multi-sided metal mask produced with the manufacturing method of the multi-sided metal mask of this invention. (B) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a). （ａ）は、分割メタルマスクの一例を示す模式平面図である。（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic top view which shows an example of a division | segmentation metal mask. (B) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a). （ａ）は、複合メタルマスクの一例を示す模式平面図である。（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic plan view which shows an example of a composite metal mask. (B) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a). （ａ）は、面付け枠の一例を示す模式平面図である。（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic top view which shows an example of an imposition frame. (B) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a). （ａ）は、複合メタルマスクを面付け枠に固定した状態を示す模式平面図である。（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic top view which shows the state which fixed the composite metal mask to the imposition frame. (B) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a). （ａ）は、多面付けメタルマスクの一例を示す模式平面図である。（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic plan view which shows an example of a multi-sided metal mask. (B) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a). （ａ）は、多面取り枠に単位マスクを取り付けている状態を示す模式平面図である。（ｂ）は、単位マスクの一例を示す模式平面図である。（ｃ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。(A) is a schematic plan view which shows the state which has attached the unit mask to the multi-faced frame. (B) is a schematic plan view which shows an example of a unit mask. (C) is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the schematic plan view of (a).

符号の説明Explanation of symbols

１０Ｌ、１０Ｒ……分割メタルマスク
１１、１２０……単位メタルマスク
１２、１２２……メタル枠
１３……接合領域
１４……合わせ固定領域
１５……ムシリ加工線
１６……位置合わせ用マーク
２０……複合メタルマスク
３０……面付け枠
３１……枠
３２……支持枠
１００……多面付けメタルマスク
１１１……多面取り枠
１１２……開口部
１２１……マスク領域
２００……多面取り用メタルマスク 10L, 10R ...... split metal mask 11,120 ...... units metal mask 12,122 ...... metal frame 13 ...... junction region 14 ...... alignment fixed region 15 ...... Mushiri processing line 16 ...... alignment marks 20 ...... Composite metal mask 30 ... Imposition frame 31 ... Frame 32 ... Support frame 100 ... Multi-surface metal mask 111 ... Multi-surface chamfer 112 ... Opening 121 ... Mask region 200 ... Multi-surface metal mask

Claims

少なくとも以下の工程を具備することを特徴とする多面付けメタルマスクの製造方法。（ａ）単位メタルマスクが複数個配置された多面付けマスクをブロック単位で分割し、外周部に接合領域と、端部に位置合わせ用マークを有する合わせ固定領域と、ムシリ加工線とを有する分割メタルマスクを得る工程。
（ｂ）前記分割メタルマスクの合わせ固定領域の位置合わせ用マークを使って位置合わせして、合わせ固定領域同士を固定した複合メタルマスクを作製する工程。
（ｃ）複合メタルマスクの接合領域を多面付け枠の支持枠上に接合する工程。
（ｄ）ムシリ加工線にて合わせ固定領域をムシリ取る工程。
A method for producing a multi-faced metal mask, comprising at least the following steps. (A) Dividing a multi-sided mask in which a plurality of unit metal masks are arranged into blocks, and having a joining area on the outer periphery, an alignment fixing area having an alignment mark at an end, and a squeezed line A step of obtaining a metal mask.
(B) A step of producing a composite metal mask in which the alignment and fixing regions are fixed to each other by using alignment marks in the alignment and fixing regions of the divided metal mask.
(C) The process of joining the joining area | region of a composite metal mask on the support frame of a multi-faced frame.
(D) A step of squeezing the mating and fixing region with a squeezing line.