JP4561164B2 - 駆動装置および駆動方法 - Google Patents

Description

本発明は、駆動装置に関し、さらに詳しくは、圧電素子（ピエゾ素子）等の電気機械変換素子を利用した駆動装置および駆動方法に関する。本発明の駆動装置は、例えば、カメラにおけるレンズ駆動機構や、精密ステージの駆動機構として適している。

電圧の印加によって長さが変化する（伸縮する）圧電素子等の電気機械変換素子を利用した駆動装置として、例えば、図１（ａ）の分解斜視図および図１（ｂ）の組立斜視図に示したものが知られている（特許文献１）。

この駆動装置は、台座（固定台）１に対して移動体１０を相対的に移動させることができ、例えば、カメラのレンズ駆動装置として使用できる。すなわち、移動体１０をレンズ玉枠と連結すれば、移動体１０とともにレンズを移動させることができる。

圧電素子４は、多数の圧電板を積層して構成されており、伸縮方向一端４ａが台座１に固定されるとともに他端４ｂがロッド５の第１端５ａに固定される。ロッド５は、台座１に一体的に形成された支持部２および３に摺動可能に支持される。

移動体１０は、本体１１とキャップ１２とでロッド５を挟み込むとともに、押圧バネ１３で本体１１およびキャップ１２に挟み込み方向の付勢力を与えることによって、ロッド５の周囲に摩擦結合される。

圧電素子４には不図示の電圧制御回路（駆動パルス発生手段）が接続されている。圧電素子４に対して、ノコギリ刃状波形を有する所定の駆動電圧を印加すると、圧電素子４は、ほぼ同形状のノコギリ刃状変位をもって振動する（図２）。そして、これに伴ってロッド５も、ノコギリ刃状の変位をもってその長さ方向に振動する。すなわち、図２のグラフは、圧電素子４の振動変位を示すとともに、ロッド５の振動変位を示すものでもある。

具体的に説明すると、第１の波形１００の期間Ａにおける緩やかな立上がり傾斜部１０１では、圧電素子４は比較的ゆっくりと伸長し、ロッド５が図１(ｂ)中矢印Ｉ方向へとゆっくりと移動する。次に、期間Ｂにおいて、圧電素子４は急速に縮んで初期長さに戻り(立下がり傾斜部１０２で示される波形部分)、ロッド５が急激に矢印ＩＩ方向へと移動する。
以下同様の移動が繰り返えされ、結果として、ロッド５は、Ｉ方向へのゆっくりとした移動とＩＩ方向への急激な移動とを繰り返して振動する。このようにして、ロッド５は、図２に示したような、緩急のついたノコギリ刃状の振動波形を描きながら振動する。

ここで、図３に示したように、ロッド５がゆっくりと移動する場合には移動体１０が該ロッド５と共に移動し、ロッド５が急激に移動する場合には移動体１０が慣性によってその場に止まる（または、ロッド５よりも少量だけ移動する）ように、移動体１０の押圧バネ１３のバネ力（移動体１０のロッド５に対する摩擦結合力）が調節されている。したがって、ロッド５が振動する間に移動体１０は台座１に対して相対的にＩ方向に移動することとなる。

なお、移動体１０を図１（ｂ）中矢印ＩＩ方向へと移動させる場合には、圧電素子４およびロッド５の振動波形が図２に示したものと逆になるように、すなわち、急激な立上がり部と緩やかな立下がり部を有する波形とすればよい。移動体１０の移動原理は、上記の場合と同様である。

上述のように、ノコギリ刃状の波形を有する駆動電圧を圧電素子に印加することが必要になるが、そのような駆動電圧を生成する方法としては、次に説明するものが知られている。

≪波形発生器およびアンプを使用する方法（図４）≫
波形発生器のＤＡ変換により８ビット、０−５Ｖのノコギリ刃状波形を生成し、これをパワーアンプを用いて０−１０Ｖに増幅する（図４（ａ））。このようにして、０−１０Ｖの駆動用のノコギリ刃状波形を得る。
図４（ｂ）は、移動体１０を図３中Ｉ方向に繰り出す際の駆動電圧波形を、図４（ｃ）は、その逆方向に駆動する際の駆動電圧波形を、それぞれ示している。

≪定電流回路およびスイッチ回路を使用する方法（図５）≫
図５（ａ）に示したデジタル回路において、ＡおよびＤは定電流回路を構成し、ＢおよびＣはスイッチ回路を構成している。このデジタル回路に対して、図５（ｂ）に示した信号をａ〜ｄ端に与える。これにより、定電流回路Ａ、Ｄと、スイッチ回路Ｂ、Ｃとを交互に働かせて、０−１０Ｖの駆動用のノコギリ刃状波形が得られる。

図４および図５で説明した方法は、いずれも特許文献２に開示されたものである。

特開平１１-９８８６５号公報 特開平９-１９１６７６号公報

上述のように、従来、ノコギリ刃状の駆動用電圧波形を得るために、波形発生器と増幅用アンプを使用したり、あるいは定電流回路とスイッチ手段とを使用する必要があり、構成が複雑でコスト増につながっていた。
したがって、本発明の目的は、電気機械変換素子を利用する駆動装置であって、簡単な回路構成でノコギリ刃状波形の駆動電圧を生成できる駆動パルス発生手段を備えたものを提供することである。

本発明は、上記課題を有効に解決するために創案されたものであって、以下の特徴を備えた駆動装置および駆動方法を提供するものである。
本発明の駆動装置は、「駆動パルス発生手段で発生させた電圧が印加されることで伸縮するとともに、伸縮方向一端が固定された電気機械変換素子」と「電気機械変換素子の伸縮方向他端に一端が固定されたロッド」と「ロッドの周囲に摩擦結合していて、電気機械変換素子の伸縮によるロッドの振動に起因して、当該ロッドに沿って移動する移動体」とを備えている。
この装置において、上記駆動パルス発生手段は、電気機械変換素子に対して、階段状に順次増加する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体を当該ロッドに沿う一方向に駆動する。また、階段状に順次減少する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体をロッドに沿って上記一方向と逆方向に駆動する。

また、本発明により、電圧が印加されることで伸縮するとともに、伸縮方向一端が固定された電気機械変換素子と、電気機械変換素子の伸縮方向他端に一端が固定されたロッドと、ロッドの周囲に摩擦結合していて、電気機械変換素子の伸縮によるロッドの振動に起因して、当該ロッドに沿って移動する移動体と、を備えた駆動装置における移動体の駆動方法が提供される。本発明の方法では、電気機械変換素子に対して、階段状に順次増加する電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体を当該ロッドに沿う一方向に駆動するとともに、階段状に順次減少する電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体をロッドに沿って上記一方向と逆方向に駆動する。

上記本発明の駆動装置および駆動方法においては、電気機械変換素子に駆動電圧を印加する駆動パルス発生手段は、単純な一定電圧値を、当該電圧値の大きさを階段状に順次変更して電気機械変換素子に印加するものである。そのため、制御が簡単で回路構成を単純化できるので、コスト抑制を達成できる。

本発明の実施形態を添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。

≪回路構成（図６、図７）≫
図６は、本発明の駆動装置における、圧電素子に電圧を印加するための回路構成（駆動パルス発生手段）を示している。本発明の駆動装置は、機構部分の構成は図１（ａ）に示したような従来例と同じであるが、駆動回路の構成が従来とは異なっている。
すなわち、図示の実施形態においては、図６の駆動回路を用いて、図１（ａ）の圧電素子４を駆動する。

図６においては、４つのスイッチＱ１〜Ｑ４と、２つのコンデンサＣ１、Ｃ２と、圧電素子と、でＨブリッジ回路を構成している。スイッチＱ１、Ｑ２は、Ｐチャネル形のＭＯＳＦＥＴで構成されていて、スイッチＱ３、Ｑ４は、Ｎチャネル形のＭＯＳＦＥＴで構成されている。

スイッチＱ１は、ソースがＶｐ端に接続され、ゲートが制御回路のＳｃ１端に接続されている。
スイッチＱ２は、ソースがＶｐ端に接続され、ゲートが制御回路のＳｃ２端に接続されている。
スイッチＱ３は、ドレインがスイッチＱ１のドレイン側に接続され、ソース側がアースされている。また、スイッチＱ３のゲートは、制御回路のＳｃ３端に接続されている。
スイッチＱ４は、ドレインがスイッチＱ２のドレイン側に接続され、ソース側がアースされている。また、スイッチＱ４のゲートは、制御回路のＳｃ４端に接続されている。

圧電素子は、一端が、スイッチＱ１およびＱ３のドレイン間に接続されており、他端が、スイッチＱ２およびＱ４のドレイン間に接続されている。
また、コンデンサＣ１、Ｃ２は、図示したように、スイッチＱ３、スイッチＱ４と、それぞれ並列に接続されている。両コンデンサＣ１、Ｃ２は、ともに圧電素子の容量と等しい容量を有する。

図６の駆動回路において、制御回路からの信号により、スイッチＱ１〜Ｑ４のゲート電圧を図７（ａ−１）に示したように制御すると、圧電素子に負荷される駆動電圧（Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄ）は、図７（ｂ−１）に示したように階段状の波形となる。図から分かるように、ｔａ〜ｔｄはそれぞれの電圧印加時間を示しており、ｔａ〜ｔｄで１サイクルを構成する。

区間ｔａではスイッチＱ２、Ｑ３がオンとなり、スイッチＱ１、Ｑ４がオフとなる。一方、区間ｔｄでは、スイッチＱ１、Ｑ４がオンとなり、スイッチＱ２、Ｑ３がオフとなる。したがって、区間ｔａおよび区間ｔｄでは、圧電素子に負荷される電圧は、絶対値が等しく符号が逆になる。Ｖｐ端に３ボルトの電圧を印加した場合、圧電素子に印加される駆動電圧をＥａ＝−３Ｖとすれば、Ｅｄ＝＋３Ｖである。
区間ｔｂにおいては、スイッチＱ１、Ｑ２がともにオフとなるので、Ｅｂ＝０である。
また、区間ｔｃにおいては、スイッチＱ１のみがオンとなり、圧電素子および２つのコンデンサＣ１、Ｃ２の容量が等しいので、Ｅｃ＝０.５Ｅｄ＝＋１.５Ｖとなる。

したがって、ｔａ〜ｔｄのサイクルを繰り返すことにより、図７（ｂ−１）に示したような階段状の駆動電圧が、圧電素子に周期的に印加されることとなる。

なお、図７（ａ−２）および（ｂ−２）は、上記とは逆方向に駆動を行う場合の各ゲート電圧、およびそれに対応する駆動電圧を示している。

≪駆動波形（図８、図９）≫
図８は、図７（ａ−１）における印加時間をｔａ＝１.０Ｔ、ｔｂ＝ｔｃ＝ｔｄ＝０.５Ｔとした場合の駆動電圧を示すグラフである。
ここでは、図１に示した機構部分（電気機械変換素子およびロッド）の物理的な系の共振周波数１／Ｔ（Ｔは周期）が１５０ｋＨｚであるから、Ｔ＝１／１５００００＝６.６６μｓｅｃとなる。すなわち、ｔａ＝１.０Ｔ＝６.６６μｓｅｃ、ｔｂ＝ｔｃ＝ｔｄ＝０.５Ｔ＝３.３３μｓｅｃである。

図９は、図８の駆動電圧を印加した場合のロッドの変位を示している。図８の階段状の波形にほぼ対応したノコギリ刃状のロッド振動変位が実現されている。

以上のことから分かるように、本発明においては、各区間それぞれにおいては、単純な一定値の電圧を印加しており、そのような一定電圧の値を順次変更するだけで、結果として、ノコギリ刃状波形のロッド振動変位を達成している。

なお、本発明においては、圧電素子に対する駆動電圧として、図８に示したような階段状の変動波形が得られれば十分であるため、具体的な回路構成やそこに使用するスイッチング素子は、図６に示したものに限定されるものではない。
なお、図示の例では、４種類の電圧値をもって階段状の変動波形としているが、３種類あるいは５種類以上の電圧値を利用してもよい。ただ、簡単な回路構成で適正なロッド振動変位を得られるという点で、４種類の電圧値を利用するのが好ましい。

≪実験による推力の測定≫
上記の駆動回路を用いて駆動した場合の推力を、印加時間の組み合わせを種々変更して、実験により測定した。測定データは、図１中の移動体１０の推進力をロードセルで測定して得たものである。

≪測定結果１（図１０）≫
図１０のグラフは、ｔｂ、ｔｃ、ｔｄを等しく一定に保った状態で、ｔａのみを変化させていった場合のデータを示している。ここでもＴ＝６.６６μｓｅｃである。
図１０では、「ｔｂ／Ｔ＝ｔｃ／Ｔ＝ｔｄ／Ｔ＝０.３」、「ｔｂ／Ｔ＝ｔｃ／Ｔ＝ｔｄ／Ｔ＝０.５」、および「ｔｂ／Ｔ＝ｔｃ／Ｔ＝ｔｄ／Ｔ＝０.７」の３つの場合について、それぞれｔａを変化させて測定を行っている。グラフから次のようなことが言える。

ｔａ／Ｔ＝１.０、２.０、および３.０の付近に極大値が存在する。グラフから、ｔａ／Ｔ＝１.０付近では、０.７＜ｔａ／Ｔ＜１.３において比較的良好な推力が得られると考える。同様に、ｔａ／Ｔ＝２.０付近では、１.７＜ｔａ／Ｔ＜２.３において比較的良好な推力が得られると考える。
なお、どの程度の推力が必要かについては、駆動対象の質量等により異なる。ただ、推力が大きいほど応用範囲が広いということはいえる。

また、グラフに表された結果から、ｔａ／Ｔ＝４.０、５.０・・・においても極大値が存在すると予想されるので、以上の結果を数式化すると、ｎを０または正の整数とした場合に、（ｎ＋１）Ｔ−０.３Ｔ＜ｔａ＜（ｎ＋１）Ｔ＋０.３Ｔを満足する場合に、良好な推力が得られると予想する。

なお、図１０に関する実験は、図７（ａ−１）および（ｂ−１）に対応する駆動方向（図３中矢印Ｉ方向）に移動体１０を移動させた場合について行ったものである。そして、ｔａは、４つの電圧値（小さい順にＥａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとする）のうち最小の電圧値Ｅａの印加時間である。
一方、上記とは逆方向に移動体１０を移動させる場合には、ノコギリ刃状のロッド振動波形を左右逆にするだけであるから、４つの電圧値を大きい順にＥａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとして、最大の電圧値Ｅａの印加時間をｔａとして考えても同様の結果が予測される。

≪測定結果２（図１１）≫
図１１のグラフは、ｔｄのみを変化させていった場合のデータを示している。ここでもＴ＝６.６６μｓｅｃである。
図１１では、「ｔａ／Ｔ＝０.８、ｔｂ／Ｔ＝ｔｃ／Ｔ＝０.３」、「ｔａ／Ｔ＝１.０、ｔｂ／Ｔ＝ｔｃ／Ｔ＝０.５」、「ｔａ／Ｔ＝１.２、ｔｂ／Ｔ＝ｔｃ／Ｔ＝０.７」の３つの場合について、それぞれｔｄを変化させて測定を行っている。グラフから次のようなことが言える。

ｔｄ／Ｔ＝０.５、１.５、および２.５の付近に極大値が存在する。グラフから、ｔｄ／Ｔ＝０.５付近では、０.２＜ｔｄ／Ｔ＜０.８において比較的良好な推力が得られると考える。同様に、ｔｄ／Ｔ＝１.５付近では、１.２＜ｔａ／Ｔ＜１.８において比較的良好な推力が得られると考える。

また、グラフに表された結果から、ｔｄ／Ｔ＝３.５、４.５・・・においても極大値が存在すると予想されるので、以上の結果を数式化すると、ｍを０または正の整数とした場合に、（ｍ＋０.５）Ｔ−０.３Ｔ＜ｔｄ＜（ｍ＋０.５）Ｔ＋０.３Ｔを満足する場合に、良好な推力が得られると予想できる。

なお、図１１に関する実験は、図７（ａ−１）および（ｂ−１）に対応する駆動方向（図３中矢印Ｉ方向）に移動体１０を移動させた場合について行ったものである。そして、ｔｄは、４つの電圧値（小さい順にＥａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとする）のうち最大の電圧値Ｅｄの印加時間である。
一方、上記とは逆方向に移動体１０を移動させる場合には、ノコギリ刃状のロッド振動波形を左右逆にするだけであるから、４つの電圧値を大きい順にＥａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとして、最小の電圧値Ｅｄの印加時間をｔｄとして考えても同様の結果が予測される。

≪測定結果３（図１２）≫
図１２は、ｔａ＝１.０Ｔ（＝６.６６μｓｅｃ）、ｔｂ＝ｔｃ＝ｔｄ＝０.５Ｔ（＝３.３３μｓｅｃ）、Ｅａ＝−３Ｖ、Ｅｂ＝０Ｖ、Ｅｄ＝＋３Ｖとした場合に、Ｅｃ／Ｅｄを変化させて移動体の推力を測定した結果である。

グラフから、Ｅｃ＝０.５Ｅｄのとき最も高い推力が得られることが分かる。しかし、グラフから０.１Ｅｄ＜Ｅｃ＜０.７Ｅｄであれば十分と考える。
図６において、コンデンサの容量Ｃ１およびＣ２が共に圧電素子の容量と等しい場合（すなわち、圧電素子の容量をＣpiezoとして、Ｃ１＝Ｃ２＝Ｃpiezoの場合）にＥｃ＝０.５Ｅｄとなる。ただ、そのような容量のコンデンサが入手できない場合であっても、０.１Ｅｄ＜Ｅｃ＜０.７Ｅｄが満たされるコンデンサを使用すれば、良好な推力を得ることができる。

なお、図１２に関する実験においては、Ｅａ＝−３Ｖ、Ｅｂ＝０Ｖ、Ｅｄ＝＋３Ｖであるが、４つの電圧値を小さい順からＥａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとして、最低値（Ｅａ）と最大値（Ｅｄ）を互いに符号が逆で絶対値が等しいものとし、Ｅｂ＝０とした場合に、ＥｃとＥｄの比率Ｅｃ／Ｅｄが上記の範囲にあれば、同様の結果が得られるものと推測できる。

また、この実験は、図７（ａ−１）および（ｂ−１）に対応する駆動方向（図３中矢印Ｉ方向）に移動体１０を移動させた場合について行ったものである。そして、Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄは、４つの電圧値を小さい順に表したものである。
一方、上記とは逆方向に移動体１０を移動させる場合には、ノコギリ刃状のロッド振動波形を左右逆にするだけであるから、４つの電圧値を大きい順にＥａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄと表して考えても同様の結果が予測される。

従来の駆動装置を示す分解斜視図および組立図。 図１の駆動装置における駆動原理を説明する図。 図１の駆動装置における駆動原理を説明する図。 ノコギリ刃状の駆動電圧を生成する従来の方法を説明する図。 ノコギリ刃状の駆動電圧を生成する従来の方法を説明する図。 本発明における駆動回路の一例を示す回路図。 図６の駆動回路に対する制御信号、および圧電素子に印加される電圧を示す図。 図６の駆動回路により圧電素子に印加される駆動電圧の波形の一例を示す図。 図８の駆動電圧が印加された場合のロッドの変位を示すグラフ。 駆動電圧の印加時間を種々変更した場合の推力の変化を示すグラフ。 駆動電圧の印加時間を種々変更した場合の推力の変化を示すグラフ。 駆動電圧の比率を種々変更した場合の推力の変化を示すグラフ。

符号の説明

１ 台座
２、３ 支持部
４ 圧電素子
５ ロッド
１０ 移動体
１１ 移動体本体
１２ キャップ
１３ 押圧バネ

Claims (4)

1. 駆動パルス発生手段で発生させた電圧が印加されることで伸縮する電気機械変換素子と、
   電気機械変換素子の伸縮方向端に一端が固定されたロッドと、
   ロッドの周囲に摩擦結合していて、電気機械変換素子の伸縮によるロッドの振動に起因して、当該ロッドに沿って移動する移動体と、を備えた駆動装置において、
   上記駆動パルス発生手段は、電気機械変換素子に対して、階段状に順次増加する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体を当該ロッドに沿う一方向に駆動するとともに、階段状に順次減少する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体をロッドに沿って上記一方向と逆方向に駆動するものであり、
   上記電気機械変換素子およびロッドからなる物理的な系の共振周波数をＴとし、
   上記順次増加する４つの電圧値のうちの最小の電圧値、または上記順次減少する４つの電圧値のうちの最大の電圧値の印加時間をｔａとしたとき、
   （ｎ＋１）Ｔ−０.３Ｔ＜ｔａ＜（ｎ＋１）Ｔ＋０.３Ｔ（ただし、ｎは０または正の整数）の関係を満たすことを特徴とする、駆動装置。
2. 駆動パルス発生手段で発生させた電圧が印加されることで伸縮する電気機械変換素子と、
   電気機械変換素子の伸縮方向端に一端が固定されたロッドと、
   ロッドの周囲に摩擦結合していて、電気機械変換素子の伸縮によるロッドの振動に起因して、当該ロッドに沿って移動する移動体と、を備えた駆動装置において、
   上記駆動パルス発生手段は、電気機械変換素子に対して、階段状に順次増加する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体を当該ロッドに沿う一方向に駆動するとともに、階段状に順次減少する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体をロッドに沿って上記一方向と逆方向に駆動するものであり、
   上記電気機械変換素子およびロッドからなる物理的な系の共振周波数をＴとし、
   上記順次増加する４つの電圧値のうちの最大の電圧値、または上記順次減少する４つの電圧値のうちの最小の電圧値の印加時間をｔｄとしたとき、
   （ｍ＋０.５）Ｔ−０.３Ｔ＜ｔｄ＜（ｍ＋０.５）Ｔ＋０.３Ｔ（ただし、ｍは０または正の整数）の関係を満たすことを特徴とする、駆動装置。
3. 駆動パルス発生手段で発生させた電圧が印加されることで伸縮する電気機械変換素子と、
   電気機械変換素子の伸縮方向端に一端が固定されたロッドと、
   ロッドの周囲に摩擦結合していて、電気機械変換素子の伸縮によるロッドの振動に起因して、当該ロッドに沿って移動する移動体と、を備えた駆動装置において、
   上記駆動パルス発生手段は、電気機械変換素子に対して、階段状に順次増加する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体を当該ロッドに沿う一方向に駆動するとともに、階段状に順次減少する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体をロッドに沿って上記一方向と逆方向に駆動するものであり、
   上記順次増加する４つの電圧値を小さい順に、Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとした場合、または上記順次減少する４つの電圧値を大きい順に、Ｅａ、Ｅｂ、Ｅｃ、Ｅｄとした場合に、
   ＥａとＥｄは、符号が逆で絶対値が等しく、
   Ｅｂ＝０で、
   ０.１Ｅｄ＜Ｅｃ＜０.７Ｅｄの関係を満たすことを特徴とする、駆動装置。
4. 電圧が印加されることで伸縮する電気機械変換素子と、
   電気機械変換素子の伸縮方向端に一端が固定されたロッドと、
   ロッドの周囲に摩擦結合していて、電気機械変換素子の伸縮によるロッドの振動に起因して、当該ロッドに沿って移動する移動体と、を備えた駆動装置における移動体の駆動方法であって、
   当該方法は、電気機械変換素子に対して、階段状に順次増加する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体を当該ロッドに沿う一方向に駆動するとともに、階段状に順次減少する４つの電圧値を周期的に印加し、これによりロッドに生じるノコギリ刃状の振動変位により移動体をロッドに沿って上記一方向と逆方向に駆動するものであって、
   上記電気機械変換素子およびロッドからなる物理的な系の共振周波数をＴとし、
   上記順次増加する４つの電圧値のうちの最小の電圧値、または上記順次減少する４つの電圧値のうちの最大の電圧値の印加時間をｔａとしたとき、
   （ｎ＋１）Ｔ−０.３Ｔ＜ｔａ＜（ｎ＋１）Ｔ＋０.３Ｔ（ただし、ｎは０または正の整数）の関係を満たすことを特徴とする、駆動方法。

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