JP4543665B2 - 表面欠陥の検出方法及び装置 - Google Patents
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Description
12…磁気テープ
12A…検査部
14…支持装置
16…第1の仮想平面
16A…法線
18…光
18A…光源像領域
18B…光出射口
18C…幅方向中心線
18D…光源像外側領域
19…照射光軸
19A…照射光軸面
19B…設定直線
20…検査光照射装置
21…カメラ光軸
21A…カメラ光軸面
22…CCDラインカメラ
22A…帯状検査領域
22B…幅方向中心線
22M…仮想位置
23…カメラ対称光軸
24…判定装置
30…凹部
32…凸部
32A…側面
Claims (14)
- 検査対象物表面に、カメラによる検査領域を設定し、且つ、この検査領域の中心を通るカメラ光軸を、前記検査対象物表面の法線に対する傾斜角βが0<β≦10°となるように傾けて設定し、前記検査領域を含む照射領域に、光を入射したとき、この照射領域中であって前記検査領域の外側に隣接する位置に、前記光の出射口の鏡像が位置するように、該光の出射口を設定し、且つ、この光の出射口の中心と前記検査領域の中心とを通る設定直線が、前記法線に対する前記カメラ光軸のカメラ対称光軸とのなす傾斜角αを0<α<25°に設定し、前記検査領域からの散乱光を前記カメラにより受光して、受光信号に変換し、この受光信号が前記検査領域の無欠陥部からの受光信号の強度よりも一定値以上大きいとき、前記検査対象物の表面欠陥として検出し、前記検査対象物の表面における、前記光の出射口の鏡像が位置する光源像領域の、前記検査領域からの隣接方向の全長をWとしたとき、前記光源像領域の前記隣接方向中心位置から前記検査領域までの距離Dを、W/2<D≦3W/2としたことを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 請求項1において、前記傾斜角αを、0<α<5°としたことを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 請求項1において、前記傾斜角αを、5°≦α<10°、10°≦α<15°、又は、15°≦α<25°のいずれかに設定したことを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 請求項1乃至3のいずれかにおいて、前記光を、前記カメラにより前記光の出射口の鏡像が位置する光源像領域が直線帯形状となると共に、照射光軸が、前記光源像領域の幅方向中心線と平行な平面内にあるように設定し、且つ、前記検査領域が、前記直線状の光源像領域と平行な直線帯形状になると共に、前記カメラ光軸が、前記法線に対して、前記光の出射口を通る前記設定直線と反対側に傾斜角βで傾斜され、前記直線帯形状の検査領域における幅方向中心線を含む平面内にあるように設定したことを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 請求項4において、前記光源像領域及び検査領域それぞれの幅方向中心線と平行、且つ、検査対象物表面と垂直な第1の仮想平面に対して、この第1の仮想平面及び前記検査対象物表面に垂直な第2の仮想平面内で、前記光の照射光軸を前記カメラ対称光軸に対して傾斜角αに傾け、且つ、前記カメラ光軸を、照射光軸とは反対側に前記第1の仮想平面に対して傾斜角βに傾けて設定したことを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 請求項4又は5において、前記検査対象物が帯状材のとき、前記光源像領域及び検査領域を、該帯状材を幅方向に横断する直線帯形状に設定すると共に、該帯状材を長手方向に走行させつつ表面欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 請求項4乃至6のいずれかにおいて、前記カメラをCCDラインカメラとし、このCCDラインカメラの複数の入射光軸を含む入射光軸面を、前記検査領域の幅方向中心線を含む平面と一致して設定したことを特徴とする表面欠陥の検出方法。
- 検査対象物を、その少なくとも一部の表面が、厚さ方向定位置で検査位置を通過又は検査位置に静止するように支持する支持装置と、前記検査位置における前記表面に検査領域が設定され、且つ、カメラ光軸が、前記表面での法線に対して、傾斜角βが、0<β≦10°となるように傾けて配置され、入射光強度に比例する強度の受光信号を出力するカメラと、前記検査領域を含む照射領域に光を照射するとともに、この照射領域中であって、前記検査領域の外側に隣接する位置に、前記光の出射口の鏡像が位置する光源像領域を形成し、且つ、この光の出射口の中心と前記検査領域の中心とを通る直線が、前記カメラ光軸の、前記法線に対するカメラ対称光軸となす傾斜角αが0°<α<25°に設定された検査光照射装置と、前記カメラからの前記受光信号の強度が前記検査領域における無欠陥部分からの入射光による受光信号の強度よりも一定値以上大きいとき欠陥検出信号を出力する判定装置と、を有してなり、前記カメラは、前記検査領域から見て前記光源像領域の中心に向かう方向における該光源像領域の全長をWとしたとき、前記光源像領域の前記方向の中心位置から前記検査領域までの距離Dが、W/2<D≦3W/2となるように設定されたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
- 請求項8において、前記検査光照射装置における前記傾斜角αを、0<α<5°としたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
- 請求項8において、前記検査光照射装置における前記傾斜角αを、5°≦α<10°、10°≦α<15°、又は、15°≦α<25°のいずれかに設定したことを特徴とする表面欠陥検出装置。
- 請求項8乃至10のいずれかにおいて、前記検査光照射装置は、前記光源像領域が直線帯形状となると共に、前記光の照射光軸が、前記光源像領域の幅方向中心線と平行な平面内にあるように設定され、且つ、前記カメラは、前記検査領域が、前記直線帯形状の光源像領域と平行な直線帯形状になると共に、前記カメラ光軸が、前記法線に対して、前記光の出射口を通る前記設定直線と反対側に傾斜角βで傾斜され、前記直線帯形状の検査領域における幅方向中心線を含む平面内にあるように設定されたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
- 請求項11において、前記検査光照射装置は、前記光源像領域及び検査領域それぞれの幅方向中心線と平行、且つ、検査対象物表面と垂直な第1の仮想平面に対して、この第1の仮想平面及び前記検査対象物表面に垂直な第2の仮想平面内で、前記光の出射口を通る前記設定直線が傾斜角αに傾けて設けられ、且つ、前記カメラは、前記カメラ光軸を、前記設定直線とは反対側に傾斜角βに傾けて設けられたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
- 請求項11又は12において、前記検査対象物が帯状材であり、前記支持装置は、該帯状材を長手方向に走行させる構成とされ、前記検査光照射装置及び前記カメラは、前記光源像領域及び検査領域が、該帯状材を幅方向に横断する直線帯形状となるように設定されたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
- 請求項11乃至13のいずれかにおいて、前記カメラはCCDラインカメラであり、このCCDラインカメラの複数の入射光軸を含む入射光軸面が、前記検査領域の幅方向中心線を含む平面と一致して設定されたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
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