JP4559122B2 - テープ接着装置およびテープ接着方法 - Google Patents
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Description
その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークはさらに持ち上げられる。それによって、ワークの全面に対して良好にテープ部材を接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。そのため、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要がなくなり、構成が簡単となる。また、伸縮シート部材の膨張を利用する構成のため、ワークをテープ部材に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテープ部材に向けて移動させることができる。
また、テープ部材の接着後に加圧手段を作動させて、真空室の内部に空気を加圧状態で導入する。すると、ワークに接着しているテープ部材は、加圧によってワークに対して押し付けられる。そのため、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることができ、テープ部材がワークから簡単に剥離するのを防ぐことができる。
また、このように構成した場合には、蓋体部が本体部に対して開閉自在となる。このようにすれば、蓋体部の開閉によって、ワークやテープ部材の設置、およびテープ部材が接着された状態のワークの取り出しを、容易に行うことができる。また、シール部材の存在により、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞することができる。このため、第1の吸引手段および第2の吸引手段の作動時には、真空室および空気導入部を、真空度が高い状態まで吸引することができる。また、蓋体部を本体部に対して閉じた場合には、この蓋体部と伸縮シート部材との間に真空室が形成される。
さらに、伸縮シート部材が膨張すると、ワークおよびテープ部材が持ち上げられる。この持ち上げによって、テープ部材が所定の高さ位置に到達すると、吸着部材にぶつかって、テープ部材が上方から押さえられる。このため、テープ部材は、上方から押さえられると共に、下方からワークによって持ち上げられる状態で、接着が実行される。すなわち、テープ部材を上方から押さえながら、ワークを上方に持ち上げて押し付けるので、ワークとテープ部材との間の接着を、強固かつ確実なものとすることができる。
その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークはさらに持ち上げられる。それによって、ワークの全面に対して良好にテープ部材を接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、かかる載置状態において伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。そのため、伸縮シート部材に大きな張力を付与する必要がなくなり、構成が簡単となる。また、伸縮シート部材の膨張を利用する構成のため、ワークをテープ部材に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテープ部材に向けて移動させることができる。
また、テープ部材の接着後に加圧手段を作動させて、真空室の内部に空気を加圧状態で導入する。すると、ワークに接着しているテープ部材は、加圧によってワークに対して押し付けられる。そのため、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることができ、テープ部材がワークから簡単に剥離するのを防ぐことができる。
また、このように構成した場合には、蓋体部が本体部に対して開閉自在となる。このようにすれば、蓋体部の開閉によって、ワークやテープ部材の設置、およびテープ部材が接着された状態のワークの取り出しを、容易に行うことができる。また、シール部材の存在により、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞することができる。このため、第1の吸引手段および第2の吸引手段の作動時には、真空室および空気導入部を、真空度が高い状態まで吸引することができる。また、蓋体部を本体部に対して閉じた場合には、この蓋体部と伸縮シート部材との間に真空室が形成される。
さらに、このように構成した場合には、蓋体部が開くのが開閉ロック手段によって防止される。このため、加圧手段によって真空室の内部を加圧した場合でも、蓋体部が開くのが防止され、真空室の内部を良好に加圧することができる。
また、このようにした場合には、先に第2の吸引手段が作動することによって、真空室に対して空気導入部の圧力が低下する。そのため、伸縮シート部材は、先に上面側の真空室側に向かって膨張することがなくなる。このため、空気導入手段が作動して空気を導入する前の段階で、ワークとテープ部材とが接着されるのを防ぐことができる。
11…ウエハ(ワーク)
12…テープ部材
20…本体部
22…本体上面部
22b…載置部
24…孔部
25…ゴムシート
26…押さえリング(保持部材)
33…空気管路(第1の吸引手段の一部、第2の空気導入手段の一部)
35…管部材(第1の吸引手段の一部、第2の空気導入手段の一部)
36…真空ポンプ(第1の吸引手段の一部、第2の吸引手段の一部、第3の吸引手段の一部)
37…第1の弁部材(第1の吸引手段の一部、第2の空気導入手段の一部)
38…空気管路(第2の吸引手段の一部、空気導入手段の一部)
40…管部材(第2の吸引手段の一部、空気導入手段の一部)
41…第2の弁部材(第2の吸引手段の一部、空気導入手段の一部)
42…管部材(テープ保持手段の一部、第3の吸引手段の一部)
43…ホース(テープ保持手段の一部、第3の吸引手段の一部)
44…第3の弁部材(テープ保持手段の一部、第3の吸引手段の一部)
45(45a,45b)…真空計
50…真空室
51…空気導入部
60…蓋体部
61…蝶番
62…ダンパ部材
63…リング当接部
64…凹部
64a…上底面
65…嵌合凹部
66…吸着部材(テープ保持手段の一部)
67…空気管路(テープ保持手段の一部、第3の吸引手段の一部)
80…ロック機構
90…制御装置(制御手段)
Claims (8)
- テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、
上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
上記真空室に対して上記空気導入部からの空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、
上記真空室の内部を真空吸引する第1の吸引手段と、
上記空気導入部を真空吸引する第2の吸引手段と、
上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、
上記第1の吸引手段、上記第2の吸引手段、上記空気導入手段および上記加圧手段の作動を制御する制御手段と、
を具備し、
上記制御手段は、
先に上記第2の吸引手段を作動させ、後に上記第1の吸引手段を作動させて、上記真空室および上記空気導入部の真空吸引を行い、
上記真空吸引の後に、上記空気導入手段を作動させて上記空気導入部に空気を導入し、
この空気の導入によって、上記伸縮シート部材を上記真空室の内部に向けて膨張させ、
上記伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて上記テープ部材に接着させ、
上記テープ部材の接着後に、上記加圧手段を作動させて上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する、
ことを特徴とするテープ接着装置。 - 前記テープ接着装置は、本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部とを有していて、
上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材を、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けると共に、
上記蓋体部の閉塞状態において、この蓋体部と前記伸縮シート部材との間に、前記真空室が形成される、
ことを特徴とする請求項1記載のテープ接着装置。 - 前記テープ保持手段は、前記テープ部材を吸着する吸着部材を備えると共に、この吸着部材に対して前記テープ部材を真空吸引する吸引保持力を与える第3の吸引手段を備えることを特徴とする請求項1または2記載のテープ接着装置。
- テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
本体部と、
上記本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部と、
上記本体部と上記蓋体部との境界部分に設けられると共に、上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材と、
上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られ、かつ上記蓋体部の閉塞状態において上記蓋体部と上記伸縮シート部材との間に少なくとも形成される真空室と、
上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
上記真空室に対して上記空気導入部からの空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させると共に、上記テープ部材を吸着する吸着部材を備えるテープ保持手段と、
上記真空室の内部を真空吸引する第1の吸引手段と、
上記空気導入部を真空吸引する第2の吸引手段と、
上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、
上記吸着部材に対して上記テープ部材を真空吸引する吸引保持力を与える第3の吸引手段と、
を具備すると共に、
上記蓋体部は、この蓋体部の閉塞状態において上方に向かって窪んでいる凹部を有すると共に、この凹部の上底面には、上記吸着部材が嵌め込まれていて、上記伸縮シート部材の膨張による上記ワークおよび上記テープ部材の上方へ向かう移動を、上記吸着部材によって上方から押さえる、
ことを特徴とするテープ接着装置。 - 前記吸着部材は、多孔質セラミックを材質としていることを特徴とする請求項3または4記載のテープ接着装置。
- 前記テープ保持手段は、前記吸着部材と共に、前記テープ部材の端部を挟持する挟持部材を具備することを特徴とする請求項3から5のいずれか1項に記載のテープ接着装置。
- テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
本体部と、
上記本体部に対して開閉自在に設けられている蓋体部と、
上記本体部と上記蓋体部との境界部分に設けられると共に、上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材と、
上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られ、かつ上記蓋体部の閉塞状態において上記蓋体部と上記伸縮シート部材との間に少なくとも形成される真空室と、
上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
上記真空室に対して上記空気導入部からの空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、
上記真空室の内部を真空吸引する第1の吸引手段と、
上記空気導入部を真空吸引する第2の吸引手段と、
上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、
を具備すると共に、
上記蓋体部と上記本体部の間には、上記蓋体部を上記本体部に向けて押圧し、かつ上記蓋体部が開くのを防止する開閉ロック手段が設けられている、
ことを特徴とするテープ接着装置。 - テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、
上記ワークの上部側に位置する上記テープ部材を、テープ保持手段に保持させるテープ保持ステップと、
伸縮シート部材の上面に上記ワークが載置され、かつテープ保持手段によって該ワークの上部に上記テープ部材を張設状態で位置させた状態で、上記伸縮シート部材の上面側に位置する真空室を第1の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材により上記真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位置する空気導入部を第2の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、
上記吸引ステップによって、上記真空室および上記空気導入部が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、
上記真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、上記第2の吸引手段の作動停止により上記空気導入部の真空吸引を停止すると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入ステップと、
上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて上記テープ部材に接着させる接着ステップと、
上記接着ステップを予め設定された時間だけ実行した後に、加圧手段を作動させて上記真空室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧ステップと、
を具備し、
上記吸引ステップでは、上記第1の吸引手段および上記第2の吸引手段を作動させるに際して、先に上記第2の吸引手段を作動させ、後に上記第1の吸引手段を作動させる、
ことを特徴とするテープ接着方法。
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