JP4602747B2 - 貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
そこで、図6に示されるように、接着シートSに剥離シートPSが仮着された原反Lを繰り出す途中に予備剥離装置100を設け、接着シートSから剥離シートPSを予備剥離して接着シートSをウエハWに貼付する構成を検討した。
しかしながら、かかる構成では、前記接着シートSが感熱接着性の接着剤であるため、一度剥離シートPSから剥がされることで再接着することができず、接着シートSが皺になったり、垂れ下がったりする傾向をもたらし、ウエハWに接着シートSを接着したときに、皺や気泡を混入した状態で貼り合わせが行われてしまって製品不良を多発させる、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、原反状態における剥離シートと接着シートとの仮着強度のバラツキがあっても、予備剥離を行うとともに、再仮着を行うことで、剥離シートと接着シートとの剥離強度を均一化し、所定の張力で接着シートを板状部材に貼付ができ、皺の発生や気泡の混入等を回避した上で、プレスロールによる押圧力が剥離シート介して接着シートに付与されるようにし、プレスロールへの接着剤の付着を防止することのできる貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記貼付ユニットは、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す途中で前記剥離シートから接着シートを剥離する予備剥離装置と、予備剥離された接着シートと前記剥離シートとを予備剥離する前の仮着位置に再仮着させる再仮着装置と、前記板状部材に対して接着シートを押圧するプレスロールとを備え、
前記再仮着された接着シートを前記板状部材の被着面に向けた状態で、前記剥離シートをプレスロールで押圧することで前記接着シートが板状部材に貼付される、という構成を採っている。
前記原反を繰り出す途中で前記剥離シートから接着シートを予備剥離し、
前記予備剥離された接着シートと前記剥離シートとを予備剥離する前の仮着位置に再仮着させておき、
次いで、前記再仮着された接着シートを前記板状部材に向けた状態で、前記剥離シートを押圧することで前記接着シートが板状部材に貼付される、という方法を採っている。
また、接着シートの貼付は、剥離シートを介して押圧力を付与することにより行われるものであるため、すなわち、プレスロールが接着シートに接することのない状態で行われるものであるため、プレスロールへの接着剤の付着も回避可能となる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 貼付テーブル
12 貼付ユニット
40 予備剥離装置
41 再仮着装置
45 プレスロール
L 原反
W 半導体ウエハ(板状部材)
PS 剥離シート
S 接着シート(感熱接着性接着シート)
Claims (4)
- 板状部材を支持する貼付テーブルと、前記板状部材に接着シートを貼付する貼付ユニットとを備えた貼付装置において、
前記貼付ユニットは、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す途中で前記剥離シートから接着シートを剥離する予備剥離装置と、予備剥離された接着シートと前記剥離シートとを予備剥離する前の仮着位置に再仮着させる再仮着装置と、前記板状部材に対して接着シートを押圧するプレスロールとを備え、
前記再仮着された接着シートを前記板状部材の被着面に向けた状態で、前記剥離シートをプレスロールで押圧することで前記接着シートが板状部材に貼付されることを特徴とする貼付装置。 - 前記板状部材は半導体ウエハであるとともに、前記接着シートはダイボンディングシート又は保護膜を形成するための保護用シートであることを特徴とする請求項1記載の貼付装置。
- 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出して前記接着シートを板状部材の被着面に貼付する方法において、
前記原反を繰り出す途中で前記剥離シートから接着シートを予備剥離し、
前記予備剥離された接着シートと前記剥離シートとを予備剥離する前の仮着位置に再仮着させておき、
次いで、前記再仮着された接着シートを前記板状部材に向けた状態で、前記剥離シートを押圧することで前記接着シートが板状部材に貼付されることを特徴とする貼付方法。 - 前記再仮着は熱又は静電気を付与することにより行われることを特徴とする請求項3記載の貼付方法。
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