JP4582294B2 - 鉛−スズ合金ハンダめっき液 - Google Patents
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Description
「Microelectronics Packaging Handbook」(VAN NOSTRAND REINHOLD発行)第368〜371頁
したがって、高電流密度でめっきしても、表面の高さバラツキが小さく、平滑なでかつ鉛/スズ組成比のばらつきが少ない鉛−スズ合金突起電極を形成することができる鉛−スズ合金ハンダめっき液が求められていた。
(1)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性スズ化合物、可溶性鉛化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩および水からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、に特長を有するものである。
(2)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(3)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩およびスルフィド系化合物を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(4)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩および酸化防止剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(5)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(6)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(7)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(8)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(9)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物および酸化防止剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(10)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(11)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(12)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、酸化防止剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(13)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(14)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、酸化防止剤および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(15)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(16)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、酸化防止剤、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、に特長を有するものである。
(a)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、およびナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(b)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(c)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、およびスルフィド系化合物:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(d)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、および酸化防止剤:0.05〜5g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(e)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、および消泡剤:0.01〜5g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(f)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(g)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤:0.01〜5g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(h)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、消泡剤:0.01〜5g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(i)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、および酸化防止剤:0.05〜5g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(j)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、および消泡剤:0.01〜5g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(k)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤:0.05〜5g/Lおよび消泡剤:0.01〜5g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(l)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、酸化防止剤:0.05〜5g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(m)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、消泡剤:0.01〜5g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(n)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、酸化防止剤0.05〜5g/L、および消泡剤:0.01〜5g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(o)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤:0.05〜5g/L、消泡剤:0.01〜5g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、
(p)酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種:20〜400g/L、可溶性スズ化合物:Sn含有割合で0.01〜100g/L、可溶性鉛化合物:Pb含有割合で1〜300g/L、非イオン界面活性剤:0.5〜100g/L、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物:0.01〜10g/L、酸化防止剤0.05〜5g/L、消泡剤:0.01〜5g/L、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上:0.01〜10g/Lを含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有する鉛−スズ合金ハンダめっき液、に特長を有するものである。
(A)酸及びその塩:
酸及びその塩は、この発明の鉛−スズ合金ハンダめっき液に含まれる基本成分である、酸としては、有機スルホン酸、脂肪族カルボン酸、芳香族カルボン酸、アミノカルボン酸、ホスホン酸などの有機酸、リン酸、ピロリン酸、スルファミン酸などの無機酸等を用いることができる。これらの成分は単用又は併用することができ、Pb及びSn塩の水溶液中への溶解を促進し、半導体ウエハ表面への密着性を向上させる作用があるが、その含有割合が20g/L未満では前記作用に所望の効果が得られず、一方その含有割合が400g/Lを越えるとめっき速度が低下するようになることから、その含有割合を20〜400g/L、好ましくは50〜200g/Lと定めた。
アルカノールスルホン酸としては、化学式:CmH2m+1−CH(OH)−CpH2p−SO3H(例えば、m=0〜6、p=1〜5)で示されるものを使用できる。アルカノールスルホン酸の具体例としては、2―ヒドロキシエタン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシプロパン―1―スルホン酸(2−プロパノールスルホン酸)、2―ヒドロキシブタン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシペンタン―1―スルホン酸、1―ヒドロキシプロパン―2―スルホン酸、3―ヒドロキシプロパン―1―スルホン酸、4―ヒドロキシブタン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシヘキサン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシデカン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシドデカン―1―スルホン酸などを挙げることができる。
芳香族スルホン酸としては、ベンゼンスルホン酸、アルキルベンゼンスルホン酸、フェノールスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、アルキルナフタレンスルホン酸、ナフトールスルホン酸などを用いることができ、具体的には、1−ナフタレンスルホン酸、2−ナフタレンスルホン酸、トルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、p−フェノールスルホン酸、クレゾールスルホン酸、スルホサリチル酸、ニトロベンゼンスルホン酸、スルホ安息香酸、ジフェニルアミン−4−スルホン酸などを例示できる。
上記した有機スルホン酸及びその塩の内では、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、2−プロパノールスルホン酸、フェノールスルホン酸、これらの塩などが好ましい。
本発明では、特に、上記した酸及びその塩の内で、金属塩の溶解性、排水処理の容易性などの点で有機スルホン酸、その塩等が好ましい。
この発明の鉛−スズ合金ハンダめっき液に含まれる可溶性鉛化合物としては、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸、2−プロパノール−1−スルホン酸、スルホコハク酸、p−フェノールスルホン酸などの有機スルホン酸の鉛塩、酢酸、クエン酸、グルコン酸、シュウ酸、酒石酸、乳酸、コハク酸の鉛塩、酸化鉛、炭酸鉛等が挙げられる。特に、放射性同位元素の含有量が50ppb以下である鉛を含む鉛酸化物、鉛水酸化物もしくは鉛炭酸化物または金属鉛を原料として又はそのまま使用した上記可溶性鉛化合物を用いるのが好ましい。
上記可溶性鉛化合物は単用又は併用でき、そのめっき液に対する含有量はPb含有割合で1〜300g/L、好ましくは5〜100g/Lである。
この発明の鉛−スズ合金ハンダめっき液に含まれる可溶性スズ化合物としては、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸、2−プロパノール−1−スルホン酸、スルホコハク酸、p−フェノールスルホン酸等の有機スルホン酸のスズ塩、酢酸、クエン酸、グルコン酸、シュウ酸、酒石酸、乳酸、コハク酸等カルボン酸のスズ塩、酸化スズ、炭酸スズ等が挙げられる。特に、放射性同位元素の含有量が50ppb以下であるスズを含むスズ酸化物、スズ水酸化物もしくはスズ炭酸化物または金属スズを原料として又はそのまま使用した上記可溶性スズ化合物を用いるのが好ましい。
上記可溶性スズ化合物は単用又は併用でき、そのめっき液に対する含有量は使用する鉛の含有量に依存し、析出皮膜の電着組成比が共晶組成から質量比で鉛/スズ=99/1に対応する量であるが、通常Sn含有割合で0.01〜100g/L、好ましくは0.05〜50g/Lである。
この発明の鉛−スズ合金ハンダめっき液に含まれる非イオン界面活性剤は、めっき皮膜表面を平滑緻密化させ、突起電極の高さバラツキを少なくするとともに析出合金組成を均一化するものとして作用する。この非イオン界面活性剤としては、アルキレンオキサイド系のものが好適であり、α又はβ−ナフトールポリアルコキシレート、エチレンオキサイドプロピレンオキサイドブロックコポリマー、アルキルアルコールポリアルコキシレート、フェノールポリアルコキシレート、(ポリ)アルキルフェノールポリアルコキシレート、(ポリ)スチレンフェノールポリアルコキシレート、ビスフェノールポリアルコキシレート、クミルフェノールポリアルコキシレート、アルキルアミンアミンポリアルコキシレート、アルケニルアミンポリアルコキシレート、アルキルジアミンアミンポリアルコキシレート、脂肪酸アミドポリアルコキシレート、ポリオキシアルキレン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレン多価アルコールエーテル、ポリアルキレングリコールなどを使用することができる。
これらの非イオン界面活性剤の中でも特に上記効果に優れているとともに低発泡という観点からビスフェノールポリアルコキシレート系より選ばれたビスフェノールFポリアルコキシレートが好ましく、平滑性の観点からはアルキルアミンポリアルコキシレート、アルケニルアミンポリアルコキシレート、アルキルジアミンポリアルコキシレート等のアミン系ポリアルコキシレートが好ましく、併用するとさらに優れた所望の効果が得られる。
その配合量は、0.5g/L未満では前記作用に所望の効果が得られず、100g/Lを越えるとめっき速度が急激に低下するようになることから、めっき液に対して0.5〜100g/L、好ましくは1〜50g/Lと定めた。
この発明の鉛−スズ合金ハンダめっき液に含まれるナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩は、ナフタレンスルホン酸2分子から10分子をホルマリンで縮合させた化合物又はその塩であって、2〜4の平均縮合物が特に好ましい。塩としては、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属塩、マグネシウム、カルシウム等のアルカリ土類金属塩、アンモニウム塩、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、モルホリン等のアミン塩が挙げられるが、溶解性の観点から特にアンモニウム塩やアミン塩が好ましい。
その配合量は、この発明のめっき液に含まれる鉛イオンとの比率が重要であり、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩を鉛イオンに対して0.02〜1.50質量パーセント、好ましくは0.05〜1.2質量パーセント添加する。鉛イオンに対して0.02質量パーセント未満では所望の効果が得られず、1.50質量パーセントを越えると所望の効果が得られない上にめっき速度が急激に低下するようになるからである。
陽イオン界面活性剤の例としては、ドデシルトリメチルアンモニウム塩、ヘキサデシルトリメチルアンモニウム塩、オクタデシルトリメチルアンモニウム塩、ドデシルジメチルアンモニウム塩、オクタデセニルジメチルエチルアンモニウム塩、ドデシルジメチルベンジルアンモニウム塩、ヘキサデシルジメチルベンジルアンモニウム塩、オクタデシルジメチルベンジルアンモニウム塩、トリメチルベンジルアンモニウム塩、トリエチルベンジルアンモニウム塩、ヘキサデシルピリジニウム塩、ドデシルピリジニウム塩、ドデシルピコリニウム塩、ドデシルイミダゾリニウム塩、オレイルイミダゾリニウム塩、オクタデシルアミンアセテート、ドデシルアミンアセテートなどが挙げられる。
両性界面活性剤の例としては、ベタイン、スルホベタイン、アミノカルボン酸、イミダゾリニウムベタイン等が挙げられ、また、エチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイドとアルキルアミン又はジアミンとの縮合生成物の硫酸化あるいはスルホン化付加物も使用できる。これら界面活性剤の配合量は、めっき液中0.01〜10g/L、好ましくは0.05〜5g/Lである。
その添加量は0.01g/L未満では前記作用に所望の効果が得られず、一方5g/Lを越えると、めっき液への溶解性が悪くなることから、消泡剤の添加量はめっき液に対して0.01〜5g/L、好ましくは0.05〜2g/Lと定めた。
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 15g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 35g/L
遊離メタンスルホン酸 100g/L
ビスフェノールFポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有) 10g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度2〜3)
0.15g/L(Pbイオンに対して0.43質量%)
水 残部
エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 60g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 8g/L
遊離エタンスルホン酸 130g/L
トリスチレン化フェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:20モル含有) 15g/L
ラウリルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有)−
ポリプロポキシレート(プロピレンオキサイド:3モル含有) 3g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度2〜3) 0.15g/L
4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルフィド 0.5g/L
カテコール 1g/L
水 残部
エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 100g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 150g/L
遊離エタンスルホン酸 50g/L
ジスチレン化フェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:23モル含有)ポリプロキシレート(プロピレンオキサイド:3モル含有) 20g/L
ラウリルアミンポリプロキシレート(プロピレンオキサイド:3モル含有)ポリエトキシレート(エチレンオキサイド:15モル含有) 5g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度2〜3)
0.8g/L
チオジアニソール 0.7g/L
カテコール 0.3g/L
水 残部
2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸鉛(Pb含有割合で) 30g/L
2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 10g/L
遊離2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸 120g/L
ビスフェノールFポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有)
8g/L
ラウリルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:20モル含有)
5g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物カリウム塩(平均縮合度3〜4) 0.15g/L
ハイドロキノン 0.5g/L
水 残部
エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 19g/L
エタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 1g/L
遊離エタンスルホン酸 70g/L
β−ナフトールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有)
15g/L
クミルフェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:13モル含有)
2g/L
ポリオキシエチレン(エチレンオキサイド:48)ポリオキシプロピレン(プロピレンオキサイド:12モル含有)ブロックコポリマー 3g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物アンモニウム塩(平均縮合度5〜6) 0.01g/L
ドデシルジメチルベンジルアンモニウムクロライド 2g/L
オクタノール 0.5g/L
カテコール 1g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 10g/L
2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 20g/L
遊離メタンスルホン酸 90g/L
ドデシルアルコールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:17モル含有) 3g/L
オクチルフェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:15モル含有)
12g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物アンモニウム塩(平均縮合度2〜3) 0.12g/L
ジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム 1g/L
4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルフィド 0.5g/L
ハイドロキノン 2g/L
水 残部
2−ヒドロキシ−1−エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 57g/L
2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 3g/L
遊離メタンスルホン酸 170g/L
オレイルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:15モル含有)ポリプロポキシレート(プロピレンオキサイド:5) 5g/L
α−ナフトールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:13モル含有)
15g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物トリエチルアミン塩(平均縮合度2〜3) 0.06g/L
3,6−ジ−t−ジブチル−4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルフィド
0.5g/L
2−アルキル−N−カルボキシメチル−N−ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン 2g/L
3-メチル−1−ペンチン−3−オール 0.5g/L
ハイドロキノン 0.3g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 61g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 9g/L
遊離メタンスルホン酸 130g/L
β−ナフトールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:17モル含有)
12g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度2〜3)
0.04g/L
チオジサリチル酸 1g/L
ジイソプロピルナフタレンスルホン酸ナトリウム 1g/L
カテコール 1g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 15g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 35g/L
遊離メタンスルホン酸 120g/L
ヘキサデシルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:18モル含有)ポリプロキシレート(プロピレンオキサイド:3モル含有) 15g/L
エチレンオキサイド(エチレンオキサイド:45モル含有)プロピレンオキサイド(プロピレンオキサイド:12モル含有)ブロックコポリマー 10g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度7〜8)
0.22g/L
4,4´−ジヒドロキシ−2−メトキシジフェニルスルフィド 0.8g/L
ハイドロキノン 0.3g/L
水 残部
2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸鉛(Pb含有割合で) 60g/L
2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 90g/L
遊離2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸 150g/L
ドデシルアルコールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:18モル含有)
10g/L
ノニルフェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:15モル含有)
18g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物アンモニウム塩(平均縮合度3〜4) 0.06g/L
カテコール 0.8g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 15g/L
2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 15g/L
遊離メタンスルホン酸 70g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物トリエチルアミン塩(平均縮合度5〜6) 0.135g/L
ラウルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有)ポリプロキシレート(プロピレンオキサイド:3モル含有) 2g/L
ビスフェノールFポリエトキシレート(エチレンオキサイド:17モル含有)ポリプロキシレート(プロピレンオキサイド:3モル含有) 10g/L
ハイドロキノンスルホン酸ナトリウム 0.5g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 38g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 2g/L
遊離メタンスルホン酸 70g/L
ステアリン酸アミドポリエトキシレート(エチレンオキサイド:15モル含有)
15g/L
ブチルアルコールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:20モル含有)
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物モノエタノールアミン塩(平均縮合度2〜3) 0.3g/L
4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルフィド 0.5g/L
2−アルキル−N−カルボキシメチル−N−ヒドロキシメチルイミダゾリニウムベタイン 1.5g/L
3−メチル−1−ブチン−3−オール 0.1g/L
レゾルシン 1g/L
水 残部
エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 19g/L
エタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 1g/L
遊離エタンスルホン酸 70g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物カリウム塩(平均縮合度6〜7) 0.21g/L
チオジアニソール 1g/L
ヘキサデシルジメチルベンジルアンモニウムクロライド 2g/L
エチレンオキサイド(エチレンオキサイド:10モル含有)プロピレンオキサイド(プロピレンオキサイド:30モル含有)ブロックコポリマー 1g/L
カテコール 1g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 54g/L
2−ヒドロキシエタン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 6g/L
遊離メタンスルホン酸 70g/L
ラウル酸モノエタノールアミドポリエトキシレート(エチレンオキサイド:16モル含有) 20g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物アンモニウム塩(平均縮合度2〜3) 0.16g/L
ラウリン酸アミドプロピルヒドロキシスルホベタイン 0.8g/L
4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルフィド 0.5g/L
テトラメチルデシンジオール 0.1g/L
ハイドロキノン 1g/L
水 残部
3−ヒドロキシプロパン−1−エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で)
48g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 12g/L
遊離3−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸 150g/L
ステアリルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:22モル含有)ポリプロポキシレート(プロピレンオキサイド:3) 18g/L
ビスフェノールEポリエトキシレート(エチレンオキサイド:17.5モル含有) 12g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物アンモニウム塩(平均縮合度4〜5) 0.24g/L
1−ナフトール−4−スルホン酸ナトリウム 0.5g/L
ハイドロキノン 1g/L
水 残部
2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸鉛(Pb含有割合で) 57g/L
2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸スズ(Sn含有割合で) 3g/L
遊離2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸 100g/L
ポリスチレン化フェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:22モル含有) 13g/L
α−ナフトールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:13モル含有)
5g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物アンモニウム塩(平均縮合度4〜5) 0.1g/L
水 残部
エタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 74g/L
エタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 126g/L
遊離エタンスルホン酸 300g/L
遊離メタンスルホン酸 50g/L
オクチルアルコールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:17モル含有)
5g/L
オレイルアミンポリエトキシレート(エチレンオキサイド:15モル含有) 5g/L
ノニルフェノールポリエトキシレート(エチレンオキサイド:18モル含有) 15g/L
エチレンオキサイド(エチレンオキサイド:3モル含有)プロピレンオキサイド(プロピレンオキサイド:5モル含有)ブロックコポリマーモノメチルエーテル 5g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物カリウム塩(平均縮合度6〜7) 0.015g/L
ビス(3、5−ジーターシャリーブチル−4−ヒドロキシベンジル)スルフィド
0. .05g/L
ヤシ油脂肪酸アミドプロピルベタイン 2g/L
ドデシルピリジニウムクロライド 0.5g/L
カテコール 1g/L
水 残部
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 15g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 35g/L
遊離メタンスルホン酸 100g/L
ビスフェノールFポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有) 10g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度2〜3) 0.0015g/L(Pbイオンに対して0.01質量%)
水 残部
(ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物が鉛にに対して0.02質量%未満の例である。)
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 15g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 35g/L
遊離メタンスルホン酸 100g/L
ビスフェノールFポリエトキシレート(エチレンオキサイド:10モル含有) 10g/L
ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物ナトリウム塩(平均縮合度2〜3) 0.45g/L
水 残部
(ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物が鉛にに対して1.5質量%を越える例である。)
従来めっき液1
メタンスルホン酸鉛(Pb含有割合で) 15g/L
メタンスルホン酸スズ(Sn含有割合で) 35g/L
遊離メタンスルホン酸 100g/L
化1に示される構造式において、R:C10のアルキル基、x+x´:8、y+y´:3としたポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルアミン
5g/L
化2に示される構造式において、RaおよびRb:C2のアルキル基、Rc:水酸基としたアルドールスルファニル誘導体 5g/L
水 残部
厚さ1μmの銅下地電極に膜を介して厚さ:80μmのレジスト膜が形成され、このレジスト膜に直径:110μmの微小孔が約100万個規則正しく等間隔で、感光及びエッチング処理により形成された直径:30cm(12インチ)のSiウェハを用意した。また、垂直に保持したウェハと対向するようにPtめっきされた30cmの純Ti板を配置し、ウェハを陰極とし、めっき槽内に上記の本発明めっき液1〜17、比較めっき液1〜2および従来めっき液1の各種めっき液をそれぞれ充填装入し、前記めっき液をめっき槽下部から噴流するとともに、パドル攪拌によりウェハ表面の攪拌を行うことにより電気めっきを行い、表1〜5の実施例1〜17、比較例1〜2および従来例1に示される測定結果を得た。その際の電気めっき条件は、下記の通りである。
電流密度:2A/dm2、5A/dm2及び10A/dm2、
噴流速度:20 l/min、
パドル速度:60回/min、
めっき液温度:30℃、
めっき時間:75分(2A/dm2)、30分(5A/dm2)、15分(10A/dm2)
さらに、本発明めっき液1〜17、比較めっき液1〜2および従来めっき液1により得られた鉛−スズ合金突起電極に含まれる放射性同位元素の含有量(UおよびThの合計定量分析値)を測定し、その測定結果を表1〜5に示した。
さらに、得られたSiウェハ表面の十字直径線上の任意の100個の突起電極の高さを高さゲージ付き光学顕微鏡を用いて測定し、この測定結果から最高値及び最低値をピックアップするとともにその差を算出して表1〜5に示すことによりSiウェハ表面の十字直径線上の任意の100個の突起電極の高さのバラツキを評価し、さらに各突起電極毎に高低差を測定し、高低差が1μm以下のときを平滑な突起電極と定義し、100個中に占める表面平滑な突起電極の割合を測定し、これらの測定結果を表1〜5に示した。
また、放射性α粒子のカウント数測定用鉛−スズ合金平板めっき膜を、銅平板を大型ビーカー内に充填した本発明めっき液1〜17、比較めっき液1〜2および従来めっき液1の各種めっき液に漬け、電流密度5A/dm2、めっき温度:30℃、カソードロッカー移動速度:2m/minの条件で電気めっきを行うことにより作製し、得られた平板めっき膜の放射性α粒子のカウント数を測定し、これらの測定結果を表1〜5に示した。
(イ)本発明めっき液1〜17は、従来めっき液1に比べて、電流密度を変化させても鉛−スズ合金突起電極に含まれるSn含有量の平均値の最大差が極めて小さいところから、電流密度に依存することなく均一な成分組成の鉛−スズ合金突起電極を得ることができる。
(ロ)本発明めっき液1〜17により得られた鉛−スズ合金突起電極に含まれる放射性同位元素は、従来めっき液1により得られた鉛−スズ合金突起電極とほぼ同程度に少なく、また本発明めっき液1〜17により得られた平板めっき板のα粒子カウント数は、従来めっき液1により得られた平板めっき板のα粒子カウント数とほぼ同程度に少ない。
(ハ)本発明めっき液1〜17を用い、電流密度:5A/dm2及び10A/dm2により得られた鉛−スズ合金突起電極の高さの最大値と最小値の差が、従来めっき液1を用い、電流密度:5A/dm2及び10A/dm2により得られた鉛−スズ合金突起電極の高さの最大値と最小値の差に比べて格段に小さいところから、本発明めっき液1〜17を用い高電流密度で鉛−スズ合金突起電極を形成しても高さバラツキノ少ない鉛−スズ合金突起電極を形成することができる。
さらに、従来めっき液1を用い5A/dm2及び10A/dm2の高電流密度により鉛−スズ合金突起電極を形成すると表面平滑な鉛−スズ合金突起電極の数が極めて少なくなるが、本発明めっき液1〜17を用い高電流密度で形成した鉛−スズ合金突起電極の表面は大部分が表面平滑な鉛−スズ合金突起電極となる。
(ニ)この発明の条件から外れた比較めっき液1〜2は、本発明めっき液1〜17に比べて外観が灰白色で平滑でなく、高さにバラツキがあり、さらに比較めっき液2はめっき速度が急速に低下するなどの好ましくない特性が現れる。
Claims (26)
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤およびナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩およびスルフィド系化合物を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩および酸化防止剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物および酸化防止剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、酸化防止剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、酸化防止剤および消泡剤を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、酸化防止剤、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種、可溶性鉛化合物、可溶性スズ化合物、非イオン界面活性剤、ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物又はその塩、スルフィド系化合物、酸化防止剤、消泡剤、並びに陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上を含有する水溶液からなる鉛−スズ合金ハンダめっき液であって、前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物またはその塩は、鉛イオンに対して0.02〜1.50質量%を含有することを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 前記請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15または16に記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液おいて、酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種の含有量は20〜400g/Lであり、可溶性鉛化合物の含有量はPb含有割合で1〜300g/Lであり、可溶性スズ化合物の含有量はSn含有割合で0.01〜100g/Lであり、非イオン界面活性剤の含有量は0.5〜100g/Lであり、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤および両性界面活性剤の内の1種または2種以上の含有量は0.01〜10g/Lであり、スルフィド系化合物の含有量は0.01〜10g/Lであり、酸化防止剤の含有量は0.05〜5g/Lであり、消泡剤の含有量は0.01〜5g/Lであることを特徴とする鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 前記ナフタレンスルホン酸のホルマリン縮合物の塩がアンモニウム塩又はアミン塩であることを特徴とする請求項1〜17の内のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 前記非イオン界面活性剤がビスフェノールFポリアルコキシレート及びアミン系ポリアルコキシレートからなる群から選ばれる一種又はそれ以上であることを特徴とする請求項1〜17の内のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 前記酸及びその塩から選ばれた少なくとも一種が、アルカンスルホン酸及びアルカノールスルホン酸から選ばれる酸及びその塩の一種以上であることを特徴とする請求項1〜17の内のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 鉛−スズ合金ハンダめっき液に含まれる放射性同位元素の含有量は50ppb以下であることを特徴とする請求項1〜20の内のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 鉛−スズ合金ハンダめっき液のpHは4以下であることを特徴とする請求項1〜21の内のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液。
- 請求項1〜22のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液を用いて半導体ウェハ表面に電気めっきして得られた鉛−スズ合金ハンダめっき皮膜。
- 請求項23に記載の鉛−スズ合金ハンダめっき皮膜は、電着組成比が質量比で鉛/スズ=30/70から99/1の範囲内の組成を有し、かつ放射性α粒子のカウント数が0.5cph/cm2以下にであることを特徴とするめっき皮膜。
- 請求項1〜22のいずれかに記載の鉛−スズ合金ハンダめっき液を用いて半導体搭載用基板上に電気めっきして得られた突起電極。
- 請求項25に記載の突起電極は、電着組成比が質量比で鉛/スズ=30/70から99/1の範囲内の組成を有し、かつ放射性α粒子のカウント数が0.5cph/cm2以下にであることを特徴とする突起電極。
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