JP2002277342A - 漏洩試験装置 - Google Patents
漏洩試験装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被試験体内の圧力を、試験工数を増加するこ
となく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精度
で検出することができる漏洩試験装置を提供する。 【解決手段】 真空チャンバ１２内に気密的に格納され
た被試験体１１にパイプ１７が連結されている。パイプ
１７は、チャンバ１２の外側に気密的に導出され排気ポ
ンプ１６に連結され、この排気ポンプ１６の排気を制御
するバルブＶ２が設けられている。被試験体１１の内部
に導入されるエアー及びトレーサガスは夫々バルブＶ４
及びＶ５により制御される。また、パイプ１７内には、
パイプ１９の一端部が挿入され、その先端が被試験体１
１内部に配置され、他端部はパイプ１７の外側へ気密的
に導出され、圧力センサ１４に接続されている。この圧
力センサ１４の圧力検出結果をもとに被試験体１１内の
排気が制御される。その後、トレーサガスを導入し、被
試験体１１の漏れを検出する。
となく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精度
で検出することができる漏洩試験装置を提供する。 【解決手段】 真空チャンバ１２内に気密的に格納され
た被試験体１１にパイプ１７が連結されている。パイプ
１７は、チャンバ１２の外側に気密的に導出され排気ポ
ンプ１６に連結され、この排気ポンプ１６の排気を制御
するバルブＶ２が設けられている。被試験体１１の内部
に導入されるエアー及びトレーサガスは夫々バルブＶ４
及びＶ５により制御される。また、パイプ１７内には、
パイプ１９の一端部が挿入され、その先端が被試験体１
１内部に配置され、他端部はパイプ１７の外側へ気密的
に導出され、圧力センサ１４に接続されている。この圧
力センサ１４の圧力検出結果をもとに被試験体１１内の
排気が制御される。その後、トレーサガスを導入し、被
試験体１１の漏れを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被試験体内又はチ
ャンバ内にトレーサガス（Ｈｅ等）を導入し、被試験体
のトレーサガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れが
あるか否かを判定する漏洩試験装置に関する。
ャンバ内にトレーサガス（Ｈｅ等）を導入し、被試験体
のトレーサガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れが
あるか否かを判定する漏洩試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、漏洩試験装置（リークテスタ）と
して、以下に示すものがある。図９は、従来の漏洩試験
装置を示す模式図である。図９に示すように、従来の漏
洩試験装置においては、真空チャンバ１１２はその内側
に、被試験体（ワーク）１１１を気密的に格納すること
ができる。この被試験体１１１はパイプ１１７に連結さ
れており、このパイプ１１７はチャンバ１１２の外側に
気密的に導出されている。そして、このパイプ１１７を
介して被試験体１１１が排気ポンプ１１６に連結されて
いる。このパイプ１１７にはバルブＶ１２が設けられて
いる。また、このパイプ１１７には、空気源１２１及び
トレーサガス供給源１２２が夫々パイプ１２３及び１２
４を介して接続されており、被試験体１１１の内部に夫
々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入す
るようになっている。パイプ１２３及びパイプ１２４に
は、夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５が設けられてお
り、被試験体１１１に導入するエアー及びトレーサガス
の流量を夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５の開度及び
開閉時間により調整することができる。
して、以下に示すものがある。図９は、従来の漏洩試験
装置を示す模式図である。図９に示すように、従来の漏
洩試験装置においては、真空チャンバ１１２はその内側
に、被試験体（ワーク）１１１を気密的に格納すること
ができる。この被試験体１１１はパイプ１１７に連結さ
れており、このパイプ１１７はチャンバ１１２の外側に
気密的に導出されている。そして、このパイプ１１７を
介して被試験体１１１が排気ポンプ１１６に連結されて
いる。このパイプ１１７にはバルブＶ１２が設けられて
いる。また、このパイプ１１７には、空気源１２１及び
トレーサガス供給源１２２が夫々パイプ１２３及び１２
４を介して接続されており、被試験体１１１の内部に夫
々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入す
るようになっている。パイプ１２３及びパイプ１２４に
は、夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５が設けられてお
り、被試験体１１１に導入するエアー及びトレーサガス
の流量を夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５の開度及び
開閉時間により調整することができる。
【０００３】一方、真空チャンバ１１２はパイプ１１８
に連結されており、このパイプ１１８は排気ポンプ１１
５に連結されている。また、このパイプ１１８にはバル
ブＶ１１が設けられている。更に、パイプ１１８には空
気源１２５がパイプ１２６を介して接続されており、チ
ャンバ１１２内にエアーを導入するようになっている。
このパイプ１２６にはバルブＶ１３が設けられており、
チャンバ１１２に導入するエアの流量をバルブＶ１３の
開度及び開閉時間により調整することができる。圧力セ
ンサ１１４は、パイプ１１７に接続されており、被試験
体１１１内の圧力を検出する。また、チャンバ１１２に
は、パイプ１２８によりトレーサガス検知器１１３に連
結されている。このパイプ１２８には、センシングバル
ブ（センサ配管）Ｖ１６が設けられている。
に連結されており、このパイプ１１８は排気ポンプ１１
５に連結されている。また、このパイプ１１８にはバル
ブＶ１１が設けられている。更に、パイプ１１８には空
気源１２５がパイプ１２６を介して接続されており、チ
ャンバ１１２内にエアーを導入するようになっている。
このパイプ１２６にはバルブＶ１３が設けられており、
チャンバ１１２に導入するエアの流量をバルブＶ１３の
開度及び開閉時間により調整することができる。圧力セ
ンサ１１４は、パイプ１１７に接続されており、被試験
体１１１内の圧力を検出する。また、チャンバ１１２に
は、パイプ１２８によりトレーサガス検知器１１３に連
結されている。このパイプ１２８には、センシングバル
ブ（センサ配管）Ｖ１６が設けられている。
【０００４】次に、このように構成された従来の漏洩試
験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。な
お、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に
漏れを検出するための被試験体１１１内の圧力の最大許
容値が求められているとする。
験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。な
お、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に
漏れを検出するための被試験体１１１内の圧力の最大許
容値が求められているとする。
【０００５】先ず、チャンバ１１２内に被試験体１１１
を装入し、被試験体１１１とパイプ１１７とを連結す
る。次に、排気ポンプ１１５，１１６を駆動し、バルブ
Ｖ１１，Ｖ１２を開にして、チャンバ１１２内及び被試
験体１１１内を排気する。このとき、被試験体１１１の
内の圧力を圧力センサ１１４で検出しながら、被試験体
１１１内の圧力がトレーサガス検知器１１３が正常に動
作する規定の圧力（最大許容値）以下になるように真空
引きし、バルブＶ１１を閉じる。次に、センシングバル
ブＶ１６を開け、チャンバ１１２と検出器１１３を接続
する。その後、バルブＶ１２を閉じ、バルブＶ１５を開
いて、被試験体１１１内にトレーサガスを導入する。そ
して、トレーサガス検知器１１３により被試験体１１１
から漏れて出たトレーサガスを検出する。ここで、被試
験体１１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガス
はセンシングバルブＶ１６を通じてトレーサガス検知器
１１３で検出される。そして、所定時間経過後の値（リ
ークレート値）と、予め決められたしきい値とが比較さ
れ、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試
験体１１１が合格か否かが決定される。
を装入し、被試験体１１１とパイプ１１７とを連結す
る。次に、排気ポンプ１１５，１１６を駆動し、バルブ
Ｖ１１，Ｖ１２を開にして、チャンバ１１２内及び被試
験体１１１内を排気する。このとき、被試験体１１１の
内の圧力を圧力センサ１１４で検出しながら、被試験体
１１１内の圧力がトレーサガス検知器１１３が正常に動
作する規定の圧力（最大許容値）以下になるように真空
引きし、バルブＶ１１を閉じる。次に、センシングバル
ブＶ１６を開け、チャンバ１１２と検出器１１３を接続
する。その後、バルブＶ１２を閉じ、バルブＶ１５を開
いて、被試験体１１１内にトレーサガスを導入する。そ
して、トレーサガス検知器１１３により被試験体１１１
から漏れて出たトレーサガスを検出する。ここで、被試
験体１１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガス
はセンシングバルブＶ１６を通じてトレーサガス検知器
１１３で検出される。そして、所定時間経過後の値（リ
ークレート値）と、予め決められたしきい値とが比較さ
れ、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試
験体１１１が合格か否かが決定される。
【０００６】試験の終了後は、以下のようにして大気圧
まで戻す。先ず、バルブＶ１５、Ｖ１６を閉じ、バルブ
Ｖ１２を開け、被試験体１１１内のトレーサガスを排気
する。そして、バルブＶ１３，Ｖ１４を開け、被試験体
１１１及びチャンバ１１２内へ大気を導入して、被試験
体１１１及びチャンバ１１２の圧力を大気圧にまで戻
す。その後、チャンバ１１２内から被試験体１１１を取
り出す。
まで戻す。先ず、バルブＶ１５、Ｖ１６を閉じ、バルブ
Ｖ１２を開け、被試験体１１１内のトレーサガスを排気
する。そして、バルブＶ１３，Ｖ１４を開け、被試験体
１１１及びチャンバ１１２内へ大気を導入して、被試験
体１１１及びチャンバ１１２の圧力を大気圧にまで戻
す。その後、チャンバ１１２内から被試験体１１１を取
り出す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術においては、パイプ１１７に接続された圧力センサ
１１４により、被試験体１１１内の圧力を検出していた
ため、空気の排気及びトレースガス導入時に気体の流動
が生じ、この気体の流動による圧力損失により、ワーク
内の圧力が正確に検出できないという問題点がある。
技術においては、パイプ１１７に接続された圧力センサ
１１４により、被試験体１１１内の圧力を検出していた
ため、空気の排気及びトレースガス導入時に気体の流動
が生じ、この気体の流動による圧力損失により、ワーク
内の圧力が正確に検出できないという問題点がある。
【０００８】また、被試験体内の圧力を正確に検出する
ために、パイプ１１７に接続された圧力センサ１１４と
は別に、図９に示すように、被試験体１１１に連結さ
れ、チャンバ１１２の外側へ気密的に導出されたパイプ
１２０と、このパイプ１２０に連結された圧力センサ１
２７とを設け、被試験体１１１内の圧力を検出すること
もできるが、この場合、毎回、漏洩試験の度にパイプ１
２０を被試験体１１１に接続する必要がある。更に、被
試験体１１１に、パイプ１２０を接続するための連通口
を設ける必要があるという問題点がある。
ために、パイプ１１７に接続された圧力センサ１１４と
は別に、図９に示すように、被試験体１１１に連結さ
れ、チャンバ１１２の外側へ気密的に導出されたパイプ
１２０と、このパイプ１２０に連結された圧力センサ１
２７とを設け、被試験体１１１内の圧力を検出すること
もできるが、この場合、毎回、漏洩試験の度にパイプ１
２０を被試験体１１１に接続する必要がある。更に、被
試験体１１１に、パイプ１２０を接続するための連通口
を設ける必要があるという問題点がある。
【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、被試験体内の圧力を、試験工数を増加する
ことなく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精
度で検出することができる漏洩試験装置を提供すること
を目的とする。
のであって、被試験体内の圧力を、試験工数を増加する
ことなく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精
度で検出することができる漏洩試験装置を提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願第１発明に係る漏洩
試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、
前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験
体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の
内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、
前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被
試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管
と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記
被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端
部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧
力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに
前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段
と、を有することを特徴とする（図１，図２参照）。
試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、
前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験
体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の
内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、
前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被
試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管
と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記
被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端
部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧
力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに
前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段
と、を有することを特徴とする（図１，図２参照）。
【００１１】本願第２発明に係る漏洩試験装置は、被試
験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内
を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のト
レーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チ
ャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試
験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガス
を供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部
に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力セ
ンサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配
管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試
験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前
記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧
力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに
前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段
と、を有することを特徴とする（図３，図４参照）。
験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内
を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のト
レーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チ
ャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試
験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガス
を供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部
に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力セ
ンサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配
管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試
験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前
記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧
力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに
前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段
と、を有することを特徴とする（図３，図４参照）。
【００１２】本願第３発明に係る漏洩試験装置は、被試
験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内
を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のト
レーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チ
ャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャン
バの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部
と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前
記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気
配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が
前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され
他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前
記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をも
とに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御
手段と、を有することを特徴とする（図５，図６参
照）。
験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内
を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のト
レーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チ
ャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャン
バの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部
と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前
記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気
配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が
前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され
他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前
記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をも
とに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御
手段と、を有することを特徴とする（図５，図６参
照）。
【００１３】本願第４発明に係る漏洩試験装置は、被試
験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内
を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のト
レーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チ
ャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャン
バの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部
と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前
記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管
と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が
前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより
手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続
された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ
内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段によ
る排気を制御する制御手段と、を有することを特徴とす
る（図７，図８参照）。
験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内
を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のト
レーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チ
ャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャン
バの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部
と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前
記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管
と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が
前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより
手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続
された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ
内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段によ
る排気を制御する制御手段と、を有することを特徴とす
る（図７，図８参照）。
【００１４】これらの漏洩試験装置において、例えば、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二
重構造を有する。また、前記第１発明及び第２発明にお
いて、前記制御手段は、例えば、前記圧力センサによる
前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、
前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前
記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制
御する。又は、前記第３発明及び第４発明において、前
記制御手段は、例えば、前記圧力センサによる前記チャ
ンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャ
ンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャン
バ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御する。
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二
重構造を有する。また、前記第１発明及び第２発明にお
いて、前記制御手段は、例えば、前記圧力センサによる
前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、
前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前
記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制
御する。又は、前記第３発明及び第４発明において、前
記制御手段は、例えば、前記圧力センサによる前記チャ
ンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャ
ンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャン
バ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御する。
【００１５】本発明においては、圧力センサが、先端が
前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され
たセンサ配管か、若しくは、前記被試験体に連結された
センサ配管か、又は、先端が前記チャンバの排気部又は
前記チャンバ内部に配置されたセンサ配管か、若しく
は、前記チャンバに連結されたセンサ配管に接続されて
いるため、被試験体内又はチャンバ内の気体排気時にお
ける気体流動による圧力損失の影響を受けずに、被試験
体内又はチャンバ内の圧力を極めて正確に検出すること
ができる。そして、この圧力センサによる被試験体内又
はチャンバ内の圧力検出結果をもとに、前記被試験体内
排気手段又は前記チャンバ内排気手段による排気を制御
するため、トレーサガスの導入前に、被試験体内又はチ
ャンバ内を極めて高精度で排気でき、被試験体の漏れ検
出精度が極めて高い。
前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され
たセンサ配管か、若しくは、前記被試験体に連結された
センサ配管か、又は、先端が前記チャンバの排気部又は
前記チャンバ内部に配置されたセンサ配管か、若しく
は、前記チャンバに連結されたセンサ配管に接続されて
いるため、被試験体内又はチャンバ内の気体排気時にお
ける気体流動による圧力損失の影響を受けずに、被試験
体内又はチャンバ内の圧力を極めて正確に検出すること
ができる。そして、この圧力センサによる被試験体内又
はチャンバ内の圧力検出結果をもとに、前記被試験体内
排気手段又は前記チャンバ内排気手段による排気を制御
するため、トレーサガスの導入前に、被試験体内又はチ
ャンバ内を極めて高精度で排気でき、被試験体の漏れ検
出精度が極めて高い。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発
明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図であ
る。
添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発
明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図であ
る。
【００１７】図１に示すように、真空チャンバ１２はそ
の内側に、検査対象である被試験体１１を気密的に格納
可能になっている。この被試験体１１はパイプ（排気配
管）１７に連結されており、このパイプ１７はチャンバ
１２の外側に気密的に導出され、排気ポンプ１６に連結
されている。このパイプ１７にはバルブＶ２が設けられ
ており、このバルブＶ２の開度により被試験体１１内か
ら排気する気体の流量を調整することができる。また、
また、このパイプ１７には、空気源２１及びトレーサガ
ス供給源２２が夫々パイプ２３及び２４を介して接続さ
れており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及
びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになってい
る。パイプ２３及びパイプ２４には、夫々バルブＶ４及
びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入す
るエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及び
バルブＶ５の開度により調整することができる。更に、
パイプ１７の直径Ｄ１よりも径が小さい直径Ｄ２のパイ
プ（センサ配管）１９の一端部がパイプ１７内に挿入さ
れており、このパイプ１９の先端が被試験体１１の排気
部に配置されている。パイプ１９の他端部はパイプ１７
から導出されている。パイプ１９を導出するため、パイ
プ１７にはパイプ２３、２４の接続位置よりもチャンバ
１２から離隔した位置に貫通穴が設けられ、この貫通穴
からパイプ１９が気密的に導出されており、被試験体１
１内の圧力を検出する圧力センサ１４に接続されてい
る。なお、被試験体１１の排気部とは、被試験体１１と
パイプ１７との連結部である。また、パイプ１９の先端
は、被試験体１１内部に延出されていてもよい。更に、
パイプ１９を導出する貫通穴は、いずれの位置に形成し
てもよく、例えば、パイプ１７及び２３の接続部と、パ
イプ１７及び２４の接続部との間に形成してもよい。
の内側に、検査対象である被試験体１１を気密的に格納
可能になっている。この被試験体１１はパイプ（排気配
管）１７に連結されており、このパイプ１７はチャンバ
１２の外側に気密的に導出され、排気ポンプ１６に連結
されている。このパイプ１７にはバルブＶ２が設けられ
ており、このバルブＶ２の開度により被試験体１１内か
ら排気する気体の流量を調整することができる。また、
また、このパイプ１７には、空気源２１及びトレーサガ
ス供給源２２が夫々パイプ２３及び２４を介して接続さ
れており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及
びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになってい
る。パイプ２３及びパイプ２４には、夫々バルブＶ４及
びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入す
るエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及び
バルブＶ５の開度により調整することができる。更に、
パイプ１７の直径Ｄ１よりも径が小さい直径Ｄ２のパイ
プ（センサ配管）１９の一端部がパイプ１７内に挿入さ
れており、このパイプ１９の先端が被試験体１１の排気
部に配置されている。パイプ１９の他端部はパイプ１７
から導出されている。パイプ１９を導出するため、パイ
プ１７にはパイプ２３、２４の接続位置よりもチャンバ
１２から離隔した位置に貫通穴が設けられ、この貫通穴
からパイプ１９が気密的に導出されており、被試験体１
１内の圧力を検出する圧力センサ１４に接続されてい
る。なお、被試験体１１の排気部とは、被試験体１１と
パイプ１７との連結部である。また、パイプ１９の先端
は、被試験体１１内部に延出されていてもよい。更に、
パイプ１９を導出する貫通穴は、いずれの位置に形成し
てもよく、例えば、パイプ１７及び２３の接続部と、パ
イプ１７及び２４の接続部との間に形成してもよい。
【００１８】一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連
結されており、このパイプ１８は排気ポンプ１５に連結
されている。パイプ１８にはバルブＶ１が設けられ、こ
のバルブＶ１の開度により、チャンバ１２内から排気さ
れる気体の流量を調整することができる。更に、パイプ
１８には空気源２５がパイプ２６を介して接続されてお
り、チャンバ１２内にエアーを導入するようになってい
る。このパイプ２６にはバルブＶ３が設けられており、
チャンバ１２に導入するエアの流量をバルブＶ３の開度
及び開閉時間により調整することができる。なお、パイ
プ１８に接続するパイプ２６及びバルブＶ３を設けず、
チャンバ１２にパイプ２７を接続し、このパイプ２７に
バルブＶ７を設けて、このバルブＶ７の開閉により、チ
ャンバ１２内に大気を導入してもよい。更に、チャンバ
１２にパイプ２８が接続され、このパイプ２８にトレー
サガス検知器１３が連結されている。パイプ２８には、
センシングバルブＶ６が設けられている。
結されており、このパイプ１８は排気ポンプ１５に連結
されている。パイプ１８にはバルブＶ１が設けられ、こ
のバルブＶ１の開度により、チャンバ１２内から排気さ
れる気体の流量を調整することができる。更に、パイプ
１８には空気源２５がパイプ２６を介して接続されてお
り、チャンバ１２内にエアーを導入するようになってい
る。このパイプ２６にはバルブＶ３が設けられており、
チャンバ１２に導入するエアの流量をバルブＶ３の開度
及び開閉時間により調整することができる。なお、パイ
プ１８に接続するパイプ２６及びバルブＶ３を設けず、
チャンバ１２にパイプ２７を接続し、このパイプ２７に
バルブＶ７を設けて、このバルブＶ７の開閉により、チ
ャンバ１２内に大気を導入してもよい。更に、チャンバ
１２にパイプ２８が接続され、このパイプ２８にトレー
サガス検知器１３が連結されている。パイプ２８には、
センシングバルブＶ６が設けられている。
【００１９】以下、本実施例に係る漏洩試験装置を使用
した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレ
ーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出する
ための被試験体１１内の圧力の最大許容値が求められて
いるとする。
した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレ
ーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出する
ための被試験体１１内の圧力の最大許容値が求められて
いるとする。
【００２０】先ず、チャンバ１２に被試験体１１を配置
する。トレーサガス導入管１７の先端部を被試験体１１
のトレーサガス供給口に直接又はカプラー等を介して接
続し、チャンバ１２の扉を閉めて密閉状態にする。
する。トレーサガス導入管１７の先端部を被試験体１１
のトレーサガス供給口に直接又はカプラー等を介して接
続し、チャンバ１２の扉を閉めて密閉状態にする。
【００２１】次に、チャンバ真空引きバルブＶ１を開
け、チャンバ１２内の気体を所定の圧力まで真空引きす
ると同時に、試験体真空引きバルブＶ２を開け、被試験
体１１に接続された配管１７から被試験体１１内の気体
を所定の圧力まで真空引きする。このとき、圧力センサ
１４で被試験体１１内の圧力を検出しつつ、被試験体１
１内の圧力が規定の圧力（最大許容値）以下になるまで
真空引きする。
け、チャンバ１２内の気体を所定の圧力まで真空引きす
ると同時に、試験体真空引きバルブＶ２を開け、被試験
体１１に接続された配管１７から被試験体１１内の気体
を所定の圧力まで真空引きする。このとき、圧力センサ
１４で被試験体１１内の圧力を検出しつつ、被試験体１
１内の圧力が規定の圧力（最大許容値）以下になるまで
真空引きする。
【００２２】バルブＶ１を閉た後、センシングバルブＶ
６を開け、チャンバ１２とトレーサガス用検出器１３と
を接続する。そして、バルブＶ２を閉じ、バルブＶ５を
開けてトレーサガス供給源から所定圧力のトレーサガス
を被試験体１１内へ供給する。ここで、もし、被試験体
１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセン
シングバルブＶ６を通じてトレーサガス検知器１３で検
出される。そして、所定時間経過後の値（リークレート
値）と、予め決められたしきい値とが比較され、リーク
レート値がしきい値以下か否かにより、被試験体１１が
合格か否かが決定される。
６を開け、チャンバ１２とトレーサガス用検出器１３と
を接続する。そして、バルブＶ２を閉じ、バルブＶ５を
開けてトレーサガス供給源から所定圧力のトレーサガス
を被試験体１１内へ供給する。ここで、もし、被試験体
１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセン
シングバルブＶ６を通じてトレーサガス検知器１３で検
出される。そして、所定時間経過後の値（リークレート
値）と、予め決められたしきい値とが比較され、リーク
レート値がしきい値以下か否かにより、被試験体１１が
合格か否かが決定される。
【００２３】合否の判定が終わると、以下の手順で被試
験体１１及びチャンバ１２を大気圧まで戻す。先ず、チ
ャンバ１２とトレーサガス検知器１３とを接続するバル
ブＶ６と、トレーサガスを被試験体１１に導入するバル
ブＶ５とを閉じる。そして、バルブＶ２を開けて、被試
験体１１内のトレーサガスを排気ポンプ１６により排出
し、次いでバルブＶ４及びバルブＶ３を開け、夫々被試
験体１１及びチャンバ１２に大気を導入する。また、バ
ルブＶ３を設けず、チャンバ１２にバルブＶ７を設けた
場合は、バルブＶ７を開けることにより、チャンバ１２
内に大気を導入してもよい。その後、チャンバ１２の扉
を開けて被試験体１１を取り出し、リークテストを終了
する。その後、別の被試験体１１をチャンバ内に置き、
同様のリークテストを繰り返す。
験体１１及びチャンバ１２を大気圧まで戻す。先ず、チ
ャンバ１２とトレーサガス検知器１３とを接続するバル
ブＶ６と、トレーサガスを被試験体１１に導入するバル
ブＶ５とを閉じる。そして、バルブＶ２を開けて、被試
験体１１内のトレーサガスを排気ポンプ１６により排出
し、次いでバルブＶ４及びバルブＶ３を開け、夫々被試
験体１１及びチャンバ１２に大気を導入する。また、バ
ルブＶ３を設けず、チャンバ１２にバルブＶ７を設けた
場合は、バルブＶ７を開けることにより、チャンバ１２
内に大気を導入してもよい。その後、チャンバ１２の扉
を開けて被試験体１１を取り出し、リークテストを終了
する。その後、別の被試験体１１をチャンバ内に置き、
同様のリークテストを繰り返す。
【００２４】なお、本実施例においては、圧力センサ１
４は、被試験体１１内の圧力を検出するものとしたが、
圧力センサ１４をチャンバ１２に接続されたパイプ１８
に接続し、被試験体内の圧力とチャンバ１２内の圧力差
を検出できるものとしてもよい。
４は、被試験体１１内の圧力を検出するものとしたが、
圧力センサ１４をチャンバ１２に接続されたパイプ１８
に接続し、被試験体内の圧力とチャンバ１２内の圧力差
を検出できるものとしてもよい。
【００２５】このように、漏洩試験においては、被試験
体１１内の大気を所定の圧力以下に真空引きした後、ト
レーサガスを導入する。この際、被試験体１１に漏れが
あると被試験体１１からトレーサガスがチャンバ１２内
へ漏れだすため、この漏れだしたトレーサガスをトレー
サガス検知器１３により検出するが、トレーサガスの導
入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定の圧力値以下
になるように排気されていないと、被試験体１１からト
レーサガスと共に大気がチャンバ内に漏れだしてしま
い、トレーサガス検知器１３によるトレーサガス検出精
度が低下してしまう。トレーサガス検出精度を向上させ
て、漏洩試験の精度を向上させるためには、トレーサガ
スの導入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定値以下
になるように排気することが必要である。
体１１内の大気を所定の圧力以下に真空引きした後、ト
レーサガスを導入する。この際、被試験体１１に漏れが
あると被試験体１１からトレーサガスがチャンバ１２内
へ漏れだすため、この漏れだしたトレーサガスをトレー
サガス検知器１３により検出するが、トレーサガスの導
入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定の圧力値以下
になるように排気されていないと、被試験体１１からト
レーサガスと共に大気がチャンバ内に漏れだしてしま
い、トレーサガス検知器１３によるトレーサガス検出精
度が低下してしまう。トレーサガス検出精度を向上させ
て、漏洩試験の精度を向上させるためには、トレーサガ
スの導入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定値以下
になるように排気することが必要である。
【００２６】本実施例においては、被試験体１１内に大
気及びトレーサガスを供給するため及び被試験体１１か
ら大気及びトレーサガスを排出するためのパイプ１７と
は別に、パイプ１９を被試験体１１の排気部に配置し、
このパイプ１９に被試験体１１内の圧力を検出するため
の圧力センサ１４を接続したため、大気及びトレーサガ
スの気体流動による圧力損失の影響を受けずに圧力セン
サ１４により被試験体１１内の圧力を高精度で検出でき
る。従って、被試験体１１内を排気する際には、排気ポ
ンプ１６の排気をバルブＶ２の開閉により正確に制御し
て被試験体１１内の圧力を正確に規定圧力以下に真空引
きすることができるため、被試験体１１に漏れがある場
合に被試験体１１からのトレーサガスの漏れを正確に検
出することができ、漏洩試験の精度が極めて高いものと
なる。
気及びトレーサガスを供給するため及び被試験体１１か
ら大気及びトレーサガスを排出するためのパイプ１７と
は別に、パイプ１９を被試験体１１の排気部に配置し、
このパイプ１９に被試験体１１内の圧力を検出するため
の圧力センサ１４を接続したため、大気及びトレーサガ
スの気体流動による圧力損失の影響を受けずに圧力セン
サ１４により被試験体１１内の圧力を高精度で検出でき
る。従って、被試験体１１内を排気する際には、排気ポ
ンプ１６の排気をバルブＶ２の開閉により正確に制御し
て被試験体１１内の圧力を正確に規定圧力以下に真空引
きすることができるため、被試験体１１に漏れがある場
合に被試験体１１からのトレーサガスの漏れを正確に検
出することができ、漏洩試験の精度が極めて高いものと
なる。
【００２７】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図２は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図２に示す第２の実施例において、図１に
示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
する。図２は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図２に示す第２の実施例において、図１に
示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
【００２８】第１の実施例においては、被試験体に対し
て大気及びトレーサガスの導入及び排気を行うパイプ１
７内に圧力検出用のパイプ１９を挿入したものであった
が、本実施例においては、図２に示すように、パイプ３
７の直径Ｄ１より小さい直径Ｄ３のパイプ３９が、パイ
プ３７内に挿入され、その一端部が被試験体１１の排気
部に配置されている。パイプ３９の他端部は、パイプ３
７に設けられた貫通孔からパイプ３７の外側へ気密的に
導出され、被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ
１４に接続されている。パイプ３７には、空気源２１及
びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ３３及び３４を
介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エア
ー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するよう
になっている。パイプ３３及びパイプ３４には、夫々バ
ルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１
１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バル
ブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができ
る。その他の構成は、第１の実施例と同様である。
て大気及びトレーサガスの導入及び排気を行うパイプ１
７内に圧力検出用のパイプ１９を挿入したものであった
が、本実施例においては、図２に示すように、パイプ３
７の直径Ｄ１より小さい直径Ｄ３のパイプ３９が、パイ
プ３７内に挿入され、その一端部が被試験体１１の排気
部に配置されている。パイプ３９の他端部は、パイプ３
７に設けられた貫通孔からパイプ３７の外側へ気密的に
導出され、被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ
１４に接続されている。パイプ３７には、空気源２１及
びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ３３及び３４を
介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エア
ー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するよう
になっている。パイプ３３及びパイプ３４には、夫々バ
ルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１
１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バル
ブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができ
る。その他の構成は、第１の実施例と同様である。
【００２９】このように構成された本実施例の漏洩装置
を使用して漏洩試験を行うと、パイプ３９がパイプ３７
から導出される貫通孔が、パイプ３３、３４よりもチャ
ンバ１２に近い位置に形成されており、被試験体１１と
圧力センサ１４とを連結するパイプ３９が短いため、圧
力センサ１４の応答性が高くなり、また、被試験体１１
内の圧力検出精度が向上する。
を使用して漏洩試験を行うと、パイプ３９がパイプ３７
から導出される貫通孔が、パイプ３３、３４よりもチャ
ンバ１２に近い位置に形成されており、被試験体１１と
圧力センサ１４とを連結するパイプ３９が短いため、圧
力センサ１４の応答性が高くなり、また、被試験体１１
内の圧力検出精度が向上する。
【００３０】また、本実施例においても、第１の実施例
と同様に、被試験体１１内の気体を排気し、被試験体１
１内へ気体を供給するためのパイプ３７とは別に、圧力
検出用のパイプ３９を設けたため、パイプ３７内の気体
流動に関係なく被試験体１１内の圧力を高精度で検出で
き、漏洩試験の精度が極めて高い。
と同様に、被試験体１１内の気体を排気し、被試験体１
１内へ気体を供給するためのパイプ３７とは別に、圧力
検出用のパイプ３９を設けたため、パイプ３７内の気体
流動に関係なく被試験体１１内の圧力を高精度で検出で
き、漏洩試験の精度が極めて高い。
【００３１】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。図３は、本実施例に係る漏洩試験装置を示す模式
図である。本実施例においては、図３に示すように、チ
ャンバ１２には直径Ｄ１のパイプ４９が連結されてい
る。このパイプ４９はチャンバ１２の外側に気密的に導
出され、圧力センサ１４に接続されている。また、パイ
プ４９の直径Ｄ１より径が小さい直径Ｄ４のパイプ４７
の一端部がパイプ４９の内部に挿入され、その先端が被
試験体１１内まで延出され被試験体１１の排気部に配置
されている。パイプ４７の他端部はパイプ４９に設けら
れた貫通孔からパイプ４９の外側へ気密的に導出され排
気ポンプ１６に接続されている。パイプ４７は、パイプ
４９の外側に気密的導出されているため、パイプ４９内
に大気が流入しない。また、このパイプ４７には、パイ
プ４３及びパイプ４４が接続され、パイプ４９の外側に
気密的に導出されている。そして、パイプ４９の外側に
おいて、パイプ４３及びパイプ４４が夫々空気源２１及
びトレーサガス源２２に連結されて、被試験体１１に夫
々大気及びトレーサガスを導入するようになっている。
このパイプ４３及びパイプ４４には夫々バルブＶ４及び
バルブＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー
及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ
５の開度により調整することができる。その他の構成
は、第１の実施例と同様である。
する。図３は、本実施例に係る漏洩試験装置を示す模式
図である。本実施例においては、図３に示すように、チ
ャンバ１２には直径Ｄ１のパイプ４９が連結されてい
る。このパイプ４９はチャンバ１２の外側に気密的に導
出され、圧力センサ１４に接続されている。また、パイ
プ４９の直径Ｄ１より径が小さい直径Ｄ４のパイプ４７
の一端部がパイプ４９の内部に挿入され、その先端が被
試験体１１内まで延出され被試験体１１の排気部に配置
されている。パイプ４７の他端部はパイプ４９に設けら
れた貫通孔からパイプ４９の外側へ気密的に導出され排
気ポンプ１６に接続されている。パイプ４７は、パイプ
４９の外側に気密的導出されているため、パイプ４９内
に大気が流入しない。また、このパイプ４７には、パイ
プ４３及びパイプ４４が接続され、パイプ４９の外側に
気密的に導出されている。そして、パイプ４９の外側に
おいて、パイプ４３及びパイプ４４が夫々空気源２１及
びトレーサガス源２２に連結されて、被試験体１１に夫
々大気及びトレーサガスを導入するようになっている。
このパイプ４３及びパイプ４４には夫々バルブＶ４及び
バルブＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー
及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ
５の開度により調整することができる。その他の構成
は、第１の実施例と同様である。
【００３２】このように構成された本実施例において
は、圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ
４９の直径が大きいため、圧力センサ１４の応答性が高
く、被試験体１１内の圧力を精度よく検出できる。ま
た、本実施例においても、第１の実施例と同様の効果を
奏する。
は、圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ
４９の直径が大きいため、圧力センサ１４の応答性が高
く、被試験体１１内の圧力を精度よく検出できる。ま
た、本実施例においても、第１の実施例と同様の効果を
奏する。
【００３３】次に、本発明の第４の実施例について説明
する。図４は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。図４に示すように、被試験体１１に連結され、チ
ャンバ１２の外側へ気密的に導出される直径Ｄ１のパイ
プ５９に被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１
４が接続されている。また、パイプ５９の直径Ｄ１より
小さい直径Ｄ５のパイプ５７の一端部がパイプ５９の内
部に挿入され、その先端が被試験体１１の排気部に配置
されている。パイプ５７の他端部は、パイプ５９に設け
られた貫通孔からパイプ５９の外側に気密的に導出さ
れ、被試験体１１内の気体を吸引する排気ポンプ１６に
接続されている。更に、パイプ５９から導出されたパイ
プ５７には、パイプ５９の外側でパイプ５３及び５４を
介して夫々空気源２１及びトレーサガス源２２に接続さ
れている。パイプ５３及び５４には、夫々バルブＶ４及
びＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー及び
トレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の
開度により調整することができる。その他の構成及び漏
洩試験方法は、第１の実施例と同様である。
する。図４は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。図４に示すように、被試験体１１に連結され、チ
ャンバ１２の外側へ気密的に導出される直径Ｄ１のパイ
プ５９に被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１
４が接続されている。また、パイプ５９の直径Ｄ１より
小さい直径Ｄ５のパイプ５７の一端部がパイプ５９の内
部に挿入され、その先端が被試験体１１の排気部に配置
されている。パイプ５７の他端部は、パイプ５９に設け
られた貫通孔からパイプ５９の外側に気密的に導出さ
れ、被試験体１１内の気体を吸引する排気ポンプ１６に
接続されている。更に、パイプ５９から導出されたパイ
プ５７には、パイプ５９の外側でパイプ５３及び５４を
介して夫々空気源２１及びトレーサガス源２２に接続さ
れている。パイプ５３及び５４には、夫々バルブＶ４及
びＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー及び
トレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の
開度により調整することができる。その他の構成及び漏
洩試験方法は、第１の実施例と同様である。
【００３４】このように構成された本実施においては、
圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ５９
が第３の実施例よりも短いため、更に圧力センサ１４の
応答性が高く、被試験体１１内の圧力検出精度が向上す
る。更に、パイプ５９の外側に導出されたパイプ５７に
パイプ５３及び５４を接続し、これに夫々空気源２１及
びトレーサガス源２２を接続するため、パイプ５９にパ
イプ５３及び５４の貫通穴を設けてパイプ５９から気密
的に導出する必要がなく、装置が簡便になる。また、本
実施例においても、第１の実施例と同様の効果を奏す
る。
圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ５９
が第３の実施例よりも短いため、更に圧力センサ１４の
応答性が高く、被試験体１１内の圧力検出精度が向上す
る。更に、パイプ５９の外側に導出されたパイプ５７に
パイプ５３及び５４を接続し、これに夫々空気源２１及
びトレーサガス源２２を接続するため、パイプ５９にパ
イプ５３及び５４の貫通穴を設けてパイプ５９から気密
的に導出する必要がなく、装置が簡便になる。また、本
実施例においても、第１の実施例と同様の効果を奏す
る。
【００３５】なお、上述の第１乃至第４の実施例は、い
ずれも、被試験体１１にトレーサガスを導入し、チャン
バ１２内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するものと
したが、以下に示す第５乃至第８実施例のように、チャ
ンバ１２内にトレーサガスを導入し、被試験体１１内へ
漏れ出てくるトレーサガスを検出するようにしてもよ
い。この場合、被試験体１１とトレーサガス検知器とを
接続し、チャンバと圧力センサとを接続する。また、チ
ャンバには、チャンバ内の大気及びトレーサガスを排気
する排気ポンプ、チャンバ内へトレーサガス及び大気を
導入する夫々トレーサガス供給源及び空気供給源を接続
する。
ずれも、被試験体１１にトレーサガスを導入し、チャン
バ１２内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するものと
したが、以下に示す第５乃至第８実施例のように、チャ
ンバ１２内にトレーサガスを導入し、被試験体１１内へ
漏れ出てくるトレーサガスを検出するようにしてもよ
い。この場合、被試験体１１とトレーサガス検知器とを
接続し、チャンバと圧力センサとを接続する。また、チ
ャンバには、チャンバ内の大気及びトレーサガスを排気
する排気ポンプ、チャンバ内へトレーサガス及び大気を
導入する夫々トレーサガス供給源及び空気供給源を接続
する。
【００３６】次に、本発明の第５の実施例について説明
する。図５は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図５に示す第５の実施例において、図１に
示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
する。図５は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図５に示す第５の実施例において、図１に
示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
【００３７】本実施例においては、図５に示すように、
図１に示す第１の実施例と比較して、被試験体１１とト
レーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、
パイプ１７、１９がチャンバ１２に接続されており、更
に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異
なり、それ以外の構成は第１の実施例と同様である。即
ち、本実施例では、排気ポンプ１６はチャンバ１２内を
排気し、空気源２１及びトレーサガス供給源２２はチャ
ンバ１２内にエアー及びトレーサガスを導入し、排気ポ
ンプ１５は被試験体１１内を排気し、空気源２５は被試
験体１１内にエアーを供給する。本実施例においても、
第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
図１に示す第１の実施例と比較して、被試験体１１とト
レーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、
パイプ１７、１９がチャンバ１２に接続されており、更
に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異
なり、それ以外の構成は第１の実施例と同様である。即
ち、本実施例では、排気ポンプ１６はチャンバ１２内を
排気し、空気源２１及びトレーサガス供給源２２はチャ
ンバ１２内にエアー及びトレーサガスを導入し、排気ポ
ンプ１５は被試験体１１内を排気し、空気源２５は被試
験体１１内にエアーを供給する。本実施例においても、
第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００３８】次に、本発明の第６の実施例について説明
する。図６は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図６に示す第６の実施例において、図２に
示す第２の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
する。図６は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図６に示す第６の実施例において、図２に
示す第２の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
【００３９】本実施例においては、図６に示すように、
第２の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス
検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ３
７、３９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイ
プ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、そ
れ以外の構成は第２の実施例と同様である。本実施例に
おいても、第２の実施例と同様の効果を得ることができ
る。
第２の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス
検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ３
７、３９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイ
プ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、そ
れ以外の構成は第２の実施例と同様である。本実施例に
おいても、第２の実施例と同様の効果を得ることができ
る。
【００４０】次に、本発明の第７の実施例について説明
する。図７は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図７に示す第７の実施例において、図３に
示す第３の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
する。図７は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図７に示す第７の実施例において、図３に
示す第３の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
【００４１】本実施例においては、図７に示すように、
第３の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス
検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ４
７、４９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイ
プ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、そ
れ以外の構成は第３の実施例と同様である。本実施例に
おいても、第３の実施例と同様の効果を得ることができ
る。
第３の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス
検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ４
７、４９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイ
プ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、そ
れ以外の構成は第３の実施例と同様である。本実施例に
おいても、第３の実施例と同様の効果を得ることができ
る。
【００４２】次に、本発明の第８の実施例について説明
する。図８は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図８に示す第８の実施例において、図４に
示す第４の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
する。図８は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図で
ある。なお、図８に示す第８の実施例において、図４に
示す第４の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を
付してその詳細な説明は省略する。
【００４３】本実施例においては、図８に示すように、
第４の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス
検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ５
７、５９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイ
プ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、そ
れ以外の構成は第４の実施例と同様である。本実施例に
おいても、第４の実施例と同様の効果を得ることができ
る。
第４の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス
検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ５
７、５９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイ
プ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、そ
れ以外の構成は第４の実施例と同様である。本実施例に
おいても、第４の実施例と同様の効果を得ることができ
る。
【００４４】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
被試験体内にトレーサガスを導入する場合は、被試験体
内の排気を行う排気配管とは別に、一端部が被試験体の
排気部又は被試験体内部に配置され他端部が圧力センサ
に接続されたセンサ配管を設けたため、被試験体内の圧
力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとに
被試験体内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著
しく向上させることができる。
被試験体内にトレーサガスを導入する場合は、被試験体
内の排気を行う排気配管とは別に、一端部が被試験体の
排気部又は被試験体内部に配置され他端部が圧力センサ
に接続されたセンサ配管を設けたため、被試験体内の圧
力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとに
被試験体内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著
しく向上させることができる。
【００４５】一方、チャンバ内にトレーサガスを導入す
る場合は、排気配管とは別に、一端部がチャンバの排気
部又はチャンバ内部に配置され他端部が圧力センサに接
続されたセンサ配管を設けたため、チャンバ内の圧力を
正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとにチャ
ンバ内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく
向上させることができる。
る場合は、排気配管とは別に、一端部がチャンバの排気
部又はチャンバ内部に配置され他端部が圧力センサに接
続されたセンサ配管を設けたため、チャンバ内の圧力を
正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとにチャ
ンバ内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく
向上させることができる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図２】 本発明の第２の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図３】 本発明の第３の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図４】 本発明の第４の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図５】 本発明の第５の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図６】 本発明の第６の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図７】 本発明の第７の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図８】 本発明の第８の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図９】 従来の漏洩試験装置を示す模式図である。
１１、１１１；被試験体 、１２、１１２；チャンバ、
１７、１８、２７、２９、３７、３９、４７、４９、
５７、５９、１１７、１１８；パイプ、 １５、１６、
１１５、１１６；排気ポンプ、 １３、１１３；トレー
サガス検知器、Ｖ１〜Ｖ７、Ｖ１１〜Ｖ１６；バルブ、
１４、１１４；圧力センサ
１７、１８、２７、２９、３７、３９、４７、４９、
５７、５９、１１７、１１８；パイプ、 １５、１６、
１１５、１１６；排気ポンプ、 １３、１１３；トレー
サガス検知器、Ｖ１〜Ｖ７、Ｖ１１〜Ｖ１６；バルブ、
１４、１１４；圧力センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 裕三 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2G067 AA06 BB02 CC13 DD02 EE09
Claims (7)
- 【請求項１】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、
前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験
体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の
内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、
前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被
試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管
と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記
被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端
部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧
力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに
前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段
と、を有することを特徴とする漏洩試験装置。 - 【請求項２】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、
前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験
体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の
内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、
前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被
試験体と前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一
端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記セ
ンサ配管と前記被試験体との接続部又はそれより手前に
配置され他端部が前記被試験体内排気手段に接続された
排気配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧
力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気
を制御する制御手段と、を有することを特徴とする漏洩
試験装置。 - 【請求項３】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、
前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気
手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給する
トレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられ
た圧力センサと、前記チャンバと前記チャンバ内排気手
段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に
挿入されその先端が前記チャンバの排気部又は前記チャ
ンバ内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続され
たセンサ配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内
の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による
排気を制御する制御手段と、を有することを特徴とする
漏洩試験装置。 - 【請求項４】 被試験体を気密的に格納可能のチャンバ
と、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、
前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス
検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気
手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給する
トレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられ
た圧力センサと、前記チャンバと前記圧力センサとを連
結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入
されてその先端が前記センサ配管と前記チャンバとの接
続部又はそれより手前に配置され他端部が前記チャンバ
内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサに
よる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャン
バ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有す
ることを特徴とする漏洩試験装置。 - 【請求項５】 前記センサ配管と前記排気配管とはその
一部において二重構造を有することを特徴とする請求項
１乃至４のいずれか１項に記載の漏洩試験装置。 - 【請求項６】 前記制御手段は、前記圧力センサによる
前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、
前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前
記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制
御することを特徴とする請求項１、２及び５のいずれか
１項に記載の漏洩試験装置。 - 【請求項７】 前記制御手段は、前記圧力センサによる
前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、
前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前
記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制
御することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項
に記載の漏洩試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001077134A JP4605927B2 (ja) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | 漏洩試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001077134A JP4605927B2 (ja) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | 漏洩試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002277342A true JP2002277342A (ja) | 2002-09-25 |
| JP4605927B2 JP4605927B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=18933938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001077134A Expired - Lifetime JP4605927B2 (ja) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | 漏洩試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4605927B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009023403A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Denso Corp | 車両用衝突検知装置 |
| KR101285140B1 (ko) | 2013-04-16 | 2013-07-11 | 주식회사 동아중전기 | 고전압 부싱의 검사 장치 및 검사 방법 |
| JP2015161555A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社フクダ | 漏れ試験方法及び装置 |
| CN114112236A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-03-01 | 新乡航空工业(集团)有限公司 | 一种排气试验装置及*** |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0579458U (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | トリニティ工業株式会社 | 気密試験機 |
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| JP2001004480A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Yamaha Corp | リークテスター |
-
2001
- 2001-03-16 JP JP2001077134A patent/JP4605927B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
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| US7828350B2 (en) | 2007-07-17 | 2010-11-09 | Denso Corporation | Vehicular collision detection apparatus |
| KR101285140B1 (ko) | 2013-04-16 | 2013-07-11 | 주식회사 동아중전기 | 고전압 부싱의 검사 장치 및 검사 방법 |
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| CN114112236A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-03-01 | 新乡航空工业(集团)有限公司 | 一种排气试验装置及*** |
| CN114112236B (zh) * | 2021-11-18 | 2023-09-12 | 新乡航空工业(集团)有限公司 | 一种排气试验装置及*** |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4605927B2 (ja) | 2011-01-05 |
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