JP4555655B2 - Wafer transfer cart - Google Patents
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Description
本発明は、ウェーハキャリアの搬送台車に関し、とくに、手押し操作により移動可能な搬送台車に関する。 The present invention relates to a wafer carrier carriage, and more particularly, to a carriage that can be moved by a manual operation.
ウェーハ径が300mmを超えるウェーハを複数収納して搬送する場合、キャリアの重量は7〜8kgと重くなってしまい、人手で搬送するのは困難である。そのため、このようなキャリアの搬送は自動化されるようになっている。しかし、カスタムLSIの製造工程や試作ライン等、自動化できないような場合は、キャリアの搬送を人手による手押し操作で行う必要がある。このような場合、人手で移動させる搬送台車(PGV:person guided vehicle)を用いて、キャリアの搬送が行われる。たとえば、自動化されていない300mm拡散ラインにおいては、一人が一つの300mmFOUP(Front Opening Unified Pod)を乗せることができるPGVを用いて、各装置間、装置棚間の搬送を実施している。 When a plurality of wafers having a wafer diameter exceeding 300 mm are stored and transported, the weight of the carrier becomes 7 to 8 kg, which is difficult to transport manually. For this reason, such carrier transport is automated. However, when it is impossible to automate a custom LSI manufacturing process or a trial production line, it is necessary to carry the carrier manually. In such a case, the carrier is transported using a manually guided vehicle (PGV) that is moved manually. For example, in a 300 mm diffusion line that is not automated, a PGV on which one person can place a single 300 mm FOUP (Front Opening Unified Pod) is used to carry between each device and between device shelves.
そのような搬送台車の例として、特許文献1に記載の技術がある。特許文献1には、加工物である複数枚の半導体基板を収納する半導体基板用キャリアを荷台に載せ、人手で移動させ、半導体製造装置または半導体検査装置のステーションに荷台との間で半導体基板用キャリアの受け渡しをする搬送台車が開示されている。
ところが、上記文献記載の従来技術は、一台の台車に一度に積載できる300mmFOUPは一個であった。このため、作業者が何度も往復操作を繰り返す必要があり、運搬作業の効率の点で改善の余地があった。 However, according to the prior art described in the above document, there is only one 300 mm FOUP that can be loaded on one carriage at a time. For this reason, it is necessary for the operator to repeat the reciprocating operation many times, and there is room for improvement in terms of the efficiency of the transportation work.
また、300mmFOUPでは、200mmキャリアに比べ、大きさが大きく、また、重量も増しているため、搬送ルート等の搬送レイアウトに制約があり、これに対応した走行安定性を確保するとともに、300mmFOUPの取り扱い時の人的・物的安全を確保することが課題となる。 In addition, 300mm FOUP is larger than 200mm carrier and is heavier than the 200mm carrier, so there are restrictions on the transportation layout such as the transportation route. Ensuring human and material safety at the time is an issue.
300mmFOUPは200mmキャリアに比べ倍近い大きさがあり、すれ違い等を考えると、従来は一人で搬送可能な300mmFOUPは多くても2つ程度であった。また、搬送台車を2段構成とすることも考えられるが、ウェーハの搬送においては、その清浄度の確保の観点から、FOUPの設置面について、発塵の多い床からの距離を一定間隔以上保つことが求められる。この要請により、FOUPが設置される下段が床面から所定の高さ以上に位置するように設計する必要があった。このため、従来の技術水準において、下段の直上に上段が配置された場合、台車に重いキャリアを載せると、台車全体の重心が上昇し、転倒しやすくなる懸念があった。 The 300 mm FOUP is nearly twice as large as the 200 mm carrier, and considering the passing, etc., conventionally, there are at most two 300 mm FOUPs that can be transported by one person. In addition, although it is conceivable that the transfer carriage has a two-stage configuration, in the transfer of wafers, the distance from the dusty floor is kept at a certain distance or more on the FOUP installation surface from the viewpoint of ensuring the cleanliness. Is required. In response to this request, it has been necessary to design the lower stage where the FOUP is installed to be located above a predetermined height from the floor surface. For this reason, in the conventional technical level, when the upper stage is arranged immediately above the lower stage, if a heavy carrier is placed on the carriage, the center of gravity of the entire carriage rises, and there is a concern that the carriage will easily fall over.
また、転倒を防止して走行安定性を向上させるためには、キャリアの設置部を広く設けたい一方で、前述した搬送レイアウトの制約との関係では、できるだけ省スペース化する必要があった。このため、一度に複数の300mmFOUPを運搬可能なウェーハ搬送台車の走行安定性を向上させるためには、従来とは異なる設計思想が必要であった。 Further, in order to prevent the vehicle from falling and improve traveling stability, it is desired to provide a wide carrier installation portion. On the other hand, it is necessary to save space as much as possible in relation to the above-described restrictions on the transportation layout. For this reason, in order to improve the running stability of a wafer transfer carriage capable of carrying a plurality of 300 mm FOUPs at a time, a design philosophy different from the conventional one is necessary.
また、従来の技術水準において搬送台車を2段構成とすると、下段の設置位置が低すぎて積載物をとる際に腰をかがめる作業が必要となったり、上段の設置位置が高すぎて作業性が低下したりする。このため、上段または下段のどちらかの積み下ろしの作業性が低下し、断続的に作業を実施することが困難であった。 In addition, if the transport carriage has a two-stage configuration in the conventional technology level, the installation position of the lower stage is too low, and it is necessary to bend down when taking the load, or the installation position of the upper stage is too high. Or drop. For this reason, the workability of loading or unloading either the upper stage or the lower stage is lowered, and it is difficult to perform the work intermittently.
本発明は上記課題を解決するためになされたのものであり、ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させるものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and improves the running stability and the like of a manual carrier cart of a wafer carrier.
本発明によれば、
手押し操作により移動可能な台車本体と、
前記台車本体に設けられ、第一の段部と前記第一の段部の上部に設けられた第二の段部とを含む複数の段部と、
前記第一の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第一のキャリア保持部と、
前記第二の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第二のキャリア保持部と、
前記第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構と、
を有し、
前記第一のキャリア保持部の中心は、前記第二のキャリア保持部の中心に対して所定量オフセットされ、
前記水平移動機構は、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセット量を拡大させる方向に前記第一のキャリア保持部を水平に直線移動させるものであり、
前記台車本体の平面形状が長方形であり、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセットの方向が、前記台車本体の短辺方向であることを特徴とするウェーハ搬送台車が提供される。
According to the present invention,
A cart body that can be moved by a manual push operation;
A plurality of steps including a first step and a second step provided on an upper portion of the first step;
A first carrier holding portion provided in the first step portion and holding a wafer carrier;
A second carrier holding part that is provided in the second step part and holds a wafer carrier;
A horizontal movement mechanism for moving the first carrier holding part horizontally;
Have
The center of the first carrier holding part is offset by a predetermined amount with respect to the center of the second carrier holding part ,
The horizontal movement mechanism is a mechanism that horizontally moves the first carrier holding part in a direction in which the offset amount of the center of the first carrier holding part with respect to the center of the second carrier holding part is expanded,
The planar shape of the cart body is rectangular, and the direction of offset of the center of the first carrier holding portion with respect to the center of the second carrier holding portion is the short side direction of the cart body. A wafer transfer carriage is provided.
本発明によれば、第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対して設置面に水平に意図的に所定量オフセットさせている。このため、ウェーハの搬送において求められる第一の段部の設置面からの高さを充分に確保しつつ、複数段の段部のそれぞれにキャリア保持部を設ける場合にも、キャリア保持部にキャリアが設置されて、台車全体の重心の高さが上昇することによる搬送時の走行安定性の低下を抑制することができる。よって、一度に複数のキャリアを積載可能とし、また第一の段部の設置面からの高さを確保しつつ、走行時安定性を向上させることができる。 According to the present invention, the center of the first carrier holding part is intentionally offset by a predetermined amount horizontally with respect to the installation surface with respect to the center of the second carrier holding part. For this reason, even when a carrier holding portion is provided in each of the plurality of step portions while ensuring a sufficient height from the installation surface of the first step portion required for wafer conveyance, the carrier holding portion has a carrier. Is installed, and a decrease in running stability during transportation due to an increase in the height of the center of gravity of the entire carriage can be suppressed. Therefore, it is possible to load a plurality of carriers at a time, and it is possible to improve running stability while securing the height of the first step portion from the installation surface.
なお、第一の段部の設置面からの高さは、ウェーハ搬送台車が使用される半導体製造ラインにおいて要求される清浄度が確保できる程度であればよく、たとえば、前記第一の段部の当該ウェーハ搬送台車の設置面からの高さが、前記第二の段部と前記第一の段部との間隔の1/2以上である構成とすれば充分である。この構成によれば、第一のウェーハ保持部の高さを確保しつつ、第一のキャリア保持部および第二のキャリア保持部の積載物の積み下ろし作業の作業性をさらに向上させることができる。 In addition, the height from the installation surface of the first step portion may be a level that can ensure the cleanliness required in the semiconductor production line in which the wafer conveyance carriage is used. It is sufficient if the height of the wafer transfer carriage from the installation surface is 1/2 or more of the distance between the second step portion and the first step portion. According to this configuration, it is possible to further improve the workability of the work of unloading the load of the first carrier holding part and the second carrier holding part while securing the height of the first wafer holding part.
また、本発明において、オフセットさせたとは、第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対してウェーハ搬送台車の設置面内で不一致となるように意図的にずらしていることを指し、第一のキャリア保持部の直上に第二のキャリア保持部が設けられた構成において非意図的に生じた位置ずれは含まない。オフセットさせた具体的な構成としては、たとえばそれぞれのキャリア保持部にキャリアを設置した状態で、上段と下段におけるキャリアの重心位置がずれている構成が挙げられる。 Further, in the present invention, the offset means that the center of the first carrier holding part is intentionally shifted with respect to the center of the second carrier holding part so as to be inconsistent in the installation surface of the wafer conveyance carriage. This means that misalignment that occurs unintentionally in the configuration in which the second carrier holding part is provided immediately above the first carrier holding part is not included. Specific examples of the offset configuration include a configuration in which the positions of the centers of gravity of the carriers in the upper stage and the lower stage are shifted in a state where the carriers are installed in the respective carrier holding portions.
また、本発明においては、第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構が設けられているため、下段に対応する第一の段部に設けられた第一のキャリア保持部への積載物の積み下ろし作業の際に、第一のキャリア保持部を水平移動させて作業することが可能となる。このため、複数の段部を有する構成としつつ、積み下ろし作業の作業性を向上させることができる。 In the present invention, since the horizontal movement mechanism for moving the first carrier holding portion horizontally is provided, the loading to the first carrier holding portion provided in the first step portion corresponding to the lower step is performed. It is possible to work by horizontally moving the first carrier holding portion during the loading and unloading work. For this reason, it is possible to improve the workability of the loading and unloading operation while having a configuration having a plurality of steps.
本発明によれば、台車本体に設けられた第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対してウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせることにより、ウェーハキャリアのマニュアル搬送台車の走行安定性等を向上させる技術が実現される。 According to the present invention, the center of the first carrier holding part provided in the carriage main body is offset by a predetermined amount in the direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage with respect to the center of the second carrier holding part. Thus, a technique for improving the running stability of the manual carrier cart of the wafer carrier is realized.
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部の中心を、前記第二のキャリア保持部の中心に対して、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に所定量オフセットさせた構成とすることができる。 In the wafer transfer cart of the present invention, the center of the first carrier holding portion is offset by a predetermined amount in the direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer cart with respect to the center of the second carrier holding portion. It can be.
第一のキャリア保持部の中心を第二のキャリア保持部の中心に対して設置面に水平でウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に意図的に所定量オフセットさせることにより、搬送時の走行安定性の低下をより一層確実に抑制することができる。このため、一度に複数のキャリアを積載可能とし、第一の段部の設置面からの高さを確保しつつ、走行時に台車が傾斜したり転倒したりすることをさらに確実に抑制することができる。 Traveling during transport by intentionally offsetting the center of the first carrier holding part with respect to the center of the second carrier holding part in a direction that is horizontal to the installation surface and perpendicular to the traveling direction of the wafer transport carriage A decrease in stability can be more reliably suppressed. For this reason, a plurality of carriers can be loaded at a time, and the height of the first stepped portion from the installation surface can be secured, and the cart can be further reliably prevented from tilting or falling during traveling. it can.
なお、本発明において、走行方向と垂直方向にオフセットされて配置されているとは、走行安定性が向上するように走行方向に垂直な方向のオフセット量を所定量有していることを指し、第一のキャリア保持部の中心が第二のキャリア保持部の中心に対して垂直方向に所定量位置ずれしている構成、具体的には第二の段部の幅の1割以上ずれるように位置ずれしている構成だけでなく、走行方向に垂直な方向のオフセット成分以外に走行方向のオフセット成分を有し、第一のキャリア保持部の中心が第二のキャリア保持部の中心に対して進行方向に対して斜めの方向に位置ずれしている構成を含む。 In the present invention, being arranged offset in the direction perpendicular to the traveling direction refers to having a predetermined amount of offset in the direction perpendicular to the traveling direction so as to improve traveling stability, A configuration in which the center of the first carrier holding part is displaced by a predetermined amount in the vertical direction with respect to the center of the second carrier holding part, specifically, so as to be shifted by 10% or more of the width of the second step part. In addition to the offset component, the offset component in the traveling direction other than the offset component in the direction perpendicular to the traveling direction has an offset component in the traveling direction, and the center of the first carrier holding unit is relative to the center of the second carrier holding unit It includes a configuration that is displaced in a direction oblique to the traveling direction.
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一の段部は前記第二の段部に対し、当該ウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出していてもよい。こうすれば、下段に相当する第一のキャリア保持部の積載物の積み下ろし作業をさらに容易に行うことができるので、作業性の向上が可能となる。なお、本発明において、走行方向と垂直方向に延出しているとは、第一のキャリア保持部の積載物を走行方向に垂直な方向から取り出す際に取り出しやすいように、ウェーハ搬送台車の設置面と水平に第一のキャリア保持部が延出していることを指し、第一のキャリア保持部がウェーハ搬送台車の走行方向と垂直な方向に延出している構成だけでなく、第一のキャリア保持部がウェーハ搬送台車の進行方向に対して斜めの方向に延出している構成も含まれる。 In the wafer conveyance carriage of the present invention, the first step portion may extend in a direction perpendicular to the traveling direction of the wafer conveyance carriage relative to the second step portion. In this way, the work of unloading the load of the first carrier holding unit corresponding to the lower stage can be performed more easily, so that the workability can be improved. In the present invention, the term “extending in the direction perpendicular to the traveling direction” means that the wafer carrier carriage is installed so that it can be easily removed when the load on the first carrier holding part is removed from the direction perpendicular to the traveling direction. The first carrier holding part extends horizontally, and the first carrier holding part extends not only in the direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage, but also the first carrier holding. A configuration in which the portion extends in an oblique direction with respect to the traveling direction of the wafer conveyance carriage is also included.
本発明のウェーハ搬送台車において、前記台車本体の底部の中央に、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向に固定された固定輪を有する構成とすることができる。底部の中央とは、並進搬送時にウェーハ搬送台車が回転しないような位置であればよく、ウェーハ搬送台車の進行方向に沿った方向における中央近傍であれば、台車本体の端部側であっても内側であってもよい。たとえば、この構成において、前記台車本体の底部に当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って3列以上の車輪が設けられ、内側の前記車輪が固定輪である構成とすることができる。内側の車輪とは、最外列でない車輪のことであり、当該車輪の両側に別の車輪が設けられていることをいう。また、固定輪であるとは、車輪がウェーハ搬送台車の設置面内方向に回転せずに、進行方向に沿って進むように構成されていることをいう。このようにすれば、ウェーハ搬送台車の走行安定性をより一層向上させることができる。 In the wafer transfer carriage of the present invention, a configuration may be adopted in which a fixed ring fixed in the direction along the traveling direction of the wafer transfer carriage is provided at the center of the bottom of the carriage body. The center of the bottom portion may be a position where the wafer transfer carriage does not rotate during translation transfer. If it is near the center in the direction along the traveling direction of the wafer transfer carriage, it may be on the end side of the carriage main body. It may be inside. For example, in this configuration, three or more rows of wheels may be provided along the traveling direction of the wafer transfer cart at the bottom of the cart body, and the inner wheels may be fixed wheels. An inner wheel is a wheel which is not the outermost row, and means that another wheel is provided on both sides of the wheel. In addition, the fixed wheel means that the wheel is configured to advance in the traveling direction without rotating in the in-plane direction of the wafer conveyance carriage. In this way, the running stability of the wafer transfer carriage can be further improved.
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部に連結され、前記第一のキャリア保持部の移動方向に沿って前記第一のキャリア保持部とともに移動可能に構成された転倒防止手段を有する構成とすることができる。こうすることにより、第一のキャリア保持部を引き出した際にも転倒をさらに確実に抑制できるので、積み下ろし作業の安定性をさらに向上させることができる。 In the wafer conveyance carriage according to the present invention, there is provided a fall prevention means coupled to the first carrier holding part and configured to be movable together with the first carrier holding part along a moving direction of the first carrier holding part. It can be set as the structure which has. By doing this, even when the first carrier holding part is pulled out, the overturn can be more reliably suppressed, so that the stability of the unloading work can be further improved.
本発明のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の進行方向に沿って、前記第一のキャリア保持部が複数列設けられ、前記複数列の第一のキャリア保持部が前記進行方向に垂直な方向に個別に引き出し可能に構成されてもよい。こうすれば、下段の積載物の積み下ろし作業の安定性をより一層向上させることができる。 In the wafer conveyance carriage of the present invention, a plurality of the first carrier holding portions are provided along the traveling direction of the wafer conveyance carriage, and the plurality of first carrier holding portions are perpendicular to the traveling direction. It may be configured such that it can be pulled out individually. By so doing, it is possible to further improve the stability of the work of unloading the lower load.
本発明のウェーハ搬送台車において、当該ウェーハ搬送台車の設置面の法線方向から見たときに、当該ウェーハ搬送台車の進行方向と垂直な方向に、前記第一の段部の端部と前記第二の段部の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在する搬送バーが設けられていてもよい。こうするすることにより、作業者が搬送バーを押してさらに安定に走行させることが可能な構成とすることができる。 In the wafer transfer carriage of the present invention, when viewed from the normal direction of the installation surface of the wafer transfer carriage, the end of the first step portion and the first portion are perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. A transport bar may be provided that extends over the entire width connecting the outer ends of the two stepped ends. By doing so, it is possible to provide a configuration in which the operator can more stably travel by pressing the transport bar.
本発明のウェーハ搬送台車において、前記第一のキャリア保持部が当該ウェーハ搬送台車の進行方向に垂直な両方向に平面移動可能に構成されていてもよい。こうすれば、下段の積載物の積み下ろし作業をより一層容易に行うことが可能となる。 In the wafer transfer carriage of the present invention, the first carrier holding portion may be configured to be movable in both directions perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. In this way, it is possible to more easily perform the work of unloading the lower load.
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いてさらに詳細に説明する。なお、すべての図面において、共通の構成要素には同じ符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In all the drawings, common constituent elements are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted as appropriate.
図1は、本実施形態に係るキャリアのマニュアル搬送台車の構成を模式的に示す斜視図である。図2(a)〜図2(c)は、図1に示した搬送台車100の構成をさらに詳細に示す図である。図2(a)は、搬送台車100の平面図である。また図2(b)は、図1をA−A’方向から見た図である。また図2(c)は、図1をB−B’方向から見た図である。搬送台車100は、半導体ウェーハ等の工作物が収納されたキャリアを手押し操作により移動させる。以下、キャリアが300mmFOUPである場合を例に、これらの図を参照して搬送台車100の構成を詳細に説明する。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration of a manual carrier cart of a carrier according to the present embodiment. FIG. 2A to FIG. 2C are diagrams showing the configuration of the
搬送台車100は、手押し操作により移動可能な台車本体101に、キャリアを設置する下段103と上段105の互いに平行な2つの段部が設けられた構成である。下段103には、下段アーム135が搬送台車100の進行方向(図中のA−A’方向)に沿って二組並置されている。下段アーム135は、下段103上にFOUP121またはFOUP123を保持する。下段アーム135および下段103の底面は、キャリア保持部として機能する。また、上段アーム137は、上段105上にFOUP125またはFOUP127を保持する。上段アーム137および上段105の底面は、キャリア保持部として機能する。
The
このように、搬送台車100には、上段105および下段103のそれぞれに2つずつのキャリア保持部が設けられているため、一台の搬送台車100にFOUP121〜FOUP127の4個の300mmFOUPを同時に設置して運搬することができる。
As described above, since the
FOUP121〜FOUP127には、それぞれの両側面に、受け部143が設けられており、受け部143が搬送台車100の下段アーム135または上段アーム137に保持されることにより、FOUPが下段103または上段105のアームに保持される。
The
図1、図2(a)および図2(c)に示したように、搬送台車100では、設置面110の法線方向から見たときに、下段アーム135の中心を上段アーム137の中心に対して搬送台車100の走行方向と垂直な方向(図中のB−B’方向)に所定量オフセットさせた構成、具体的には、下段アーム135および上段アーム137にそれぞれFOUPを設置した状態で、設置面110に水平な平面内において、FOUP121およびFOUP123の重心位置を、それぞれ、FOUP125およびFOUP127の重心位置に対して搬送台車100の走行方向と垂直な方向にオフセットさせた構成となっている。
As shown in FIGS. 1, 2 (a), and 2 (c), in the
また、下段103には延出部107および引出部109が設けられている。延出部107は、上段105に対し、搬送台車100の走行方向と垂直な方向に延出している部分である。
The
また、引出部109は、下段103に設けられた下段アーム135を水平に、具体的には搬送台車100の進行方向に垂直な方向(図中B−B’方向)にスライド可能に構成されている。図1および図2(a)〜図2(c)に示した搬送台車100では、引出部109が延出部107の側にさらに延出可能となっている構成が例示されている。
Further, the
なお、引出部109のスライド機構に特に制限はなく、公知の機構を適宜用いることができる。また、スライド機構とともに、引出部109を所定の位置で固定するストッパ機構を設けることもできる。ストッパ機構を設けることにより、搬送台車100の安全性をさらに向上させることができる。
In addition, there is no restriction | limiting in particular in the slide mechanism of the drawer | drawing-out
また、引出部109は、二組の下段アーム135を同時にスライドさせるように構成されていてもよいし、それぞれの下段アーム135を個別にスライドさせることができるような構成であってもよい。二組の下段アーム135が搬送台車100の進行方向に垂直な方向に個別にスライド可能な構成とすることにより、下段103に積載されているFOUP121およびFOUP123の積み下ろし作業を限られたスペースでさらに効率よく行うことができる。
The
台車本体101の底部には、6つの車輪が設けられている。車輪は、搬送台車100の進行方向に沿って、前列2輪、中列2輪、および後列2輪の3列6輪の配置となっており、中列の2輪が固定輪113、前列の2輪および後列の2輪は可動輪111である。台車本体101の底部中央に、搬送台車100の進行方向に沿って固定された中列の固定輪113を設けることにより、並進時の走行安定性を向上させることができる。また、固定輪113の両側に可動輪111を設けることにより、固定輪113を回転軸として台車本体101を回転させることができるため、台車本体101の進行方向を容易に変えることが可能な構成とすることができる。
Six wheels are provided on the bottom of the
可動輪111および固定輪113と台車本体101との間には、防振機115が設けられている。防振機115は、たとえばバネやゴム等の弾性部材により構成することができる。弾性部材は、下段アーム135または上段アーム137がFOUP121〜FOUP127を保持しているときにも、弾性限界内にある程度の弾性定数を有することが好ましい。このようにすれば、アームがFOUPを保持した状態で搬送台車100を移動させた場合に搬送台車100に振動が生じても、防振機115によりFOUPへの振動の影響が低減されるので、FOUPに収納された加工物の損傷を防ぐことができる。また、振動の影響が低減されることにより、FOUPに収容された加工物の歩留まり低下を防ぐこともできる。また、防振機115は、ゲル状材がシート状に成形された緩衝材シートとすることができる。こうすれば、簡素な構成で搬送台車100の走行中の振動や衝撃の影響をさらに確実に低減させることができる。
A
下段103の引出部109の底面には、転倒防止機133が設けられている。転倒防止機133は、下段支柱119と下段支持輪131とからなる。下段支柱119は、下段アーム135を引き出し可能に構成された引出部109の底面に連結され、下段103の延出方向にL字状に屈曲しており、その端部に下段支持輪131が設けられている。下段支持輪131は、設置面110上を回転可能であるため、下段103の引出部109をスライドさせた際に、転倒防止機133が引出部109とともにスライド方向に沿って移動可能な構成となっている。このため、下段アーム135に保持されたFOUP121またはFOUP123を引き出した際にも、搬送台車100の転倒を確実に抑制することができる。
A
台車本体101には、搬送台車100の進行方向に沿った両端にそれぞれストッパ117が一つずつ設けられている。これにより、搬送台車100を停止させて作業する際に、設置面110の所定の位置に搬送台車100を固定しておくことができる。ストッパ117の構成に特に制限はなく、公知の構成を適宜採用することができるが、たとえば、ストッパ117の上面を作業者が踏んで設置面110に押しつけることにより、台車本体101が固定される構成とすることができる。
The
また、搬送台車100には、台車本体101の下段103を固定する支柱に接続され、下段103から上段105の方向に向かうにつれて、台車本体101から搬送台車100の進行方向に平行な方向に遠ざかるように設けられたバー支柱139と、2本のバー支柱139に接続されてこれらに保持された搬送バー141とが設けられている。また、図2(b)に示したように、搬送台車100では、バー支柱139が下段103よりも設置面110の台車本体101に接合されているため、走行安定性をさらに向上させることができる。
In addition, the
なお、搬送台車100の進行方向に平行な方向に遠ざかるとは、バー支柱139の下端と上端とが、設置面110の法線方向から見たときに、搬送台車100の進行方向に平行に位置ずれしていることを指し、支柱の下端と上端が搬送台車100の進行方向に沿って位置ずれしている構成だけでなく、これらが搬送台車100の進行方向に対して斜めの方向に位置ずれしている構成も含む。
Note that moving away in a direction parallel to the traveling direction of the
搬送バー141は、設置面110に平行に設けられ、設置面110の法線方向から見たときに、搬送台車100の進行方向に垂直な方向(B−B’方向)に、台車本体101の全幅にわたって、具体的には、下段103の端部と上段105の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在している。このため、作業者は搬送バー141を把持して押すことにより、搬送台車100を安定的に並進移動させることができ、搬送台車100を並進させる際に設置面110内で搬送台車100が回転することを抑制できる。なお、搬送台車100では、搬送バー141は、台車本体101の両側に設けられているが、少なくとも一方の側に設けられていればよい。
The
次に、図1および図2(a)〜図2(c)に示した搬送台車100の効果を説明する。
搬送台車100においては、FOUP設置部が下段103および上段105の2段構成になっており、下段103と上段105のそれぞれにFOUPが設置される下段アーム135および上段アーム137が設けられている。そして、下段103に延出部107を設け、下段アーム135と上段アーム137の中心位置に意図的に所定量のオフセットを設け、上段105と下段103とでFOUPの保管位置を階段状にずらした構成となっている。これにより、重心が上方に位置する二段構成でありながら、半導体製造ラインで使用される際の走行時の安定性を充分に確保するとともに、必要最低限のスライド幅および作業スペースでのFOUPの積み下ろし作業が可能となる。
Next, the effect of the
In the
搬送台車100は半導体製造ラインで使用されるため、下段103は、その清浄度の確保の観点から、発塵の多い設置面110からの距離を一定間隔以上保った位置に設けられる。これにより、下段103の積載物の清浄度や、積載物の積み下ろし時の作業性が充分に確保される。こうした構成として、具体的には、下段103の設置面110からの高さを、上段105と下段103との間隔の1/2以上、好ましくは当該間隔以上とした構成が挙げられる。さらに具体的には、設置面110からの下段103および上段105の高さをそれぞれ550mm程度および950mm程度とすることができる。搬送台車100では、下段103を設置面110から充分に高い位置に設置した場合にも、延出部107および引出部109を設けることにより、走行安定性および積載物の積み下ろし作業の作業性を向上させることができる。
Since the
延出部107の上段105端部からのB−B’方向への延出幅は、たとえば上段105の幅の1/10以上、具体的には100mm程度とすることができる。さらに具体的には、下段103のB−B’方向の幅をたとえば450mm程度とすることができる。こうすることにより、省スペース化を図りつつ、FOUP積載時の転倒をさらに確実に防止することができる。また、引出部109が、延出部107の端部からB−B’方向にたとえば250mm程度引き出し可能な構成とすることができる。こうすれば、下段103への積載物の積みおろし作業をさらに効率よく行うことができる。また、下段103のA−A’方向の幅はたとえば1100mm程度とすることができる。
The extension width in the B-B ′ direction from the end of the
また、下段103にスライド機構を有する引出部109が設けられている。これにより、下段アーム135を可動式とすることができるので、搬送時のコンパクト性を確保し、200mmラインと同等の省スペースでも、図1および図2(a)〜図2(c)にて示した4個など一定の同時積載量が確保できる。
In addition, a
また、下段103のFOUPの積み下ろしを行う場合、引出部109を引き出すことによりFOUP121およびFOUP123の上部の空間が確保され、作業者が無理な姿勢をとらずに下段103のFOUP121およびFOUP123の積み下ろしが可能となり、作業性も確保される。また、このとき、図2(c)に示したように、転倒防止機133も同時に引き出されるため、搬送台車100がバランスを崩すこともなく、安全性も確保されている。
In addition, when loading and unloading the FOUP in the
また、下段103に延出部107および引出部109が設けられているため、下段103と上段105との間隔をFOUPの大きさと同程度にまで狭めることが可能である。このため、下段103を設置面110から充分に高い位置に設けた場合にも、上段105が作業者の身長に対して高すぎる位置に設けられることがなく、上段105に設置されるFOUP125およびFOUP127の積み下ろしの作業性も充分に確保し、簡便で安全な積み下ろし作業が可能となる。
Further, since the extending
従来の技術水準においては、300mmFOUPの搬送台車を2段にする場合、上段を下段の直上に設ける構成が採用されると考えられる。この構成では、重いキャリアを設置すると、台車の重心が上昇し、転倒しやすくなる懸念があった。このため、キャリアの設置部を広く設けたい一方、通路の幅との関係でできるだけ省スペース化する必要があった。 In the conventional technical level, when the 300 mm FOUP conveyance carriage is made up of two stages, it is considered that a configuration in which the upper stage is provided immediately above the lower stage is adopted. In this configuration, when a heavy carrier is installed, there is a concern that the center of gravity of the carriage rises and it is easy to fall over. For this reason, while it is desired to provide a wide carrier installation portion, it is necessary to save space as much as possible in relation to the width of the passage.
また、上下の間隔を広げて取り出し作業スペースを確保することも考えられるが、特に半導体製造に関わる場合は、前述したようにFOUPなどを設置可能な下限位置に制約がある。また、作業者の身長を考慮した作業性や作業安全性の観点から、FOUPなどを設置可能な高さ方向の上限位置が制約される。結果として、上下の間隔を拡大することは困難であった。 In addition, it is conceivable to widen the upper and lower intervals to secure the removal work space. However, particularly in the case of semiconductor manufacturing, there is a restriction on the lower limit position where a FOUP or the like can be installed as described above. In addition, the upper limit position in the height direction where a FOUP or the like can be installed is restricted from the viewpoint of workability and work safety in consideration of the height of the worker. As a result, it was difficult to increase the vertical distance.
また、上下の設置位置の制約から、仮に下段のFOUPを単純に手前に引き出すことにより取り出し操作を行おうとする場合、200mmに比べ重量物である300mmFOUPの操作には危険が伴い、バランスを失って落下する恐れもあった。 In addition, due to restrictions on the upper and lower installation positions, if an attempt is made to perform the removal operation by simply pulling the lower FOUP forward, the operation of the 300 mm FOUP, which is a heavy object, is more dangerous than the 200 mm, and the balance is lost. There was also a risk of falling.
このように、300mmFOUP用マニュアル搬送台車において、200mmラインと同様に省スペース化しつつ、4個など一定積載量が可能なコンパクト性と、安全性も確保された操作性とを確保することが課題となっていたが、図1および図2(a)〜図2(c)に示した搬送台車100は、これらの課題を解決する構成となっており、一台に4個等の複数のFOUPを積載可能な構成でありながら、FOUPの積載時に求められる床面からの高さを確保し、走行安定性および作業の安全性が充分に確保されている。また、省スペース化の観点でも好適な構成となっている。
As described above, in the 300 mm FOUP manual conveyance cart, as in the 200 mm line, it is a problem to ensure compactness capable of a constant load capacity such as four and operability with safety ensured while saving space. However, the
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.
たとえば、以上においては、下段103が搬送台車100の進行方向に垂直な一方向にスライド可能な構成の場合を例に説明したが、下段103が搬送台車100の進行方向に垂直な両方向にスライド可能な構成とすることもできる。
For example, in the above description, the case where the
また、以上においては、下段103が搬送台車100の進行方向に垂直な一方向に延出している構成を例示したが、延出部107が進行方向に垂直な方向の両側に設けられていてもよい。
Further, in the above, the configuration in which the
また、以上においては、下段103に二組の下段アーム135が設けられ、上段105に二組の上段アーム137が設けられた構成を例示したが、下段103または上段105に三組以上のアームが設けられた構成としてもよい。
Further, in the above description, a configuration in which two sets of
また、以上においては、台車本体101の底部中央に固定輪113を設け、複数の下段アーム135が並んでいる方向に沿って搬送台車100が進行する構成を例に説明したが、搬送台車100の進行方向は一方向には限られず、複数の方向、たとえば図1におけるA−A’方向およびこれに垂直なB−B’方向に進行可能な構成とすることもできる。
In the above description, the fixed
また、以上においては、可動輪111および固定輪113と台車本体101との間に防振機115が設けられている構成を例に説明したが、可動輪111および固定輪113として、防振機構を有する車輪を用いることもできる。
In the above description, the configuration in which the
100 搬送台車
101 台車本体
103 下段
105 上段
107 延出部
109 引出部
110 設置面
111 可動輪
113 固定輪
115 防振機
117 ストッパ
119 下段支柱
121 FOUP
123 FOUP
125 FOUP
127 FOUP
131 下段支持輪
133 転倒防止機
135 下段アーム
137 上段アーム
139 バー支柱
141 搬送バー
143 受け部
DESCRIPTION OF
123 FOUP
125 FOUP
127 FOUP
131
Claims (9)
前記台車本体に設けられ、第一の段部と前記第一の段部の上部に設けられた第二の段部とを含む複数の段部と、
前記第一の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第一のキャリア保持部と、
前記第二の段部に設けられ、ウェーハキャリアを保持する第二のキャリア保持部と、
前記第一のキャリア保持部を水平に移動させる水平移動機構と、
を有し、
前記第一のキャリア保持部の中心は、前記第二のキャリア保持部の中心に対して所定量オフセットされ、
前記水平移動機構は、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセット量を拡大させる方向に前記第一のキャリア保持部を水平に直線移動させるものであり、
前記台車本体の平面形状が長方形であり、前記第二のキャリア保持部の中心に対する前記第一のキャリア保持部の中心のオフセットの方向が、前記台車本体の短辺方向であることを特徴とするウェーハ搬送台車。 A cart body that can be moved by a manual push operation;
A plurality of steps including a first step and a second step provided on an upper portion of the first step;
A first carrier holding portion provided in the first step portion and holding a wafer carrier;
A second carrier holding part that is provided in the second step part and holds a wafer carrier;
A horizontal movement mechanism for moving the first carrier holding part horizontally;
Have
The center of the first carrier holding part is offset by a predetermined amount with respect to the center of the second carrier holding part ,
The horizontal movement mechanism is a mechanism that horizontally moves the first carrier holding part in a direction in which the offset amount of the center of the first carrier holding part with respect to the center of the second carrier holding part is expanded,
The planar shape of the cart body is rectangular, and the direction of offset of the center of the first carrier holding portion with respect to the center of the second carrier holding portion is the short side direction of the cart body. Wafer transfer cart.
当該ウェーハ搬送台車の設置面の法線方向から見たときに、
当該ウェーハ搬送台車の進行方向と垂直な方向に、前記第一の段部の端部と前記第二の段部の端部とのうち、外側の端部同士を結ぶ全幅にわたって延在する搬送バーが設けられていることを特徴とするウェーハ搬送台車。 In the wafer conveyance cart in any one of Claims 1 thru / or 7,
When viewed from the normal direction of the installation surface of the wafer transfer carriage,
A transfer bar extending across the entire width connecting the outer ends of the first step end and the second step end in a direction perpendicular to the traveling direction of the wafer transfer carriage. A wafer transfer carriage characterized by that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004297811A JP4555655B2 (en) | 2004-10-12 | 2004-10-12 | Wafer transfer cart |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004297811A JP4555655B2 (en) | 2004-10-12 | 2004-10-12 | Wafer transfer cart |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006114561A JP2006114561A (en) | 2006-04-27 |
JP4555655B2 true JP4555655B2 (en) | 2010-10-06 |
Family
ID=36382854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004297811A Active JP4555655B2 (en) | 2004-10-12 | 2004-10-12 | Wafer transfer cart |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4555655B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5212165B2 (en) | 2009-02-20 | 2013-06-19 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate processing equipment |
JP5573214B2 (en) * | 2010-02-12 | 2014-08-20 | 株式会社ニコン | Exposure apparatus maintenance method, exposure apparatus manufacturing method, and device manufacturing method |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6418773A (en) * | 1987-07-13 | 1989-01-23 | Chubu Unpan Giken Kk | Hand truck |
-
2004
- 2004-10-12 JP JP2004297811A patent/JP4555655B2/en active Active
Patent Citations (4)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006114561A (en) | 2006-04-27 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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