JP4555655B2

JP4555655B2 - Wafer transfer cart

Info

Publication number: JP4555655B2
Application number: JP2004297811A
Authority: JP
Inventors: 雅之山岸; 広樹小田島
Original assignee: Renesas Electronics Corp
Current assignee: Renesas Electronics Corp
Priority date: 2004-10-12
Filing date: 2004-10-12
Publication date: 2010-10-06
Anticipated expiration: 2024-10-12
Also published as: JP2006114561A

Description

本発明は、ウェーハキャリアの搬送台車に関し、とくに、手押し操作により移動可能な搬送台車に関する。 The present invention relates to a wafer carrier carriage, and more particularly, to a carriage that can be moved by a manual operation.

ウェーハ径が３００ｍｍを超えるウェーハを複数収納して搬送する場合、キャリアの重量は７〜８ｋｇと重くなってしまい、人手で搬送するのは困難である。そのため、このようなキャリアの搬送は自動化されるようになっている。しかし、カスタムＬＳＩの製造工程や試作ライン等、自動化できないような場合は、キャリアの搬送を人手による手押し操作で行う必要がある。このような場合、人手で移動させる搬送台車（ＰＧＶ：person guided vehicle）を用いて、キャリアの搬送が行われる。たとえば、自動化されていない３００ｍｍ拡散ラインにおいては、一人が一つの３００ｍｍＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）を乗せることができるＰＧＶを用いて、各装置間、装置棚間の搬送を実施している。 When a plurality of wafers having a wafer diameter exceeding 300 mm are stored and transported, the weight of the carrier becomes 7 to 8 kg, which is difficult to transport manually. For this reason, such carrier transport is automated. However, when it is impossible to automate a custom LSI manufacturing process or a trial production line, it is necessary to carry the carrier manually. In such a case, the carrier is transported using a manually guided vehicle (PGV) that is moved manually. For example, in a 300 mm diffusion line that is not automated, a PGV on which one person can place a single 300 mm FOUP (Front Opening Unified Pod) is used to carry between each device and between device shelves.

そのような搬送台車の例として、特許文献１に記載の技術がある。特許文献１には、加工物である複数枚の半導体基板を収納する半導体基板用キャリアを荷台に載せ、人手で移動させ、半導体製造装置または半導体検査装置のステーションに荷台との間で半導体基板用キャリアの受け渡しをする搬送台車が開示されている。
特開２００３−２４３４７３号公報 As an example of such a transport carriage, there is a technique described in Patent Document 1. In Patent Document 1, a semiconductor substrate carrier for storing a plurality of semiconductor substrates, which are workpieces, is placed on a carrier and moved manually, and the semiconductor substrate is placed between the carrier and a semiconductor manufacturing apparatus or semiconductor inspection apparatus station. A transport cart for delivering a carrier is disclosed.
JP 2003-243473 A

ところが、上記文献記載の従来技術は、一台の台車に一度に積載できる３００ｍｍＦＯＵＰは一個であった。このため、作業者が何度も往復操作を繰り返す必要があり、運搬作業の効率の点で改善の余地があった。 However, according to the prior art described in the above document, there is only one 300 mm FOUP that can be loaded on one carriage at a time. For this reason, it is necessary for the operator to repeat the reciprocating operation many times, and there is room for improvement in terms of the efficiency of the transportation work.

また、３００ｍｍＦＯＵＰでは、２００ｍｍキャリアに比べ、大きさが大きく、また、重量も増しているため、搬送ルート等の搬送レイアウトに制約があり、これに対応した走行安定性を確保するとともに、３００ｍｍＦＯＵＰの取り扱い時の人的・物的安全を確保することが課題となる。 In addition, 300mm FOUP is larger than 200mm carrier and is heavier than the 200mm carrier, so there are restrictions on the transportation layout such as the transportation route. Ensuring human and material safety at the time is an issue.

３００ｍｍＦＯＵＰは２００ｍｍキャリアに比べ倍近い大きさがあり、すれ違い等を考えると、従来は一人で搬送可能な３００ｍｍＦＯＵＰは多くても２つ程度であった。また、搬送台車を２段構成とすることも考えられるが、ウェーハの搬送においては、その清浄度の確保の観点から、ＦＯＵＰの設置面について、発塵の多い床からの距離を一定間隔以上保つことが求められる。この要請により、ＦＯＵＰが設置される下段が床面から所定の高さ以上に位置するように設計する必要があった。このため、従来の技術水準において、下段の直上に上段が配置された場合、台車に重いキャリアを載せると、台車全体の重心が上昇し、転倒しやすくなる懸念があった。 The 300 mm FOUP is nearly twice as large as the 200 mm carrier, and considering the passing, etc., conventionally, there are at most two 300 mm FOUPs that can be transported by one person. In addition, although it is conceivable that the transfer carriage has a two-stage configuration, in the transfer of wafers, the distance from the dusty floor is kept at a certain distance or more on the FOUP installation surface from the viewpoint of ensuring the cleanliness. Is required. In response to this request, it has been necessary to design the lower stage where the FOUP is installed to be located above a predetermined height from the floor surface. For this reason, in the conventional technical level, when the upper stage is arranged immediately above the lower stage, if a heavy carrier is placed on the carriage, the center of gravity of the entire carriage rises, and there is a concern that the carriage will easily fall over.

また、転倒を防止して走行安定性を向上させるためには、キャリアの設置部を広く設けたい一方で、前述した搬送レイアウトの制約との関係では、できるだけ省スペース化する必要があった。このため、一度に複数の３００ｍｍＦＯＵＰを運搬可能なウェーハ搬送台車の走行安定性を向上させるためには、従来とは異なる設計思想が必要であった。 Further, in order to prevent the vehicle from falling and improve traveling stability, it is desired to provide a wide carrier installation portion. On the other hand, it is necessary to save space as much as possible in relation to the above-described restrictions on the transportation layout. For this reason, in order to improve the running stability of a wafer transfer carriage capable of carrying a plurality of 300 mm FOUPs at a time, a design philosophy different from the conventional one is necessary.

また、従来の技術水準において搬送台車を２段構成とすると、下段の設置位置が低すぎて積載物をとる際に腰をかがめる作業が必要となったり、上段の設置位置が高すぎて作業性が低下したりする。このため、上段または下段のどちらかの積み下ろしの作業性が低下し、断続的に作業を実施することが困難であった。 In addition, if the transport carriage has a two-stage configuration in the conventional technology level, the installation position of the lower stage is too low, and it is necessary to bend down when taking the load, or the installation position of the upper stage is too high. Or drop. For this reason, the workability of loading or unloading either the upper stage or the lower stage is lowered, and it is difficult to perform the work intermittently.

本発明は上記課題を解決するためになされたのものであり、ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させるものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and improves the running stability and the like of a manual carrier cart of a wafer carrier.

本発明によれば、
手押し操作により移動可能な台車本体と、
前記台車本体に設けられ、第一の段部と前記第一の段部の上部に設けられた第二の段部とを含む複数の段部と、
前記第一の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第一のキャリア保持部と、
前記第二の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第二のキャリア保持部と、
前記第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構と、
を有し、
前記第一のキャリア保持部の中心は、前記第二のキャリア保持部の中心に対して所定量オフセットされ、
前記水平移動機構は、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセット量を拡大させる方向に前記第一のキャリア保持部を水平に直線移動させるものであり、
前記台車本体の平面形状が長方形であり、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセットの方向が、前記台車本体の短辺方向であることを特徴とするウェーハ搬送台車が提供される。 According to the present invention,
A cart body that can be moved by a manual push operation;
A plurality of steps including a first step and a second step provided on an upper portion of the first step;
A first carrier holding portion provided in the first step portion and holding a wafer carrier;
A second carrier holding part that is provided in the second step part and holds a wafer carrier;
A horizontal movement mechanism for moving the first carrier holding part horizontally;
Have
The center of the first carrier holding part is offset by a predetermined amount with respect to the center of the second carrier holding part ,
The horizontal movement mechanism is a mechanism that horizontally moves the first carrier holding part in a direction in which the offset amount of the center of the first carrier holding part with respect to the center of the second carrier holding part is expanded,
The planar shape of the cart body is rectangular, and the direction of offset of the center of the first carrier holding portion with respect to the center of the second carrier holding portion is the short side direction of the cart body. A wafer transfer carriage is provided.

本発明によれば、第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対して設置面に水平に意図的に所定量オフセットさせている。このため、ウェーハの搬送において求められる第一の段部の設置面からの高さを充分に確保しつつ、複数段の段部のそれぞれにキャリア保持部を設ける場合にも、キャリア保持部にキャリアが設置されて、台車全体の重心の高さが上昇することによる搬送時の走行安定性の低下を抑制することができる。よって、一度に複数のキャリアを積載可能とし、また第一の段部の設置面からの高さを確保しつつ、走行時安定性を向上させることができる。 According to the present invention, the center of the first carrier holding part is intentionally offset by a predetermined amount horizontally with respect to the installation surface with respect to the center of the second carrier holding part. For this reason, even when a carrier holding portion is provided in each of the plurality of step portions while ensuring a sufficient height from the installation surface of the first step portion required for wafer conveyance, the carrier holding portion has a carrier. Is installed, and a decrease in running stability during transportation due to an increase in the height of the center of gravity of the entire carriage can be suppressed. Therefore, it is possible to load a plurality of carriers at a time, and it is possible to improve running stability while securing the height of the first step portion from the installation surface.

なお、第一の段部の設置面からの高さは、ウェーハ搬送台車が使用される半導体製造ラインにおいて要求される清浄度が確保できる程度であればよく、たとえば、前記第一の段部の当該ウェーハ搬送台車の設置面からの高さが、前記第二の段部と前記第一の段部との間隔の１／２以上である構成とすれば充分である。この構成によれば、第一のウェーハ保持部の高さを確保しつつ、第一のキャリア保持部および第二のキャリア保持部の積載物の積み下ろし作業の作業性をさらに向上させることができる。 In addition, the height from the installation surface of the first step portion may be a level that can ensure the cleanliness required in the semiconductor production line in which the wafer conveyance carriage is used. It is sufficient if the height of the wafer transfer carriage from the installation surface is 1/2 or more of the distance between the second step portion and the first step portion. According to this configuration, it is possible to further improve the workability of the work of unloading the load of the first carrier holding part and the second carrier holding part while securing the height of the first wafer holding part.

また、本発明において、オフセットさせたとは、第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対してウェーハ搬送台車の設置面内で不一致となるように意図的にずらしていることを指し、第一のキャリア保持部の直上に第二のキャリア保持部が設けられた構成において非意図的に生じた位置ずれは含まない。オフセットさせた具体的な構成としては、たとえばそれぞれのキャリア保持部にキャリアを設置した状態で、上段と下段におけるキャリアの重心位置がずれている構成が挙げられる。 Further, in the present invention, the offset means that the center of the first carrier holding part is intentionally shifted with respect to the center of the second carrier holding part so as to be inconsistent in the installation surface of the wafer conveyance carriage. This means that misalignment that occurs unintentionally in the configuration in which the second carrier holding part is provided immediately above the first carrier holding part is not included. Specific examples of the offset configuration include a configuration in which the positions of the centers of gravity of the carriers in the upper stage and the lower stage are shifted in a state where the carriers are installed in the respective carrier holding portions.

また、本発明においては、第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構が設けられているため、下段に対応する第一の段部に設けられた第一のキャリア保持部への積載物の積み下ろし作業の際に、第一のキャリア保持部を水平移動させて作業することが可能となる。このため、複数の段部を有する構成としつつ、積み下ろし作業の作業性を向上させることができる。 In the present invention, since the horizontal movement mechanism for moving the first carrier holding portion horizontally is provided, the loading to the first carrier holding portion provided in the first step portion corresponding to the lower step is performed. It is possible to work by horizontally moving the first carrier holding portion during the loading and unloading work. For this reason, it is possible to improve the workability of the loading and unloading operation while having a configuration having a plurality of steps.

本発明によれば、台車本体に設けられた第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対してウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせることにより、ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させる技術が実現される。 According to the present invention, the center of the first carrier holding part provided in the carriage main body is offset by a predetermined amount in the direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage with respect to the center of the second carrier holding part. Thus, a technique for improving the running stability of the manual carrier cart of the wafer carrier is realized.

本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対して、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせた構成とすることができる。 In the wafer transfer cart of the present invention, the center of the first carrier holding portion is offset by a predetermined amount in the direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer cart with respect to the center of the second carrier holding portion. It can be.

第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対して設置面に水平でウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に意図的に所定量オフセットさせることにより、搬送時の走行安定性の低下をより一層確実に抑制することができる。このため、一度に複数のキャリアを積載可能とし、第一の段部の設置面からの高さを確保しつつ、走行時に台車が傾斜したり転倒したりすることをさらに確実に抑制することができる。 Traveling during transport by intentionally offsetting the center of the first carrier holding part with respect to the center of the second carrier holding part in a direction that is horizontal to the installation surface and perpendicular to the traveling direction of the wafer transport carriage A decrease in stability can be more reliably suppressed. For this reason, a plurality of carriers can be loaded at a time, and the height of the first stepped portion from the installation surface can be secured, and the cart can be further reliably prevented from tilting or falling during traveling. it can.

なお、本発明において、走行方向と垂直方向にオフセットされて配置されているとは、走行安定性が向上するように走行方向に垂直な方向のオフセット量を所定量有していることを指し、第一のキャリア保持部の中心が第二のキャリア保持部の中心に対して垂直方向に所定量位置ずれしている構成、具体的には第二の段部の幅の１割以上ずれるように位置ずれしている構成だけでなく、走行方向に垂直な方向のオフセット成分以外に走行方向のオフセット成分を有し、第一のキャリア保持部の中心が第二のキャリア保持部の中心に対して進行方向に対して斜めの方向に位置ずれしている構成を含む。 In the present invention, being arranged offset in the direction perpendicular to the traveling direction refers to having a predetermined amount of offset in the direction perpendicular to the traveling direction so as to improve traveling stability, A configuration in which the center of the first carrier holding part is displaced by a predetermined amount in the vertical direction with respect to the center of the second carrier holding part, specifically, so as to be shifted by 10% or more of the width of the second step part. In addition to the offset component, the offset component in the traveling direction other than the offset component in the direction perpendicular to the traveling direction has an offset component in the traveling direction, and the center of the first carrier holding unit is relative to the center of the second carrier holding unit It includes a configuration that is displaced in a direction oblique to the traveling direction.

本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部は前記第二の段部に対し、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出していてもよい。こうすれば、下段に相当する第一のキャリア保持部の積載物の積み下ろし作業をさらに容易に行うことができるので、作業性の向上が可能となる。なお、本発明において、走行方向と垂直方向に延出しているとは、第一のキャリア保持部の積載物を走行方向に垂直な方向から取り出す際に取り出しやすいように、ウェーハ搬送台車の設置面と水平に第一のキャリア保持部が延出していることを指し、第一のキャリア保持部がウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出している構成だけでなく、第一のキャリア保持部がウェーハ搬送台車の進行方向に対して斜めの方向に延出している構成も含まれる。 In the wafer conveyance carriage of the present invention, the first step portion may extend in a direction perpendicular to the traveling direction of the wafer conveyance carriage relative to the second step portion. In this way, the work of unloading the load of the first carrier holding unit corresponding to the lower stage can be performed more easily, so that the workability can be improved. In the present invention, the term “extending in the direction perpendicular to the traveling direction” means that the wafer carrier carriage is installed so that it can be easily removed when the load on the first carrier holding part is removed from the direction perpendicular to the traveling direction. The first carrier holding part extends horizontally, and the first carrier holding part extends not only in the direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage, but also the first carrier holding. A configuration in which the portion extends in an oblique direction with respect to the traveling direction of the wafer conveyance carriage is also included.

本発明のウェーハ搬送台車において、前記台車本体の底部の中央に、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向に固定された固定輪を有する構成とすることができる。底部の中央とは、並進搬送時にウェーハ搬送台車が回転しないような位置であればよく、ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向における中央近傍であれば、台車本体の端部側であっても内側であってもよい。たとえば、この構成において、前記台車本体の底部に当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って３列以上の車輪が設けられ、内側の前記車輪が固定輪である構成とすることができる。内側の車輪とは、最外列でない車輪のことであり、当該車輪の両側に別の車輪が設けられていることをいう。また、固定輪であるとは、車輪がウェーハ搬送台車の設置面内方向に回転せずに、進行方向に沿って進むように構成されていることをいう。このようにすれば、ウェーハ搬送台車の走行安定性をより一層向上させることができる。 In the wafer transfer carriage of the present invention, a configuration may be adopted in which a fixed ring fixed in the direction along the traveling direction of the wafer transfer carriage is provided at the center of the bottom of the carriage body. The center of the bottom portion may be a position where the wafer transfer carriage does not rotate during translation transfer. If it is near the center in the direction along the traveling direction of the wafer transfer carriage, it may be on the end side of the carriage main body. It may be inside. For example, in this configuration, three or more rows of wheels may be provided along the traveling direction of the wafer transfer cart at the bottom of the cart body, and the inner wheels may be fixed wheels. An inner wheel is a wheel which is not the outermost row, and means that another wheel is provided on both sides of the wheel. In addition, the fixed wheel means that the wheel is configured to advance in the traveling direction without rotating in the in-plane direction of the wafer conveyance carriage. In this way, the running stability of the wafer transfer carriage can be further improved.

本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部に連結され、前記第一のキャリア保持部の移動方向に沿って前記第一のキャリア保持部とともに移動可能に構成された転倒防止手段を有する構成とすることができる。こうすることにより、第一のキャリア保持部を引き出した際にも転倒をさらに確実に抑制できるので、積み下ろし作業の安定性をさらに向上させることができる。 In the wafer conveyance carriage according to the present invention, there is provided a fall prevention means coupled to the first carrier holding part and configured to be movable together with the first carrier holding part along a moving direction of the first carrier holding part. It can be set as the structure which has. By doing this, even when the first carrier holding part is pulled out, the overturn can be more reliably suppressed, so that the stability of the unloading work can be further improved.

本発明のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って、前記第一のキャリア保持部が複数列設けられ、前記複数列の第一のキャリア保持部が前記進行方向に垂直な方向に個別に引き出し可能に構成されてもよい。こうすれば、下段の積載物の積み下ろし作業の安定性をより一層向上させることができる。 In the wafer conveyance carriage of the present invention, a plurality of the first carrier holding portions are provided along the traveling direction of the wafer conveyance carriage, and the plurality of first carrier holding portions are perpendicular to the traveling direction. It may be configured such that it can be pulled out individually. By so doing, it is possible to further improve the stability of the work of unloading the lower load.

本発明のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の設置面の法線方向から見たときに、当該ウェーハ搬送台車の進行方向と垂直な方向に、前記第一の段部の端部と前記第二の段部の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在する搬送バーが設けられていてもよい。こうするすることにより、作業者が搬送バーを押してさらに安定に走行させることが可能な構成とすることができる。 In the wafer transfer carriage of the present invention, when viewed from the normal direction of the installation surface of the wafer transfer carriage, the end of the first step portion and the first portion are perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. A transport bar may be provided that extends over the entire width connecting the outer ends of the two stepped ends. By doing so, it is possible to provide a configuration in which the operator can more stably travel by pressing the transport bar.

本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部が当該ウェーハ搬送台車の進行方向に垂直な両方向に平面移動可能に構成されていてもよい。こうすれば、下段の積載物の積み下ろし作業をより一層容易に行うことが可能となる。 In the wafer transfer carriage of the present invention, the first carrier holding portion may be configured to be movable in both directions perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. In this way, it is possible to more easily perform the work of unloading the lower load.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いてさらに詳細に説明する。なお、すべての図面において、共通の構成要素には同じ符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In all the drawings, common constituent elements are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted as appropriate.

図１は、本実施形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す斜視図である。図２（ａ）〜図２（ｃ）は、図１に示した搬送台車１００の構成をさらに詳細に示す図である。図２（ａ）は、搬送台車１００の平面図である。また図２（ｂ）は、図１をＡ−Ａ’方向から見た図である。また図２（ｃ）は、図１をＢ−Ｂ’方向から見た図である。搬送台車１００は、半導体ウェーハ等の工作物が収納されたキャリアを手押し操作により移動させる。以下、キャリアが３００ｍｍＦＯＵＰである場合を例に、これらの図を参照して搬送台車１００の構成を詳細に説明する。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration of a manual carrier cart of a carrier according to the present embodiment. FIG. 2A to FIG. 2C are diagrams showing the configuration of the transport carriage 100 shown in FIG. 1 in more detail. FIG. 2A is a plan view of the transport carriage 100. FIG. 2B is a diagram when FIG. 1 is viewed from the A-A ′ direction. FIG. 2C is a diagram when FIG. 1 is viewed from the B-B ′ direction. The transport carriage 100 moves a carrier in which a workpiece such as a semiconductor wafer is stored by a manual push operation. Hereinafter, the configuration of the transport carriage 100 will be described in detail with reference to these drawings, taking the case where the carrier is a 300 mm FOUP as an example.

搬送台車１００は、手押し操作により移動可能な台車本体１０１に、キャリアを設置する下段１０３と上段１０５の互いに平行な２つの段部が設けられた構成である。下段１０３には、下段アーム１３５が搬送台車１００の進行方向（図中のＡ−Ａ’方向）に沿って二組並置されている。下段アーム１３５は、下段１０３上にＦＯＵＰ１２１またはＦＯＵＰ１２３を保持する。下段アーム１３５および下段１０３の底面は、キャリア保持部として機能する。また、上段アーム１３７は、上段１０５上にＦＯＵＰ１２５またはＦＯＵＰ１２７を保持する。上段アーム１３７および上段１０５の底面は、キャリア保持部として機能する。 The transport cart 100 has a configuration in which two parallel steps of a lower stage 103 and an upper stage 105 on which a carrier is installed are provided on a cart body 101 that can be moved by a manual push operation. Two sets of lower arms 135 are juxtaposed on the lower stage 103 along the traveling direction (A-A ′ direction in the figure) of the transport carriage 100. The lower arm 135 holds the FOUP 121 or the FOUP 123 on the lower stage 103. The bottom surfaces of the lower arm 135 and the lower arm 103 function as a carrier holding portion. The upper arm 137 holds the FOUP 125 or the FOUP 127 on the upper stage 105. The bottom surfaces of the upper stage 137 and the upper stage 105 function as a carrier holding unit.

このように、搬送台車１００には、上段１０５および下段１０３のそれぞれに２つずつのキャリア保持部が設けられているため、一台の搬送台車１００にＦＯＵＰ１２１〜ＦＯＵＰ１２７の４個の３００ｍｍＦＯＵＰを同時に設置して運搬することができる。 As described above, since the carrier cart 100 is provided with two carrier holding portions in each of the upper stage 105 and the lower stage 103, four 300 mm FOUPs FOUP121 to FOUP127 are simultaneously installed on one carrier truck 100. And can be transported.

ＦＯＵＰ１２１〜ＦＯＵＰ１２７には、それぞれの両側面に、受け部１４３が設けられており、受け部１４３が搬送台車１００の下段アーム１３５または上段アーム１３７に保持されることにより、ＦＯＵＰが下段１０３または上段１０５のアームに保持される。 The FOUPs 121 to FOUP 127 are provided with receiving portions 143 on both side surfaces, and the receiving portions 143 are held by the lower arm 135 or the upper arm 137 of the transport carriage 100, so that the FOUP is in the lower stage 103 or the upper stage 105. Is held by the arm.

図１、図２（ａ）および図２（ｃ）に示したように、搬送台車１００では、設置面１１０の法線方向から見たときに、下段アーム１３５の中心を上段アーム１３７の中心に対して搬送台車１００の走行方向と垂直な方向（図中のＢ−Ｂ’方向）に所定量オフセットさせた構成、具体的には、下段アーム１３５および上段アーム１３７にそれぞれＦＯＵＰを設置した状態で、設置面１１０に水平な平面内において、ＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の重心位置を、それぞれ、ＦＯＵＰ１２５およびＦＯＵＰ１２７の重心位置に対して搬送台車１００の走行方向と垂直な方向にオフセットさせた構成となっている。 As shown in FIGS. 1, 2 (a), and 2 (c), in the transport carriage 100, the center of the lower arm 135 is set to the center of the upper arm 137 when viewed from the normal direction of the installation surface 110. On the other hand, a configuration in which a predetermined amount is offset in a direction (BB ′ direction in the drawing) perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100, specifically, with the FOUP installed on the lower arm 135 and the upper arm 137, respectively. The center of gravity of the FOUP 121 and the FOUP 123 is offset in the direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100 with respect to the center of gravity of the FOUP 125 and FOUP 127, respectively, in a plane horizontal to the installation surface 110.

また、下段１０３には延出部１０７および引出部１０９が設けられている。延出部１０７は、上段１０５に対し、搬送台車１００の走行方向と垂直な方向に延出している部分である。 The lower stage 103 is provided with an extending portion 107 and a drawing portion 109. The extending part 107 is a part that extends in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100 with respect to the upper stage 105.

また、引出部１０９は、下段１０３に設けられた下段アーム１３５を水平に、具体的には搬送台車１００の進行方向に垂直な方向（図中Ｂ−Ｂ’方向）にスライド可能に構成されている。図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）に示した搬送台車１００では、引出部１０９が延出部１０７の側にさらに延出可能となっている構成が例示されている。 Further, the drawer 109 is configured to be able to slide a lower arm 135 provided in the lower stage 103 horizontally, specifically, in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100 (BB ′ direction in the figure). Yes. In the transport cart 100 shown in FIGS. 1 and 2 (a) to 2 (c), a configuration in which the drawer portion 109 can be further extended toward the extension portion 107 is illustrated.

なお、引出部１０９のスライド機構に特に制限はなく、公知の機構を適宜用いることができる。また、スライド機構とともに、引出部１０９を所定の位置で固定するストッパ機構を設けることもできる。ストッパ機構を設けることにより、搬送台車１００の安全性をさらに向上させることができる。 In addition, there is no restriction | limiting in particular in the slide mechanism of the drawer | drawing-out part 109, A well-known mechanism can be used suitably. In addition to the slide mechanism, a stopper mechanism that fixes the drawer 109 at a predetermined position can be provided. By providing the stopper mechanism, the safety of the transport carriage 100 can be further improved.

また、引出部１０９は、二組の下段アーム１３５を同時にスライドさせるように構成されていてもよいし、それぞれの下段アーム１３５を個別にスライドさせることができるような構成であってもよい。二組の下段アーム１３５が搬送台車１００の進行方向に垂直な方向に個別にスライド可能な構成とすることにより、下段１０３に積載されているＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の積み下ろし作業を限られたスペースでさらに効率よく行うことができる。 The drawer 109 may be configured to slide the two sets of lower arms 135 simultaneously, or may be configured to be able to slide each of the lower arms 135 individually. Since the two lower arms 135 can be individually slid in the direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100, the loading and unloading operations of the FOUP 121 and the FOUP 123 loaded on the lower stage 103 can be performed more efficiently in a limited space. Can be done well.

台車本体１０１の底部には、６つの車輪が設けられている。車輪は、搬送台車１００の進行方向に沿って、前列２輪、中列２輪、および後列２輪の３列６輪の配置となっており、中列の２輪が固定輪１１３、前列の２輪および後列の２輪は可動輪１１１である。台車本体１０１の底部中央に、搬送台車１００の進行方向に沿って固定された中列の固定輪１１３を設けることにより、並進時の走行安定性を向上させることができる。また、固定輪１１３の両側に可動輪１１１を設けることにより、固定輪１１３を回転軸として台車本体１０１を回転させることができるため、台車本体１０１の進行方向を容易に変えることが可能な構成とすることができる。 Six wheels are provided on the bottom of the cart body 101. The wheels are arranged in three rows and six wheels, two front rows, two middle rows, and two rear rows, along the traveling direction of the transport carriage 100. The two rows in the middle row are fixed wheels 113 and the front row. Two wheels and two wheels in the rear row are movable wheels 111. By providing a middle row of fixed wheels 113 fixed along the traveling direction of the transport cart 100 at the center of the bottom of the cart body 101, it is possible to improve running stability during translation. Further, by providing the movable wheels 111 on both sides of the fixed wheel 113, the carriage main body 101 can be rotated about the fixed wheel 113 as a rotation axis, so that the traveling direction of the carriage main body 101 can be easily changed. can do.

可動輪１１１および固定輪１１３と台車本体１０１との間には、防振機１１５が設けられている。防振機１１５は、たとえばバネやゴム等の弾性部材により構成することができる。弾性部材は、下段アーム１３５または上段アーム１３７がＦＯＵＰ１２１〜ＦＯＵＰ１２７を保持しているときにも、弾性限界内にある程度の弾性定数を有することが好ましい。このようにすれば、アームがＦＯＵＰを保持した状態で搬送台車１００を移動させた場合に搬送台車１００に振動が生じても、防振機１１５によりＦＯＵＰへの振動の影響が低減されるので、ＦＯＵＰに収納された加工物の損傷を防ぐことができる。また、振動の影響が低減されることにより、ＦＯＵＰに収容された加工物の歩留まり低下を防ぐこともできる。また、防振機１１５は、ゲル状材がシート状に成形された緩衝材シートとすることができる。こうすれば、簡素な構成で搬送台車１００の走行中の振動や衝撃の影響をさらに確実に低減させることができる。 A vibration isolator 115 is provided between the movable wheel 111 and the fixed wheel 113 and the cart body 101. The vibration isolator 115 can be constituted by an elastic member such as a spring or rubber, for example. The elastic member preferably has a certain elastic constant within the elastic limit even when the lower arm 135 or the upper arm 137 holds the FOUP 121 to FOUP 127. In this way, even if vibration is generated in the transport carriage 100 when the transport carriage 100 is moved with the arm holding the FOUP, the vibration isolator 115 reduces the influence of vibration on the FOUP. Damage to the workpieces stored in the FOUP can be prevented. In addition, since the influence of vibration is reduced, it is possible to prevent a decrease in yield of the workpieces accommodated in the FOUP. Further, the vibration isolator 115 can be a cushioning material sheet in which a gel material is formed into a sheet shape. If it carries out like this, the influence of the vibration and impact in driving | running | working of the conveyance trolley | bogie 100 with a simple structure can be reduced more reliably.

下段１０３の引出部１０９の底面には、転倒防止機１３３が設けられている。転倒防止機１３３は、下段支柱１１９と下段支持輪１３１とからなる。下段支柱１１９は、下段アーム１３５を引き出し可能に構成された引出部１０９の底面に連結され、下段１０３の延出方向にＬ字状に屈曲しており、その端部に下段支持輪１３１が設けられている。下段支持輪１３１は、設置面１１０上を回転可能であるため、下段１０３の引出部１０９をスライドさせた際に、転倒防止機１３３が引出部１０９とともにスライド方向に沿って移動可能な構成となっている。このため、下段アーム１３５に保持されたＦＯＵＰ１２１またはＦＯＵＰ１２３を引き出した際にも、搬送台車１００の転倒を確実に抑制することができる。 A fall prevention machine 133 is provided on the bottom surface of the drawer portion 109 of the lower stage 103. The fall prevention machine 133 includes a lower support column 119 and a lower support wheel 131. The lower support column 119 is connected to the bottom surface of the drawer portion 109 configured to be able to pull out the lower arm 135, and is bent in an L shape in the extending direction of the lower stage 103, and a lower support ring 131 is provided at an end thereof. It has been. Since the lower support wheel 131 can rotate on the installation surface 110, when the drawer portion 109 of the lower stage 103 is slid, the fall prevention device 133 can move along the slide direction together with the drawer portion 109. ing. For this reason, even when the FOUP 121 or the FOUP 123 held by the lower arm 135 is pulled out, the conveyance cart 100 can be reliably prevented from overturning.

台車本体１０１には、搬送台車１００の進行方向に沿った両端にそれぞれストッパ１１７が一つずつ設けられている。これにより、搬送台車１００を停止させて作業する際に、設置面１１０の所定の位置に搬送台車１００を固定しておくことができる。ストッパ１１７の構成に特に制限はなく、公知の構成を適宜採用することができるが、たとえば、ストッパ１１７の上面を作業者が踏んで設置面１１０に押しつけることにより、台車本体１０１が固定される構成とすることができる。 The carriage body 101 is provided with one stopper 117 at each end along the traveling direction of the transport carriage 100. Thereby, when carrying out the operation with the conveyance carriage 100 stopped, the conveyance carriage 100 can be fixed at a predetermined position on the installation surface 110. The configuration of the stopper 117 is not particularly limited, and a known configuration can be appropriately employed. For example, the carriage main body 101 is fixed by pressing the upper surface of the stopper 117 against the installation surface 110 by an operator. It can be.

また、搬送台車１００には、台車本体１０１の下段１０３を固定する支柱に接続され、下段１０３から上段１０５の方向に向かうにつれて、台車本体１０１から搬送台車１００の進行方向に平行な方向に遠ざかるように設けられたバー支柱１３９と、２本のバー支柱１３９に接続されてこれらに保持された搬送バー１４１とが設けられている。また、図２（ｂ）に示したように、搬送台車１００では、バー支柱１３９が下段１０３よりも設置面１１０の台車本体１０１に接合されているため、走行安定性をさらに向上させることができる。 In addition, the transport cart 100 is connected to a column that fixes the lower stage 103 of the cart body 101, and moves away from the cart body 101 in a direction parallel to the traveling direction of the transport cart 100 as it goes from the lower stage 103 to the upper stage 105. Are provided with a bar support 139 provided on the transport bar 141 and a transport bar 141 connected to and held by the two bar support 139. In addition, as shown in FIG. 2B, in the transport carriage 100, the bar support 139 is joined to the carriage main body 101 on the installation surface 110 rather than the lower stage 103, so that traveling stability can be further improved. .

なお、搬送台車１００の進行方向に平行な方向に遠ざかるとは、バー支柱１３９の下端と上端とが、設置面１１０の法線方向から見たときに、搬送台車１００の進行方向に平行に位置ずれしていることを指し、支柱の下端と上端が搬送台車１００の進行方向に沿って位置ずれしている構成だけでなく、これらが搬送台車１００の進行方向に対して斜めの方向に位置ずれしている構成も含む。 Note that moving away in a direction parallel to the traveling direction of the transport carriage 100 means that the lower end and the upper end of the bar column 139 are positioned in parallel to the traveling direction of the transport carriage 100 when viewed from the normal direction of the installation surface 110. This means that the lower end and the upper end of the column are displaced along the traveling direction of the transport carriage 100 as well as those that are oblique to the traveling direction of the transport carriage 100. The structure which is doing is included.

搬送バー１４１は、設置面１１０に平行に設けられ、設置面１１０の法線方向から見たときに、搬送台車１００の進行方向に垂直な方向（Ｂ−Ｂ’方向）に、台車本体１０１の全幅にわたって、具体的には、下段１０３の端部と上段１０５の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在している。このため、作業者は搬送バー１４１を把持して押すことにより、搬送台車１００を安定的に並進移動させることができ、搬送台車１００を並進させる際に設置面１１０内で搬送台車１００が回転することを抑制できる。なお、搬送台車１００では、搬送バー１４１は、台車本体１０１の両側に設けられているが、少なくとも一方の側に設けられていればよい。 The transport bar 141 is provided in parallel to the installation surface 110, and when viewed from the normal direction of the installation surface 110, the transport bar 141 extends in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport cart 100 (BB ′ direction). Specifically, it extends over the entire width connecting the outer end portions of the end portion of the lower stage 103 and the end portion of the upper stage 105 over the entire width. For this reason, the operator can stably translate the transport carriage 100 by gripping and pushing the transport bar 141, and the transport carriage 100 rotates within the installation surface 110 when the transport carriage 100 is translated. This can be suppressed. In the transport cart 100, the transport bars 141 are provided on both sides of the cart main body 101, but may be provided on at least one side.

次に、図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）に示した搬送台車１００の効果を説明する。
搬送台車１００においては、ＦＯＵＰ設置部が下段１０３および上段１０５の２段構成になっており、下段１０３と上段１０５のそれぞれにＦＯＵＰが設置される下段アーム１３５および上段アーム１３７が設けられている。そして、下段１０３に延出部１０７を設け、下段アーム１３５と上段アーム１３７の中心位置に意図的に所定量のオフセットを設け、上段１０５と下段１０３とでＦＯＵＰの保管位置を階段状にずらした構成となっている。これにより、重心が上方に位置する二段構成でありながら、半導体製造ラインで使用される際の走行時の安定性を充分に確保するとともに、必要最低限のスライド幅および作業スペースでのＦＯＵＰの積み下ろし作業が可能となる。 Next, the effect of the transport carriage 100 shown in FIG. 1 and FIGS. 2 (a) to 2 (c) will be described.
In the transport cart 100, the FOUP installation section has a two-stage configuration of a lower stage 103 and an upper stage 105, and a lower arm 135 and an upper arm 137 on which the FOUP is installed are provided in the lower stage 103 and the upper stage 105, respectively. Then, an extension 107 is provided in the lower stage 103, a predetermined amount of offset is intentionally provided at the center position of the lower stage arm 135 and the upper stage arm 137, and the storage position of the FOUP is shifted stepwise between the upper stage 105 and the lower stage 103. It has a configuration. As a result, while having a two-stage configuration with the center of gravity positioned above, sufficient stability during running when used in a semiconductor production line is ensured, and FOUP with the minimum required slide width and work space is ensured. Unloading work becomes possible.

搬送台車１００は半導体製造ラインで使用されるため、下段１０３は、その清浄度の確保の観点から、発塵の多い設置面１１０からの距離を一定間隔以上保った位置に設けられる。これにより、下段１０３の積載物の清浄度や、積載物の積み下ろし時の作業性が充分に確保される。こうした構成として、具体的には、下段１０３の設置面１１０からの高さを、上段１０５と下段１０３との間隔の１／２以上、好ましくは当該間隔以上とした構成が挙げられる。さらに具体的には、設置面１１０からの下段１０３および上段１０５の高さをそれぞれ５５０ｍｍ程度および９５０ｍｍ程度とすることができる。搬送台車１００では、下段１０３を設置面１１０から充分に高い位置に設置した場合にも、延出部１０７および引出部１０９を設けることにより、走行安定性および積載物の積み下ろし作業の作業性を向上させることができる。 Since the transport carriage 100 is used in a semiconductor manufacturing line, the lower stage 103 is provided at a position where the distance from the installation surface 110 where much dust is generated is kept at a certain distance or more from the viewpoint of ensuring cleanliness. Thereby, the cleanliness of the load of the lower stage 103 and the workability at the time of unloading the load are sufficiently ensured. As such a configuration, specifically, a configuration in which the height of the lower stage 103 from the installation surface 110 is set to ½ or more of the interval between the upper stage 105 and the lower stage 103, preferably more than the interval. More specifically, the height of the lower stage 103 and the upper stage 105 from the installation surface 110 can be set to about 550 mm and about 950 mm, respectively. In the transport cart 100, even when the lower stage 103 is installed at a sufficiently high position from the installation surface 110, by providing the extension part 107 and the extraction part 109, the running stability and workability of loading and unloading work are improved. Can be made.

延出部１０７の上段１０５端部からのＢ−Ｂ’方向への延出幅は、たとえば上段１０５の幅の１／１０以上、具体的には１００ｍｍ程度とすることができる。さらに具体的には、下段１０３のＢ−Ｂ’方向の幅をたとえば４５０ｍｍ程度とすることができる。こうすることにより、省スペース化を図りつつ、ＦＯＵＰ積載時の転倒をさらに確実に防止することができる。また、引出部１０９が、延出部１０７の端部からＢ−Ｂ’方向にたとえば２５０ｍｍ程度引き出し可能な構成とすることができる。こうすれば、下段１０３への積載物の積みおろし作業をさらに効率よく行うことができる。また、下段１０３のＡ−Ａ’方向の幅はたとえば１１００ｍｍ程度とすることができる。 The extension width in the B-B ′ direction from the end of the upper stage 105 of the extension part 107 can be, for example, 1/10 or more of the width of the upper stage 105, specifically about 100 mm. More specifically, the width of the lower stage 103 in the B-B ′ direction can be set to about 450 mm, for example. By doing so, it is possible to more reliably prevent the tumbling when loading the FOUP while saving space. Further, the lead-out portion 109 can be configured to be able to be pulled out from the end portion of the extension portion 107 in the B-B ′ direction, for example, by about 250 mm. In this way, the work of unloading the load to the lower stage 103 can be performed more efficiently. Further, the width of the lower stage 103 in the A-A ′ direction can be set to about 1100 mm, for example.

また、下段１０３にスライド機構を有する引出部１０９が設けられている。これにより、下段アーム１３５を可動式とすることができるので、搬送時のコンパクト性を確保し、２００ｍｍラインと同等の省スペースでも、図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）にて示した4個など一定の同時積載量が確保できる。 In addition, a drawer portion 109 having a slide mechanism is provided in the lower stage 103. Thereby, since the lower arm 135 can be made movable, the compactness during transportation is ensured, and even in a space saving equivalent to the 200 mm line, in FIGS. 1 and 2A to 2C It is possible to secure a certain load capacity such as the four shown.

また、下段１０３のＦＯＵＰの積み下ろしを行う場合、引出部１０９を引き出すことによりＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の上部の空間が確保され、作業者が無理な姿勢をとらずに下段１０３のＦＯＵＰ１２１およびＦＯＵＰ１２３の積み下ろしが可能となり、作業性も確保される。また、このとき、図２（ｃ）に示したように、転倒防止機１３３も同時に引き出されるため、搬送台車１００がバランスを崩すこともなく、安全性も確保されている。 In addition, when loading and unloading the FOUP in the lower stage 103, the upper space of the FOUP 121 and the FOUP 123 is secured by pulling out the drawer 109, and the FOUP 121 and the FOUP 123 in the lower stage 103 can be loaded and unloaded without the operator taking an unreasonable posture. Thus, workability is also ensured. At this time, as shown in FIG. 2 (c), since the fall prevention device 133 is also pulled out at the same time, the transport carriage 100 does not lose its balance, and safety is ensured.

また、下段１０３に延出部１０７および引出部１０９が設けられているため、下段１０３と上段１０５との間隔をＦＯＵＰの大きさと同程度にまで狭めることが可能である。このため、下段１０３を設置面１１０から充分に高い位置に設けた場合にも、上段１０５が作業者の身長に対して高すぎる位置に設けられることがなく、上段１０５に設置されるＦＯＵＰ１２５およびＦＯＵＰ１２７の積み下ろしの作業性も充分に確保し、簡便で安全な積み下ろし作業が可能となる。 Further, since the extending portion 107 and the leading portion 109 are provided in the lower stage 103, the distance between the lower stage 103 and the upper stage 105 can be reduced to the same extent as the size of the FOUP. For this reason, even when the lower stage 103 is provided at a sufficiently high position from the installation surface 110, the upper stage 105 is not provided at a position that is too high with respect to the height of the operator, and the FOUP 125 and the FOUP 127 installed on the upper stage 105 are provided. The workability of loading and unloading is sufficiently secured, and simple and safe loading and unloading work becomes possible.

従来の技術水準においては、３００ｍｍＦＯＵＰの搬送台車を２段にする場合、上段を下段の直上に設ける構成が採用されると考えられる。この構成では、重いキャリアを設置すると、台車の重心が上昇し、転倒しやすくなる懸念があった。このため、キャリアの設置部を広く設けたい一方、通路の幅との関係でできるだけ省スペース化する必要があった。 In the conventional technical level, when the 300 mm FOUP conveyance carriage is made up of two stages, it is considered that a configuration in which the upper stage is provided immediately above the lower stage is adopted. In this configuration, when a heavy carrier is installed, there is a concern that the center of gravity of the carriage rises and it is easy to fall over. For this reason, while it is desired to provide a wide carrier installation portion, it is necessary to save space as much as possible in relation to the width of the passage.

また、上下の間隔を広げて取り出し作業スペースを確保することも考えられるが、特に半導体製造に関わる場合は、前述したようにＦＯＵＰなどを設置可能な下限位置に制約がある。また、作業者の身長を考慮した作業性や作業安全性の観点から、ＦＯＵＰなどを設置可能な高さ方向の上限位置が制約される。結果として、上下の間隔を拡大することは困難であった。 In addition, it is conceivable to widen the upper and lower intervals to secure the removal work space. However, particularly in the case of semiconductor manufacturing, there is a restriction on the lower limit position where a FOUP or the like can be installed as described above. In addition, the upper limit position in the height direction where a FOUP or the like can be installed is restricted from the viewpoint of workability and work safety in consideration of the height of the worker. As a result, it was difficult to increase the vertical distance.

また、上下の設置位置の制約から、仮に下段のＦＯＵＰを単純に手前に引き出すことにより取り出し操作を行おうとする場合、２００ｍｍに比べ重量物である３００ｍｍＦＯＵＰの操作には危険が伴い、バランスを失って落下する恐れもあった。 In addition, due to restrictions on the upper and lower installation positions, if an attempt is made to perform the removal operation by simply pulling the lower FOUP forward, the operation of the 300 mm FOUP, which is a heavy object, is more dangerous than the 200 mm, and the balance is lost. There was also a risk of falling.

このように、３００ｍｍＦＯＵＰ用マニュアル搬送台車において、２００ｍｍラインと同様に省スペース化しつつ、４個など一定積載量が可能なコンパクト性と、安全性も確保された操作性とを確保することが課題となっていたが、図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）に示した搬送台車１００は、これらの課題を解決する構成となっており、一台に４個等の複数のＦＯＵＰを積載可能な構成でありながら、ＦＯＵＰの積載時に求められる床面からの高さを確保し、走行安定性および作業の安全性が充分に確保されている。また、省スペース化の観点でも好適な構成となっている。 As described above, in the 300 mm FOUP manual conveyance cart, as in the 200 mm line, it is a problem to ensure compactness capable of a constant load capacity such as four and operability with safety ensured while saving space. However, the transport cart 100 shown in FIGS. 1 and 2 (a) to 2 (c) is configured to solve these problems, and a plurality of FOUPs such as four are provided in one unit. Although it is a structure that can be loaded, the height from the floor surface required when loading the FOUP is secured, and the running stability and work safety are sufficiently secured. Moreover, it is a suitable structure also from a viewpoint of space saving.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.

たとえば、以上においては、下段１０３が搬送台車１００の進行方向に垂直な一方向にスライド可能な構成の場合を例に説明したが、下段１０３が搬送台車１００の進行方向に垂直な両方向にスライド可能な構成とすることもできる。 For example, in the above description, the case where the lower stage 103 is slidable in one direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100 has been described as an example. However, the lower stage 103 is slidable in both directions perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100. It can also be set as a simple structure.

また、以上においては、下段１０３が搬送台車１００の進行方向に垂直な一方向に延出している構成を例示したが、延出部１０７が進行方向に垂直な方向の両側に設けられていてもよい。 Further, in the above, the configuration in which the lower stage 103 extends in one direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage 100 is illustrated, but the extending portions 107 may be provided on both sides in the direction perpendicular to the traveling direction. Good.

また、以上においては、下段１０３に二組の下段アーム１３５が設けられ、上段１０５に二組の上段アーム１３７が設けられた構成を例示したが、下段１０３または上段１０５に三組以上のアームが設けられた構成としてもよい。 Further, in the above description, a configuration in which two sets of lower arms 135 are provided in the lower stage 103 and two sets of upper arms 137 are provided in the upper stage 105 is illustrated, but three or more sets of arms are provided in the lower stage 103 or the upper stage 105. It is good also as a structure provided.

また、以上においては、台車本体１０１の底部中央に固定輪１１３を設け、複数の下段アーム１３５が並んでいる方向に沿って搬送台車１００が進行する構成を例に説明したが、搬送台車１００の進行方向は一方向には限られず、複数の方向、たとえば図１におけるＡ−Ａ’方向およびこれに垂直なＢ−Ｂ’方向に進行可能な構成とすることもできる。 In the above description, the fixed wheel 113 is provided in the center of the bottom of the carriage main body 101, and the conveyance carriage 100 proceeds along the direction in which the plurality of lower arms 135 are arranged. The advancing direction is not limited to one direction, and may be configured to be able to travel in a plurality of directions, for example, the AA ′ direction in FIG. 1 and the BB ′ direction perpendicular thereto.

また、以上においては、可動輪１１１および固定輪１１３と台車本体１０１との間に防振機１１５が設けられている構成を例に説明したが、可動輪１１１および固定輪１１３として、防振機構を有する車輪を用いることもできる。 In the above description, the configuration in which the vibration isolator 115 is provided between the movable wheel 111 and the fixed wheel 113 and the cart body 101 has been described as an example. It is also possible to use wheels having

実施の形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the structure of the manual conveyance cart of the carrier which concerns on embodiment. 実施の形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the manual conveyance cart of the carrier which concerns on embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１００搬送台車
１０１台車本体
１０３下段
１０５上段
１０７延出部
１０９引出部
１１０設置面
１１１可動輪
１１３固定輪
１１５防振機
１１７ストッパ
１１９下段支柱
１２１ＦＯＵＰ
１２３ＦＯＵＰ
１２５ＦＯＵＰ
１２７ＦＯＵＰ
１３１下段支持輪
１３３転倒防止機
１３５下段アーム
１３７上段アーム
１３９バー支柱
１４１搬送バー
１４３受け部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Conveyor trolley | bogie 101 trolley | bogie main body 103 Lower stage 105 Upper stage 107 Extension part 109 Pull-out part 110 Installation surface 111 Movable wheel 113 Fixed wheel 115 Anti-vibration device 117 Stopper 119 Lower stage post 121 FOUP
123 FOUP
125 FOUP
127 FOUP
131 Lower support wheel 133 Fall prevention machine 135 Lower arm 137 Upper arm 139 Bar support 141 Transport bar 143 Receiving part

Claims

手押し操作により移動可能な台車本体と、
前記台車本体に設けられ、第一の段部と前記第一の段部の上部に設けられた第二の段部とを含む複数の段部と、
前記第一の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第一のキャリア保持部と、
前記第二の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第二のキャリア保持部と、
前記第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構と、
を有し、
前記第一のキャリア保持部の中心は、前記第二のキャリア保持部の中心に対して所定量オフセットされ、
前記水平移動機構は、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセット量を拡大させる方向に前記第一のキャリア保持部を水平に直線移動させるものであり、
前記台車本体の平面形状が長方形であり、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセットの方向が、前記台車本体の短辺方向であることを特徴とするウェーハ搬送台車。 A cart body that can be moved by a manual push operation;
A plurality of steps including a first step and a second step provided on an upper portion of the first step;
A first carrier holding portion provided in the first step portion and holding a wafer carrier;
A second carrier holding part that is provided in the second step part and holds a wafer carrier;
A horizontal movement mechanism for moving the first carrier holding part horizontally;
Have
The center of the first carrier holding part is offset by a predetermined amount with respect to the center of the second carrier holding part ,
The horizontal movement mechanism is a mechanism that horizontally moves the first carrier holding part in a direction in which the offset amount of the center of the first carrier holding part with respect to the center of the second carrier holding part is expanded,
The planar shape of the cart body is rectangular, and the direction of offset of the center of the first carrier holding portion with respect to the center of the second carrier holding portion is the short side direction of the cart body. Wafer transfer cart.

請求項１に記載のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の走行方向が、前記台車本体の長辺方向であることを特徴とするウェーハ搬送台車。 2. The wafer transfer cart according to claim 1 , wherein a traveling direction of the wafer transfer cart is a long side direction of the cart main body .

請求項１または２に記載のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部は前記第二の段部に対し、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出していることを特徴とするウェーハ搬送台車。 3. The wafer conveyance carriage according to claim 1, wherein the first step portion extends in a direction perpendicular to a traveling direction of the wafer conveyance carriage relative to the second step portion. Wafer transfer cart.

請求項１乃至３いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部の当該ウェーハ搬送台車の設置面からの高さが、前記第二の段部と前記第一の段部との間隔の１／２以上であることを特徴とするウェーハ搬送台車。 4. The wafer transfer carriage according to claim 1, wherein a height of the first step portion from an installation surface of the wafer transfer carriage is between the second step portion and the first step portion. A wafer transport cart characterized by being at least half the interval.

請求項１乃至４いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記台車本体の底部の中央に、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向に固定された固定輪を有することを特徴とするウェーハ搬送台車。 5. The wafer transfer carriage according to claim 1, further comprising: a fixed ring fixed in a direction along a traveling direction of the wafer transfer carriage at a center of a bottom portion of the carriage main body. Trolley.

請求項１乃至５いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部に連結され、前記第一のキャリア保持部の移動方向に沿って前記第一のキャリア保持部とともに移動可能に構成された転倒防止手段を有することを特徴とするウェーハ搬送台車。 6. The wafer conveyance carriage according to claim 1, wherein the carriage carrier is connected to the first carrier holding part and is movable together with the first carrier holding part along a moving direction of the first carrier holding part. A wafer conveyance carriage comprising a fall prevention means configured.

請求項１乃至６いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って、前記第一のキャリア保持部が複数列設けられ、前記複数列の第一のキャリア保持部が前記進行方向に垂直な方向に個別に引き出し可能に構成されていることを特徴とするウェーハ搬送台車。 7. The wafer transport carriage according to claim 1, wherein a plurality of rows of the first carrier holding portions are provided along a traveling direction of the wafer transport cart, and the first carrier holding portions of the plurality of rows are provided. A wafer transfer carriage characterized in that it can be pulled out individually in a direction perpendicular to the traveling direction.

請求項１乃至７いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、
当該ウェーハ搬送台車の設置面の法線方向から見たときに、
当該ウェーハ搬送台車の進行方向と垂直な方向に、前記第一の段部の端部と前記第二の段部の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在する搬送バーが設けられていることを特徴とするウェーハ搬送台車。 In the wafer conveyance cart in any one of Claims 1 thru / or 7,
When viewed from the normal direction of the installation surface of the wafer transfer carriage,
A transfer bar extending across the entire width connecting the outer ends of the first step end and the second step end in a direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. A wafer transfer carriage characterized by that.

請求項１乃至８いずれかに記載のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部が当該ウェーハ搬送台車の進行方向に垂直な両方向に平面移動可能に構成されていることを特徴とするウェーハ搬送台車。 9. The wafer transfer carriage according to claim 1, wherein the first carrier holding portion is configured to be movable in a plane in both directions perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. Trolley.