JP4512305B2 - 追加ガス吸入口を有するガス摩擦ポンプ - Google Patents

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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は請求項１の上位概念に記載の、追加ガス吸入口を有するガス摩擦ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガス摩擦ポンプのハウジング内に固定および回転ポンプ作用構造部分が設けられている。ターボ分子ポンプのこの例においては、これらの固定および回転ポンプ作用構造部分は羽根が設けられているディスクから構成され、これらのディスクは交互に相前後して配置されている。これらのディスクの共同作用によりポンプ効果が発生される。高真空側の吸込開口を通過してポンプ内に到達したガスは圧縮され且つ背圧側に供給される。ここから、内部および外部ポンプ段を通過してガスをさらに大気圧まで圧縮可能である。外部ポンプ系は背圧接続口を介して接続可能である。
【０００３】
主吸込開口のほかにさらに１つまたは複数の追加ガス吸入口を設けることには種々の理由が存在する。以下にいくつかの例を記載する。
（１）例えばターボ分子ポンプの運転が休止される場合、特に炭化水素および水分による汚染を防止し且つ再起動時にポンプの始動時間を短縮するために、ポンプをドライ・ガスで充満することが有効である。これは、ポンプの周囲に設けられ且つ２つのロータ・ディスク間にガス流れを供給する弁を介して行われることが好ましい（ドイツ特許公開第１８０９９０２号、ドイツ特許公開第４４２７１５３号）。
【０００４】
（２）ターボ分子ポンプの運転中に洗浄ガスを吸入することがポンプ効率に対して有利である（ドイツ特許公開第１８０９９０２号、ドイツ特許公開第４４２７１５３号）。
【０００５】
（３）運転中に選択ガスが吸入されることがポンプの冷却のために有効である（ドイツ特許公開第１９５０８５６６号）。
（４）圧力がより高いある位置から最終ディスクの高さの高真空側にガス流れの一部を供給することにより、ターボ分子ポンプの体積流量を調節することができる（ドイツ特許公開第１９７０４２３４号）。
【０００６】
（５）漏れ検出装置または分析装置に使用されるターボ分子ポンプには、供給すべきガスをロータ・ディスク間に導くガス吸入口が一般には複数の位置に設けられている（ドイツ特許公開第１６４８６４８号、ドイツ特許公開第４３３１５８９号）。
【０００７】
これらのすべての装置において、ガス吸入口はポンプのハウジング内の穴を介して行われる。この穴からロータ・ディスクの間へガス噴流が半径方向に形成される。噴流がさらにその先に供給されるためには、噴流は９０°転向されなければならない。従来技術によるこのような配置は、ガス吸入口に高い流動抵抗を発生し、これにより意図する作用が妨害され且つ意図する作用は時間的に遅れてはじめて形成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ガス摩擦ポンプにおいて、従来技術に対して、より高い効率を有し且つ目的とする効果をより迅速に得ることを可能にするガス吸入口をロータ・ディスクの高さに設けることが本発明の課題である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題は請求項１の特徴項により解決される。
本発明の配置により、追加ガス吸入口装置の流動特性が著しく改善される。吸入孔により絞られた噴流がロータ・ディスクに衝突し且つそこで転向されることがもはや行われないので、これにより流動抵抗が低減される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１により、本発明をターボ分子ポンプの例で詳細に説明する。図１は、吸込開口２およびガス流出開口３を有するハウジング１を備えたターボ分子ポンプを示す。ロータ・ディスク４およびステータ・ディスク６に、このターボ分子ポンプの場合においてはディスク面に対し斜め方向に配置された羽根８を有する羽根リングからなるポンプ作用構造が設けられている。細長い穴の形状の追加ガス吸入口１０はハウジングの周囲に設けられている。この吸入口はその長手方向においてロータ・ディスク４の外縁の一部にわたり伸長する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ターボ分子ポンプの例で示した本発明によるガス摩擦ポンプの部分縦断面側面図である。
【符号の説明】
１ ハウジング
２ 吸込開口
３ ガス流出開口
４ 回転構造部分（ロータ・ディスク）
６ 固定構造部分（ステータ・ディスク）
８ 羽根
１０ 追加ガス吸入口

Claims (1)

  1. ハウジングが吸込開口（２）およびガス流出開口（３）並びに追加ガス吸入口（１０）を有する、ハウジング（１）内に回転構造部分（４）および固定構造部分（６）を備えたターボ分子ポンプにおいて、
    追加ガス吸入口（１０）が細長い穴の形状に形成され、細長い穴がハウジング（１）において周方向に設けられ且つその長手方向範囲において回転構造部分の外縁の一部にわたり伸長することを特徴とする追加ガス吸入口を有するターボ分子ポンプ。
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