JP4550831B2 - 動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法、プログラム、記録媒体、振動シミュレータ - Google Patents
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Description
B.Anczykowski、D.Kruger and H.Fuchs、 Phys.Rev.B53、15485―15488、1996. N.Sasaki et al.、 Appl. Phys.A66、S287―291、1998.
本発明は、動的モードAFMのレバー振動において、探針先端の突起効果が重要である事に発明者は初めて着目し、このアイディアを基にしたシミュレータを提供することを目的とする。
探針先端の突起効果とは以下のようなものである。すなわち、
[a] 探針の先端形状はナノサイズで凹凸(おうとつ)がある。本発明は、その凹凸効果を突起で理想化して議論する事を可能とすることを目的のひとつとする。
[b] 探針が試料表面と衝突する時、表面の原子が探針先端に付着する事がある。また、元々探針先端に付着している原子・分子が存在する事がある。本発明は、その付着原子・分子を突起として理想化して議論する事が可能とすることを目的のひとつとする。
本発明は、上記[a][b]の探針先端の突起のサイズ効果を議論すると同時に、探針自体のサイズ効果を議論出来るシミュレータを提供することを目的とする。
また、本発明は、表示部に例えば、左:カンチレバー+探針+表面の全体図、中央:探針+表面の拡大図、右上:レバーの振動波形、右下:探針振動のトラジェクトリーをそれぞれ表示した (後述の図11〜図13等参照)。ユーザーが非線形振動を分かり易く、見易いような、結果を解釈する支援ツールを提供することを目的とする。
(1)動的AFM探針のナノサイズの非線形運動の解析に特化したシミュレータを提供する。具体的には、実験のカンチレバー動作に対応するシミュレーションから振動特性の解析まで、動的AFMの探針の振動解析をパソコン上で系統的にそして効率的に行う。その意味でナノサイズのAFM非線形振動のシミュレータ&解析支援ソフトウェア提供する。
(2)動的AFMの探針サイズ、及び、探針先端の突起構造のサイズ効果を、曲率半径R1、R2を与える事で解析する。
(3)任意のパラメータ領域から、欲しい探針振動(u−tの関係)のデータの組を自由に取り出し、アニメーションで可視化可能なため、非線形振動の特徴を視覚的に理解させる事を目的とする。特に、探針先端が試料表面から受ける相互作用力(引力又は斥力)を図示することにより、探針と表面の「非接触」と「接触」をビジュアルで区別する事を目的とする。つまり、「衝突」現象をナノサイズで可視化することを目的とする。
(4)任意のパラメータ領域のAFMの非線形特性のデータを効率的にまとめ、解析する事を目的とする。このため、理論の側から動的AFMを稼動するのに最適なパラメータセットを提示する事を目的のひとつとする。振幅a−探針位置u0、エネルギーE−探針位置u0など、種々のスペクトル情報を図示する事を目的とする。
(5)任意のパラメータを計算に組み込む事が出来、拡張性があるシミュレータを提供する。
(6)描画は任意のフリーウェア、シェアウェアのソフトを使って容易に行えるシミュレータを提供する。
突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法、これら各処理をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム、及び、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数と入力部からを入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
を含む前記動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法、これら各処理をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム、及び、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法、これら各処理をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム、及び、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
を含む前記動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法、これら各処理をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム、及び、そのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレータであって、
パラメータを入力するための入力装置と、
前記入力装置から入力されたパラメータに基づき、動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートする処理部と、
前記処理部により求められたデータを記憶又は表示するための記憶又は出力装置と
を備え、
前記処理部は、
カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを前記入力装置から入力する手段と、
探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定する手段と、
探針の初期位置を入力された出発位置に設定する手段と、
設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求める手段と、
次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求める手段において求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段と、
設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求める手段乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段を実行することと、を繰り返す手段と
を有する前記動的モード原子間顕微鏡探針の振動シミュレータが提供される。
探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレータであって、
パラメータを入力するための入力装置と、
前記入力装置から入力されたパラメータに基づき、動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートする処理部と、
前記処理部により求められたデータを記憶又は表示するための記憶又は出力装置と
を備え、
前記処理部は、
カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを前記入力装置から入力する手段と、
探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定する手段と、
探針の初期位置を入力された出発位置に設定する手段と、
設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求める手段と、
次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求める手段において求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段と、
設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求める手段乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段を実行することと、を繰り返す手段と
を有する前記動的モード原子間顕微鏡探針の振動シミュレータが提供される。
動的モードAFMのレバー振動において、探針先端の突起効果が重要である事に発明者は初めて着目し、本発明によると、このアイディアを基にしたシミュレータを提供することができる。
探針先端の突起効果とは以下のようなものである。すなわち、
[a] 探針の先端形状はナノサイズで凹凸(おうとつ)がある。本発明は、その凹凸効果を突起で理想化して議論する事が可能である。
[b] 探針が試料表面と衝突する時、表面の原子が探針先端に付着する事がある。また、元々探針先端に付着している原子・分子が存在する事がある。本発明は、その付着原子・分子を突起として理想化して議論する事が可能である。
本発明は、上記[a][b]の探針先端の突起のサイズ効果を議論すると同時に、探針自体のサイズ効果を議論出来るシミュレータを提供できる。
また、本発明によると、表示部に例えば、左:カンチレバー+探針+表面の全体図、中央:探針+表面の拡大図、右上:レバーの振動波形、右下:探針振動のトラジェクトリーをそれぞれ表示でき(後述の図11〜図13等参照)、分かり易く、見易く、結果を解釈する支援ツールを提供できる。
(1)動的AFM探針のナノサイズの非線形運動の解析に特化したシミュレータである。具体的には、実験のカンチレバー動作に対応するシミュレーションから振動特性の解析まで、動的AFMの探針の振動解析をパソコン上で系統的にそして効率的に行う事が出来る。その意味でナノサイズのAFM非線形振動のシミュレータ&解析支援ソフトウェアである。
(2)動的AFMの探針サイズ、及び探針先端の突起構造のサイズ効果を、曲率半径R1、R2を与える事で解析出来る。
(3)任意のパラメータ領域から、欲しい探針振動(u−tの関係)のデータの組を自由に取り出し、アニメーションで可視化可能なため、非線形振動の特徴を視覚的に理解させる事が出来る。特に、探針先端が試料表面から受ける相互作用力(引力又は斥力)を図示することにより、探針と表面の「非接触」と「接触」をビジュアルで区別する事が出来る。つまり、「衝突」現象をナノサイズで可視化出来る。
(4)任意のパラメータ領域のAFMの非線形特性のデータを効率的にまとめ、解析する事が可能である。このため、理論の側から動的AFMを稼動するのに最適なパラメータセットを提示する事が可能である。振幅a−探針位置u0、エネルギーE−探針位置u0など、種々のスペクトル情報を図示する事が出来る。
(5)任意のパラメータを計算に組み込む事が出来、拡張性がある。
(6)描画は任意のフリーウェア、シェアウェアのソフトを使って容易に行える。
このように本発明によって、従来は解析が困難であったナノサイズの非線形振動及びそのナノ構造との関係をシミュレートしかつ解析する研究が推進出来、今後、力学的プローブ法の解析法の基礎として重要な技術となることが期待される。
(ハードウェア構成)
図1は、本実施の形態のシミュレータ環境を実現するハードウェア構成図である。
動的AFMシミュレータは、例えば、主制御部(CPU)1と、実行ファイルプログラムが記憶されるメモリ2と、入出力制御部3と、入力装置(入力部)4と、表示装置(表示部)5と、出力装置(記憶部、記憶又は出力装置)6とを備える。
次に、本シミュレータが対象とする動的AFMのシステム及び探針の運動方程式の導出について説明する。
図2は、動的AFMのシステム構成図である。図2(a)には、カンチレバー−探針−表面系の位置関係及び探針の位置u0の定義の説明図を示す。図2(b)は、探針の変位uの定義と探針−表面間相互作用力の説明図である。図2(c)は、動的AFMの駆動モードを示す。動的AFMは、振幅lで強制振動させながらカンチレバー基底部をy01+2R1とy02+2R1の間で一往復させる。
図4は、本実施の形態の出力データファイルの構成を示す。出力フォルダには、データファイルがテキスト形式で出力される。大きく分類すると振動波形ファイル61とスペクトロスコピーファイル62に分かれている。
図5及び図6は、動的AFMシミュレータの処理フロー(1)及び(2)である。また、図9乃至図15に、動的AFMシミュレータの表示例を示す。動的AFMシミュレータの処理フロー(1)及び(2)に従って、本シミュレータの具体的な動作について説明する。まず、CPU1は、GUIを通して「パラメータを設定して計算出力」、「シミュレートする」、「解析する(グラフソフト起動)」などのメニュー項目を表示装置5に表示する(S101)。図9に、表示されるメニュー項目の例を示す。この中から操作者により適宜の項目が選択され、CPU1は、入力装置4から選択指示を入力する。
まず、CPU1は、初期設定を行う(S201)。例えば、CPU1は、探針の変位の初期値をu=0、探針の速度の初期値をdu/dτ=0、i=0、j=0とする。ここで、i、jは、繰り返し計算のためのパラメータである。また、CPU1は、例えば、u0の移動刻み幅ΔをΔ=0.01とする。なお、刻み幅Δの値は、適宜の値を設定することができる。
F=F(R1、u+u0)+F(R2、u+u0−2R2)
ここで、F(R、z)は、上述の式(2)により求めることができる。
また、CPU1は、uの上方転回点と下方転回点を、例えば近似的にdu/dτ=0となる点(τとuの組)を探すことにより求めることができる。ステップS209の処理は、後に詳細に述べる。
次に、CPU1は、探針の一周期の平均力学的エネルギーEを求める(S211)。例えば、CPU1は、次式に従い平均力学的エネルギーEを求める。
なお、CPU1は、転回点を求めて、対応する変位uから振幅aと、探針の相互作用エネルギーVと、相互作用力Fとを求めるステップ(S209、S227)、及び、探針の一周期の平均力学的エネルギーEを求めるステップ(S211、S229)等を実行する際、使用するデータを出力装置(記憶部)6から読み出してもよいし、CPU1内に保持しておきそれを用いてもよい。その他、必要に応じて、CPU1は、出力装置(記憶部)6を参照して、処理に必要なデータを読み出して用いることができる。
まず、CPU1は、振動波形ファイルを読み込む(S301)。次に、CPU1は、読み込まれた振動波形ファイルを参照し、探針の速度が負(du/dτ<0)から探針の速度が正(du/dτ>0)へ移る時刻τの組を探す(S303)。CPU1は、このときの、du/dτ<0に対応するτを第1の時刻τ1、du/dτ>0に対応するτを第2の時刻τ2とする。ここでτ2−τ1は時刻τの刻み幅(S104)に対応する。u−τの関係をグラフに表した場合、τ1とτ2は、下方転回点の両側に位置する。また、CPU1は、読み込まれた振動波形ファイルを参照し、探針の速度が正(du/dτ>0)から探針の速度が負(du/dτ<0)へ移る時刻τの組を探す(S305)。CPU1は、このときの、du/dτ>0に対応するτを第3の時刻τ3、du/dτ<0に対応するτを第4の時刻τ4とする。u−τの関係をグラフに表した場合、τ3とτ4は、上方転回点の両側に位置する。なお、CPU1は、上方転回点及び下方転回点を、少なくともそれぞれひとつ求められる。また、上方及び下方転回点は、一周期内の各点を求めることができる。
ここで、図18に、ステップS307の詳細フローを示す。具体的には、図8のステップS307では、図18のようにCPU1は、刻み幅Δτを例えば10分の1にして、もう一度τ1<τ<τ2で数値計算(ルンゲクッタ法)を行う(S401〜407)。CPU1は、このときの振動波形ファイルを読み込み、du/dτ<0(τ1)、du/dτ>0(τ2)の組を探す(S409、S411)。CPU1は、この処理を、du/dτ(τ1)<10−5となるまで繰り返し、τmin=τ1を求める(S413、S415)。ステップS309でも同様にしてτmax=τ3を求める。
なお、10−5以外にも適宜の値に基づき近似的に速度du/dτ=0が成り立つτmin及びτmaxを探すことができる。ここで、速度du/dτ=0が近似的に成り立つ時刻とは、例えば、探針の速度の絶対値が予め定められた閾値以下又は未満(例えば、|du/dτ|<10−5)になる時刻、又は、探針の速度の絶対値が最小になる時刻とすることができる。
a=(umax−umin)/2
また、CPU1は、下方転回点での(衝突時の)探針の相互作用エネルギーVと、相互作用力Fを次式に従い求める(S313)。
V=V(R1、umin+u0)+V(R2、umin+u0−2R2)
F=F(R1、umin+u0)+F(R2、umin+u0−2R2)
ここで、V(R、z)は、上述の式(6)で求めることができ、F(R、z)は、上述の式(2)で求めることができる
次に、CPU1は、メニューを表示し(又は表示されたメニューにより)、探針運動のアニメーションを見るか否かの選択を指示する。図9のメニューから「シミュレートする」が選択されると(S107)、CPU1は、ステップS108へ移る。それ以外の場合、例えば、ステップS110へ移る。ステップS108では、CPU1は、出力フォルダのファイルリストをGUIを通して表示する。操作者により、例えば、任意の探針位置u0(ただしy01<u0<y02)に対する波形データ(例えば、探針位置u−時刻τ関係)が選択されると(S108)、CPU1は、入出力制御部3により、選択された波形データに基づき探針運動のアニメーションを実行する(S109)。例えば、CPU1は、選択された波形データ又は表示するための適宜のデータを出力装置(記憶部)6から読み出し、読み出された波形データに基づき表示部にアニメーション表示することができる。図11、図12及び図13は、探針位置u0=2.64の時の探針運動のアニメーションの例(1)〜(3)を示す。図11は探針が表面から非常に遠い場所にあるとき、図12は表面に少し近付いたとき、図13は表面と接触(衝突)しているときの画面を表している。いずれの場合も、一番左の図(a)が動的AFMシステム全体のアニメーション、中央の図(b)が表面付近を拡大したアニメーションである。
上述の第1の実施の形態では、探針に突起がついている場合について説明したが、探針に突起はついてなくてもよい。以下、探針に突起がない場合について説明する。
ハードウェア構成、使用するパラメータ及び出力データファイルの構成は第1の実施の形態と同様とすることができる。
本シミュレータのフローチャートは、第1の実施の形態と同様とすることができる。例えば、曲率半径R2の入力を省略し、また、R2についての項を0として計算することができる。以下、第1の実施の形態におけるフローチャートを参照し、本シミュレータの具体的な動作について説明する。
F=F(R1、u+u0)
ここで、F(R、z)は、第1の実施の形態の式(2)により求めることができる。また、CPU1は、探針の変位uの極大値と極小値を、例えば近似的に探針の速度du/dτ=0となる点(τとuの組)を探すことにより求めることができる。ステップS209’の処理は、後に詳細に述べる。ステップS211〜S237は、第1の実施の形態と同様である。
V=V(R1、umin+u0)
ここで、V(R、z)は、上述の式(6)により求められる。
F=F(R1、umin+u0)
ここで、F(R、z)は、上述の式(2)により求められる。
図5に戻り、ステップS105以降は、第1の実施の形態と同様である。
図17は、突起がない場合と突起がある場合の数値計算例である。
探針位置u0を変えて、定常状態の探針の振動振幅aを計算した。突起が無い場合と(図17(a))、ある場合の(図17(b))関係を求めた。図では、探針の位置を下げて表面に近づけていく場合をdown(実線)、上げて表面から遠ざけていく場合をup(破線)としている。非接触状態から接触状態の境目付近でヒステリシスが出現し、突起がある場合はヒステリシスが小さくなることがわかる。このように、本シミュレータによると、例えば、動的AFMにおける突起の効果を調べることができる。突起によってヒステリシスが小さくなることを見出した。ヒステリシスが小さくなることにより動的AFMの動作が安定し、分解能が向上すると考えられる。
本発明の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法は、その各手順をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム、動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体、そのプログラムを含みコンピュータの内部メモリーにロード可能なプログラム製品、そのプログラムを含むサーバ等のコンピュータ、等により提供されることができる。
Claims (21)
- 突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡探針の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶するステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
を含む前記動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡探針の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶するステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
を含む前記動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された出発位置の値以上になるまで又は出発位置の値より大きくなるまで、(c)入力された折り返し位置に移動刻み幅を順次加えて、又は、設定された探針の初期位置に移動刻み幅を加えて、新たな探針の初期位置を設定することと、(d)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップ
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、求められた探針の変位に基づき、探針の変位の振幅、探針と試料表面間の相互作用エネルギー、探針と試料表面間の相互作用力及び探針の平均的力学的エネルギーのいずれか又は複数を求めるステップと、
処理部は、求められた振幅、相互作用エネルギー、相互作用力及び探針の平均的力学的エネルギーのいずれか又は複数を、設定された探針の初期位置に対応させて記憶部に記憶するステップと
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、求められた探針の速度又は変位に基づき探針の変位の上方転回点及び下方転回点をそれぞれ少なくともひとつ求めるステップと、
求められた上方及び下方転回点に対応する探針の変位の差をとり、探針の変位の振幅を求めるステップと、
処理部は、求められた振幅を設定された探針の初期位置に対応させて記憶部に記憶するステップと
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、次式に従い、探針及び突起と試料表面との間の相互作用エネルギーVを求めるステップと、
処理部は、求められた相互作用エネルギーVを設定された探針の初期位置に対応させて記憶部に記憶するステップと
をさらに含む請求項1に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。
- 処理部は、次式に従い、探針及び突起と試料表面との間の相互作用力Fを求めるステップと、
処理部は、求められた相互作用力Fを設定された探針の初期位置に対応させて記憶部に記憶するステップと
をさらに含む請求項1に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。
- 処理部は、次式に従い、探針の一周期の平均力学的エネルギーEを求めるステップと、
処理部は、求められた平均力学的エネルギーEを設定された探針の初期位置に対応させて記憶部に記憶するステップと
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。
- 処理部は、求められた探針の速度が負から正へ移るときの、該負の速度に対応する第1の時刻と、該正の速度に対応する第2の時刻の組を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の速度が正から負へ移るときの、該正の速度に対応する第3の時刻と、該負の速度に対応する第4の時刻の組を求めるステップと、
処理部は、求められた第1の時刻と第2の時刻の間で、探針の速度の絶対値が予め定められた閾値以下になるまで時間刻みを細かくして、速度の絶対値が予め定められた閾値以下になる又は最小になる下方転回点での時刻を求めるステップと、
処理部は、求められた第3の時刻と第4の時刻の間で、探針の速度の絶対値が予め定められた閾値以下になるまで時間刻みを細かくして、速度の絶対値が予め定められた閾値以下になる又は最小になる上方転回点での時刻を求めるステップと、
処理部は、対応して記憶部に記憶された探針の変位と時刻を参照して、求められた下方転回点での時刻に対応する第1の探針の変位と、求められた上方転回点での時刻に対応する第2の探針の変位を読み出すステップと、
処理部は、読み出された第1及び第2の探針の変位の差をとり、探針の変位の振幅を求めることと、第1の探針の変位に基づき下方転回点での探針と試料表面間の相互作用エネルギーを求めることと、及び、第1の探針の変位に基づき下方転回点での探針の相互作用力を求めることのいずれか又は複数を求めるステップと、
処理部は、求められた振幅、相互作用エネルギー及び相互作用力のいずれか又は複数を記憶部に記憶するステップと
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、取得された第1及び/又は第2の探針の変位に基づいて、次式に従い、探針の変位の振幅a、下方転回点での探針と試料表面間の相互作用エネルギーV、及び、下方転回点での探針の相互作用力Fのいずれか又は複数を求めること
を含む請求項9に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。
- 処理部は、記憶部を参照し、記憶された時刻と、該時刻に対応する探針の変位と、該時刻に対応する探針の速度とを読み出すステップと、
読み出された探針の変位と探針の速度とに基づき、探針の運動又は試料表面付近の探針の運動を表示部にアニメーション表示するステップ
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、記憶部を参照し、運動方程式を解く際に求められ記憶された相互作用力Fを読み出すステップと、
読み出された相互作用力Fの大きさに応じた長さで、かつ、相互作用力Fの符号に応じた向きの矢印を、表示部にアニメーション表示された探針表面に表示するステップ
をさらに含む請求項11に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、記憶部を参照し、記憶された時刻と探針の変位を読み出すステップと、
読み出された時刻と探針の変位を表示部にグラフ表示するステップ
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、記憶部を参照し、記憶された探針の速度と、対応する探針の変位とを読み出すステップと、
読み出された探針の速度と、対応する探針の変位とをプロットすることで、位相平面内でのトラジェクトリーを表示部に表示するステップ
をさらに含む請求項1又は2に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 処理部は、記憶部を参照し、記憶された探針の変位の振幅と探針の初期位置、記憶された相互作用エネルギーと探針の初期位置、記憶された相互作用力と探針の初期位置、及び、記憶された平均力学的エネルギーと探針の初期位置の組み合わせのいずれか又は複数を読み出すステップと、
読み出された前記組み合わせについて、スペクトロスコピーを表示部に表示するステップ
をさらに含む請求項4に記載の動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーション方法。 - 突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムであって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶するステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム。 - 探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムであって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶するステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラム。 - 突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶するステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
処理部は、カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを入力部から入力するステップと、
処理部は、探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定するステップと、
処理部は、探針の初期位置を入力された出発位置に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求めるステップと、
処理部は、求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に記憶部に記憶するステップと、
処理部は、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップにおいて求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップと、
処理部は、設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求めるステップ乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定するステップを実行することと、を繰り返すステップと
をコンピュータに実行させるための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレータであって、
パラメータを入力するための入力装置と、
前記入力装置から入力されたパラメータに基づき、動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートする処理部と、
前記処理部により求められたデータを記憶又は表示するための記憶又は出力装置と
を備え、
前記処理部は、
カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、探針についている突起の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを前記入力装置から入力する手段と、
探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定する手段と、
探針の初期位置を入力された出発位置に設定する手段と、
設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径、突起の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求める手段と、
求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に前記記憶又は出力装置に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に前記記憶又は出力装置に記憶する手段と、
次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求める手段において求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段と、
設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求める手段乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段を実行することと、を繰り返す手段と
を有する前記動的モード原子間顕微鏡探針の振動シミュレータ。 - 探針が先端に取り付けられたカンチレバーを、機械的に共振させながら試料表面に接近させ及び/又は引き離させて、試料表面の構造を観察する動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートするための動的モード原子間力顕微鏡探針の振動シミュレータであって、
パラメータを入力するための入力装置と、
前記入力装置から入力されたパラメータに基づき、動的モード原子間力顕微鏡の振動特性をシミュレートする処理部と、
前記処理部により求められたデータを記憶又は表示するための記憶又は出力装置と
を備え、
前記処理部は、
カンチレバーの接近及び/又は引き離しの出発位置及び折り返し位置と、探針の曲率半径と、カンチレバーのバネ定数とを前記入力装置から入力する手段と、
探針の初期位置に対する変位の初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定する手段と、
探針の初期位置を入力された出発位置に設定する手段と、
設定された探針の初期位置と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径及びカンチレバーのバネ定数とに基づき、カンチレバーの探針の取り付けられていない側を振動させた場合の探針の次式で表す運動方程式を解くことで、時刻毎の、探針の変位と探針の速度を求める手段と、
求められた探針の変位と時刻を対応させて探針の初期位置毎に前記記憶又は出力装置に記憶し、及び、探針の速度と時刻を対応させて探針の初期位置毎に前記記憶又は出力装置に記憶する手段と、
次の繰り返し処理における探針の変位及び探針の速度の初期値をそれぞれ、前記探針の変位と探針の速度を求める手段において求められた探針の変位の初期値及び探針の速度の最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段と、
設定された探針の初期位置の値が、入力された折り返し位置の値以下になるまで又は折り返し位置の値より小さくなるまで、(a)入力された出発位置から予め定められたカンチレバーの移動刻み幅を順次差し引いて、又は、設定された探針の初期位置から移動刻み幅を差し引いて、新たな探針の初期位置を設定することと、(b)設定された新たな探針の初期位置について、前記探針の変位と探針の速度を求める手段乃至前記最終時刻での値、又は、予め定められた時刻での値に設定する手段を実行することと、を繰り返す手段と
を有する前記動的モード原子間顕微鏡探針の振動シミュレータ。
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