JP4561207B2 - 回路基板の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
本発明の一実施態様に係る回路基板の製造方法および製造装置における剥離装置1を、図1、図2を用いて説明する。図1は本発明の一実施態様に係る剥離装置1の正面図、図2は側面図である。剥離装置1は下記の主構成を有する。可撓性フィルム2を剥離可能な有機物層3を介して補強板4に貼り合わせた可撓性フィルム基板5と、補強板4を保持する載置台6と、可撓性フィルム2を補強板4から剥離する剥離ユニット7と、剥離ユニット7と載置台6との相対移動を制御する制御装置8とを備えた構成とされている。
載置台6を最下点まで下降させた後に、図示しない移載手段により、可撓性フィルム基板5を補強板4を下側(つまり、可撓性フィルム2を上側)にして、載置台6に載置する。続いて、図示しない真空源を稼働させて、可撓性フィルム基板5を載置台6上に吸着保持する。可撓性フィルム2は剥離開始側の端部が補強板4よりもはみ出して準備されている。あるいは、可撓性フィルム2に一端が接続され補強板4から張り出した剥離補助部材50(図5)が準備されている。剥離ユニット7の保持部10の開始点Sが補強板4上に位置する可撓性フィルム2の図中右端の真上に位置決めされるように、フレーム13の移動と支持体11の回転移動を行わせる。保持部10の位置決めが完了したら、載置台6を上昇させて、可撓性フィルム2の右端と保持部10の開始点Sを所定の圧力で接触させる。圧力は好ましくは0.001〜1MPa、より好ましくは0.01〜0.2MPaである。補強板4からはみ出した可撓性フィルム2もしくは剥離補助部材50(図5)を図示しない把持手段で支持体11側に折り曲げて、可撓性フィルム端部を固定用部品19と支持体11との間で挟み込み固定する。このとき、図3に示した支持体11の湾曲部分と可撓性フィルム2の端部固定のための平坦部との角度31が大きい方が剥離中の可撓性フィルムに作用する張力に抗して可撓性フィルム2を把持する力が大きくなる。すなわち、薄い可撓性フィルム2が固定用部品19下から滑り抜けることを防止することができる。一方、前記の角度が大きすぎると、可撓性フィルム2の弾性により折り曲げ付近の可撓性フィルム2が保持部10から離れ、剥離開始付近での剥離が不安定になるので、前記の角度は、45°以上135°以下であることが好ましく、60°以上120°以下であることがさらに好ましい。
厚さ1.1mmのソーダライムガラスに、スピンコーター、ブレードコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、スクリーン印刷などを用いて、剥離可能な有機物を塗布する。間欠的に送られてくる枚葉基板に均一に塗布するためには、ダイコーターの使用が好ましい。剥離可能な有機物塗布後、加熱乾燥や真空乾燥などにより乾燥し、厚みが2μmの剥離可能な有機物層を得る。塗布した剥離可能な有機物層上に、離型フィルム(ポリエステルフィルム上にシリコーン樹脂層を設けた)からなる空気遮断用フィルムを貼り合わせて1週間室温で放置する。この期間は、熟成と呼ばれ、剥離可能な有機物の架橋が進行して、徐々に粘着力が低下する。放置期間や保管温度は、所望の粘着力が得られるように選択される。空気遮断用フィルムを貼り合わせる代わりに、窒素雰囲気中や真空中で保管することもできる。剥離可能な有機物を長尺フィルム基体に塗布、乾燥後、補強板に転写することも可能である。
可撓性フィルムとして、厚さ25μmの長尺ポリイミドフィルム(”カプトン”100EN 東レデュポン(株)製)を準備した。長尺フィルム対応のリール・ツー・リール方式のスパッタ装置で、ポリイミドフィルム上に厚さ15nmのクロム:ニッケル=5:95(重量比)の合金膜と厚さ150nmの銅膜をこの順に積層した。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。図1に示した剥離装置1を使用し、ガラス基板から回路パターン付きポリイミドフィルムを剥離した。保持部14の曲面の曲率半径は80mmで、JIS−A硬度50°のシリコーンゴムを使用した。載置台6に補強板が下面になるようにして回路パターン付きポリイミドフィルムを置き、100hPaで真空吸着した。剥離ユニット7の保持部10の開始点Sが補強板4上に位置する可撓性フィルム2の図中右端よりやや右寄りに位置決めされるように、フレーム13の移動と支持体11の回転移動を行わせた。保持部10の位置決めが完了してから、載置台6を上昇させて、可撓性フィルム2の右端と保持部10を0.01MPaで押し当てた。次に、剥離補助部材の一端を固定用部品19と支持体11との間で把持した。このときの剥離補助部材の折り曲げ角度は、100°であった。ポリイミドフィルムおよび剥離補助部材に加わる最大張力が160N/mであるように電磁クラッチ17への供給電圧を制御しつつ、支持体11が回転しないようにしたまま、フレーム13を右方向に移動させ可撓性フィルム2を支持体11表面の保持部10に密着させた。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。図1の剥離装置の剥離ユニットに替えて、図5に示した把持手段51を有する剥離ユニットを使用した。保持部10の曲面の曲率半径は80mmで、JIS−A硬度50°のシリコーンゴムを使用した。載置台6に補強板が下面になるようにして回路パターン付きポリイミドフィルムを置き、100hPaで真空吸着した。把持手段51で剥離補助部材の一端を把持した。剥離ユニット7の保持部10の開始点Sが補強板4上に位置する可撓性フィルム2の図中右端より右寄りに位置決めされるように、フレーム13の移動と支持体11の回転移動を行わせた。保持部10の位置決めが完了してから、載置台6を上昇させて、可撓性フィルム2の右端と保持部10を0.01MPaで押し当てた。補強板4の位置を固定したまま、ポリイミドフィルムおよび剥離補助部材に加わる最大張力が160N/mであるように制御しつつ把持手段51を支持体11の開始点Sの接線方向に引っ張り、剥離補助部材50を支持体11表面の保持部10に密着させた。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。図1の剥離装置の剥離ユニットに替えて、図4に示した剥離ユニットを使用した。保持部42の曲面の曲率半径は100mmで、JIS−A硬度50°のシリコーンゴムを使用した。載置台6に補強板が下面になるようにして回路パターン付きポリイミドフィルムを置き、100hPaで真空吸着した。補強板4上に位置する可撓性フィルム2の右端に保持部42が接するように、フレーム13の移動と支持体41の回転移動を行ない、位置決めした後、載置台6を上昇させてた。固定用部品46で剥離補助部材45の一端を把持した。このとき、固定治具の押し付け圧力を制御して剥離補助部材に80N/mの張力が加わった時に剥離補助部材45が固定用部品46と支持体41の間を滑ることができるように把持した。補強板2と支持体41の中心の位置を固定したまま、支持体41を反時計回りに保持部表面が15mm移動するよう回転させることで、剥離補助部材を保持部表面で滑らせ、支持体回転方向と剥離補助部材の長さ方向との平行出しを行った。固定用部品46の押しつけ圧力を高めて剥離補助部材45を完全に把持した後、フレーム13の剥離時の右側移動速度を0.3m/分、保持部の回転周速度を0.31m/分とし、また、ポリイミドフィルムに加わる張力が160N/m以上になるときに保持部の回転周速度がフレームの移動速度に向かって低下するよう制御しつつ、支持体41の左方向への移動と支持体41の左回転により、可撓性フィルム2を補強板4から剥離した。剥離前に剥離補助部材の弛みを取り除くことによって、剥離開始初期から補強板と可撓性フィルムとの剥離角を20°以下に抑制することができ、さらに、支持体回転方向と剥離補助部材の長さ方向とを自己整合的に平行出しすることによって、幅方向に均一な応力で剥離が実施されたことによって、剥離後の回路パターン付きポリイミドフィルムはカールが全く見られず平坦性は極めて良好であった。実施例1と同様にして、剥離後のポリイミドフィルム上のユニットについて、最外端インナーリードの幅方向中心間距離(設計値19.3mm)を測定したところ、全てのユニットにおいて、設計値に対して±1μm(±0.005%)以内にあり、位置精度は非常に良好であった。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。次いで、19.3mm×2.5mmの長方形の2つの長辺上にそれぞれ25μmピッチで772個の金めっきバンプ列を並べたICチップをフリップチップボンダーにて、ポリイミドフィルム上のインナーリードと金属接合した。このときICを吸着保持するツールを400℃に加熱し、ガラスを載せたステージの温度を180℃とし、300mm角の基板上に配列された49ユニット全てに順次IC接合した。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。次いで、実施例7と同様にしてICチップポリイミドフィルム上のインナーリードとを金属接合した。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。
実施例1と同様にして回路パターンを得た。剥離補助部材として厚さ25μmの幅300mm長さ100mmのポリエステルフィルムを準備した。回路パターンが形成されたポリイミドフィルムの一辺に剥離補助部材の一辺を5mm重ね合わせた状態で粘着テープにて両者を固定した。図1に示した剥離装置1を使用し、実施例1と同様にして、ガラス基板から回路パターン付きポリイミドフィルムを剥離した。ただし、剥離補助部材の一端を固定用部品19と支持体11との間で把持した後、支持体11が回転しないようにしたまま、フレーム13を右方向に移動させる操作を行わなかった。
2 可撓性フィルム
3 剥離可能な有機物層
4 補強板
5 可撓性フィルム基板
6 載置台
7 剥離ユニット
8 剥離ユニットと載置台との相対移動を制御する制御装置
10、42 保持部
11、41 支持体
12 軸
13 フレーム
17 電磁クラッチ
18 回転モーター
19、46 固定用部品
21 載置台
43 電子部品収納凹部
44 電子部品
45、50 剥離用補助部材
51 把持手段
100 ラミネート装置
101 載置台
102 可撓性面状体
103 スキージ
104 静電気帯電装置
106 レール
111 ボールねじ
Claims (8)
- 補強板に剥離可能な有機物層を介して貼り合わせられた可撓性フィルムの貼り合わせ面とは反対面に回路パターンを形成した後、少なくとも可撓性フィルムの一部を湾曲した支持体に沿わせて補強板と可撓性フィルムとを剥離する回路基板の製造方法であって、可撓性フィルムの一端に接続し補強板から張り出した剥離補助部材を上記支持体に沿わせた状態で、もしくは、補強板から可撓性フィルムの一部を剥離し、可撓性フィルムの剥離部分を上記支持体に沿わせた状態で、支持体を回転させずに該支持体を回転自在に保持するフレームと補強板とを可撓性フィルムに張力が加わる方向に相対的に移動させるか、もしくは、フレームと補強板との相対位置を変えずに、支持体を可撓性フィルムに張力が加わる方向に回転させることによって、可撓性フィルムを支持体に密着させ、次いで、支持体を回転させつつ、フレームと補強板とを相対的に移動させることで可撓性フィルムを剥離することを特徴とする回路基板の製造方法。
- 補強板に剥離可能な有機物層を介して貼り合わせられた可撓性フィルムの貼り合わせ面とは反対面に回路パターンを形成した後、少なくとも可撓性フィルムの一部を湾曲した支持体に沿わせて補強板と可撓性フィルムとを剥離する回路基板の製造方法であって、可撓性フィルムの一端に接続し補強板から張り出した剥離補助部材を上記支持体に沿わせ、かつ剥離補助部材の一端を上記支持体とは独立した把持手段で把持した状態で、もしくは、補強板から可撓性フィルムの一部を剥離し、剥離した可撓性フィルムを上記支持体に沿わせ、かつ可撓性フィルムの一端を上記支持体とは独立した把持手段で把持した状態で、可撓性フィルムに張力を加える方向に補強板と把持手段を相対的に移動させることによって、可撓性フィルムを支持体に密着させ、次いで、支持体を回転させつつ、該支持体を回転自在に保持するフレームと補強板とを相対的に移動させることで可撓性フィルムを剥離することを特徴とする回路基板の製造方法。
- 可撓性フィルムを支持体に密着させてから、可撓性フィルムもしくは剥離補助部材を支持体に沿わせつつ支持体上で滑らせてから支持体を回転させつつ、フレームと補強板とを相対的に移動させることで可撓性フィルムを剥離することを特徴とする、請求項1または2に記載の回路基板の製造方法。
- 可撓性フィルムを支持体に密着させてから、剥離補助部材もしくは可撓性フィルムの端部を支持体に把持し、次いで支持体を回転させつつ、フレームと補強板とを相対的に移動させることで可撓性フィルムを剥離することを特徴とする、請求項1または2記載の回路基板の製造方法。
- 回路パターンが形成された可撓性フィルムが補強板と剥離可能な有機物層を介して貼り合わせられた可撓性フィルム基板から可撓性フィルムを剥離する回路基板の製造装置であって、補強板を保持する保持手段、可撓性フィルムを剥離する湾曲した支持体、支持体を回転させる手段、支持体と補強板とを相対的に水平移動させる手段、可撓性フィルムもしくは可撓性フィルムに接続した剥離補助部材を支持体に沿わせた状態で、支持体を回転させずに該支持体を回転自在に保持するフレームと補強板とを可撓性フィルムに張力が加わる方向に相対的に移動させるか、もしくは、フレームと補強板との相対位置を変えずに、支持体を可撓性フィルムに張力が加わる方向に回転させることで可撓性フィルムに張力を加え、可撓性フィルムを支持体に密着させる手段とを含むことを特徴とする回路基板の製造装置。
- 回路パターンが形成された可撓性フィルムが補強板と剥離可能な有機物層を介して貼り合わせられた可撓性フィルム基板から可撓性フィルムを剥離する回路基板の製造装置であって、補強板を保持する保持手段、可撓性フィルムを剥離する湾曲した支持体、支持体を回転させる手段、支持体と補強板とを相対的に水平移動させる手段、支持体とは独立した可撓性フィルム端部把持手段もしくは剥離補助部材の一端の把持手段、可撓性フィルムもしくは可撓性フィルムに接続した剥離補助部材を支持体に沿わせた状態で、支持体とは独立した把持手段を可撓性フィルムに張力が加わる方向に保持部に対して相対的に移動させることで可撓性フィルムに張力を加え、可撓性フィルムを支持体に密着させる手段とを含むことを特徴とする回路基板の製造装置。
- 可撓性フィルムを支持体に密着させてから、可撓性フィルムもしくは剥離補助部材を支持体に沿わせつつ支持体上で滑らせる手段を含むことを特徴とする、請求項5または6に記載の回路基板の製造装置。
- 回路パターンが形成された可撓性フィルムが補強板と剥離可能な有機物層を介して貼り合わせられた可撓性フィルム基板から可撓性フィルムを剥離する回路基板の製造装置であって、補強板を保持する保持手段、可撓性フィルムを剥離する湾曲した支持体、支持体を回転させる手段、支持体と補強板とを相対的に水平移動させる手段、可撓性フィルムの一端に接続し補強板から張り出した剥離補助部材の端部もしくは、補強板から一部を剥離した可撓性フィルムの端部を折り曲げて、支持体と固定用部材とで挟み込んで把持する手段、支持体とは独立した把持手段を可撓性フィルムに張力が加わる方向に保持部に対して相対的に移動させることで可撓性フィルムに張力を加え、可撓性フィルムを支持体に密着させる手段を含むことを特徴とする回路基板の製造装置。
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