JP2713860B2 - Ｘ線管装置 - Google Patents
Ｘ線管装置Info
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- JP2713860B2 JP2713860B2 JP6088299A JP8829994A JP2713860B2 JP 2713860 B2 JP2713860 B2 JP 2713860B2 JP 6088299 A JP6088299 A JP 6088299A JP 8829994 A JP8829994 A JP 8829994A JP 2713860 B2 JP2713860 B2 JP 2713860B2
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- electrode
- electron
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
- H01J35/147—Spot size control
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線を発生するＸ線管
装置に係り、特に、電子銃を収納する筒状部材の中心軸
とターゲットを収納する筒状部材の中心軸とが略直交す
るＸ線管装置に関するものである。
装置に係り、特に、電子銃を収納する筒状部材の中心軸
とターゲットを収納する筒状部材の中心軸とが略直交す
るＸ線管装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線は多くの物質あるいは物体に対して
透過性の良い電磁波であり、物体の内部構造の非破壊・
非接触観察に多用されている。Ｘ線の発生にあたっては
電子管装置が用いられ、電子銃から出射された電子をタ
ーゲットに衝突させてＸ線を発生するが通例であり、こ
の衝突にあたっては、電子銃を収納する筒状部材の中心
軸とターゲットを収納する筒状部材の中心軸とを一致さ
せるか、双方の中心軸を垂直に設定することが一般的で
ある。
透過性の良い電磁波であり、物体の内部構造の非破壊・
非接触観察に多用されている。Ｘ線の発生にあたっては
電子管装置が用いられ、電子銃から出射された電子をタ
ーゲットに衝突させてＸ線を発生するが通例であり、こ
の衝突にあたっては、電子銃を収納する筒状部材の中心
軸とターゲットを収納する筒状部材の中心軸とを一致さ
せるか、双方の中心軸を垂直に設定することが一般的で
ある。
【０００３】図１０は、電子銃を収納する筒状部材の中
心軸とターゲットを収納する筒状部材の中心軸とが略直
交するＸ線管装置の構成図であり、米国特許（ＵＳＰ）
第５，０７７，７７１号に開示の装置である。図１０に
示すように、この装置は、（ａ）電子を発生・出射する
電子銃部９１０と、（ｂ）電子銃部９１０から出射され
た電子を入力し、この電子がターゲット９２１に衝突す
ることによりＸ線を発生するＸ線発生部９２０と、を備
える。
心軸とターゲットを収納する筒状部材の中心軸とが略直
交するＸ線管装置の構成図であり、米国特許（ＵＳＰ）
第５，０７７，７７１号に開示の装置である。図１０に
示すように、この装置は、（ａ）電子を発生・出射する
電子銃部９１０と、（ｂ）電子銃部９１０から出射され
た電子を入力し、この電子がターゲット９２１に衝突す
ることによりＸ線を発生するＸ線発生部９２０と、を備
える。
【０００４】ここで、電子銃部９１０は、外部からの
電力供給により発熱するヒータ９１１と、ヒータ９１
１によって熱せられて電子を放出するカソード９１２
と、カソード９１２から放出された電子を加速・集束
するフォーカスグリッド電極９１３と、ヒータ９１
１、カソード９１２、およびフォーカスグリッド電極９
１３を収納するとともに電子通過口を有する容器９１４
と、を備える。
電力供給により発熱するヒータ９１１と、ヒータ９１
１によって熱せられて電子を放出するカソード９１２
と、カソード９１２から放出された電子を加速・集束
するフォーカスグリッド電極９１３と、ヒータ９１
１、カソード９１２、およびフォーカスグリッド電極９
１３を収納するとともに電子通過口を有する容器９１４
と、を備える。
【０００５】また、Ｘ線発生部９２０は、電子銃部９
１０から出射された電子が衝突してＸ線を発生するター
ゲット９２１と、ターゲット９２１を包む平坦な管状
に、かつ、中心軸が電子銃部９１０の中心軸と略直交す
る様に形成されるともに、電子銃部９１０から出射され
た電子がターゲット９２１に至る経路に電子通過開口を
有するフード電極９２２と、ターゲット９２１および
フード電極９２２を収納する内部空間を有し、ターゲッ
ト９２１で発生したＸ線を取り出す開口を有するととも
に、容器９１４の電子通過口を介して容器９１４の内部
空間と内部空間が連結する容器９２３と、容器９２３
のＸ線通過口に配設されたＸ線透過部材から成るＸ線取
り出し窓９２４と、を備える。なお、フード電極９２２
及びターゲット９２１には、電子銃部９１０の出射口の
電位に対して、正の高電圧が印加される。
１０から出射された電子が衝突してＸ線を発生するター
ゲット９２１と、ターゲット９２１を包む平坦な管状
に、かつ、中心軸が電子銃部９１０の中心軸と略直交す
る様に形成されるともに、電子銃部９１０から出射され
た電子がターゲット９２１に至る経路に電子通過開口を
有するフード電極９２２と、ターゲット９２１および
フード電極９２２を収納する内部空間を有し、ターゲッ
ト９２１で発生したＸ線を取り出す開口を有するととも
に、容器９１４の電子通過口を介して容器９１４の内部
空間と内部空間が連結する容器９２３と、容器９２３
のＸ線通過口に配設されたＸ線透過部材から成るＸ線取
り出し窓９２４と、を備える。なお、フード電極９２２
及びターゲット９２１には、電子銃部９１０の出射口の
電位に対して、正の高電圧が印加される。
【０００６】図１０のＸ線管装置では、電子銃部９１０
から出射された電子は、フォーカスグリッド電極９１３
とフード電極９２２との間の電界によって高速度に加速
され、電子の各時刻の各位置における等電位面の垂直方
向（すなわち、電界方向）に進行し、フード電極の電子
通過用の開口を通過した後にターゲット９２１に衝突す
る。電子がターゲット９２１に衝突するとＸ線が発生
し、フード電極９２２のＸ線通過用開口およびＸ線通過
窓９２４を順次介して、Ｘ線管装置からＸ線が出力され
る。
から出射された電子は、フォーカスグリッド電極９１３
とフード電極９２２との間の電界によって高速度に加速
され、電子の各時刻の各位置における等電位面の垂直方
向（すなわち、電界方向）に進行し、フード電極の電子
通過用の開口を通過した後にターゲット９２１に衝突す
る。電子がターゲット９２１に衝突するとＸ線が発生
し、フード電極９２２のＸ線通過用開口およびＸ線通過
窓９２４を順次介して、Ｘ線管装置からＸ線が出力され
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線管装置は、部品な
どの品質管理のために、拡大透視画像を得るＸ線検査装
置などでＸ線源として使用される。そして、拡大率を大
きくできることは、検査精度を向上する上で非常に重要
である。図１１は、こうしたＸ線検査装置の典型的な概
略構成図である。図１１に示されるＸ線検査装置では、
Ｘ線管装置から出射されたＸ線が試料皿上の試料に照射
される。試料を透過したＸ線は、Ｘ線蛍光増倍管（イメ
ージインテンシファイア管；Ｉ．Ｉ．管）で検出され、
撮像管で拡大透視画像が撮像される。この装置での透視
画像の拡大率は、Ｘ線管装置内のＸ線発生点（Ｘ線管の
焦点位置）から試料位置までの距離（ａ）と、試料位置
からＩ．Ｉ．管のＸ線入射面までの距離（ｂ）との比で
決まる。すなわち、拡大率Ｍは、 Ｍ＝（ａ＋ｂ）／ａ …（１） である。通常は、Ａ《Ｂなので、 Ｍ＝ｂ／ａ …（２） と表すことができる。
どの品質管理のために、拡大透視画像を得るＸ線検査装
置などでＸ線源として使用される。そして、拡大率を大
きくできることは、検査精度を向上する上で非常に重要
である。図１１は、こうしたＸ線検査装置の典型的な概
略構成図である。図１１に示されるＸ線検査装置では、
Ｘ線管装置から出射されたＸ線が試料皿上の試料に照射
される。試料を透過したＸ線は、Ｘ線蛍光増倍管（イメ
ージインテンシファイア管；Ｉ．Ｉ．管）で検出され、
撮像管で拡大透視画像が撮像される。この装置での透視
画像の拡大率は、Ｘ線管装置内のＸ線発生点（Ｘ線管の
焦点位置）から試料位置までの距離（ａ）と、試料位置
からＩ．Ｉ．管のＸ線入射面までの距離（ｂ）との比で
決まる。すなわち、拡大率Ｍは、 Ｍ＝（ａ＋ｂ）／ａ …（１） である。通常は、Ａ《Ｂなので、 Ｍ＝ｂ／ａ …（２） と表すことができる。
【０００８】すなわち、大きな拡大率を得るには、Ａ
を小さくすること、あるいはＢを大きくすること、が
考えられる。しかし、Ｂを大きくすると、Ｘ線検査装置
全体が大きくなるとともに、Ｘ線の外部への漏れを防ぐ
ための鉛シールドの量が増えるなど重量の増大が著し
い。そこで、少しでもＡを小さくすることが切望されて
いる。
を小さくすること、あるいはＢを大きくすること、が
考えられる。しかし、Ｂを大きくすると、Ｘ線検査装置
全体が大きくなるとともに、Ｘ線の外部への漏れを防ぐ
ための鉛シールドの量が増えるなど重量の増大が著し
い。そこで、少しでもＡを小さくすることが切望されて
いる。
【０００９】本発明は、上記を鑑みてなされたものであ
り、Ｘ線の発生点から測定対象試料までの距離を低減で
きる、すなわち、Ｘ線の発生点からＸ線取り出し窓まで
の距離を低減可能なＸ線管装置を提供することを目的と
する。
り、Ｘ線の発生点から測定対象試料までの距離を低減で
きる、すなわち、Ｘ線の発生点からＸ線取り出し窓まで
の距離を低減可能なＸ線管装置を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のＸ線管装置は、
電子銃を収納する第１の筒状部材の中心軸とターゲット
を収納する第２の筒状部材の中心軸とが略直交するＸ線
管装置において、（ａ）電子を放出するカソードと、カ
ソードから放出された電子を集束するとともに、第１の
電子通過口を有する少なくとも１つ以上のフォーカスグ
リッド電極と、を備える電子銃と、（ｂ）電子銃から出
力された電子が衝突してＸ線を発生するターゲットと、
（ｃ）電子銃から出力された電子がターゲットに至る経
路領域に第２の電子通過口を有し、ターゲットを収納す
る中心軸が第２の筒状部材の中心軸と略平行であり、か
つ略管状に形成されたフード電極であって、ターゲット
で発生したＸ線取出方向側の第２の電子通過口の端から
Ｘ線取出方向側の端までの領域中には、Ｘ線取出方向の
反対方向側の第２の電子通過口の端からＸ線取出方向の
反対方向側の領域におけるフォーカスグリッド側方向の
径よりも大きな前記フォーカスグリッド側方向の径を有
する部分が形成されたフード電極と、を備えることを特
徴とする。
電子銃を収納する第１の筒状部材の中心軸とターゲット
を収納する第２の筒状部材の中心軸とが略直交するＸ線
管装置において、（ａ）電子を放出するカソードと、カ
ソードから放出された電子を集束するとともに、第１の
電子通過口を有する少なくとも１つ以上のフォーカスグ
リッド電極と、を備える電子銃と、（ｂ）電子銃から出
力された電子が衝突してＸ線を発生するターゲットと、
（ｃ）電子銃から出力された電子がターゲットに至る経
路領域に第２の電子通過口を有し、ターゲットを収納す
る中心軸が第２の筒状部材の中心軸と略平行であり、か
つ略管状に形成されたフード電極であって、ターゲット
で発生したＸ線取出方向側の第２の電子通過口の端から
Ｘ線取出方向側の端までの領域中には、Ｘ線取出方向の
反対方向側の第２の電子通過口の端からＸ線取出方向の
反対方向側の領域におけるフォーカスグリッド側方向の
径よりも大きな前記フォーカスグリッド側方向の径を有
する部分が形成されたフード電極と、を備えることを特
徴とする。
【００１１】ここで、フード電極と対向するフォーカス
グリッド電極の第１の電子通過口のＸ線取出方向側の端
からＸ線取出方向側の領域の表面から、フード電極の中
心軸を含む第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの
距離は、フード電極と対向するフォーカスグリッド電極
の第１の電子通過口のＸ線取出方向の反対方向側の端か
らＸ線取出方向の反対方向側の領域の表面から、フード
電極の中心軸を含み第１の筒状部材の中心軸に垂直な平
面までの距離よりも大きく設定される、ことを特徴とし
てもよい。
グリッド電極の第１の電子通過口のＸ線取出方向側の端
からＸ線取出方向側の領域の表面から、フード電極の中
心軸を含む第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの
距離は、フード電極と対向するフォーカスグリッド電極
の第１の電子通過口のＸ線取出方向の反対方向側の端か
らＸ線取出方向の反対方向側の領域の表面から、フード
電極の中心軸を含み第１の筒状部材の中心軸に垂直な平
面までの距離よりも大きく設定される、ことを特徴とし
てもよい。
【００１２】また、第１の電子通過口の形状は、Ｘ線取
出方向に長軸若しくは短軸を持つ長方形または長径若し
くは短径を持つ楕円である、ことを特徴としてもよい。
出方向に長軸若しくは短軸を持つ長方形または長径若し
くは短径を持つ楕円である、ことを特徴としてもよい。
【００１３】
【作用】本発明のＸ線管装置では、電子銃内のヒータに
通電してカソードを加熱するなどして、カソードから電
子を放出させる。カソードから放出された電子は、フォ
ーカスグリッド電極により加速・集束されつつ、フォー
カスグリッド電極の電子通過口を通過し、電子銃の出力
電子となる。電子銃から出力された電子は、最終段のフ
ォーカスグリッド電極（すなわち、フード電極と対向す
るフォーカスグリッド電極）とフード電極との電位差に
よって生じる電界によって高速度に加速され、フード電
極の開口を通過し、ターゲットに衝突してＸ線を発生す
る。
通電してカソードを加熱するなどして、カソードから電
子を放出させる。カソードから放出された電子は、フォ
ーカスグリッド電極により加速・集束されつつ、フォー
カスグリッド電極の電子通過口を通過し、電子銃の出力
電子となる。電子銃から出力された電子は、最終段のフ
ォーカスグリッド電極（すなわち、フード電極と対向す
るフォーカスグリッド電極）とフード電極との電位差に
よって生じる電界によって高速度に加速され、フード電
極の開口を通過し、ターゲットに衝突してＸ線を発生す
る。
【００１４】フード電極に対向するフォーカスグリッド
電極とフード電極との間の空間の電位分布は、フード電
極に対向するフォーカスグリッド電極とフード電極との
間の距離や双方の電極の形状によって決定される。本発
明のＸ線管装置では、フード電極が、電子銃から出力さ
れた電子がターゲットに至る経路領域に第２の電子通過
口を有し、ターゲットを収納する中心軸が第２の筒状部
材の中心軸と略平行であり略管状に形成されるととも
に、ターゲットで発生したＸ線取出方向側の電子通過開
口の端からＸ線取出方向側の端までの領域中には、Ｘ線
取出方向の反対方向側の電子通過開口の端からＸ線取出
方向の反対方向側の領域におけるフォーカスグリッド側
方向の径よりも大きなフォーカスグリッド側方向の径を
有する部分が形成される。
電極とフード電極との間の空間の電位分布は、フード電
極に対向するフォーカスグリッド電極とフード電極との
間の距離や双方の電極の形状によって決定される。本発
明のＸ線管装置では、フード電極が、電子銃から出力さ
れた電子がターゲットに至る経路領域に第２の電子通過
口を有し、ターゲットを収納する中心軸が第２の筒状部
材の中心軸と略平行であり略管状に形成されるととも
に、ターゲットで発生したＸ線取出方向側の電子通過開
口の端からＸ線取出方向側の端までの領域中には、Ｘ線
取出方向の反対方向側の電子通過開口の端からＸ線取出
方向の反対方向側の領域におけるフォーカスグリッド側
方向の径よりも大きなフォーカスグリッド側方向の径を
有する部分が形成される。
【００１５】したがって、従来のＸ線管装置のように、
フード電極のフォーカスグリッド側方向の径が略均一の
場合に比べて、フード電極の電子通過開口のよりも第１
の方向側のフード電極に対向するフォーカスグリッド電
極とフード電極との間の空間の電位分布における等電位
面はフォーカスグリッド電極の方向へ移動する。この結
果、電子銃から出力された電子のターゲットに至る軌道
は、従来のフード電極のフォーカスグリッド側方向の径
が略均一の場合に比べて、Ｘ線取出方向側に寄ることに
なり、Ｘ線取出方向側すなわちＸ線管装置としてのＸ線
の出力窓側により近付いた点にターゲットへの衝突点、
すなわちＸ線の発生点が設定される。
フード電極のフォーカスグリッド側方向の径が略均一の
場合に比べて、フード電極の電子通過開口のよりも第１
の方向側のフード電極に対向するフォーカスグリッド電
極とフード電極との間の空間の電位分布における等電位
面はフォーカスグリッド電極の方向へ移動する。この結
果、電子銃から出力された電子のターゲットに至る軌道
は、従来のフード電極のフォーカスグリッド側方向の径
が略均一の場合に比べて、Ｘ線取出方向側に寄ることに
なり、Ｘ線取出方向側すなわちＸ線管装置としてのＸ線
の出力窓側により近付いた点にターゲットへの衝突点、
すなわちＸ線の発生点が設定される。
【００１６】更に、フード電極と対向するフォーカスグ
リッド電極の電子通過口のＸ線取出方向側の端からＸ線
取出方向側の領域の表面から、フード電極の中心軸を含
み第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの距離が、
フード電極と対向するフォーカスグリッド電極の第１の
電子通過口のＸ線取出方向の反対方向側の端からＸ線取
出方向の反対方向側の領域の表面から、フード電極の中
心軸を含み第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの
距離よりも大きく設定され、上記の等電位面は、更にフ
ォーカスグリッド電極の方向へ移動する。この結果、電
子銃から出力された電子のターゲットに至る軌道は、従
来のフード電極のフォーカスグリッド側方向の径が略均
一の場合に比べて、更にＸ線取出方向側に寄ることにな
り、Ｘ線取出方向側すなわちＸ線管装置としてのＸ線の
出力窓側により更に近付いた点にターゲットへの衝突
点、すなわちＸ線の発生点が設定される。
リッド電極の電子通過口のＸ線取出方向側の端からＸ線
取出方向側の領域の表面から、フード電極の中心軸を含
み第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの距離が、
フード電極と対向するフォーカスグリッド電極の第１の
電子通過口のＸ線取出方向の反対方向側の端からＸ線取
出方向の反対方向側の領域の表面から、フード電極の中
心軸を含み第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの
距離よりも大きく設定され、上記の等電位面は、更にフ
ォーカスグリッド電極の方向へ移動する。この結果、電
子銃から出力された電子のターゲットに至る軌道は、従
来のフード電極のフォーカスグリッド側方向の径が略均
一の場合に比べて、更にＸ線取出方向側に寄ることにな
り、Ｘ線取出方向側すなわちＸ線管装置としてのＸ線の
出力窓側により更に近付いた点にターゲットへの衝突
点、すなわちＸ線の発生点が設定される。
【００１７】また、フォーカスグリッド電極の第１の電
子通過口の形状が、Ｘ線取出方向に長軸もしくは短軸を
持つ長方形または長径もしくは短径を持つ楕円に設定さ
れ、第一の電子通過口で形成される等電位線の形状が調
整されることにより、電子のフォーカスにおける非点収
差が低減してターゲットに衝突する。
子通過口の形状が、Ｘ線取出方向に長軸もしくは短軸を
持つ長方形または長径もしくは短径を持つ楕円に設定さ
れ、第一の電子通過口で形成される等電位線の形状が調
整されることにより、電子のフォーカスにおける非点収
差が低減してターゲットに衝突する。
【００１８】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同
一の符号を付し、重複する説明を省略する。
説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同
一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１９】（第１実施例）図１は、本発明のＸ線管装
置の第１実施例の構成図である。図１に示すように、こ
の装置は、（ａ）電子を発生・出射する電子銃部１１０
と、（ｂ）電子銃部１１０から出射された電子を入力
し、この電子がターゲットに衝突することによりＸ線を
発生するＸ線発生部２１０と、を備える。
置の第１実施例の構成図である。図１に示すように、こ
の装置は、（ａ）電子を発生・出射する電子銃部１１０
と、（ｂ）電子銃部１１０から出射された電子を入力
し、この電子がターゲットに衝突することによりＸ線を
発生するＸ線発生部２１０と、を備える。
【００２０】ここで、電子銃部１１０は、外部からの
電力供給により発熱するヒータ１１１と、ヒータ１１
１によって熱せられて電子を放出するカソード１１２
と、カソード１１２から放出された電子を集束させる
フォーカスグリッド電極１１３と、ヒータ１１１、カ
ソード１１２、およびフォーカスグリッド電極１１３を
収納するとともに電子通過口を有する容器１１４と、を
備える。なお、容器１１４の電子通過口付近は、フォー
カス電極の機能も果たす。
電力供給により発熱するヒータ１１１と、ヒータ１１
１によって熱せられて電子を放出するカソード１１２
と、カソード１１２から放出された電子を集束させる
フォーカスグリッド電極１１３と、ヒータ１１１、カ
ソード１１２、およびフォーカスグリッド電極１１３を
収納するとともに電子通過口を有する容器１１４と、を
備える。なお、容器１１４の電子通過口付近は、フォー
カス電極の機能も果たす。
【００２１】また、Ｘ線発生部２１０は、電子銃部１
１０から出射された電子が衝突してＸ線を発生するター
ゲット２１１と、ターゲット２１１を包む平坦な管状
に、かつ、中心軸が電子銃部１１０の中心軸と略直交す
る様に形成されるとともに、電子銃部１１０から出射さ
れた電子がターゲット２１１に至る経路に開口を有する
フード電極２１２と、ターゲット２１１およびフード
電極２１２を収納する内部空間を有し、ターゲット２１
１で発生したＸ線を取り出す開口を有するとともに、容
器１１４の電子通過口を介して容器１１４の内部空間と
内部空間が連結する容器２１３と、容器２１３のＸ線
通過口に配設されたＸ線透過材であるＢｅ材から成るＸ
線取り出し窓２１４と、を備える。なお、フード電極２
１２及びターゲット２１１には、電子銃部１１０の出射
口の電位に対して、正の高電圧が印加される。
１０から出射された電子が衝突してＸ線を発生するター
ゲット２１１と、ターゲット２１１を包む平坦な管状
に、かつ、中心軸が電子銃部１１０の中心軸と略直交す
る様に形成されるとともに、電子銃部１１０から出射さ
れた電子がターゲット２１１に至る経路に開口を有する
フード電極２１２と、ターゲット２１１およびフード
電極２１２を収納する内部空間を有し、ターゲット２１
１で発生したＸ線を取り出す開口を有するとともに、容
器１１４の電子通過口を介して容器１１４の内部空間と
内部空間が連結する容器２１３と、容器２１３のＸ線
通過口に配設されたＸ線透過材であるＢｅ材から成るＸ
線取り出し窓２１４と、を備える。なお、フード電極２
１２及びターゲット２１１には、電子銃部１１０の出射
口の電位に対して、正の高電圧が印加される。
【００２２】本実施例のＸ線管装置では、電子銃部１１
０から出射された電子は、フォーカスグリッド電極１１
３とフード電極２１２との間の電界によって高速度に加
速され、電子の各時刻の各位置における等電位面の垂直
方向（すなわち、電界方向）に進行し、フード電極の電
子通過用の開口を通過した後にターゲット２１１に衝突
する。
０から出射された電子は、フォーカスグリッド電極１１
３とフード電極２１２との間の電界によって高速度に加
速され、電子の各時刻の各位置における等電位面の垂直
方向（すなわち、電界方向）に進行し、フード電極の電
子通過用の開口を通過した後にターゲット２１１に衝突
する。
【００２３】図２は、本実施例の装置におけるフォーカ
スグリッド電極１１３とフード電極２１２との間の等電
位面と電子軌道の説明図である。図２（ａ）は本実施例
の装置におけるフォーカスグリッド電極１１３とフード
電極２１２との間の等電位面と電子軌道を示し、図２
（ｂ）は従来の平行管上にフード電極２１９を形成した
場合のフォーカスグリッド電極とフード電極との間の等
電位面と電子軌道を示す。図２（ａ）と図２（ｂ）とを
比較して明らかなように、本実施例の装置では従来構造
のフード電極を備えた装置に比べて、フォーカスグリッ
ド電極とフード電極の間のフード電極の電子通過用の開
口付近からＸ線出射方向の領域では、等電位面がフォー
カスグリッド電極に近付く。したがって、本実施例の装
置において電子銃部１１０から出射された電子は、従来
構造のフード電極２１９を備えた装置の場合に比べて、
ターゲット２１１に向かう軌道がＸ線出射方向に寄り、
電子がターゲット２１１に衝突する点がＸ線通過窓２１
４に近付く。
スグリッド電極１１３とフード電極２１２との間の等電
位面と電子軌道の説明図である。図２（ａ）は本実施例
の装置におけるフォーカスグリッド電極１１３とフード
電極２１２との間の等電位面と電子軌道を示し、図２
（ｂ）は従来の平行管上にフード電極２１９を形成した
場合のフォーカスグリッド電極とフード電極との間の等
電位面と電子軌道を示す。図２（ａ）と図２（ｂ）とを
比較して明らかなように、本実施例の装置では従来構造
のフード電極を備えた装置に比べて、フォーカスグリッ
ド電極とフード電極の間のフード電極の電子通過用の開
口付近からＸ線出射方向の領域では、等電位面がフォー
カスグリッド電極に近付く。したがって、本実施例の装
置において電子銃部１１０から出射された電子は、従来
構造のフード電極２１９を備えた装置の場合に比べて、
ターゲット２１１に向かう軌道がＸ線出射方向に寄り、
電子がターゲット２１１に衝突する点がＸ線通過窓２１
４に近付く。
【００２４】電子がターゲット２１１に衝突するとＸ線
が発生し、フード電極２１２のＸ線通過用開口およびＸ
線通過窓２１４を順次介して、Ｘ線管装置からＸ線が出
力される。
が発生し、フード電極２１２のＸ線通過用開口およびＸ
線通過窓２１４を順次介して、Ｘ線管装置からＸ線が出
力される。
【００２５】本実施例の装置は図１に（詳細には図２
（ａ）に）示すフード電極２１２の形状を採用したが、
フード電極の形状は変形が可能である。図３は、採用可
能なフード電極の形状の説明図である。図３（ａ）はフ
ード電極のＸ線通過窓２１４側の先端部をテーパ状に形
成した例、図３（ｂ）はフード電極のＸ線通過窓２１４
側の先端部の突起を高くするとともに幅を狭めた例、図
３（ｃ）はフード電極のＸ線通過窓２１４側の先端部で
はなく、先端部と電子通過用のフード電極の開口との間
に突起を設けた例、図３（ｄ）はフード電極の電子通過
口側のみに特記を設けた例を示す。図３（ａ）〜（ｄ）
の形状にフード電極を形成しても上記の実施例の装置と
同様に、フォーカスグリッド電極とフード電極の間のフ
ード電極の電子通過用の開口付近からＸ線出射方向の領
域では、等電位面がフォーカスグリッド電極に近付き、
電子がターゲット２１１に衝突する点がＸ線通過窓２１
４に近付く。
（ａ）に）示すフード電極２１２の形状を採用したが、
フード電極の形状は変形が可能である。図３は、採用可
能なフード電極の形状の説明図である。図３（ａ）はフ
ード電極のＸ線通過窓２１４側の先端部をテーパ状に形
成した例、図３（ｂ）はフード電極のＸ線通過窓２１４
側の先端部の突起を高くするとともに幅を狭めた例、図
３（ｃ）はフード電極のＸ線通過窓２１４側の先端部で
はなく、先端部と電子通過用のフード電極の開口との間
に突起を設けた例、図３（ｄ）はフード電極の電子通過
口側のみに特記を設けた例を示す。図３（ａ）〜（ｄ）
の形状にフード電極を形成しても上記の実施例の装置と
同様に、フォーカスグリッド電極とフード電極の間のフ
ード電極の電子通過用の開口付近からＸ線出射方向の領
域では、等電位面がフォーカスグリッド電極に近付き、
電子がターゲット２１１に衝突する点がＸ線通過窓２１
４に近付く。
【００２６】また、図４に示すように、フード電極の突
起が高いほどあるいは幅が広いほど電子の軌道はＸ線出
射方向に寄り、電子がターゲット２１１に衝突する点が
Ｘ線通過窓２１４に近付く。
起が高いほどあるいは幅が広いほど電子の軌道はＸ線出
射方向に寄り、電子がターゲット２１１に衝突する点が
Ｘ線通過窓２１４に近付く。
【００２７】（第２実施例）図５は、本発明のＸ線管装
置の第２実施例の構成図である。図５に示すように、こ
の装置は、（ａ）電子を発生・出射する電子銃部１１０
と、（ｂ）電子銃部１１０から出射された電子を入力
し、この電子がターゲットに衝突することによりＸ線を
発生するＸ線発生部２２０と、を備える。
置の第２実施例の構成図である。図５に示すように、こ
の装置は、（ａ）電子を発生・出射する電子銃部１１０
と、（ｂ）電子銃部１１０から出射された電子を入力
し、この電子がターゲットに衝突することによりＸ線を
発生するＸ線発生部２２０と、を備える。
【００２８】この装置は、第１実施例の装置と比較し
て、Ｘ線発生部２２０のターゲット２１１およびフード
電極２１２を収納する内部空間を有する容器２２３の容
器１１４との連結部の形状が、容器２１３と異なる点の
みが相違点である。容器２２３の電子通過口付近の内面
は、フード電極２１２の外面に対してＸ線通過窓側ほど
フード電極との距離が大きくなる傾斜が設定される。そ
して、容器２２３の少なくとも電子通過口付近は導電性
部材からなり、やはり導電性部材からなる容器１１４の
電子通過口付近と一体となって、フード電極２１２に対
向するフォーカスグリッド電極１２３を形成する。
て、Ｘ線発生部２２０のターゲット２１１およびフード
電極２１２を収納する内部空間を有する容器２２３の容
器１１４との連結部の形状が、容器２１３と異なる点の
みが相違点である。容器２２３の電子通過口付近の内面
は、フード電極２１２の外面に対してＸ線通過窓側ほど
フード電極との距離が大きくなる傾斜が設定される。そ
して、容器２２３の少なくとも電子通過口付近は導電性
部材からなり、やはり導電性部材からなる容器１１４の
電子通過口付近と一体となって、フード電極２１２に対
向するフォーカスグリッド電極１２３を形成する。
【００２９】図６は、本実施例の装置におけるフォーカ
スグリッド電極１２３とフード電極２１２との間の等電
位面と電子軌道の説明図である。図６に示すように、こ
の装置では、第１実施例の装置よりも更にフォーカスグ
リッド電極１２３とフード電極２１２の間のフード電極
の電子通過用の開口付近からＸ線出射方向の領域では、
等電位面がフォーカスグリッド電極側となる。したがっ
て、本実施例の装置において電子銃部１１０から出射さ
れた電子は、第１実施例の装置の場合に比べて、ターゲ
ット２１１に向かう軌道がＸ線出射方向に寄り、電子が
ターゲット２１１に衝突する点がＸ線通過窓２１４に近
付く。
スグリッド電極１２３とフード電極２１２との間の等電
位面と電子軌道の説明図である。図６に示すように、こ
の装置では、第１実施例の装置よりも更にフォーカスグ
リッド電極１２３とフード電極２１２の間のフード電極
の電子通過用の開口付近からＸ線出射方向の領域では、
等電位面がフォーカスグリッド電極側となる。したがっ
て、本実施例の装置において電子銃部１１０から出射さ
れた電子は、第１実施例の装置の場合に比べて、ターゲ
ット２１１に向かう軌道がＸ線出射方向に寄り、電子が
ターゲット２１１に衝突する点がＸ線通過窓２１４に近
付く。
【００３０】本実施例においても、第１実施例と同様に
フード電極を図３（ａ）〜（ｄ）に示す形状とすること
が可能である。
フード電極を図３（ａ）〜（ｄ）に示す形状とすること
が可能である。
【００３１】（第３実施例） 図７は、本発明のＸ線管装置の第３実施例の構成図であ
る。図７に示すように、この装置は、（ａ）電子を発生
・出射する電子銃部１３０と、（ｂ）電子銃部１３０か
ら出射された電子を入力し、この電子がターゲットに衝
突することによりＸ線を発生するＸ線発生部２１０と、
を備える。この装置は、第１実施例の装置と比較して、
電子銃部１３０のフード電極２１２に対向するフォーカ
スグリッド電極１３３の電子通過口が楕円状に形成され
ている点のみが異なる。
る。図７に示すように、この装置は、（ａ）電子を発生
・出射する電子銃部１３０と、（ｂ）電子銃部１３０か
ら出射された電子を入力し、この電子がターゲットに衝
突することによりＸ線を発生するＸ線発生部２１０と、
を備える。この装置は、第１実施例の装置と比較して、
電子銃部１３０のフード電極２１２に対向するフォーカ
スグリッド電極１３３の電子通過口が楕円状に形成され
ている点のみが異なる。
【００３２】上記の第１および第２実施例のように装置
を構成すれば、Ｘ線発生位置をＸ線通過窓に近付けるこ
とができるが、フード電極に対向するフォーカスグリッ
ド電極の電子通過口付近とフード電極の電子通過用の開
口付近との間の等電位面の傾斜量が方向によって異な
り、電子ビームの集束位置が方向によって異なる事態
（非点収差）が発生し易くなる（図８（ａ）、（ｂ）参
照）。この結果、得られるＸ線の焦点形状は楕円状とな
り（図８（ｃ）参照）、Ｘ線検査装置の解像度が方向に
よって異なってしまう。これは、主に、電子ビームの進
行方向に垂直な各方向に対する部品などの配置が等方的
でないことに起因する。
を構成すれば、Ｘ線発生位置をＸ線通過窓に近付けるこ
とができるが、フード電極に対向するフォーカスグリッ
ド電極の電子通過口付近とフード電極の電子通過用の開
口付近との間の等電位面の傾斜量が方向によって異な
り、電子ビームの集束位置が方向によって異なる事態
（非点収差）が発生し易くなる（図８（ａ）、（ｂ）参
照）。この結果、得られるＸ線の焦点形状は楕円状とな
り（図８（ｃ）参照）、Ｘ線検査装置の解像度が方向に
よって異なってしまう。これは、主に、電子ビームの進
行方向に垂直な各方向に対する部品などの配置が等方的
でないことに起因する。
【００３３】本実施例の装置は、電子銃部１３０のフー
ド電極２１２に対向するフォーカスグリッド電極１３３
の電子通過口を楕円状に形成し、フード電極に対向する
フォーカスグリッド電極の電子通過口付近の等電位面の
形状を調整し、非点収差の発生を抑制する。
ド電極２１２に対向するフォーカスグリッド電極１３３
の電子通過口を楕円状に形成し、フード電極に対向する
フォーカスグリッド電極の電子通過口付近の等電位面の
形状を調整し、非点収差の発生を抑制する。
【００３４】図９は、本実施例の装置の動作説明図であ
る。電子銃部１３０から出射された電子は、フード電極
２１２とフード電極２１２に対向するフォーカスグリッ
ド電極１３３との間の空間をターゲット２１１に向かっ
て進行する。フォーカスグリッド電極１３３の電子通過
口付近には、図９（ａ）および図９（ｂ）に示すような
調整された形状の等電位面が形成され、等電位面に垂直
方向へ進行する。そして、図９（ａ）および図９（ｂ）
に示すように、各方向とも焦点位置が略一致するので、
非点収差が低減する。この結果、得られるＸ線焦点の形
状は、図９（ｃ）のように円形となり、方向による解像
度の違いが低減されたＸ線透視画像を得る。
る。電子銃部１３０から出射された電子は、フード電極
２１２とフード電極２１２に対向するフォーカスグリッ
ド電極１３３との間の空間をターゲット２１１に向かっ
て進行する。フォーカスグリッド電極１３３の電子通過
口付近には、図９（ａ）および図９（ｂ）に示すような
調整された形状の等電位面が形成され、等電位面に垂直
方向へ進行する。そして、図９（ａ）および図９（ｂ）
に示すように、各方向とも焦点位置が略一致するので、
非点収差が低減する。この結果、得られるＸ線焦点の形
状は、図９（ｃ）のように円形となり、方向による解像
度の違いが低減されたＸ線透視画像を得る。
【００３５】本実施例においても、第１実施例に対する
図３の変形および第２実施例への変形と同様の変形が可
能である。また、本実施例ではフォーカスグリッド電極
１３３の電子通過口を楕円状に形成したが、長方形状に
形成しても同様に機能する。なお、長径の方向は装置の
部品配置などにより決定される。
図３の変形および第２実施例への変形と同様の変形が可
能である。また、本実施例ではフォーカスグリッド電極
１３３の電子通過口を楕円状に形成したが、長方形状に
形成しても同様に機能する。なお、長径の方向は装置の
部品配置などにより決定される。
【００３６】
【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明のＸ
線管装置によれば、電子銃を収納する第１の筒状部材の
中心軸とターゲットを収納する第２の筒状部材の中心軸
とが略直交するＸ線管装置において、フード電極が、タ
ーゲットで発生したＸ線の取り出す第１の方向側の電子
通過開口の端から第１の方向側の端までの領域中には、
第１の方向とは反対方向である第２の方向側の電子通過
開口の端から第２の方向側の領域におけるフォーカスグ
リッド側方向の径よりも大きなフォーカスグリッド側方
向の径を有する部分が形成されるので、フード電極の電
子通過開口よりも第１の方向側のフード電極に対向する
フォーカスグリッド電極とフード電極との間の空間の等
電位面はフォーカスグリッド電極の方向へ移動する。し
たがって、電子銃から出力された電子のターゲットに至
る軌道は、フード電極のフォーカスグリッド側方向の径
が略均一の場合に比べて第１の方向側に寄り、Ｘ線管装
置としてのＸ線の出力窓側により近付いた点にＸ線の発
生点が設定される。この結果、本発明のＸ線管装置を利
用したＸ線検査装置において、同一の大きさならばより
大きな拡大率を達成することが可能となり、また同一の
拡大率を達成するのであればＸ線検査装置の大きさを低
減することが可能となる。
線管装置によれば、電子銃を収納する第１の筒状部材の
中心軸とターゲットを収納する第２の筒状部材の中心軸
とが略直交するＸ線管装置において、フード電極が、タ
ーゲットで発生したＸ線の取り出す第１の方向側の電子
通過開口の端から第１の方向側の端までの領域中には、
第１の方向とは反対方向である第２の方向側の電子通過
開口の端から第２の方向側の領域におけるフォーカスグ
リッド側方向の径よりも大きなフォーカスグリッド側方
向の径を有する部分が形成されるので、フード電極の電
子通過開口よりも第１の方向側のフード電極に対向する
フォーカスグリッド電極とフード電極との間の空間の等
電位面はフォーカスグリッド電極の方向へ移動する。し
たがって、電子銃から出力された電子のターゲットに至
る軌道は、フード電極のフォーカスグリッド側方向の径
が略均一の場合に比べて第１の方向側に寄り、Ｘ線管装
置としてのＸ線の出力窓側により近付いた点にＸ線の発
生点が設定される。この結果、本発明のＸ線管装置を利
用したＸ線検査装置において、同一の大きさならばより
大きな拡大率を達成することが可能となり、また同一の
拡大率を達成するのであればＸ線検査装置の大きさを低
減することが可能となる。
【００３７】更に、フード電極と対向するフォーカスグ
リッド電極の電子通過口の第１の方向側の端から第１の
方向側の領域の表面から、フード電極の中心軸を含み第
１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの距離が、フー
ド電極と対向する記フォーカスグリッド電極の電子通過
口の第２の方向側の端から第２の方向側の領域の表面か
ら、フード電極の中心軸を含み第１の筒状部材の中心軸
に垂直な平面までの距離よりも大きく設定されると、等
電位面は更にフォーカスグリッド電極の方向へ移動し、
電子銃から出力された電子のターゲットに至る軌道は、
更に第１の方向側に寄ることになり、第１の方向側すな
わちＸ線管装置としてのＸ線の出力窓側により更に近付
いた点にターゲットへの衝突点、すなわちＸ線の発生点
が設定される。この結果、このＸ線管装置を利用したＸ
線検査装置において、同一の大きさならば更に大きな拡
大率を達成することが可能となり、また同一の拡大率を
達成するのであればＸ線検査装置の大きさを更に低減す
ることが可能となる。
リッド電極の電子通過口の第１の方向側の端から第１の
方向側の領域の表面から、フード電極の中心軸を含み第
１の筒状部材の中心軸に垂直な平面までの距離が、フー
ド電極と対向する記フォーカスグリッド電極の電子通過
口の第２の方向側の端から第２の方向側の領域の表面か
ら、フード電極の中心軸を含み第１の筒状部材の中心軸
に垂直な平面までの距離よりも大きく設定されると、等
電位面は更にフォーカスグリッド電極の方向へ移動し、
電子銃から出力された電子のターゲットに至る軌道は、
更に第１の方向側に寄ることになり、第１の方向側すな
わちＸ線管装置としてのＸ線の出力窓側により更に近付
いた点にターゲットへの衝突点、すなわちＸ線の発生点
が設定される。この結果、このＸ線管装置を利用したＸ
線検査装置において、同一の大きさならば更に大きな拡
大率を達成することが可能となり、また同一の拡大率を
達成するのであればＸ線検査装置の大きさを更に低減す
ることが可能となる。
【００３８】また、フォーカスグリッド電極の電子通過
口の形状が、長軸および短軸を持つ長方形または長径お
よび短径を持つ楕円に設定され、電子通過口で形成され
る等電位線の形状を調整したので、電子のフォーカスに
おける非点収差が低減されてターゲットに衝突し、等方
的にＸ線が発生する。この結果、このＸ線管装置を利用
したＸ線検査装置において、方向に関して略均一な解像
度で試料の観察が可能となる。
口の形状が、長軸および短軸を持つ長方形または長径お
よび短径を持つ楕円に設定され、電子通過口で形成され
る等電位線の形状を調整したので、電子のフォーカスに
おける非点収差が低減されてターゲットに衝突し、等方
的にＸ線が発生する。この結果、このＸ線管装置を利用
したＸ線検査装置において、方向に関して略均一な解像
度で試料の観察が可能となる。
【図１】本発明の第１実施例のＸ線管装置の構成図であ
る。
る。
【図２】第１実施例のＸ線管装置の動作説明図である。
【図３】第１実施例のＸ線管装置の変形例の説明図であ
る。
る。
【図４】第１実施例のＸ線管装置における突起部の形状
による動作の相違の説明図である。
による動作の相違の説明図である。
【図５】本発明の第２実施例のＸ線管装置の構成図であ
る。
る。
【図６】第２実施例のＸ線管装置の動作説明図である。
【図７】本発明の第３実施例のＸ線管装置の構成図であ
る。
る。
【図８】比較例の動作説明図である。
【図９】第３実施例のＸ線管装置の動作説明図である。
【図１０】従来のＸ線管装置の構成図である。
【図１１】Ｘ線検査装置の説明図である。
１１０，１３０…電子銃部、１１１…ヒータ、１１２…
カソード、１１３…フォーカスグリッド電極、１４０…
容器、２１０，２２０…Ｘ線発生部、２１１…ターゲッ
ト、２１２…フード電極、２１３，２２３…容器、２１
４…Ｘ線通過窓。
カソード、１１３…フォーカスグリッド電極、１４０…
容器、２１０，２２０…Ｘ線発生部、２１１…ターゲッ
ト、２１２…フード電極、２１３，２２３…容器、２１
４…Ｘ線通過窓。
Claims (3)
- 【請求項１】 電子銃を収納する第１の筒状部材の中心
軸とターゲットを収納する第２の筒状部材の中心軸とが
略直交するＸ線管装置において、 電子を放出するカソードと、前記カソードから放出され
た電子を集束するとともに、第１の電子通過口を有する
少なくとも１つ以上のフォーカスグリッド電極と、を備
える電子銃と、 前記電子銃から出力された電子が衝突してＸ線を発生す
るターゲットと、 前記電子銃から出力された電子が前記ターゲットに至る
経路領域に第２の電子通過口を有し、前記ターゲットを
収納する中心軸が前記第２の筒状部材の中心軸と略平行
であり、かつ略管状に形成されたフード電極であって、
前記ターゲットで発生したＸ線取出方向側の前記第２の
電子通過口の端から前記Ｘ線取出方向側の端までの領域
中には、前記Ｘ線取出方向の反対方向側の前記第２の電
子通過口の端から前記Ｘ線取出方向の反対方向側の領域
における前記フォーカスグリッド側方向の径よりも大き
な前記フォーカスグリッド側方向の径を有する部分が形
成されたフード電極と、 を備えることを特徴とするＸ線管装置。 - 【請求項２】 前記フード電極と対向するフォーカスグ
リッド電極の前記第１の電子通過口の前記Ｘ線取出方向
側の端から前記Ｘ線取出方向側の領域の表面から、前記
フード電極の中心軸を含む前記第１の筒状部材の中心軸
に垂直な平面までの距離は、前記フード電極と対向する
前記フォーカスグリッド電極の前記第１の電子通過口の
前記Ｘ線取出方向の反対方向側の端から前記Ｘ線取出方
向の反対方向側の領域の表面から、前記フード電極の中
心軸を含み前記第１の筒状部材の中心軸に垂直な平面ま
での距離よりも大きく設定される、ことを特徴とする請
求項１記載のＸ線管装置。 - 【請求項３】 前記第１の電子通過口の形状は、前記Ｘ
線取出方向に長軸若しくは短軸を持つ長方形または長径
若しくは短径を持つ楕円である、ことを特徴とする請求
項１記載のＸ線管装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6088299A JP2713860B2 (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | Ｘ線管装置 |
| US08/429,130 US5563923A (en) | 1994-04-26 | 1995-04-26 | X-ray tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6088299A JP2713860B2 (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | Ｘ線管装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07296751A JPH07296751A (ja) | 1995-11-10 |
| JP2713860B2 true JP2713860B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=13939055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6088299A Expired - Lifetime JP2713860B2 (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | Ｘ線管装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5563923A (ja) |
| JP (1) | JP2713860B2 (ja) |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6576917B1 (en) | 1997-03-11 | 2003-06-10 | University Of Central Florida | Adjustable bore capillary discharge |
| US6232613B1 (en) | 1997-03-11 | 2001-05-15 | University Of Central Florida | Debris blocker/collector and emission enhancer for discharge sources |
| JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 2010-11-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置及び検査システム |
| JP4015256B2 (ja) | 1998-02-06 | 2007-11-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| DE69940637D1 (de) * | 1998-07-09 | 2009-05-07 | Hamamatsu Photonics Kk | Röntgenröhre |
| JP4334639B2 (ja) | 1998-07-30 | 2009-09-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| US6215852B1 (en) | 1998-12-10 | 2001-04-10 | General Electric Company | Thermal energy storage and transfer assembly |
| JP4261691B2 (ja) * | 1999-07-13 | 2009-04-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| DE10025807A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-11-29 | Philips Corp Intellectual Pty | Röntgenröhre mit Flachkathode |
| US6998785B1 (en) | 2001-07-13 | 2006-02-14 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Liquid-jet/liquid droplet initiated plasma discharge for generating useful plasma radiation |
| JP4068332B2 (ja) | 2001-10-19 | 2008-03-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管、及び、ｘ線管の製造方法 |
| US7466799B2 (en) * | 2003-04-09 | 2008-12-16 | Varian Medical Systems, Inc. | X-ray tube having an internal radiation shield |
| US7085353B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-08-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube |
| JP4370576B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2009-11-25 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置 |
| JP4786285B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-10-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| EP1950788B1 (en) * | 2005-10-07 | 2014-12-10 | Hamamatsu Photonics Kabushiki Kaisha | X-ray tube and x-ray source including same |
| JP4767646B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-09-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| JP4767647B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-09-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| JP4954526B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2012-06-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| JP4954525B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2012-06-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| KR101289502B1 (ko) * | 2005-10-07 | 2013-07-24 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | Ｘ선관 및 비파괴 검사 장치 |
| US20080095317A1 (en) * | 2006-10-17 | 2008-04-24 | General Electric Company | Method and apparatus for focusing and deflecting the electron beam of an x-ray device |
| GB2444310B (en) * | 2006-11-28 | 2011-03-30 | Brixs Ltd | Apparatus for surface sterilisation |
| DE102009037688B4 (de) * | 2009-08-17 | 2011-06-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung eines Elektronenstrahls für die Erzeugung von Röntgenstrahlung sowie Röntgenröhre |
| KR101151859B1 (ko) * | 2010-03-26 | 2012-05-31 | 주식회사엑스엘 | 비확산 게터가 장착된 엑스선관 |
| US9324536B2 (en) * | 2011-09-30 | 2016-04-26 | Varian Medical Systems, Inc. | Dual-energy X-ray tubes |
| JP5850059B2 (ja) * | 2011-10-04 | 2016-02-03 | 株式会社ニコン | Ｘ線を用いた形状測定装置、形状計測方法、及び構造物の製造方法 |
| JP2013239317A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Canon Inc | 放射線発生ターゲット、放射線発生装置および放射線撮影システム |
| US20130322602A1 (en) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | General Electric Company | Internal shielding x-ray tube |
| DE102012216977B4 (de) * | 2012-09-21 | 2016-01-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenstrahlung |
| JP5763032B2 (ja) * | 2012-10-02 | 2015-08-12 | 双葉電子工業株式会社 | Ｘ線管 |
| US10556129B2 (en) * | 2015-10-02 | 2020-02-11 | Varian Medical Systems, Inc. | Systems and methods for treating a skin condition using radiation |
| DE102016222365B3 (de) * | 2016-11-15 | 2018-04-05 | Siemens Healthcare Gmbh | Verfahren, Computerprogrammprodukt, computerlesbares Medium und Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgenpulsen bei einer Röntgenbildgebung |
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Family Cites Families (5)
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|---|---|---|---|---|
| US4400824A (en) * | 1980-02-12 | 1983-08-23 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | X-Ray tube with single crystalline copper target member |
| IL71676A0 (en) * | 1984-04-27 | 1984-12-31 | Israel State | X-ray tube |
| JPS61206140A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Toshiba Corp | Ｘ線管装置 |
| JPH0641198B2 (ja) * | 1985-08-23 | 1994-06-01 | 大日本印刷株式会社 | 浮出しパタ−ンを有するシ−トの製造方法 |
| US5077771A (en) * | 1989-03-01 | 1991-12-31 | Kevex X-Ray Inc. | Hand held high power pulsed precision x-ray source |
-
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- 1994-04-26 JP JP6088299A patent/JP2713860B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
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