JP4533697B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
5 搬送アーム
8 搬送ベースプレート
9 エンドエフェクタ
10 基板把持機構
11 クランプレバー本体
12 アーム部
13 スライド部
14 レバー本体
16 ガイドピン
19 回動ピン
20 引張バネ部
30 クランク
32 永久磁石
35 規制プレート
Claims (4)
- 基板をその先端位置に載置し、把持する基板把持機構をアーム先端のベースプレート上に有し、前記基板把持機構を直進運動可能な搬送アームを、旋回軸で支持し、該旋回軸の回転と前記搬送アームの直進運動とにより、前記基板把持機構を所定位置に移動可能な基板搬送装置において、
前記旋回軸には、延在方向が前記搬送アームの直進運動方向と一致し、先端が前記基板把持機構の側方に位置可能で、該旋回軸の回転に伴って前記搬送アームと一体的に回転可能な、磁性体からなる規制プレートが固定され、
前記基板把持機構には、先端部で基板を把持するクランプレバー本体と、該クランプレバー本体を、その付勢力で位置保持する初期状態保持手段と、前記規制プレートに面した部位に永久磁石が設けられて、回動動作により前記クランプレバー本体を直動運動させる回動部材とが設けられ、
前記クランプレバー本体は、初期状態では前記初期状態保持手段の付勢力により、前記基板を把持しない状態に位置保持され、前記搬送アームが直進運動して、前記基板把持機構が前記規制プレートの側方に位置した基板把持状態では、前記回動部材に設けられた永久磁石が前記規制プレートに磁力吸着されて前記回動部材が回動し、前記クランプレバー本体を、前記初期状態保持手段に抗して前記基板を把持する方向へ直動させて前記基板を把持することを特徴とする基板搬送装置。 - 前記クランプレバー本体は、略U字形状をなすアームの先端に形成された先端パッドと、エンドエフェクタ先端に設けられたストッパとで基板外縁を押さえるように、前記基板を把持することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記初期状態保持手段は、前記クランプレバー本体と前記ベースプレートとの間に設けられた引張バネであることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記回動部材は、前記ベースプレート上に軸支されたクランクからなり、該クランクの前記規制プレート側に永久磁石が取着され、前記クランクの回動動作を、前記クランプレバー本体の直進運動に変換するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004228864A JP4533697B2 (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004228864A JP4533697B2 (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006049597A JP2006049597A (ja) | 2006-02-16 |
JP4533697B2 true JP4533697B2 (ja) | 2010-09-01 |
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ID=36027809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004228864A Active JP4533697B2 (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4533697B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100815133B1 (ko) | 2006-10-10 | 2008-03-20 | 세크론 주식회사 | 반도체소자 푸싱장치 |
JP5124190B2 (ja) * | 2007-07-23 | 2013-01-23 | タツモ株式会社 | ウェハ搬送ロボット |
JP2010098130A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Hirata Corp | エンドイフェクタ |
JP5150608B2 (ja) * | 2009-11-20 | 2013-02-20 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
CN102092045B (zh) * | 2009-12-15 | 2012-09-05 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种基片处理***及其机械手臂装置 |
KR101436475B1 (ko) | 2013-05-03 | 2014-09-02 | (주)거성 | 파티클 방지용 클램프 장치 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002127063A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-08 | Meikikou:Kk | 搬送装置 |
JP2003258076A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
-
2004
- 2004-08-05 JP JP2004228864A patent/JP4533697B2/ja active Active
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JP2003258076A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006049597A (ja) | 2006-02-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070709 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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