JP4528614B2 - 基板上に液体を塗布するためのノズル装置 - Google Patents
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Description
図2は、本発明によるノズル体を前方から見た概略図、
図3は、図2に示したノズル体の概略的な断面図、
図4は、本発明によるノズル装置の概略的な側面図、
図5は、本発明によるノズル装置の概略的な部分断面図、
図6は、本発明によるノズル装置を概略的に前方から見た図、
図1には、半導体ウェーハを製造するためのマスク2を処理するための装置1の平面図が示されている。この装置1は、側壁5を備えた処理容器4を備えており、この処理容器4は、少なくとも上側の領域7内で円錐形に先細りしていて、上側の円形の挿入/取り出し開口8を形成している。処理容器4の底部は、相応の底部プレートによって形成されている。この底部プレートは、側壁5と共に固定プレート10に固定されている。上側の挿入/取り出し開口8は、詳しく図示していない相応の蓋によって閉鎖可能である。側壁5の円錐形の部分7には、種々異なる処理システムをガイドするための複数の貫通ガイド孔12、特に種々異なる液体のための複数の管路が設けられている。
Claims (27)
- 基板上に液体を塗布するためのノズル装置(22)であって、該ノズル装置(22)が、一列に並んで配置された複数のノズル(36)を備えたノズル体(26)と、ほぼ垂直方向に延びる、平らな面を備え、かつ真っ直ぐな下縁部(64)を備えた変向プレート(28)とを有しており、前記ノズル(36)が下縁部(64)の上側で変向プレート(28)の平らな面に向けられていて、それによって、前記下縁部(64)を越えて流出する液膜(84)が前記変向プレート(28)上に形成されるようになっており、ノズル体(26)と変向プレート(28)との間に、下方に広がるギャップ(80)が形成されており、このギャップ(80)がノズル体(26)の平らな面(76)と変向プレート(28)の平らな面とによって形成され、これらの面が互いに0.5°〜4°の間の鋭角の角度(α)を成して配置されており、これらの面の平面が、ノズル体の領域内でノズル装置の上側において交差していることを特徴とする、基板上に液体を塗布するためのノズル装置(22)。
- 前記角度(α)が調節可能である、請求項1記載のノズル装置(22)。
- 前記角度(α)が1°〜3°の間である、請求項1又は2記載のノズル装置(22)。
- 前記角度(α)が1.5°〜2.5°の間である、請求項3記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)の平らな面が、ノズル体(26)の平らな面(76)を越えて下方に延在している、請求項1から4までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)がノズル体(26)に直接取り付けられている、請求項1から5までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)がノズル(36)の上側でノズル体(26)に取り付けられている、請求項6記載のノズル装置(22)。
- ノズル体(26)と変向プレート(28)との間に、ノズル(36)の上側に位置するシール(74)が配置されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- シール(74)を受容するための切欠がノズル体(26)に設けられている、請求項8記載のノズル装置(22)。
- 前記シール(74)が円形の横断面を有している、請求項8又は9記載のノズル装置(22)。
- ノズル(36)がノズル体(26)内の真っ直ぐな貫通部によって形成され、この場合前記貫通部のインレット端部(50)が、高さ的に貫通部のアウトレット端部(51)の下側に位置している、請求項1から10までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- ノズル(36)のインレット端部(50)が共通の分配ライン(38)内に開口しており、この分配ライン(38)が、各ノズル(36)よりも著しく大きい横断面を有している、請求項11記載のノズル装置(22)。
- ノズル(36)のインレット端部(50)が、分配ライン(38)の最も高い位置に、又はその付近に位置している、請求項12記載のノズル装置(22)。
- 分配ライン(38)の下側に供給ライン(44)が設けられており、この供給ライン(44)が、複数の接続ライン(54)を介して分配ライン(38)に接続されている、請求項12又は13記載のノズル装置(22)。
- 前記複数の接続ライン(54)が分配ライン(38)の長さに亘って一様な間隔を保って配置されている、請求項14記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)の、ノズル(36)に向けられた少なくとも1つの表面が疎水性の層(62)より成っている、請求項1から15までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 基板(2)とノズル装置(22)との間の相対運動を生ぜしめるための装置が設けられている、請求項1から16までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 前記装置が、ノズル装置(22)を基板(2)の表面に対してほぼ平行に移動させるためのユニットを有している、請求項17記載のノズル装置(22)。
- 基板(2)及び/又はノズル装置(22)を運動させるためのリニア運動ユニットが設けられている、請求項17又は18記載のノズル装置(22)。
- ノズル体(26)と変向プレート(28)とが、旋回可能なアーム(32)に取り付けられている、請求項18記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)が、基板(2)よりも幅広く構成されている、請求項1から20までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 一列に並んで配置された複数の外側のノズル(36)がこの列に沿って、基板(2)の幅よりも大きい間隔を保って配置されている、請求項1から21までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)の下縁部(64)と基板(2)との間の間隔を調節するための装置(19)が設けられている、請求項1から22までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 変向プレート(28)の下縁部(64)が鋭角である、請求項1から23までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- 所定のノズル特に外側に位置するノズルを開閉するための装置が設けられている、請求項1から24までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- ノズル(36)と変向プレート(28)との間に、90°〜94°の間の角度、有利には90.5°〜93°の間の角度が形成される、請求項1から25までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
- ノズル(36)と変向プレート(28)との間の前記角度が90.5°〜92°の間である、請求項1から26までのいずれか1項記載のノズル装置(22)。
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