JP4600344B2 - 静電容量式センサ - Google Patents
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Description
2 半導体層
4 ビーム部(ビーム)
5 可動電極
6A,6B 固定電極
25a,25b 間隙
30,30A,30B 応力緩和部
31 枠状構造
35 蛇行構造
Claims (4)
- 固定電極と、半導体層の固定部分にビームを介して可動支持された可動電極と、を備えるとともに、当該固定電極と可動電極とを間隙をもって相互に対向配置させて検出部が構成され、当該間隙の大きさに応じた静電容量を検出することで所定の物理量を検出する静電容量式センサにおいて、
前記ビームの固定部分に接続される側の端部および可動電極に接続される側の端部のうち少なくともいずれか一方に、局所的な応力集中を緩和する応力緩和部を設け、前記応力緩和部は、平面視で三角形状の単位枠をトラス状に多重に重ねて前記単位枠よりも大きな三角形状の構造にしたことを特徴とする静電容量式センサ。 - 前記応力緩和部を、前記ビームの固定部分に接続される側の端部および可動電極に接続される側の端部の双方に設けたことを特徴とする請求項1に記載の静電容量式センサ。
- 前記ビームは、可動電極の動作に伴ってねじられる矩形断面を有するねじりビームであることを特徴とする請求項1または2に記載の静電容量式センサ。
- 前記可動電極は、前記ねじりビームを介して揺動可能に支持され、
前記検出部は、揺動する可動電極の表面とそれに対向する固定電極の表面との間隙の大きさに応じた静電容量を検出することを特徴とする請求項3に記載の静電容量式センサ。
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