JP4465900B2 - Storage shelf for semiconductor wafer carrier - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハーキャリアを保管する半導体ウェハーキャリア用保管棚に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体製品の製造工程において、半導体製品を各工程間或いは各工程中に自動搬送するためには、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら半導体製品を一時的に保管する保管棚が不可欠である。
【0003】
近年、歩留りの向上、製品コストの低減を目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向にあり、これを保管する保管棚も大きくなる傾向にある。これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム内で行われている。クリーンルーム内での工程は、床面積に比例してランニングコストがかさむため、クリーンルーム内の保管棚は、大きくするにしてもある程度の限界があった。
【0004】
図5に従来のこの種の保管棚の一例を示す。図5に示すように、従来の保管棚50は、背板51と、この背板51に対して直角に前方に延び、半導体ウェハーキャリアを保管する各保管部55を区画する複数の柱52と、各柱52に設けられた棚受54と、隣り合う各棚受54、54を跨ぐようにして固定された天板53とで構成されている。このように、天板53がその両側端で、棚受54に固定されているため、半導体ウェハーキャリアをキネマティックピンに載置した場合には、天板53の曲げ強さによってその重量を支え、天板53に負荷される力を棚受54が設けられている柱52や、背板51で分配して支えている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の保管棚50では、各保管部55を区画するとともに天板53が固定される柱52が必要であったため、保管する半導体ウェハーキャリアが大きくなると、天板53を大きくし、各柱52間を広げる必要があった。前述のように、クリーンルーム内では、使用できる床面積に制限があるため、各柱52間を広げると、その分半導体ウェハーキャリアを保管できる保管部の数が減ってしまうことになる。そのため、制限された床面積で、できるだけ多くの半導体ウェハーキャリアを保管できる保管棚をという要望に答えられないものであった。
【0006】
本発明は、保管棚の床面積を大きくすることなく、半導体ウェハーキャリアの大口径化に対応できる半導体ウェハーキャリア用保管棚を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための本発明の請求項1に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、半導体ウェハーキャリアを保管する保管棚であって、棚の骨格を形成する柱と、前記半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティックピンを備えた天板と、前記柱に固定され、前記柱から前記天板に沿って延在し、前記天板を支持する支持リブと、で構成され、前記柱が保管棚の背面にのみ配置され、前記柱から延在する前記支持リブが前方に延びているものである。
【0008】
この請求項1の構成によると、保管棚前方に半導体ウェハーキャリアを保管する各保管部を区画する柱がなくなるため、前面が開放される。このため、半導体ウェハーキャリアの保管間隔を各半導体ウェハーキャリアの大きさに合わせて詰めることができる。
これによって、床面積を広げることなく、半導体ウェハーキャリアの保管面積を広げることができる。
【0009】
請求項2に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、請求項1において、前記支持リブが、前記キネマティックピンに向かって斜め前方に延びているものである。
【0010】
この請求項2の構成によると、天板前方に位置するキネマティックピンに向かって斜め前方に延びているため、天板上のキネマティックピンによって支持される半導体ウェハーキャリアの重量を十分に支え得る強度とすることができる。
【0011】
請求項3に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、請求項1又は2において、前記天板が、前記支持リブに前記キネマティックピンによって固定されているものである。
【0012】
この請求項3の構成によると、天板を支持リブに固定する際に、天板に設けられるキネマティックピンを用いて固定するため、天板固定用の締結部材を別途用いることがなくなるため、使用する部品数を減らすことができ、製造コストを低減することができる。
【0013】
請求項4に記載の半導体ウェハーキャリア用保管棚は、請求項3において、前記天板が、前方に切り欠きを有する略U字状をしているものである。
【0014】
この請求項4の構成によると、半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボットの移載アームのフィンガーが、半導体ウェハーキャリアの各保管部内に入り込むことができ、半導体ウェハーキャリアのスムーズな移載が可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の半導体ウェハーキャリア用保管棚(以下、保管棚という。)の一実施形態例について説明する。
【0016】
図1は、本発明に係る半導体ウェハーキャリアを保管する保管棚の実施形態の一例を示した概略斜視図である。図1において、保管棚1は、背面側に設けられた背板2と、保管棚1の骨格を形成する複数の柱3と、半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティックピン4を備えた天板5と、柱3に固定され、柱3から天板5に沿って延在し、天板5を支持する支持リブ6と、棚の側面を形成する枠板7とから構成されている。
【0017】
図1に示すように、棚の骨格を形成する複数の柱3は、保管棚1の背面側にのみ設けられており、保管棚1の前面部は、柱3等の障害物がなく、開放された状態となる。また、半導体ウェハーキャリアを保管する保管部が区画されることもない。このため、半導体ウェハーキャリアの保管間隔を詰めることができ、半導体ウェハーキャリアの大口径化に対応することができる。
【0018】
また、柱3は、半導体ウェハーキャリアを保管した場合に、各半導体ウェハーキャリア間に位置するように配置されている。通常、半導体ウェハーキャリアの保管棚1の背板2側は、曲面形状をしているため、各半導体ウェハーキャリア間には、空間11(図2参照)が形成される。これによって、柱3を各半導体ウェハーキャリア間、即ち、空間11に位置するように配置することができ、従来の保管棚に比べて前方に柱3を配置することができるので、保管棚1の奥行き寸法を小さくすることができる。
【0019】
図1に示すように、各天板5は、上面側に半導体ウェハーキャリアを載置するキネマティックピン4が設けられている。また、天板5は、前方に略U字状の切り欠き8が形成されている。この切り欠き8が形成されているため、半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボットの移載アームが保管棚1に出入りすることができる(図4参照)。
【0020】
この天板5は、図2に示すように、一端を柱3に固定され、この柱3から斜め前方に延びる支持リブ6に載置される。そして、天板5の切り欠き8の両側前方に配置されたキネマティックピン4b、4cが、支持リブ6に螺合等の任意の方法で締結されることで固定されている。
【0021】
キネマティックピン4は、図1又は図2に示すように、SEMI E57−0299(300mmウェハーキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカップリングの機械仕様(暫定仕様))に準じて天板5の切り欠き8の両側前方部4b、4c及び底部中央部4aに配置されている。このキネマティックピン4の半導体ウェハーキャリアを載置する側の端部もSEMI E57−0299に基づき形成されている。一方、キネマティックピン4の他端側は、支持リブ6に締結できるように螺子加工が施されているものが好ましい。これによって、支持リブ6との締結を容易に行え、天板5の締結部材数を減らすことができる。
【0022】
半導体ウェハーキャリア10は、図3に示すように、天板5に設けられたキネマティックピン4に載置されて保管される。そして、支持リブ6によって、その重量が支持され、支持リブ6に掛かる重量は、モーメントとして柱3によって支えられる。
【0023】
半導体ウェハーキャリア10は、図4に示すように、移載ロボット20によって各保管棚1の所定の保管部に運ばれる。この時、半導体ウェハーキャリア10は、移載ロボット20の移載アーム21の先端部のフィンガー上に載っている。そして、移載アーム21を保管棚1の前面側から所定の保管部内に伸ばし、保管部内で天板5の切り欠き8を介して、フィンガーを上下左右に移動させることでキネマティックピン4によって位置決めされる。
【0024】
このように、本実施形態例に係る保管棚1では、半導体ウェハーキャリアの重量を支えるのに、従来の保管棚のように、天板5の曲げ強さを介在させることなく、支持リブ6で直接支えるために、従来のように、天板に係る重量を支えるための柱を前方に設ける必要がなくなる。このために、保管棚1の前面を開放した状態にすることが可能となり、各半導体ウェハーキャリアの間隔を詰めることが可能なる。
【0025】
また、キネマティックピン4によって、天板5と支持リブ6との結合を共締めで行っているため、従来のように、天板を棚受に締結するための締結部材が不要となり、部品数を減らすことができる。
【0026】
また、背板2側に設ける柱3を、半導体ウェハーキャリアの形状によってできる空間11に配置するので、従来例よりも柱3の位置を保管棚1の前方側に配置することができる。これにより、保管棚の奥行き寸法を小さくすることができる。さらに、支持リブ6の先端のキネマティックピンとの締結部との距離を短くすることができるため、半導体ウェハーキャリアの重量により、柱3が支えなければならないモーメントを小さくすることもできる。
【0027】
なお、本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚は、前記実施形態例に限定されるものではなく、例えば、天板5を一枚の板とし、各半導体ウェハーキャリアの載置位置に相当する部分にキネマティックピンを配置し、切り欠きを形成するようにしたものを使用することもできる。
【0028】
【発明の効果】
本発明の半導体ウェハーキャリア用保管棚によると、保管棚の前面に柱を配置しないで、半導体ウェハーキャリアを支持することができる。このため、半導体ウェハーキャリアの保管間隔をギリギリまで詰めることができる。また、背板に設けられ、棚の骨格を形成する柱を半導体ウェハーキャリアと半導体ウェハーキャリアの間に配置するので、保管棚の奥行き寸法を小さくすることができる。このように、保管棚の床面積を大きくすることなく、半導体ウェハーキャリアの
大口径化に対応でき、多くの半導体ウェハーキャリアを保管することができる保管棚とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚の一実施形態例を示す斜視概略図である。
【図2】本発明に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚の一実施形態例の平面断面図である。
【図3】図2におけるA−A線断面図である。
【図4】本実施形態例に係る半導体ウェハーキャリア用保管棚への半導体ウェハーキャリアを移載する移載ロボットの動きを説明するための図である。
【図5】従来の半導体ウェハーキャリア用保管棚の一例を示す平面断面図である。
【符号の説明】
1 半導体ウェハーキャリア
2 背板
3 柱
4 キネマティックピン
5 天板
6 支持リブ
7 枠板
8 切り欠き
10 半導体ウェハーキャリア
11 空間
20 移載ロボット
21 アーム[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor wafer carrier storage shelf for storing semiconductor wafer carriers.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a semiconductor product manufacturing process, in order to automatically transport a semiconductor product between or during each process, a transport device for transporting the semiconductor product and a storage shelf for temporarily storing the semiconductor product are indispensable. It is.
[0003]
In recent years, for the purpose of improving the yield and reducing the product cost, the size of the semiconductor wafer tends to increase, and the storage shelf for storing the semiconductor wafer also tends to increase. These processes for handling semiconductor wafers are performed in a clean room. In the process in the clean room, the running cost increases in proportion to the floor area. Therefore, even if the storage shelf in the clean room is enlarged, there is a certain limit.
[0004]
FIG. 5 shows an example of such a conventional storage shelf. As shown in FIG. 5, the
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the
[0006]
An object of this invention is to provide the storage shelf for semiconductor wafer carriers which can respond to the enlargement of a semiconductor wafer carrier, without enlarging the floor area of a storage shelf.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
A storage shelf for a semiconductor wafer carrier according to claim 1 of the present invention for solving the above-mentioned problem is a storage shelf for storing a semiconductor wafer carrier, the column forming a skeleton of the shelf, and the semiconductor wafer carrier. A top plate provided with a kinematic pin to support, and a support rib fixed to the column, extending from the column along the top plate, and supporting the top plate, wherein the column is a storage shelf It is arrange | positioned only on the back surface of this, The said support rib extended from the said pillar is extended ahead.
[0008]
According to the first aspect of the present invention, the front is opened because there are no columns for partitioning each storage unit for storing the semiconductor wafer carrier in front of the storage shelf. For this reason, the storage interval of the semiconductor wafer carriers can be packed according to the size of each semiconductor wafer carrier.
Thereby, the storage area of the semiconductor wafer carrier can be expanded without increasing the floor area.
[0009]
A storage shelf for a semiconductor wafer carrier according to a second aspect is the storage shelf for a semiconductor wafer according to the first aspect, wherein the support rib extends obliquely forward toward the kinematic pin.
[0010]
According to the second aspect of the present invention, since it extends obliquely forward toward the kinematic pins located in front of the top plate, it can sufficiently support the weight of the semiconductor wafer carrier supported by the kinematic pins on the top plate. It can be strength.
[0011]
A storage shelf for a semiconductor wafer carrier according to a third aspect is the storage shelf for a semiconductor wafer according to the first or second aspect, wherein the top plate is fixed to the support rib by the kinematic pins.
[0012]
According to the configuration of the third aspect, when fixing the top plate to the support rib, since it is fixed using a kinematic pin provided on the top plate, a fastening member for fixing the top plate is not separately used. The number of parts to be used can be reduced, and the manufacturing cost can be reduced.
[0013]
A semiconductor wafer carrier storage shelf according to a fourth aspect is the storage shelf for a semiconductor wafer according to the third aspect, wherein the top plate has a substantially U shape having a notch in the front.
[0014]
According to the configuration of
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a semiconductor wafer carrier storage shelf (hereinafter referred to as a storage shelf) of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0016]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of an embodiment of a storage shelf for storing a semiconductor wafer carrier according to the present invention. In FIG. 1, a storage shelf 1 includes a
[0017]
As shown in FIG. 1, the plurality of
[0018]
Moreover, the
[0019]
As shown in FIG. 1, each
[0020]
As shown in FIG. 2, the
[0021]
As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the
[0022]
As shown in FIG. 3, the
[0023]
As shown in FIG. 4, the
[0024]
Thus, in the storage shelf 1 according to this embodiment, the supporting
[0025]
Further, since the
[0026]
Moreover, since the
[0027]
The storage shelf for a semiconductor wafer carrier according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the
[0028]
【The invention's effect】
According to the storage shelf for a semiconductor wafer carrier of the present invention, the semiconductor wafer carrier can be supported without arranging a column on the front surface of the storage shelf. For this reason, the storage interval of the semiconductor wafer carrier can be reduced to the limit. In addition, since the columns provided on the back plate and forming the skeleton of the shelf are disposed between the semiconductor wafer carrier and the semiconductor wafer carrier, the depth dimension of the storage shelf can be reduced. Thus, without increasing the floor area of the storage shelf, it is possible to cope with an increase in the diameter of the semiconductor wafer carrier and to provide a storage shelf capable of storing many semiconductor wafer carriers.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a storage shelf for a semiconductor wafer carrier according to the present invention.
FIG. 2 is a plan sectional view of an embodiment of a storage shelf for a semiconductor wafer carrier according to the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
FIG. 4 is a diagram for explaining the movement of a transfer robot for transferring a semiconductor wafer carrier to a semiconductor wafer carrier storage shelf according to the embodiment;
FIG. 5 is a plan sectional view showing an example of a conventional storage shelf for a semiconductor wafer carrier.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (4)
棚の骨格を形成する柱と、
前記半導体ウェハーキャリアを支持するキネマティックピンを備えた天板と、
前記柱に固定され、前記柱から前記天板に沿って延在し、前記天板を支持する支持リブと、で構成され、
前記柱が保管棚の背面にのみ配置され、前記柱から延在する前記支持リブが前方に延びている半導体ウェハーキャリア用保管棚。A storage shelf for storing semiconductor wafer carriers,
Pillars that form the skeleton of the shelf,
A top plate provided with kinematic pins for supporting the semiconductor wafer carrier;
A support rib fixed to the column, extending from the column along the top plate, and supporting the top plate;
A storage shelf for a semiconductor wafer carrier, wherein the column is disposed only on the back surface of the storage shelf, and the support rib extending from the column extends forward.
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