JP4568686B2 - 移動装置 - Google Patents
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Description
この発明による移動装置の実施形態1を、図1、図2を参照して説明する。
サーボモータ26がロックして動かないものと仮定すると、送り駆動系のたわみ=移動体13のずれ量Δχは、下式(2)により表される。
実際には、サーボモータ26は完全にはロックされておらず、機械系および電気系の要因によって決まるサーボ剛性と応答周波数を持っているので、外力が応答周波数より速い速度で移動体13に作用すると、サーボモータ26は逆転させられてしまうので、移動体13は、上述のずれ量Δχより、さらに大きい量、動かされてしまうことになる。
この発明による移動装置の実施形態2を、図3を参照して説明する。
この発明による移動装置の実施形態3を、図4を参照して説明する。なお、図4において、図1に対応する部分は、図1に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
この発明による移動装置の実施形態4を、図5を参照して説明する。
12、12R、12L 直線移動案内部
13、13R、13L 移動体
14、14R、14L リニアスケール
20、20R、20L 駆動装置
21、21R、21L 送りナット
22、22R、22L 送りねじ
23、24 軸受
25、25R、25L 駆動箱
26、26R、26L サーボモータ
27、28 歯車
29、30 歯車軸
31、32、33 軸受
34、34R、34L ロータリエンコーダ
35、35R、35L ロータリエンコーダ
50、500 制御装置
51 サーボ制御部
52 上位制御部
53、54、55 変換係数器
56 位置指令部
57、58 偏差カウンタ
59 ずれ監視部
60 相互偏差カウンタ
61 ゲート付きバッファ
62 ローパスフィルタ
63 定数・開閉指令部
64 周波数変更指令部
65 機能停止指令部
66 速度・加減速時定数設定器
67 定数・カーブ指令部
68 偏差カウンタ
69 特殊サーボ制御部
70 ゲイン設定器
71 速度制御器
72 サーボアンプ
73 トルク可変制御指令部
74 定トルク制御指令部
75 微分器
Cm1〜Cm6 比較器
80 駆動装置
81 油圧シリンダ装置
82 シリンダ部
83 ピストンロッド
84 ブラケット
85 後部ロッド
86 リニアスケール
87 電気モータ・ポンプ式油圧サーボバルブ
88 電磁式油圧サーボバルブ
89 油圧供給源ユニット
90 電気サーボモータ
91 油ポンプ
92 ロータリエンコーダ
93 位置検出器
101 固定台
102 回転テーブル
103 回転位置検出器
110 駆動装置
111 駆動箱
112 サーボモータ
113、114 ロータリエンコーダ
Claims (5)
- 固定台と、前記固定台に対して移動可能に設けられた移動体と、前記移動体を駆動する駆動装置と、前記駆動装置を制御する制御装置とを有する移動装置において、
前記移動体の位置を検出する第1の位置検出手段と、
前記第1の位置検出手段の分解能より高い分解能を有し前記駆動装置の位置を検出する第2の位置検出手段とを有し、
前記制御装置は、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置決めが完了した後は、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を無効にし、前記第2の位置検出手段によって検出される位置情報のみに基づいて位置制御を行い、
前記第1の位置検出手段の信号フィードバック回路に、ローパスフィルタと、ゲート付きバッファとが設けられており、位置決め完了後は、前記ローパスフィルタの機能停止、前記ゲート付きバッファのゲート閉、前記ゲート付きバッファのバッファ値の最大化のいずれか一つあるいは複数の組み合わせにより、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を無効にする、
ことを特徴とする移動装置。 - 固定台と、前記固定台に対して移動可能に設けられた移動体と、前記移動体を駆動する駆動装置と、前記駆動装置を制御する制御装置とを有する移動装置において、
前記移動体の位置を検出する第1の位置検出手段と、
前記第1の位置検出手段の分解能より高い分解能を有し前記駆動装置の位置を検出する第2の位置検出手段とを有し、
前記制御装置は、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置決めが完了した後は、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を無効にし、前記第2の位置検出手段によって検出される位置情報のみに基づいて位置制御を行い、
前記制御装置は、前記移動体の停止位置のずれ量を監視するずれ監視部を有し、前記移動体の停止位置のずれ量があらかじめ設定された閾値を超えると、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を有効にし、前記移動体の停止位置のずれ量をゼロあるいは所定値内に戻す復帰制御を行う、
ことを特徴とする移動装置。 - 固定台と、前記固定台に対して移動可能に設けられた移動体と、前記移動体を駆動する駆動装置と、前記駆動装置を制御する制御装置とを有する移動装置において、
前記移動体の位置を検出する第1の位置検出手段と、
前記第1の位置検出手段の分解能より高い分解能を有し前記駆動装置の位置を検出する第2の位置検出手段とを有し、
前記制御装置は、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置決めが完了した後は、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を無効にし、前記第2の位置検出手段によって検出される位置情報のみに基づいて位置制御を行い、
前記第1の位置検出手段の信号フィードバック回路に、ローパスフィルタと、ゲート付きバッファとが設けられており、位置決め完了後は、前記ローパスフィルタの機能停止、前記ゲート付きバッファのゲート閉、前記ゲート付きバッファのバッファ値の最大化のいずれか一つあるいは複数の組み合わせにより、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を無効にする、
前記制御装置は、前記移動体の停止位置のずれ量を監視するずれ監視部を有し、前記移動体の停止位置のずれ量があらかじめ設定された閾値を超えると、前記第1の位置検出手段によって検出される位置情報に基づく位置制御を有効にし、前記移動体の停止位置のずれ量をゼロあるいは所定値内に戻す復帰制御を行う、
ことを特徴とする移動装置。 - 請求項2または請求項3に記載の移動装置において、
前記復帰制御において、前記移動体の停止位置のずれ量をゼロあるいは所定値内に戻す動作を、指定された速度および加減速時定数に従って行う、
ことを特徴とする移動装置。 - 請求項2または請求項3に記載の移動装置において、
前記復帰制御において、前記移動体の停止位置のずれ量をゼロあるいは所定値内に戻す動作を、指定された定トルクあるいは指定された割合で変化する可変トルク方式によって行う、
ことを特徴とする移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006034357A JP4568686B2 (ja) | 2006-02-10 | 2006-02-10 | 移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006034357A JP4568686B2 (ja) | 2006-02-10 | 2006-02-10 | 移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007213443A JP2007213443A (ja) | 2007-08-23 |
JP4568686B2 true JP4568686B2 (ja) | 2010-10-27 |
Family
ID=38491802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006034357A Active JP4568686B2 (ja) | 2006-02-10 | 2006-02-10 | 移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4568686B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014135030A (ja) * | 2013-01-11 | 2014-07-24 | Fanuc Ltd | バックラッシを補正するモータ制御装置 |
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-
2006
- 2006-02-10 JP JP2006034357A patent/JP4568686B2/ja active Active
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---|---|
JP2007213443A (ja) | 2007-08-23 |
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