JP4554559B2 - ステージ装置 - Google Patents

Description

本発明はステージ装置に係り、特にステージを駆動する際の振動を緩衝するように構成されたステージ装置に関する。

例えば、ステージ装置と呼ばれる装置は、門型のＹステージがテーブル上に吸着された基板の上方を一定速度で移動するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。

また、上記Ｙステージは、移動方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）に延在しており、基板を跨ぐように両端部が一対のガイド部材により移動可能に支持され、且つ一対のリニアスケール（位置検出器）により移動位置が検出される。そして、Ｙステージの両端は、一対のリニアモータ（駆動手段）により移動方向に駆動される。一対のリニアモータは、固定ベースに固定された支持部に支持されている。

そのため、上記ステージ装置では、リニアモータの駆動力によりＹステージを駆動させる際には、その反力がリニアモータ固定子（永久磁石）を支持する支持部に伝わり、支持部を介して固定ベースに逃がすように構成されている。
特開２００５−５２８２３号公報

しかしながら、従来のステージ装置では、基板の大型化に伴ってＹステージが大型化すると、Ｙステージをより高速で移動させる際には、より大きな駆動力が必要になると共に、その反力も増大することになり、支持部が反力に応じて撓むように動作することになる。また、Ｙステージを駆動する際の反力がリニアモータ固定子を支持する支持部から固定ベースに伝わり、さらに固定ベース上に支持された定盤にも伝わるため、加工精度が低下する。さらに、リニアモータ駆動時の反力が増大して支持部の撓み量が増幅された場合には、リニアモータ可動子（コイル）の上下方向に対向する上下ヨークの相対位置がずれてしまう。このような問題を回避する方法として、固定子と可動子との隙間を大きくする方法が考えられるが、その分リニアモータの効率が低下するという問題が生じる。

そこで、本発明は上記事情に鑑み、課題を解決したステージ装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。

請求項１記載の発明は、床面に固定された架台と、架台上に支持された定盤と、定盤上に支持されたワーク載置台とからなる固定台と、
該ワーク載置台のＸ方向の側方に平行に配置された駆動手段と、
前記固定台の側方の前記床面に固定され、該駆動手段を支持する支持部と、
前記定盤上に移動可能に支持され、前記駆動手段の駆動力により前記ワーク載置台に対してＸ方向と直交するＹ方向に移動するステージと、
Ｘ方向の変位が規制されるように前記支持部に支持され、前記駆動手段からの振動周波数を低い周波数に変換するように固有振動数を調整されて前記ステージを駆動する際に受ける前記駆動手段のＹ方向の反力を緩衝する弾性部材と、
を備えたことを特徴とする。

請求項２記載の発明は、前記弾性部材が、板ばねからなり、前記ステージを駆動する際に受ける前記駆動手段の反力が前記支持部を介して前記固定台に伝達しないように緩衝することを特徴とする。

請求項３記載の発明は、前記駆動手段が、固定子と可動子とを組み合わせたリニアモータからなり、前記弾性部材の緩衝動作により前記固定子と前記可動子との隙間が所定の微小寸法に維持されることを特徴とする。

請求項４記載の発明は、前記弾性部材が、垂直取付部と水平取付部とを有するＬ字状に形成された板ばねからなり、前記垂直取付部が前記支持部の脚部側面に締結され、前記水平取付部が前記固定子を支持するヨーク支持部に締結されたことを特徴とする。

請求項５記載の発明は、前記水平取付部の一端が前記ヨーク支持部の端部に一致する向きに配置され、前記垂直取付部は前記水平取付部の他端より下方に延在形成されたことを特徴とする。

請求項６記載の発明は、前記支持部の梁に前記駆動手段の反力による振動を吸収するマスダンパを設けたことを特徴とする。

本発明によれば、駆動手段からの振動周波数を低い周波数に変換するように固有振動数を調整された弾性部材によりステージを駆動する際に受ける駆動手段のＹ方向の反力を緩衝するため、ステージをＹ方向に移動させる際の駆動手段の反力による振動が支持部を介して床面に伝播しにくくなり、これにより、駆動手段からのＹ方向の反力による振動が床面に固定された支持部及び架台、及び定盤を介してワーク載置台に伝播することを防止できる。

また、本発明によれば、支持部が床面に固定されたため、ステージを移動させる際の駆動手段の反力が直接支持部に伝達せず、床面を介して支持部に伝達される過程で反力が減衰され、駆動手段に伝達される反力による影響を軽減することが可能になる。

また、本発明によれば、弾性部材が板ばねからなるため、比較的簡単な構成で特定周波数の振動を緩衝するように設定することができ、伝播される振動数が駆動手段の固有振動数から外すように設定することが可能になる。

また、本発明によれば、駆動手段が固定子と可動子とを組み合わせたリニアモータからなるため、ステージ駆動時の反力が弾性部材により緩衝されて駆動手段に伝達しないようにでき、固定子と可動子とが接触することを防止できると共に、固定子と可動子との隙間をできるだけ微小寸法にしてリニアモータも駆動力の伝達効率を高めることが可能になる。

また、本発明によれば、弾性部材が、垂直取付部と水平取付部とを有するＬ字状に形成された板ばねからなり、垂直取付部が支持部の脚部側面に締結され、水平取付部が固定子を支持するヨーク支持部に締結されるため、リニアモータの反力がＬ字状の板ばねの弾性変形により吸収され、反力が支持部を介して架台、及び定盤を介してワーク載置台に伝達することを防止できる。

また、本発明によれば、支持部の梁に駆動手段の反力による振動を吸収するマスダンパを設けたため、駆動時に発生する支持部の振動を抑制させることができる。

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。

図１は本発明になるステージ装置の実施例１を示す斜視図である。図２は図１に示すステージ装置の正面図である。図３は図１に示すステージ装置の側面図である。図４は図１に示すステージ装置の平面図である。

図１乃至図４に示されるように、ステージ装置１０は、ガントリ部を移動させるガントリ移動型ステージであり、コンクリート製の床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された石定盤１４と、石定盤１４上に支持されたワーク載置台１６と、ワーク載置台１６の上方を跨ぐように横架されたＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ（駆動手段）２０と、リニアモータ２０が受ける反力を緩衝する緩衝部材５０とを有する。尚、本実施例において、固定台は、上記架台１２、石定盤１４、ワーク載置台１６により構成されている。

リニアモータ２０は、Ｙステージ１８の両端部の移動位置を検出するリニアスケールからの位置検出信号に基づいて並進駆動させるように制御される。

緩衝部材５０は、リニアモータ２０の固定子を支持しており、後述するように弾性変形可能な材質（本実施例では、板ばね材）により形成されている。そのため、緩衝部材５０は、リニアモータ２０がＹステージ１８を駆動する際に受ける反力がリニアモータ２０に入力されると、Ｙ方向に弾性変形して反力を吸収する。これにより、ステージ駆動時の反力による振動エネルギが緩衝部材５０によって緩衝され、床面を介して架台１２に伝達するＹ方向の振動が減衰される。

架台１２は、鉄骨を格子状に組み合わせた強固な構成であり、床面に対して固定されている。また、架台１２の上面に支持された石定盤１４は、コ字状に形成されており、ワーク載置台１６を安定状態に支持する平面部１４ａと、平面部１４ａの両側から上方に起立するガイド部１４ｂ，１４ｃとを有する。また、ワーク載置台１６には、ワークとしての基板（例えば、液晶基板など）を吸着するための真空吸着部（図示せず）が設けられている。

Ｙステージ１８は、ガイド部１４ｂ，１４ｃの上方をＸ方向に延在された横架部（ビーム）３０と、横架部３０の両端に結合されガイド部１４ｂ，１４ｃの側面に外側から対向する一対のスライダ３２とを有する。横架部３０には、ワーク載置台１６に吸着されたワーク（基板）に対して所定の加工を施す加工用治具（図示せず）などが装着される。また、横架部３０及びスライダ３２は、空気圧によりガイド部１４ｂ，１４ｃに対して非接触で移動する静圧空気軸受（静圧パッド）３６，３８を有する。そのため、Ｙステージ１８は、殆ど摩擦のない状態でＹ方向に移動することができる。

リニアモータ２０は、コ字状に形成された固定子（永久磁石を有する）４０と、固定子４０に側方から挿入された可動子（コイルを有する）４２とから構成されており、微小な隙間を介して非接触状態で可動子４２をＹ方向に移動させるようにコイル印加電圧を制御される。可動子４２は、スライダ３２の側面に結合されており、コイルに電圧が印加されることにより固定子４０との間で発生した推力をスライダ３２に伝達し、スライダ３２をＹ方向に駆動する。その際、固定子４０は、可動子４２を駆動する推力による反力を受けることになる。

さらに、ガイド部１４ｂ，１４ｃの外側には、リニアモータ２０の固定子４０を支持するリニアモータ支持部４６が起立している。このリニアモータ支持部４６は、鉄骨を格子状に結合した構成であり、床面に固定された一対の脚部４６ａと、脚部４６ａ間に横架された梁４６ｂとを有する。そして、脚部４６ａの上部前後面には、前述した緩衝部材５０が締結されている。従って、リニアモータ２０の駆動力によりＹステージ１８をＹ方向に移動させる際に発生する反力は、緩衝部材５０及びリニアモータ支持部４６を介してコンクリート床面に伝達される。

これにより、リニアモータ２０が受ける反力は、緩衝部材５０により緩衝された後に直接石定盤１４に伝達されず、コンクリート床面で減衰されてから架台１２を介して石定盤１４に伝達される。よって、石定盤１４に固定されたワーク載置台１６に伝播されるリニアモータ２０の反力は、極めて小さくなっている。

ここで、緩衝部材５０の構成について説明する。図５は緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す側面図である。図６は緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。

図５に示されるように、緩衝部材５０は、板ばねをＬ字状に曲げ加工したものであり、上下方向に延在形成され、脚部４６ａのＹ方向端部に締結部材５２により締結された第１の取付部（垂直取付部）５０ａと、Ｙ方向に延在形成され、固定子４０を支持するヨーク支持部５４に締結部材５６により締結された第２の取付部（水平取付部）５０ｂとを有する。

緩衝部材５０は、リニアモータ支持部４６の両端とヨーク支持部５４の両端とを連結するように設けられており、ヨーク支持部５４にＹ方向の力が印加されると、緩衝部材５０の第１の取付部５０ａがＹ方向に弾性変形する。これにより、リニアモータ２０が受ける反力による振動は、大幅に減衰されると共に、振動周波数が板ばね材の弾性によって別の周波数に変換される。

リニアモータ２０の反力による振動周波数は、緩衝部材５０、リニアモータ支持部４６、及び床面を介して伝播する過程で振幅がより微小になると共に、床面を介して架台１２に伝達されてもワーク載置台１６の固有振動数から外れているため、ワーク載置台１６が共振状態になることが防止される。

上記リニアモータ２０の反力による振動周波数は、例えば、ステージ装置１０が設置される床面（基礎）の構成（例えば、コンクリートの厚さや鉄骨の組み方など）によって異なる（例えば、２０Ｈｚ〜３０Ｈｚ）ことが知られている。一方、リニアモータ２０の反力による振動周波数が設置場所によって異なるため、緩衝部材５０のばね定数を変更することで振動周波数と異なる固有振動数に設定することが望ましい。

本実施例において、緩衝部材５０の固有振動数を調整する方法としては、予め板厚、あるいは材質、あるいは横幅の異なる板バネからなる緩衝部材５０を複数種用意することで、ばね定数の異なるものに交換することで緩衝部材５０の固有振動数を変更する方法が用いられる。これにより、リニアモータ２０の反力による振動周波数に対して緩衝部材５０が共振しないように調整することが可能となる。

例えば、ステージ装置１０を設置した状態でリニアモータ２０によりＹステージ１８を駆動したときの振動周波数を測定し、測定された振動周波数が比較的高い場合には、比較的板厚の厚い板バネのものに交換し、測定された振動周波数が比較的低い場合には、比較的板厚の薄い板バネのものに交換することで、緩衝部材５０の固有振動数の調整を行う。

また、第１の取付部５０ａを脚部４６ａに締結する締結部材５２の本数を変更することによっても緩衝部材５０の固有振動数を調整することは可能である。さらに、これらの調整方法を組み合わせることにより、緩衝部材５０の固有振動数の調整をきめ細かく行うことが可能になる。

図６に示されるように、リニアモータ２０は、コ字状に形成された固定子４０の内部にスライダ３２の側面より水平方向に突出する可動子４２が挿入された構成であるので、固定子４０の上下内面と可動子４２の上下面との間に微小な隙間Ｓ（例えば、数ｍｍ程度）が介在している。一方、緩衝部材５０は、板ばねからなるため、Ｙ方向に弾性変形するが、Ｙ方向と直交するＸ方向への変形が行なえない構成になっている。そのため、固定子４０は、緩衝部材５０の弾性変形に伴ってＹ方向への移動が可能であるが、Ｘ方向への揺動が規制されている。

これにより、Ｘ方向への揺動により固定子４０の上下内面に可動子４２の上下面が近接することが防止されており、上記隙間Ｓをできるだけ小さくすることが可能になり、その結果としてリニアモータ２０の効率（印加電圧に対する駆動力の増大）が高められる。

また、上記説明では、緩衝部材５０が支持部４４の両端とヨーク支持部５４の両端とを連結する構成を図示して説明したが、例えば、ワーク（基板）の大型化に伴って固定子４０のＹ方向全長がさらに延長された場合には、緩衝部材５０を所定間隔毎に３箇所以上に配置する構成としても良い。

また、緩衝部材５０の変形例として、板ばね以外の緩衝部材を用いた構成（例えば、金属板とゴム板とを積層した積層ゴム、あるいはコイルバネをＹ方向に変位可能に設ける構成、あるいは油圧ダンパや空圧ダンパをリニアモータ支持部４６とヨーク支持部５４との間に介在させる構成等）でも良い。

また、本実施例では、緩衝部材５０がリニアモータ支持部４６の上端に設けた構成と一例として挙げたが、これに限らず、例えば、リニアモータ支持部４６の途中位置（例えば、脚部４６ａの中間位置等）に設ける構成としても良いのは勿論である。

図７は本発明になるステージ装置の実施例２を示す側面図である。図８は実施例２の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す図である。尚、図７及び図８において、上記実施例１と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。

図７及び図８に示されるように、実施例２のステージ装置１００では、緩衝部材５０が上記実施例１のものに対して１８０度反転させた内向きに取り付けられている。すなわち、緩衝部材５０は、第２の取付部（水平取付部）５０ｂの一端がヨーク支持部５４の端部に一致する向きに配置され、第１の取付部（垂直取付部）５０ａが第２の取付部５０ｂの他端より下方に延在形成される。

そのため、第１の取付部５０ａは、ヨーク支持部５４の端部より内側に位置するように取り付けられている。これにより、第１の取付部５０ａの取付位置が上記実施例１のものよりも内側に位置され、剛性が高くなるため、振動周波数が高められ、緩衝部材５０が共振することを防止して反力による振動が床面に伝播することを防止できる。

また、第１の取付部５０ａが締結されるリニアモータ支持部４６の脚部４６ａは、ヨーク支持部５４の端部より内側に移動した位置に起立した状態に設けられる。これにより、一対の脚部４６ａの間隔Ｌが上記実施例１のものよりも小さくなり、その分リニアモータ支持部４６の梁４６ｂの全長を短くすることが可能になる。

リニアモータ支持部４６の梁４６ｂは、リニアモータ２０の反力を受けるため、全長が短くなることで振動周波数を低く抑えることができるといった効果が得られると共に、運搬時の運搬作業の負担も軽減することが可能になる。

さらに、Ｙ方向の全長が長い場合には、ヨーク支持部５４の中間部分とリニアモータ支持部４６の最上段の梁４６ｂのＹ方向中間部分との間に緩衝部材６０が設けられている。緩衝部材６０は、上記緩衝部材５０と同様に板バネをＬ字状に曲げ加工されており、水平取付部がヨーク支持部５４の底部中間部分に締結され、垂直取付部が梁４６ｂのＹ方向中間部分の突出部４６ｄに締結される。尚、この緩衝部材６０は、両端に配置された一対の緩衝部材５０によりリニアモータ２０の反力を吸収しきれない場合に追加することができる。

また、緩衝部材５０及びヨーク支持部５４の端部、リニアモータ２０の端部を覆うように形成されたカバー１１０（図７、図８中、一点鎖線で示す）が装着されている。このカバー１１０は、緩衝部材５０を外部から覆うことにより、緩衝部材５０を保護することができる。よって、緩衝部材５０は埃が付着し難くなるので、バネ定数の経年変化が防止されて劣化し難くなる。

図９は実施例３の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。図１０は実施例３の緩衝部材５０の取付構造の要部を示す横断面図である。尚、図９及び図１０において、上記実施例と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。

図９及び図１０に示されるように、実施例３のステージ装置２００は、緩衝部材５０の締結位置を調整する締結位置調整機構（固有振動数調整機構）２１０を有する。この締結位置調整機構２１０は、緩衝部材５０を脚部４６ａの締結部４６ｃに締結する締結部材５２の固定位置を変更することができるので、締結部材５２の固定位置によって固有振動数を調整することが可能である。

緩衝部材５０は、第１の取付部５０ａにＺ方向に延在形成された一対の長孔５０ｃが設けられている。この長孔５０ｃに対向する脚部４６ａの締結部４６ｃには、締結部材５２の係合部５２ａが摺動可能に係合する係合溝２２２を有する一対の係合レール２２０が固定されている。また、係合部５２ａより水平方向に突出するおねじ５２ｂは、長孔５０ｃを貫通しており、その端部には、ナット５２ｃが螺合されている。

従って、締結部材５２は、係合レール２２０及び長孔５０ｃに沿ってＺ方向に移動可能に取り付けられている。そのため、締結位置調整機構２１０は、締結部材５２を長孔５０ｃに沿って任意の位置（例えば、Ａ〜Ｄ点の何れかの位置）に移動させてナット５２ｃを締め付けることにより、第１の取付部５０ａの締結位置を調整することが可能になる。尚、締結部材５２は、係合レール２２０及び長孔５０ｃに沿って移動することができるため、上記４点以外の任意の位置で締結することが可能である。

そして、リニアモータ２０の反力が緩衝部材５０に入力された場合、第１の取付部５０ａは、上段の締結部材５２の移動位置（調整位置）を支点として締結部材５２より上方部分が撓むことになり、この撓み部分の長さが長くなるほど撓み易くなるため、より高い振動周波数を効果的に吸収することができると共に、固有振動数を反力の振動周波数と異なるように設定することもできる。

従って、ステージ装置を設置した現場でもナット５２ｃをゆるめて締結部材５２を係合レール２２０及び長孔５０ｃに沿ってＺ方向に移動させることで、締結部材５２の締結位置により緩衝部材５０が反力の振動周波数と共振しないように設定することが可能になり、反力による振動が床面に伝播することを防止できる。

図１１は実施例４の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。図１２は実施例４の緩衝部材５０の調整操作を拡大して示す正面図である。尚、図１１及び図１２において、上記実施例と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。

図１１に示されるように、実施例４の固有振動数調整機構３００は、脚部４６ａの締結部４６ｃに形成された段差部４６ｅに規制部材３１０を挿入させてなる。この規制部材３１０は、第１の取付部５０ａに当接して第１の取付部５０ａの弾性変形量を規制するものである。従って、規制部材３１０は、Ｚ方向の長さによって第１の取付部５０ａに対する規制量を変更することが可能になり、リニアモータ２０の反力の吸収量の調整できると共に、緩衝部材５０の固有振動数を反力の振動周波数と異なるように設定することもできる。

図１１に示す規制部材３１０は、段差部４６ｅより上方に突出する長さを有するため、第１の取付部５０ａの弾性変形量を規制して固有振動数を下げることができる。また、図１２に示す規制部材３１０は、段差部４６ｅの内部に潜り込むように短く形成されているため、第１の取付部５０ａの弾性変形量の規制を緩和して固有振動数を高めることができる。

このように、規制部材３１０の長さを変更することにより緩衝部材５０の固有振動数が反力の振動周波数と異なるように設定することで共振現象を回避し、反力による振動が床面に伝播することを防止できる。また、規制部材３１０の厚さまたは材質を選択することによって緩衝部材５０の固有振動数を調整することもできる。

図１３は実施例５の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。尚、図１３において、上記実施例と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。

図１３に示されるように、実施例５の固有振動数調整機構４００は、脚部４６ａの締結部４６ｃに形成された段差部４６ｅに弾性部材４１０を挿入させてなる。この弾性部材４１０は、例えば、材質が粘弾性による減衰特性を有するゴムダンパにより形成されており、緩衝部材５０の第１の取付部５０ａがリニアモータ２０の反力を受けてＹ方向に変位すると、弾性部材４１０を圧縮する過程で弾性部材４１０内部摩擦によって振動エネルギが吸収される。

そのため、緩衝部材５０は、弾性部材４１０の減衰力によって固有振動数が変化するため、弾性部材４１０の材質または厚さを選択することにより任意の減衰率が設定されてリニアモータ２０の反力による振動周波数と異なる固有振動数に調整することが可能になり、共振現象を回避することで反力による振動が床面に伝播することを防止できる。

図１４は実施例６のステージ装置の側面図である。尚、図１４において、上記実施例と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。

図１４に示されるように、実施例５のステージ装置５００は、リニアモータ支持部４６の最上段の梁４６ｂのＹ方向中間部分にマスダンパ５１０が取り付けられている。このマスダンパ５１０は、金属ブロックなどからなる直方体形状の質量体５２０と、質量体５２０の両側に締結されたＬ字状の板バネ５３０とから構成されている。また、板バネ５３０の水平取付部が梁４６ｂの下面に締結され、板バネ５３０の垂直取付部が質量体５２０の側面に締結されている。

そのため、質量体５２０は、一対の板バネ５３０により梁４６ｂのＹ方向中間部分に吊下された状態で取り付けられている。ここで、リニアモータ２０の反力が緩衝部材５０に入力された場合、緩衝部材５０はＹ方向へ弾性変位して反力を吸収する。そして、緩衝部材５０により吸収できない振動がリニアモータ支持部４６に伝播した場合には、マスダンパ５１０の質量体５２０がＹ方向に揺動してリニアモータ支持部４６の振動を減衰させる。従って、リニアモータ２０の反力の大きさに応じてマスダンパ５１０を取り付けことで反力の振動に対する制振効果がより高められ、反力による振動が床面に伝播することを防止できる。

上記実施例では、液晶基板などからなるワークを加工するステージ装置を例に挙げて説明したが、ステージ装置の用途としては、これに限らず、他のワークを加工また検査を行なう場合にも適用できるのは勿論である。

また、上記実施例のステージ装置は、加工用治具が装着されたＹステージを移動させる構成を用いて説明したが、これに限らず、例えば、ワーク載置台が搭載されたステージを移動させる構成のものにも本発明を適用できるのは、言うまでもない。

本発明になるステージ装置の実施例１を示す斜視図である。 図１に示すステージ装置の正面図である。 図１に示すステージ装置の側面図である。 図１に示すステージ装置の平面図である。 緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す側面図である。 緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。 本発明になるステージ装置の実施例２を示す側面図である。 実施例２の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す図である。 実施例３の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。 実施例３の緩衝部材５０の取付構造の要部を示す横断面図である。 実施例４の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。 実施例４の緩衝部材５０の調整操作を拡大して示す正面図である。 実施例５の緩衝部材５０の取付構造を拡大して示す正面図である。 実施例６のステージ装置の側面図である。

符号の説明

１０，１００，２００，５００ ステージ装置
１２ 架台
１４ 石定盤
１６ ワーク載置台
１８ Ｙステージ
２０ リニアモータ
３２ スライダ
４０ 固定子
４２ 可動子
４６ リニアモータ支持部
５０，６０ 緩衝部材
５４ ヨーク支持部
２１０ 締結位置調整機構
２２０ 係合レール
３００，４００ 固有振動数調整機構
３１０ 規制部材
４１０ 弾性部材
５１０ マスダンパ
５２０ 質量体
５３０ 板バネ

Claims (6)

1. 床面に固定された架台と、架台上に支持された定盤と、定盤上に支持されたワーク載置台とからなる固定台と、
   該ワーク載置台のＸ方向の側方に平行に配置された駆動手段と、
   前記固定台の側方の前記床面に固定され、該駆動手段を支持する支持部と、
   前記定盤上に移動可能に支持され、前記駆動手段の駆動力により前記ワーク載置台に対してＸ方向と直交するＹ方向に移動するステージと、
   Ｘ方向の変位が規制されるように前記支持部に支持され、前記駆動手段からの振動周波数を低い周波数に変換するように固有振動数を調整されて前記ステージを駆動する際に受ける前記駆動手段のＹ方向の反力を緩衝する弾性部材と、
   を備えたことを特徴とするステージ装置。
2. 前記弾性部材は、板ばねからなり、前記ステージを駆動する際に受ける前記駆動手段の反力が前記支持部を介して前記固定台に伝達しないように緩衝することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記駆動手段は、固定子と可動子とを組み合わせたリニアモータからなり、前記弾性部材の緩衝動作により前記固定子と前記可動子との隙間が所定の微小寸法に維持されることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
4. 前記弾性部材は、垂直取付部と水平取付部とを有するＬ字状に形成された板ばねからなり、前記垂直取付部が前記支持部の脚部側面に締結され、前記水平取付部が前記固定子を支持するヨーク支持部に締結されたことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
5. 前記水平取付部は、一端が前記ヨーク支持部の端部に一致する向きに配置され、前記垂直取付部は前記水平取付部の他端より下方に延在形成されたことを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
6. 前記支持部の梁に前記駆動手段の反力による振動を吸収するマスダンパを設けたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のステージ装置。

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