JP4517768B2 - 異物除去装置 - Google Patents
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Description
2 異物
3 樹脂シート
3a 使用済みの樹脂シート
3b 新しい樹脂シート
4 第一ガイドローラ
5 第二ガイドローラ
6 巻き取りロール
7 第三ガイドローラ
8 第四ガイドローラ
9 送りだしロール
10 第一静電チャック
11 第二静電チャック
12 第三静電チャック
13 第一電極
14 第二電極
15 電源
16 スイッチ
17 基板押し上げピン
18 フォーク
19 供給側カセット
20 回収側カセット
21 ロボットアーム
22 異物除去機構部
100 異物除去装置
Claims (6)
- 基板の裏面に付着している異物を乾式に除去する装置で、非粘着でヌープ硬度20〜200Hkの樹脂シートを前記基板の裏面と静電チャックの間に装填し、前記装填れた基板を前記樹脂シートをはさんで前記静電チャックに一定時間吸着させ、前記基板の静電チャックに対向する被吸着面側に付着した異物を前記樹脂シートに捕捉することにより基板に付着している異物を取り除くことを特徴とする、基板の異物除去装置。
- 前記異物除去装置は、2つ以上の吸着面から成る静電チャックと、前記吸着面を上昇下降させる機能を有し、ロール状に巻かれた樹脂シートを装填する部分と、前記樹脂シートを前記静電チャックの吸着面に導く機構と、前記樹脂シートをロール状に巻き取る部分と、前記静電チャックの吸着面から前記樹脂シートを前記の巻き取る部分に導く機構と、前記静電チャックの吸着面に敷かれた前記樹脂シートの上面に基板を装填および回収するための一組以上のロボットアームと一組以上の押し上げピンを有していることを特徴とする、請求項1に記載の基板の異物除去装置。
- 前記樹脂シートはロール状に巻かれ、基板ごとに新しいシート部分を送り出し前記静電チャックの吸着面に配置し、異物を捕捉した使用済みのシート部分はロール状に巻き取り回収されることを特徴とする、請求項1または2に記載の基板の異物除去装置。
- 前記樹脂シートはポリビニルアルコール、低密度ポリエチレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ナイロン、ポリイミド、アラミド、ポリカルボジイミドから選ばれた一つ以上の材質から成り、厚さが5〜30μmであることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の異物除去装置。
- 基板を静電チャックの吸着面に敷かれた非粘着でヌープ硬度20〜200Hkの樹脂シートの上に装填し、前記基板を前記樹脂シートをはさんで前記静電チャックに一定時間吸着させ、前記基板の静電チャックに対向する被吸着面側に付着した異物を前記樹脂シートに捕捉させることにより前記基板に付着している異物を取り除き、前記静電チャックの一つ以上の吸着面を下降させ前記基板を回収し、使用済みの前記樹脂シートをロール状に巻き取り、新しい樹脂シートを前記静電チャックに配置し、次に処理する基板を装填し、前記静電チャックの一つ以上の吸着面を元の位置に上昇させ、これら一連の動作を繰り返し行うことで連続的に複数の基板を処理できる基板の異物除去方法。
- 前記樹脂シートはポリビニルアルコール、低密度ポリエチレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ナイロン、ポリイミド、アラミド、ポリカルボジイミドから選ばれた一つ以上の材質から成り、厚さが5〜30μmであることを特徴とする請求項5に記載の異物除去方法。
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