JP4574755B2 - X線発生装置及び検査システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線を射出するX線発生装置及びそれを用いた被検査物の検査システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のX線管として、特開平7−296751号公報に記載されるように、電子を放出する電子銃及びその電子を受けてX線を発生させるターゲットを内蔵したものが知られている。また、従来のX線発生装置として、特開平7−29532号公報に記載されるように、X線管及びそのX線管の駆動回路等を内蔵したものが知られている。
【0003】
これらのX線管及びX線発生装置は、特開平6−315152号公報に記載されるように、主に、物体の内部構造の非破壊・被接触観察などに用いられている。例えば、X線管及びX線発生装置から出射されたX線を被検査物に照射し、被検査物を透過したX線をX線蛍光増倍管(イメージインテンシファイア管:I.I.管)などで検出する。そして、被検査物の拡大透視画像を観察することにより、被検査物の内部構造の非破壊・被接触検査が可能となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような被検査物の検査において、特開平6−94650号公報及び特開平6−18450号公報に記載されるように、一般に、X線の照射方向に対し直交する軸を中心に被検査物を回転させ被検査物の向きを変えることにより、不具合箇所を的確に特定する手法が採られている。
【0005】
一方、これらの被検査物の検査において、透視画像の拡大率は、X線管装置内のX線発生点(X線管の焦点位置)から被検査物の位置までの距離(A)と、被検査物の位置からI.I.管のX線入射面までの距離(B)との比で決まる。すなわち、拡大率Mは、
M=(A+B)/A …(1)
である。通常は、A《Bなので、
M=B/A …(2)
と表すことができる。
【0006】
すなわち、大きな拡大率を得るには、Aを小さくすること、又は、Bを大きくすることが考えられる。しかし、Bを大きくすると、X線検査装置全体が大きくなるとともに、X線の外部への漏れを防ぐための鉛シールドの量が増えるなど重量の増大が著しい。
【0007】
このため、少しでもAを小さくすることが望ましいが、前述のように、被検査物の向きを変える手法を採る場合、Aを小さくすると、被検査物を載せるためのサンプルホルダなどがX線管の出射面に接触してしまう。このため、透視画像の拡大率を増加には、一定の制限がある。従って、拡大率の大きい透視画像を観察しながら、的確な被検査物の状態の検査を行うことは困難であった。
【0008】
そこで本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものであって、被検査物を接近させてX線の照射を可能としたX線発生装置及び検査システムを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明に係るX線発生装置は、X線を出射するX線管と、頂面に前記X線管が取り付けられ、内部に前記X線管の駆動回路を収容した筐体とを備え、前記X線管は、先端面に前記X線の出射窓を有する頭部と、前記頭部の側方に結合され前記頭部内に配置されるターゲットの先端に電子を入射してX線を発生させる電子銃部とを備え、前記頭部の前記電子銃部が結合されていない側部に前記X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成されており、前記筐体は、前記X線管を取り付けた頂面の角部に前記X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成され、前記X線管のテーパ面が前記筐体のテーパ面側に形成され、前記X線管のテーパ面及び前記筐体のテーパ面は、前記X線管から出射されるX線の出射方向に対して交差する軸を中心に回動する被検査物に前記X線を照射して検査を行う際、前記回動により前記被検査物が接近する位置に配されて構成されている。
【0010】
また本発明に係るX線発生装置は、X線を出射するX線管と、頂面に前記X線管が取り付けられ、内部に前記X線管の駆動回路を収容した筐体とを備え、前記X線管は、先端面に前記X線の出射窓を有する頭部と、前記頭部の側方に結合され前記頭部内に配置されるターゲットの先端に電子を入射してX線を発生させる電子銃部とを備え、前記頭部の前記電子銃部が結合されていない側部に前記X線の出射方向に沿って垂直に削ぎ落とされた垂直な面を有しており、前記筐体は、前記X線管を取り付けた頂面の角部に前記X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成され、前記X線管の前記垂直な面が前記筐体のテーパ面側に形成され、前記X線管の垂直な面及び前記筐体のテーパ面は、前記X線管から出射されるX線の出射方向に対して交差する軸を中心に回動する被検査物に前記X線を照射して検査を行う際、前記回動により前記被検査物が接近する位置に配されて構成されている。
【0014】
これらの発明によれば、X線を被検査物に照射しその被検査物を透過するX線を検出することにより被検査物の内部構造などを検査する検査システムに用いられる場合、被検査物をX線の出射窓に近接させて配置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端面に当接することを回避できる。このため、被検査物をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査物の向きを変えることが可能である。従って、被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0015】
また本発明に係る検査システムは、X線を被検査物に照射しその被検査物を透過するX線を検出することにより被検査物の状態を検査する検査システムであって、X線を出射する前述のX線発生装置と、被検査物をX線の出射方向に対し交差する軸を中心に回動させる回動手段と、X線の出射方向であって被検査物の後方に配置され被検査物を透過するX線を検出するX線検出手段とを備えたことを特徴とする。
【0016】
この発明によれば、被検査物をX線の出射窓に近接させて配置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端面に当接することを回避できる。このため、被検査物をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査物の向きを変えることが可能である。従って、被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づき、本発明の実施形態について説明する。尚、各図において同一要素には同一符号を付して説明を省略する。また、図面の寸法比率は説明のものと必ずしも一致していない。
【0018】
(第一実施形態)
図1に本実施形態に係るX線発生装置及びX線管を示す。図1に示すように、X線発生装置1は、X線を出射する装置であって、駆動回路などの構成部品を収容する筐体2を備えている。筐体2は、縦長の略直方体状を呈し、頂面21にはX線を出射するX線管3を具備している。筐体2の頂面21と側面22との角部には、その角部を面取りしてなるテーパ面23が形成されている。テーパ面23は、X線の出射方向(図1では上下方向)に対し傾斜した面であり、X線の出射方向に対し平行でなく、かつ、垂直でない向きに形成されている。
【0019】
また、このテーパ面23は、筐体2の頂面21と側面22の片側との角部にのみに形成されている。X線管3は、筐体2の中心から一方へ片寄る位置に設けられている。例えば、X線管3は、テーパ面23が形成されていない側へ片寄る位置に形成される。このX線管3は、X線を発生させるものであり、電子銃部4とX線発生部5を備えている。
【0020】
筐体2の正面24の下部には、通気口25、コネクタ26が設けられている。
通気口25は、筐体2の内外の通気を行うものであり、その通気口25の内側には冷却ファン(図示なし)が設置されている。コネクタ26は、X線発生装置1の駆動制御を行うX線コントローラ等との配線接続を行うためのものである。
【0021】
図2に本実施形態に係るX線管3を示す。図2(a)はX線管の正面図であり、図2(b)は図2(a)のb−bにおけるX線管の断面図である。
【0022】
図2(a)に示すように、X線管3のX線発生部5は、電子銃部4からの電子を受けてX線を発生させ出射するためのものであり、胴部51と頭部52とにより構成されている。頭部52は、軸方向を上下に向けた円柱状を呈し、その頂面53にX線を出射するためのX線出射窓54を有している。また、頭部52の頂面53と側面55との角部分には、その角部分を面取りしてなるテーパ面56が形成されている。
【0023】
テーパ面56は、X線の出射方向(図2(a)、(b)では上下方向)に対し傾斜した面であり、X線の出射方向に対し平行でなく、かつ、垂直でない向きに形成されている。また、テーパ面56は、X線出射窓54を挟んで筐体2の側部の二箇所に形成されている。
【0024】
図2(b)に示すように、X線発生部5の頭部52の側部には、電子銃部4が結合されている。電子銃部4は、電子を発生させX線発生部5に向けて放出するものであり、その内部には、外部からの電力供給により発熱するヒータ41、ヒータ41により熱せられ電子を放出するカソード42、カソード42から放出された電子を集束させるフォーカスグリッド電極43がそれぞれ設けられている。
この電子銃部4とX線発生部5との内部空間は連通しており、X線管3の外部に対し密封されている。また、それら電子銃部4及びX線発生部5の内部空間は、ほぼ真空の状態に維持されている。
【0025】
X線発生部5の内部には、ターゲット6が設置されている。ターゲット6は、電子銃部4からの電子を先端面で受けてX線を発生させるものであり、X線発生部5の頭部52及び胴部51の軸方向に向けて配置されている。
【0026】
図3にX線発生装置の正面側から見た断面図を示す。
【0027】
図3に示すように、X線発生装置1の筐体2の内部には、高圧ブロック部7が設置されている。高圧ブロック部7は高電圧が印加されるものを収容したものであり、この高圧ブロック部7にはX線管3の胴部51、ブリーダ抵抗71、コッククロフト回路72、昇圧トランス73などが内蔵されている。また、筐体2の内部には、駆動回路81、82が設置されている。駆動回路81、82は、ターゲット電圧回路、カソード電圧回路、グリッド電圧回路、ヒータ電圧回路などにより構成されている。
【0028】
次にX線管及びX線発生装置の使用方法について説明する。
【0029】
図4にX線管及びX線発生装置を用いた検査システムの構成を示す。図4に示すように、X線発生装置1には、X線コントローラ91が接続されている。X線コントローラ91は、X線発生装置1の作動制御を行うものである。このX線コントローラ91には、CPU92に接続されている。CPU92は、検査システムの全体の制御を行うものである。
【0030】
X線発生装置1のX線の出射方向には検査すべき試料93が配置されている。
試料93としては、ICなどの電子デバイス、アルミダイキャストのほか、金属、ゴム、プラスチック、セラミックスなどからなる各種の製品・部品などが対象となる。この試料93は、マニュピレータ94の作動によりX線出射方向に対してほぼ直交する軸を中心に回転しその向きが変えられるようになっている。マニュピレータ94は、X線出射方向に対してほぼ直交する回転軸を有しており、CPU92の指令により駆動回路95を介してその回転軸を駆動させる。
【0031】
また、マニュピレータ94は、試料93をX線出射方向に移動させることができる構造となっている。この試料93の移動により、試料93がX線の出射位置に対して接近し又は離間する。このため、検査システムによる得られる試料93の透視拡大画像についてその拡大率を任意に変えることが可能となる。
【0032】
検査すべき試料93が板状のものであるときには、その試料93をマニュピレータ94の回転軸に直接取り付けられるが、試料93が板状でないもの又は微小なものであるときには、板状のホルダなどを介して試料93をマニュピレータ94の回転軸に間接的に取り付けてもよい。
【0033】
X線の出射方向の試料93の後方には、X線カメラ96が設置されている。X線カメラ96は、イメージインテンシファイア管などを内蔵しX線を検出するものである。X線カメラ96には画像処理装置97が接続されており、この画像処理装置97により試料93の拡大透視画像が形成される。また、画像処理装置97はCPU92に接続されており、試料93の拡大透視画像のデータをCPU92に伝送する。また、CPU92には、モニタ98が接続されている。モニタ98は、CPU92から伝送される信号に基づき試料93の拡大透視画像を表示する。
【0034】
このような検査システムにおいて、試料93をX線出射位置の前方にセットし、X線発生装置1からX線を出射すると、そのX線は、試料93に照射され、試料93を透過してX線カメラ96に入射される。X線は、X線カメラ96により検出され電気的な信号に変換される。そして、その信号は、画像処理装置97に入力され、試料93の拡大透視画像のデータに演算される。拡大透視画像のデータは、CPU92を介してモニタ98に伝送され、その拡大透視画像のデータに基づいてモニタ98に試料93の拡大透視画像が表示される。
【0035】
このため、試料93の拡大透視画像を見ることにより、試料93の内部構造などを確認することができる。
【0036】
一方、X線の照射方向に対し試料93の向きを変えることにより、試料93の内部構造などをより的確に把握することができる。すなわち、マニュピレータ94の回転軸を適宜回動させて試料93の向きを変えれば、モニタ98に異なる方向から見た試料93の拡大透視画像を表示することができる。従って、試料93の内部におけるヘアクラック、気泡などの有無を的確に判断することができる。
【0037】
その際、図5に示すように、X線発生装置1にはX線出射方向に対し傾斜したテーパ面23が形成され、X線管3が筐体2の中心から片寄る位置に設けられており、また、X線管3にはX線出射方向に対し傾斜したテーパ面56が形成されている。
【0038】
このため、試料93をX線出射窓54により近接させながら、その試料93の向きを十分に変えることが可能となる。従って、試料93の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料93の向きを変えて試料93の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0039】
ところで、このような本実施形態に係るX線発生装置1及びX線管3に対し、テーパ面23を形成しないX線発生装置及びテーパ面56を形成しないX線管にあっては、それらを用いて試料93の検査を行っても、試料93の向きを変えながら拡大率の大きい拡大透視画像を得ることはできない。
【0040】
例えば、図6に示すように、テーパ面23を形成しないX線発生装置C及びテーパ面56を形成しないX線管Dを用いて試料93の検査を行う場合、試料93の拡大透視画像の拡大率を上げるために試料93をX線出射位置に近づけつつ、試料93の向きを変えようとすると、試料93がX線発生装置Cの角部分又はX線管Dの角部分に接触してしまう。
【0041】
このため、試料93の向きを変えるためには試料93をX線出射位置から一定の距離A2だけ離さなければならない。この距離A2は、前述した式(2)に示すように拡大透視画像の拡大率に直接影響するものであり、この距離A2が短いほど拡大率が大きくなる。また、距離A2は、本実施形態に係るX線発生装置1及びX線管3を用いた場合の距離A1と比べると(図5参照)、長いものとなる。従って、このようなテーパ面23を形成しないX線発生装置C及びテーパ面56を形成しないX線管Dにあっては、拡大率の大きい拡大透視画像を得ることができず、試料93の内部構造などを詳細に確認することができない。
【0042】
以上のように、本実施形態に係るX線発生装置1、X線管3及びそれらを用いた検査システムによれば、試料93をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その試料93の向きを変えることが可能である。従って、試料93の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料93の向きを変えることにより試料93の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0043】
(第二実施形態)
次に第二実施形態に係るX線管、X線発生装置等について説明する。
【0044】
図7に本実施形態に係るX線管3aを示す。図7に示すように、X線管3aは、頭部52の両側部を垂直に削ぎ落とし、頭部52の正面側の上部にテーパ面56を形成したものである。
【0045】
図8に本実施形態に係るX線管3bを示す。図8に示すように、X線管3bは、頭部52の頂面53と側面55の角部分にアールを付けてテーパ面56としたものである。尚、ここで言う「テーパ面」とは、傾斜した平面に限られず、凸状に湾曲した面及び凹状に湾曲した面も含むものである。
【0046】
図9に本実施形態に係るX線管3cを示す。図9に示すように、X線管3cは、頭部52の両側部及び正面側にの上部にテーパ面56をそれぞれ形成したものである。
【0047】
図10に本実施形態に係るX線管3dを示す。図10に示すように、X線管3dは、頭部52の両側部及び正面を垂直に削ぎ落としたものである。
【0048】
これらのX線管3a〜3dであっても、第一実施形態に係るX線管3と同様にして、X線を試料93に照射しその試料93を透過するX線を検出することにより試料93の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場合、試料93をX線の出射窓54に近接させて配置しながらその試料93を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、テーパ面56又は削ぎ落とし領域の形成により試料93が頂面53に当接することを回避できる。このため、試料93をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その試料93の向きを変えることが可能である。従って、試料93の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料93の向きを変えて試料93の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0049】
また、本実施形態に係るX線発生装置は、第一実施形態に係るX線発生装置1のX線管3を前述のX線管3a〜3dのいずれかに代えたものである。このようなX線発生装置であっても、第一実施形態に係るX線発生装置と同様にして、X線を試料93に照射しその試料93を透過するX線を検出することにより試料93の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場合、試料93をX線の出射窓54に近接させて配置しながらその試料93を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、テーパ面23の形成により試料93が頂面21に当接することを回避できる。このため、試料93をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その試料93の向きを変えることが可能である。従って、試料93の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料93の向きを変えて試料93の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0050】
更に、第一実施形態に係る検査システムにおいて、本実施形態に係るX線管又はX線発生装置を用いても、第一実施形態に係る検査システムと同様な作用効果が得られる。
【0051】
(第三実施形態)
次に第三実施形態に係るX線管、X線発生装置等について説明する。
【0052】
図11に本実施形態に係るX線発生装置1eを示す。図11に示すように、X線発生装置1は、横長の筐体2eを備えたものである。筐体2eの頂面21には、X線を出射するX線管3dが設けられている。筐体2eの頂面21と側面22、22との両角部には、それらの角部を面取りしてなるテーパ面23がそれぞれ形成されている。
【0053】
このようなX線発生装置1eであっても、第一実施形態に係るX線発生装置と同様にして、X線を試料93に照射しその試料93を透過するX線を検出することにより試料93の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場合、試料93をX線の出射窓54に近接させて配置しながらその試料93を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、テーパ面23の形成により試料93が頂面21に当接することを回避できる。このため、試料93をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その試料93の向きを変えることが可能である。従って、試料93の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料93の向きを変えて試料93の内部構造などを詳細に確認することができる。
【0054】
また、本実施形態に係るX線発生装置1eは、X線管3dをX線管3、3a〜3cのいずれかに代えたものであってもよい。この場合であっても、前述と同様な作用効果が得られる。
【0055】
更に、第一実施形態に係る検査システムにおいて、本実施形態に係るX線管又はX線発生装置を用いても、第一実施形態に係る検査システムと同様な作用効果が得られる。
【0056】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、次のような効果が得られる。
【0057】
X線を被検査物に照射しその被検査物を透過するX線を検出することにより被検査物の内部構造などを検査する場合、被検査物をX線の出射窓に近接させて配置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端面に当接することを回避できる。このため、被検査物をX線の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査物の向きを変えることが可能である。従って、被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態に係るX線管及びX線発生装置の説明図である。
【図2】第一実施形態に係るX線管の説明図である。
【図3】第一実施形態に係るX線発生装置の説明図である。
【図4】X線発生装置及びX線管を用いた検査システムの説明図である。
【図5】X線発生装置及びX線管の使用方法の説明図である。
【図6】本発明の前提となる技術の説明図である。
【図7】第二実施形態に係るX線管の説明図である。
【図8】第二実施形態に係るX線管の説明図である。
【図9】第二実施形態に係るX線管の説明図である。
【図10】第二実施形態に係るX線管の説明図である。
【図11】第三実施形態に係るX線発生装置の説明図である。
【符号の説明】
1…X線発生装置、2…筐体、23…テーパ面、3…X線管(X線発生手段)、53…頂面(先端面)、54…X線出射窓、56…テーパ面。
Claims (3)
- X線を出射するX線管と、
頂面に前記X線管が取り付けられ、内部に前記X線管の駆動回路を収容した筐体と、
を備え、
前記X線管は、先端面に前記X線の出射窓を有する頭部と、前記頭部の側方に結合され前記頭部内に配置されるターゲットの先端に電子を入射してX線を発生させる電子銃部とを備え、前記頭部の前記電子銃部が結合されていない側部に前記X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成されており、
前記筐体は、前記X線管を取り付けた頂面の角部に前記X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成され、
前記X線管のテーパ面が前記筐体のテーパ面側に形成され、
前記X線管のテーパ面及び前記筐体のテーパ面は、前記X線管から出射されるX線の出射方向に対して交差する軸を中心に回動する被検査物に前記X線を照射して検査を行う際、前記回動により前記被検査物が接近する位置に配されていること、
を特徴とするX線発生装置。 - X線を出射するX線管と、
頂面に前記X線管が取り付けられ、内部に前記X線管の駆動回路を収容した筐体と、
を備え、
前記X線管は、先端面に前記X線の出射窓を有する頭部と、前記頭部の側方に結合され前記頭部内に配置されるターゲットの先端に電子を入射してX線を発生させる電子銃部とを備え、前記頭部の前記電子銃部が結合されていない側部に前記X線の出射方向に沿って垂直に削ぎ落とされた垂直な面を有しており、
前記筐体は、前記X線管を取り付けた頂面の角部に前記X線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成され、
前記X線管の垂直な面が前記筐体のテーパ面側に形成され、
前記X線管の垂直な面及び前記筐体のテーパ面は、前記X線管から出射されるX線の出射方向に対して交差する軸を中心に回動する被検査物に前記X線を照射して検査を行う際、前記回動により前記被検査物が接近する位置に配されていること、
を特徴とするX線発生装置。 - X線を被検査物に照射し、前記被検査物を透過するX線を検出することにより前記被検査物の状態を検査する検査システムにおいて、
前記X線を出射する請求項1又は2に記載のX線発生装置と、
前記被検査物を前記X線の出射方向に対し交差する軸を中心に回動させる回動手段と、
前記X線の出射方向であって前記被検査物の後方に配置され前記被検査物を透過する前記X線を検出するX線検出手段と、
を備えたことを特徴とする検査システム。
Priority Applications (13)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02587898A JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | X線発生装置及び検査システム |
AU21868/99A AU2186899A (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | X-ray tube, apparatus for x-ray generation, and test system |
PCT/JP1999/000509 WO1999040606A1 (fr) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Tube a rayons x, generateur de rayons x, et systeme d'analyse |
EP06011090A EP1699069B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Apparatus for X-ray generation |
DE69941229T DE69941229D1 (de) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Röntgenstrahlen-Erzeugungsgerät |
DE69932647T DE69932647T2 (de) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Röntgenstrahlen-Erzeugungsgerät |
KR1020007008530A KR100694938B1 (ko) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | X선관, x선 발생 장치 및 검사 시스템 |
EP99901950A EP1052675B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Apparatus for x-ray generation, and test system |
DE69913491T DE69913491T2 (de) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Röntgenröhre, Röntgenstrahlengenerator und Untersuchungssystem |
EP03076059A EP1335401B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Apparatus for x-ray generation |
US09/633,160 US6490341B1 (en) | 1998-02-06 | 2000-08-04 | X-ray tube, x-ray generator, and inspection system |
US10/295,859 US6856671B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-18 | X-ray tube, x-ray generator, and inspection system |
US11/042,205 US7106829B2 (en) | 1998-02-06 | 2005-01-26 | X-ray tube, x-ray generator, and inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02587898A JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | X線発生装置及び検査システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11224624A JPH11224624A (ja) | 1999-08-17 |
JP4574755B2 true JP4574755B2 (ja) | 2010-11-04 |
Family
ID=12178052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02587898A Expired - Fee Related JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | X線発生装置及び検査システム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6490341B1 (ja) |
EP (3) | EP1052675B1 (ja) |
JP (1) | JP4574755B2 (ja) |
KR (1) | KR100694938B1 (ja) |
AU (1) | AU2186899A (ja) |
DE (3) | DE69941229D1 (ja) |
WO (1) | WO1999040606A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4574755B2 (ja) * | 1998-02-06 | 2010-11-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置及び検査システム |
JP4068332B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2008-03-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管、及び、x線管の製造方法 |
JP4322470B2 (ja) * | 2002-05-09 | 2009-09-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置 |
US7006601B2 (en) | 2004-02-26 | 2006-02-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray source |
US7031433B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-04-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray source and a nondestructive inspector |
US7085353B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-08-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube |
KR101289502B1 (ko) * | 2005-10-07 | 2013-07-24 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | X선관 및 비파괴 검사 장치 |
US20080075229A1 (en) * | 2006-09-27 | 2008-03-27 | Nanometrics Incorporated | Generation of Monochromatic and Collimated X-Ray Beams |
JP6444693B2 (ja) * | 2014-10-29 | 2018-12-26 | 松定プレシジョン株式会社 | 反射型x線発生装置 |
USD859660S1 (en) * | 2017-08-23 | 2019-09-10 | Sunje Hi-Tek Co., Ltd. | X-ray generator |
JP7044615B2 (ja) * | 2018-04-12 | 2022-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1708494A (en) * | 1923-05-08 | 1929-04-09 | Bucky Gustav | X-ray tube |
US2019612A (en) * | 1933-12-01 | 1935-11-05 | Westinghouse Lamp Co | X-ray tube and x-ray screen supporting structure |
US2919362A (en) * | 1958-04-21 | 1959-12-29 | Dunlee Corp | Stabilized x-ray generator |
JPS5426069Y2 (ja) * | 1973-04-02 | 1979-08-29 | ||
FR2355428A1 (fr) | 1976-06-14 | 1978-01-13 | Elf Aquitaine | Dispositif d'irradiation a haut rendement comportant un tube generateur de rayons x avec anode fenetre |
US4646338A (en) * | 1983-08-01 | 1987-02-24 | Kevex Corporation | Modular portable X-ray source with integral generator |
NL8603264A (nl) * | 1986-12-23 | 1988-07-18 | Philips Nv | Roentgenbuis met een ringvormig focus. |
JP2934455B2 (ja) * | 1988-08-26 | 1999-08-16 | 株式会社日立製作所 | X線透過画像によるはんだ付部の検査方法及びその装置 |
CH677302A5 (en) * | 1988-11-16 | 1991-04-30 | Comet Elektron Roehren | X=ray tube window - comprises diamond-coated beryllium |
US5077771A (en) * | 1989-03-01 | 1991-12-31 | Kevex X-Ray Inc. | Hand held high power pulsed precision x-ray source |
US5014292A (en) * | 1990-01-29 | 1991-05-07 | Siczek Bernard W | Tiltable x-ray table integrated with carriage for x-ray source and receptor |
JP2646804B2 (ja) | 1990-05-28 | 1997-08-27 | 村田機械株式会社 | 応答遅延機能を有した自動応答通信システム |
JPH0435343U (ja) * | 1990-07-19 | 1992-03-24 | ||
DE69316041T2 (de) * | 1992-01-27 | 1998-07-02 | Koninkl Philips Electronics Nv | Röntgenröhre mit verringertem Arbeitsabstand |
JPH0618450A (ja) | 1992-07-06 | 1994-01-25 | Fujitsu Ltd | 平面サンプル用断層撮影装置 |
JPH0694650A (ja) | 1992-09-10 | 1994-04-08 | Fujitsu Ltd | 放射線非破壊検査装置 |
JP3254805B2 (ja) | 1993-04-30 | 2002-02-12 | 株式会社島津製作所 | 内部検査装置 |
US5313513A (en) * | 1993-05-11 | 1994-05-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Annular computed tomography |
JP2634369B2 (ja) | 1993-07-15 | 1997-07-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線装置 |
JPH07230892A (ja) * | 1993-12-20 | 1995-08-29 | Toshiba Corp | 蛍光分析用x線管及びその製造方法 |
JP2713860B2 (ja) * | 1994-04-26 | 1998-02-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管装置 |
JPH07312189A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Yusuke Shida | フリットシール型x線管の製造方法 |
JP3378401B2 (ja) * | 1994-08-30 | 2003-02-17 | 株式会社日立メディコ | X線装置 |
DE19630351C1 (de) * | 1996-07-26 | 1997-11-27 | Siemens Ag | Röntgenröhre mit einem Gleitlager |
EP0885454A1 (en) * | 1996-12-06 | 1998-12-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray tube having an internal window shield |
JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 2010-11-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置及び検査システム |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP02587898A patent/JP4574755B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-02-05 EP EP99901950A patent/EP1052675B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-05 EP EP03076059A patent/EP1335401B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-05 WO PCT/JP1999/000509 patent/WO1999040606A1/ja active IP Right Grant
- 1999-02-05 DE DE69941229T patent/DE69941229D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-05 DE DE69913491T patent/DE69913491T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-05 KR KR1020007008530A patent/KR100694938B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-02-05 DE DE69932647T patent/DE69932647T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-05 AU AU21868/99A patent/AU2186899A/en not_active Abandoned
- 1999-02-05 EP EP06011090A patent/EP1699069B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-04 US US09/633,160 patent/US6490341B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-11-18 US US10/295,859 patent/US6856671B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-01-26 US US11/042,205 patent/US7106829B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1052675A4 (en) | 2001-02-14 |
EP1335401B1 (en) | 2006-08-02 |
EP1335401A2 (en) | 2003-08-13 |
US20050147207A1 (en) | 2005-07-07 |
WO1999040606A1 (fr) | 1999-08-12 |
EP1052675B1 (en) | 2003-12-10 |
EP1699069A3 (en) | 2006-11-02 |
EP1699069B1 (en) | 2009-08-05 |
EP1699069A2 (en) | 2006-09-06 |
DE69913491T2 (de) | 2004-09-16 |
DE69913491D1 (de) | 2004-01-22 |
KR20010040658A (ko) | 2001-05-15 |
AU2186899A (en) | 1999-08-23 |
EP1335401A3 (en) | 2003-10-15 |
JPH11224624A (ja) | 1999-08-17 |
DE69932647T2 (de) | 2007-08-09 |
US6856671B2 (en) | 2005-02-15 |
KR100694938B1 (ko) | 2007-03-14 |
US20030068013A1 (en) | 2003-04-10 |
US6490341B1 (en) | 2002-12-03 |
DE69941229D1 (de) | 2009-09-17 |
US7106829B2 (en) | 2006-09-12 |
DE69932647D1 (de) | 2006-09-14 |
EP1052675A1 (en) | 2000-11-15 |
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JPS6112539B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070123 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070619 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070813 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080707 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080716 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20080829 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100726 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100819 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |