JP4508845B2 - Semiconductor manufacturing equipment - Google Patents
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Description
本発明は、一般には、半導体製造装置に係り、特に、サーボバスを使用した半導体製造装置の制御に関する。ここで、「サーボバス」とは、制御部とサーボアンプとを接続するバスである。本発明は、例えば、ハンドラの制御方法に好適である。 The present invention generally relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly to control of a semiconductor manufacturing apparatus using a servo bus. Here, the “servo bus” is a bus connecting the control unit and the servo amplifier. The present invention is suitable for a handler control method, for example.
近年の半導体製造装置は小型化や省スペース化のみならず、製造の効率化及び高速化が求められている。例えば、半導体製造装置の一例としてのハンドラは、半導体製造プロセスにおける組立工程(後工程)後に行われる検査工程で使用され、組立完了したワークを自動的にテストシステムに供給し、テスト結果に基づいて自動的に分類し、トレーに収納する装置である。ハンドラは、多くのモータを駆動及び制御しているため、小型化、省スペース化及び配線の容易化の観点から、近年ではサーボバスを採用するようになってきている(例えば、特許文献1参照。)。サーボバスは、データ通信をシリアル化することによって配線数の減少を図る配線システムである。サーボバスのネットワークには、サーボアンプを始め、I/O、A/D変換、D/A変換、カウンタなどの子局も複数接続することが可能である。 In recent years, semiconductor manufacturing apparatuses are required not only for miniaturization and space saving, but also for manufacturing efficiency and speedup. For example, a handler as an example of a semiconductor manufacturing apparatus is used in an inspection process performed after an assembly process (post process) in a semiconductor manufacturing process, and automatically supplies an assembled work to a test system, based on a test result. It is a device that automatically classifies and stores it in a tray. Since the handler drives and controls many motors, in recent years, a servo bus has been adopted from the viewpoint of miniaturization, space saving, and easy wiring (for example, see Patent Document 1). ). The servo bus is a wiring system that reduces the number of wires by serializing data communication. A plurality of slave stations such as I / O, A / D conversion, D / A conversion, and counter can be connected to the servo bus network.
従来のハンドラの制御系は、典型的に、コントローラと、複数のアンプ及び複数の駆動部から構成されるネットワークとを有する。駆動部は、モータの他、エアーバルブ、カメラ、カメラ用照明などを含む。サーボバスは、ネットワークにおける複数のアンプ間(及びアンプと駆動部)の接続(シリアル接続)に適用され、アンプ間のシリアル通信を可能にするものである。 A conventional handler control system typically includes a controller and a network including a plurality of amplifiers and a plurality of driving units. The drive unit includes an air valve, a camera, camera illumination, and the like in addition to the motor. The servo bus is applied to a connection (serial connection) between a plurality of amplifiers (and an amplifier and a drive unit) in the network, and enables serial communication between the amplifiers.
制御においては、コントローラからの命令に応答して、アンプが駆動部に指令を出し、この結果、駆動部が動作する。駆動部の動作情報は、アンプを経てコントローラに送信され、それに応答して、コントローラは、所定の命令を駆動部に指令する。
しかしながら、従来のハンドラの制御系は、装置の小型化と省スペース化は達成することができるが、処理の高速化は十分に達成することができないという問題を有していた。例えば、第1のモータが第1の位置まで移動した時に、第2のモータを所定の位置まで駆動したり、エアーバルブを開口したりしようとする場合、コントローラは、第1のモータを第1の位置まで移動するための命令を第1のモータが接続するアンプに送信し、第1のモータが第1の位置に達成したことを示す動作情報をかかるアンプを介して受信すると、かかるフィードバックに応答して、第2のモータやエアーバルブを駆動する命令を送信する。このため、第1のモータが第1の位置に到達してから所定の時間が経過しないと第2のモータやエアーバルブは駆動しないことになる。 However, the conventional handler control system can achieve downsizing and space saving of the apparatus, but has a problem that the processing speed cannot be sufficiently achieved. For example, when the second motor is driven to a predetermined position or the air valve is opened when the first motor moves to the first position, the controller moves the first motor to the first position. When the operation information indicating that the first motor has reached the first position is received via the amplifier, the command to move to the position is transmitted to the amplifier connected to the first motor. In response, a command for driving the second motor and the air valve is transmitted. For this reason, the second motor and the air valve are not driven unless a predetermined time elapses after the first motor reaches the first position.
かかる所定の時間は、コントローラとアンプの通信時間と、コントローラが必要な計算を行うための応答時間を含む。パラレル通信ではかかる通信時間によるタイムラグは問題にならなかったが、サーボバスシステムでは、ネットワーク上の複数のアンプを順番にスキャンして所定のアンプにシリアルに信号を送信するため、通信時、スキャン遅れが発生する。また、近年の半導体製造装置の高速化の要求に伴って、フィードバック制御に対するリアルタイム性が益々要求され、特に、一部の駆動部(例えば、X軸モータ、Y軸モータ、Z軸モータ、θ軸モータなど)には高速制御が必要とされている。しかし、上述したように、コントローラとアンプの通信時、スキャン遅れやバラツキが発生するため、リアルタイムなフィードバック制御を実現することができなかった。 The predetermined time includes a communication time between the controller and the amplifier and a response time for the controller to perform necessary calculations. In parallel communication, the time lag due to the communication time was not a problem, but in the servo bus system, multiple amplifiers on the network are scanned in sequence and signals are sent serially to the specified amplifier. Occurs. In addition, with recent demands for higher speed semiconductor manufacturing apparatuses, real-time performance for feedback control is increasingly required, and in particular, some drive units (for example, X-axis motor, Y-axis motor, Z-axis motor, θ-axis) High speed control is required for motors). However, as described above, during communication between the controller and the amplifier, scan delay and variation occur, and real-time feedback control cannot be realized.
更に、コントローラは、位置制御ばかりでなく、画像処理演算や全体のシーケンス制御を行う必要があるが、リアルタイムなフィードバック制御を行おうとすれば他の処理を行うことができないという問題があった。 Furthermore, the controller needs to perform not only position control but also image processing calculation and overall sequence control, but there is a problem that other processing cannot be performed if real-time feedback control is performed.
これらの問題を解決するために、従来のように、コントローラとアンプをパラレル接続にして配線数を増加してリアルタイム処理を図ることも考えられるが、これでは装置の小型化、省スペース化及び配線の容易化が実現できなくなってしまうため、好ましくない。 In order to solve these problems, it is conceivable to increase the number of wires by connecting the controller and amplifier in parallel as in the past, and to achieve real-time processing, but this reduces the size, space saving and wiring of the device. This is not preferable because it becomes impossible to realize this.
そこで、本発明は、配線の容易化を維持すると共に、高速制御を必要とする駆動部のリアルタイムなフィードバック制御を実現する半導体製造装置を提供することを例示的目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor manufacturing apparatus that maintains realization of wiring and realizes real-time feedback control of a drive unit that requires high-speed control.
本発明の一側面としての半導体製造装置は、ワークをピックアップして搬送するピックアップ機構を備えた半導体製造装置において、第1のモータと前記ピックアップ機構に使用される第2のモータとで構成される複数のモータと、前記複数のモータの各々を駆動するサーボアンプと、前記サーボアンプにシリアル接続され、前記複数のモータを駆動するように該サーボアンプを制御する上位コントローラと、前記ワークの吸着または分離を行うエアーバルブと、前記ワークの状態を撮像するカメラと、前記第2のモータの位置に基づいて前記エアーバルブ及び前記カメラを制御する下位コントローラと、を有し、前記下位コントローラが、前記第2のモータの位置に基づいて前記エアーバルブの開閉タイミング及び前記カメラの撮像のタイミングを制御すると共に、前記上位コントローラが、前記カメラに撮像された画像を画像処理して前記ワークのずれ量を計算して該ずれ量に基づいて前記複数のモータの位置を補正して前記ピックアップ機構を動作させることを特徴とする。これにより、ずれの少ないリアルタイムなフィードバック制御を行うことができると共に、複数処理を上位コントローラと下位コントローラとに並列して実行させることができるため、処理を効率化することができる。
A semiconductor manufacturing apparatus according to one aspect of the present invention includes a first motor and a second motor used in the pickup mechanism in a semiconductor manufacturing apparatus including a pickup mechanism that picks up and conveys a workpiece. A plurality of motors, a servo amplifier that drives each of the plurality of motors, a host controller that is serially connected to the servo amplifier and controls the servo amplifiers so as to drive the plurality of motors, An air valve that performs separation, a camera that captures an image of the state of the workpiece, and a lower controller that controls the air valve and the camera based on the position of the second motor. Based on the position of the second motor, the opening / closing timing of the air valve and the imaging timing of the camera And the host controller performs image processing on an image picked up by the camera, calculates a displacement amount of the workpiece, corrects the positions of the plurality of motors based on the displacement amount, and picks up the pickup. The mechanism is operated. Accordingly, real-time feedback control with little deviation can be performed, and a plurality of processes can be executed in parallel by the upper controller and the lower controller, so that the process can be made more efficient.
本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。 Other objects and further features of the present invention will be made clear by the preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings.
本発明によれば、配線の容易化を維持すると共に、高速制御を必要とする駆動部のリアルタイムなフィードバック制御を実現する半導体製造装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor manufacturing apparatus that maintains realization of wiring and realizes real-time feedback control of a drive unit that requires high-speed control.
以下、添付図面を参照して、本発明の半導体製造装置の一例としてのハンドラ100を説明する。ハンドラ100は、組立工程(後工程)後に行われる検査工程で使用され、組立完了した被測定用ワークを自動的にテストシステムに供給し、テスト結果に基づいて自動的に分類収納する機能を有する。また、ハンドラ100は、切断加工により個片化されたワークを単にトレーに収納する場合もある。 Hereinafter, a handler 100 as an example of a semiconductor manufacturing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The handler 100 is used in an inspection process performed after an assembly process (post-process), and has a function of automatically supplying a workpiece to be measured after assembly to a test system and automatically classifying and storing the workpiece based on a test result. . Further, the handler 100 may simply store the workpieces separated by cutting in a tray.
ハンドラ100は、図1に示すように、第1の制御部であるコントローラ110と、ネットワークNW、即ち、ネットワークNWを構成する第2の制御部であるサーボアンプ120、第1の駆動部140、第3の制御部である下位コントローラ160及び第2の駆動部170とを有する。ここで、図1は、本発明であるハンドラ100の制御系を示す概略ブロック図である。なお、後述する第1の駆動部140は、駆動部140A及び140Bとを総括するものとする。 As shown in FIG. 1, the handler 100 includes a controller 110 serving as a first control unit, a servo amplifier 120 serving as a second control unit configuring the network NW, that is, the network NW, a first drive unit 140, It has a lower controller 160 and a second drive unit 170 which are third control units. Here, FIG. 1 is a schematic block diagram showing a control system of the handler 100 according to the present invention. Note that the first drive unit 140 to be described later summarizes the drive units 140A and 140B.
コントローラ110は、装置の各部を制御すると共に、各種の処理を行う。コントローラ110は、親局112と、画像処理システム114と、I/O回路124とを有する。なお、コントローラ110は、制御用のコンピュータを指し、パーソナルコンピュータ、FAパソコン、マイコン、プログラマブルコントローラ、シーケンサ等の制御装置が含まれる。コントローラ110は、親局112、画像処理システム114、I/O回路124等のオプションモジュールを追加可能なシステムが利用可能である。 The controller 110 controls each part of the apparatus and performs various processes. The controller 110 has a master station 112, an image processing system 114, and an I / O circuit 124. The controller 110 refers to a control computer, and includes control devices such as a personal computer, FA personal computer, microcomputer, programmable controller, and sequencer. As the controller 110, a system to which option modules such as the master station 112, the image processing system 114, and the I / O circuit 124 can be added can be used.
親局112は、ネットワークNW(即ち、サーボアンプ120や下位コントローラ160)に通信可能に接続されるインターフェースであり、接続にはシリアルバスが使用されている(シリアル接続)。画像処理システム114は、第2の駆動部170のカメラ146が撮像した画像を処理する。なお、図4を参照して後述される実施例においては、コントローラ110は、ワークを収納する収納トレーを駆動する収納トレー駆動部も制御する。 The master station 112 is an interface that is communicably connected to the network NW (that is, the servo amplifier 120 and the lower controller 160), and a serial bus is used for connection (serial connection). The image processing system 114 processes an image captured by the camera 146 of the second drive unit 170. In the embodiment described later with reference to FIG. 4, the controller 110 also controls a storage tray driving unit that drives a storage tray that stores workpieces.
本実施形態において、コントローラ110は、ネットワークNWを介して一以上のサーボアンプ120と、一以上の第1の駆動部140と、下位コントローラ160と、第2の駆動部170とに接続する。 In the present embodiment, the controller 110 is connected to one or more servo amplifiers 120, one or more first drive units 140, a lower controller 160, and a second drive unit 170 via a network NW.
ネットワークNWは、コントローラ110からの制御信号やサーボアンプ120や下位コントローラ160への情報の伝送路であり、後述するように、それぞれの接続をシリアル接続にすることで、配線の容易化(即ち、配線数が少ない)を実現している。 The network NW is a transmission path for control signals from the controller 110 and information to the servo amplifier 120 and the lower-level controller 160. As will be described later, each connection is serially connected to facilitate wiring (that is, (The number of wiring is small).
サーボアンプ120は、コントローラ110によって制御されると共に、本実施形態においては、コントローラ110からの制御信号に従って、第1の駆動部140を制御する。即ち、サーボアンプ120は、コントローラ110から制御信号を受信して第1の駆動部140を制御し、かかる制御に関する第1の駆動部140からの情報をコントローラ110にフィードバックする。換言すれば、サーボアンプ120は、フィードバック制御を行う。 The servo amplifier 120 is controlled by the controller 110, and in the present embodiment, controls the first drive unit 140 in accordance with a control signal from the controller 110. That is, the servo amplifier 120 receives a control signal from the controller 110 and controls the first drive unit 140, and feeds back information related to the control from the first drive unit 140 to the controller 110. In other words, the servo amplifier 120 performs feedback control.
なお、サーボアンプ120は、ネットワークNW内に一以上構成され、互いにシリアル接続されている。また、一のサーボアンプ120に対して一の第1の駆動部140が接続されており、1対1の制御を行う。従って、サーボアンプ120は、コントローラ110からの制御信号の中から、接続している第1の駆動部140に対応する情報を取得し、かかる第1の駆動部140を制御する。 One or more servo amplifiers 120 are configured in the network NW and are serially connected to each other. In addition, one first driving unit 140 is connected to one servo amplifier 120 and performs one-to-one control. Therefore, the servo amplifier 120 acquires information corresponding to the connected first drive unit 140 from the control signal from the controller 110 and controls the first drive unit 140.
サーボアンプ120は、子局121と、マイクロコンピュータ122と、駆動回路123と、I/O(入出力)回路124とを有する。 The servo amplifier 120 includes a slave station 121, a microcomputer 122, a drive circuit 123, and an I / O (input / output) circuit 124.
子局121は、コントローラ110の親局112に通信可能に接続されるインターフェースで、上述したように、接続にはシリアルバスが使用されている。サーボアンプ120は、互いに通信可能に接続されるインターフェースを有する。勿論、コントローラ110に最初に接続されるサーボアンプ120も他のサーボアンプ120と通信可能なインターフェースを有することは言うまでもない。 The slave station 121 is an interface that is communicably connected to the master station 112 of the controller 110. As described above, a serial bus is used for connection. The servo amplifier 120 has an interface that is communicably connected to each other. Of course, it goes without saying that the servo amplifier 120 initially connected to the controller 110 also has an interface capable of communicating with other servo amplifiers 120.
マイクロコンピュータ122は、各部を制御すると共に、各種の処理を行い、CPU、MPUなどその名称を問わない処理部を含む。駆動回路123は、モータ142を駆動する動力信号を生成し、モータ142に供給する。モータの現在値をエンコーダから駆動回路123に戻すことにより、フィードバック制御が行われる。サーボアンプ120のI/O回路124は、原点やオーバーラン信号等用としてのインターフェースであり、必要に応じて原点又はオーバーラン信号用センサ180が配線される。また、コントローラ110側にも同様に原点やオーバーラン信号等I/O回路124が設けられる場合もある。 The microcomputer 122 controls each unit, performs various processes, and includes a processing unit such as a CPU or MPU whose name is not limited. The drive circuit 123 generates a power signal that drives the motor 142 and supplies the power signal to the motor 142. Feedback control is performed by returning the current value of the motor from the encoder to the drive circuit 123. The I / O circuit 124 of the servo amplifier 120 is an interface for an origin, an overrun signal, and the like, and an origin or overrun signal sensor 180 is wired as necessary. Similarly, an I / O circuit 124 such as an origin or an overrun signal may be provided on the controller 110 side as well.
なお、本実施形態では、比較的に高速制御(フィードバック制御に対するリアルタイム性)を必要としない駆動部を第1の駆動部140Aとし、高速制御を必要とする駆動部を第1の駆動部140Bと第2の駆動部170とする。具体的には、ピックアップ機構150に使用されるX軸モータ、Y軸モータ、Z軸モータなどのモータ142を駆動部140Bとし、エアーバルブ144やカメラ146及びカメラ用照明147を第2の駆動部170とする。但し、高速制御を必要としないモータは、第1の駆動部140Bではなく、第1の駆動部140Aに含まれるが、駆動部140Aも駆動部140Bも同じネットワーク接続されているのでサーボバス上での通信速度は同様となる。 In the present embodiment, a drive unit that does not require relatively high speed control (real-time performance with respect to feedback control) is the first drive unit 140A, and a drive unit that requires high speed control is the first drive unit 140B. The second drive unit 170 is assumed. Specifically, a motor 142 such as an X-axis motor, a Y-axis motor, or a Z-axis motor used in the pickup mechanism 150 is used as the drive unit 140B, and the air valve 144, the camera 146, and the camera illumination 147 are used as the second drive unit. 170. However, a motor that does not require high-speed control is included in the first drive unit 140A, not the first drive unit 140B, but both the drive unit 140A and the drive unit 140B are connected to the same network, so The communication speed is the same.
ここで、図2を参照して、第1の駆動部140Bと第2の駆動部170の機能をより詳細に説明する。ここで、図2は、第1の駆動部140Bと第2の駆動部170の配置例を説明するための概略ブロック図である。図2において、ハンドラ100は、半導体装置としてのワークWを搭載する粘着性を有するウェハシートWSからワークWをピックアップし、所定の位置(例えば、テスト位置や収納位置)まで搬送する。ハンドラ100は、図2に示すように、ピックアップ機構150を更に有する。 Here, with reference to FIG. 2, the functions of the first driving unit 140B and the second driving unit 170 will be described in more detail. Here, FIG. 2 is a schematic block diagram for explaining an arrangement example of the first drive unit 140 </ b> B and the second drive unit 170. In FIG. 2, a handler 100 picks up a workpiece W from an adhesive wafer sheet WS on which a workpiece W as a semiconductor device is mounted, and conveys the workpiece W to a predetermined position (for example, a test position or a storage position). The handler 100 further includes a pickup mechanism 150 as shown in FIG.
モータ142は、ピックアップ機構150に接続され、ピックアップ機構150を移動動作させる。本実施形態では、図1における第1の駆動部140Bに示すように、3つのモータ(即ち、X軸モータ、Y軸モータ、Z軸モータ)142が設けられ、これらのモータ142は、ピックアップ機構150を3次元的に移動させる。モータ142は、サーボアンプ120の駆動回路123に接続される。 The motor 142 is connected to the pickup mechanism 150 and moves the pickup mechanism 150. In the present embodiment, as shown in the first drive unit 140B in FIG. 1, three motors 142 (that is, an X-axis motor, a Y-axis motor, and a Z-axis motor) 142 are provided. 150 is moved three-dimensionally. The motor 142 is connected to the drive circuit 123 of the servo amplifier 120.
エアーバルブ144は、図示しない吸引ポンプとピックアップ機構150の間に開閉自在に接続されると共に、下位コントローラ160のI/O回路124に接続される。エアーバルブ144が開閉する結果、ピックアップ機構150の本体(シリンダブロック)152内を真空引きしたり、真空を解除したりする。エアーバルブ144が開口すれば、ピックアップ機構150がワークWを吸着し、エアーバルブ144が閉口すれば、ピックアップ機構150内の真空は解除されて大気圧に解放されるため、ピックアップ機構150はワークWと分離する。 The air valve 144 is connected between a suction pump (not shown) and the pickup mechanism 150 so as to be openable and closable, and is also connected to the I / O circuit 124 of the lower controller 160. As a result of opening and closing of the air valve 144, the inside of the main body (cylinder block) 152 of the pickup mechanism 150 is evacuated and the vacuum is released. If the air valve 144 is opened, the pickup mechanism 150 sucks the workpiece W, and if the air valve 144 is closed, the vacuum in the pickup mechanism 150 is released and released to atmospheric pressure. And separate.
カメラ146は、ウェハシートWSの上方に設置され、ワークWをピックアップする際にピックアップ機構150とワークWとの位置合わせを行うためやワークWをトレーの位置に収納する際に、かかるトレーの位置とワークとの位置合わせを行うために、これらを撮影する。カメラ146は、CCDカメラなどからなり、その個数や配置は限定されない。下位コントローラ160のI/O回路124から、必要な画像に応じて予め設定され、下位コントローラ160内部で処理された、位置や時間に同期した各種モード(モーメンタリ/オルタネート、1ショット/指定ショット/連続ショット、位置/時間)の画像取り込み信号を出力する事により、カメラ146で最適な画像が撮影される。 The camera 146 is installed above the wafer sheet WS, and is used to align the pickup mechanism 150 and the workpiece W when picking up the workpiece W or when the workpiece W is stored in the tray position. These are photographed in order to align with the workpiece. The camera 146 includes a CCD camera and the number and arrangement thereof are not limited. Various modes (momentary / alternate, 1 shot / designated shot / continuous) synchronized with the position and time, which are preset from the I / O circuit 124 of the lower controller 160 and processed in the lower controller 160 in advance. Shot, position / time), and the camera 146 captures an optimum image.
カメラ146が取得した画像は、コントローラ110の画像処理システム114により処理される。画像処理システム114によって処理された情報に基づいて、ピックアップ機構150やウェハシートWSの位置をモータ142や図示しないX−Y−Z移動装置により制御し、特定のワークWをピックアップしたり、図示しないトレーの特定の位置にワークWを収納したりする。図4を参照して後述する実施例においては、コントローラ110は、カメラ146の情報に基づいて、トレーの位置を2次元的に制御する。 The image acquired by the camera 146 is processed by the image processing system 114 of the controller 110. Based on the information processed by the image processing system 114, the positions of the pickup mechanism 150 and the wafer sheet WS are controlled by a motor 142 or an XYZ moving device (not shown) to pick up a specific workpiece W or not shown. The work W is stored in a specific position of the tray. In an embodiment described later with reference to FIG. 4, the controller 110 controls the tray position two-dimensionally based on information from the camera 146.
カメラ用照明147は、必要な画像に応じて予め設定され、下位コントローラ160内部で処理された、位置や時間に同期した各種モード(モーメンタリ/オルタネート、1ショット/指定ショット/連続ショット、位置/時間)の信号をI/O回路124から出力する事により、カメラ146用の最適な照明が可能となる。 The camera illumination 147 is preset according to a necessary image and processed in the lower controller 160 in various modes (momentary / alternate, one shot / designated shot / continuous shot, position / time) synchronized with the position and time. ) Is output from the I / O circuit 124, the optimal illumination for the camera 146 becomes possible.
図2においては、ピックアップ機構150は、ワークWの上方に位置し、ワークWをウェハシートWSからピックアップしてテスト位置や収納位置に搬送する。また、ピックアップ機構150は、テストが終了したワークWを収納トレーの所定の位置まで搬送することができるが、収納トレーなどの図示は省略されている。 In FIG. 2, the pickup mechanism 150 is located above the workpiece W, picks up the workpiece W from the wafer sheet WS, and conveys the workpiece W to the test position or the storage position. In addition, the pickup mechanism 150 can transport the workpiece W that has been tested to a predetermined position on the storage tray, but the storage tray and the like are not shown.
ピックアップ機構150は、その本体(又はアーム)152の底部に吸着部154を有し、吸着部154には、ワークWの上面を真空吸着するための吸着孔が形成されている。また、本体152の上面には吸引孔が設けられ、図示しない吸引ポンプに接続されたエアーバルブ144に直接に又は管などを介して接続されている。上述したように、エアーバルブ144が開口すれば、吸着部154がワークWの上面を吸着し、エアーバルブ144が閉口すれば、吸着部154はワークWと分離する。 The pickup mechanism 150 has a suction part 154 at the bottom of its main body (or arm) 152, and the suction part 154 is formed with a suction hole for vacuum-sucking the upper surface of the workpiece W. Further, a suction hole is provided on the upper surface of the main body 152, and is connected directly or via a pipe or the like to an air valve 144 connected to a suction pump (not shown). As described above, when the air valve 144 is opened, the suction portion 154 sucks the upper surface of the work W, and when the air valve 144 is closed, the suction portion 154 is separated from the work W.
ピックアップ機構150は、第1の駆動部140Bのモータ142に接続され、3つのモータ142により3次元的に移動することができる。なお、本発明は、図1に示すモータ142の数を限定するものではない。 The pickup mechanism 150 is connected to the motor 142 of the first drive unit 140B and can be moved three-dimensionally by the three motors 142. The present invention does not limit the number of motors 142 shown in FIG.
図1に戻って、下位コントローラ160は、サーボアンプ120と第1の駆動部140Bのフィードバック信号とを接続し、予めコントローラ110から下位コントローラ160に第1の駆動部140Bが所定位置で行うべき一連の動作を制御するための制御信号を与えておくことにより、第1の駆動部140Bのフィードバック制御を、コントローラ110を介さずに第1の駆動部140B及び第2の駆動部170を制御する。第1の駆動部140Bをシリアル接続された一以上のサーボアンプ120を介してコントローラ110が制御すると、同じサーボバス上では同じスキャンタイムとなり、第1の駆動部140Bに要求されるような高速制御(フィードバック制御のリアルタイム性)を実現することができない。しかし、下位コントローラ160には、第1の駆動部140Bのフィードバック信号を接続し、予めコントローラ110から下位コントローラ160に第1の駆動部140Bが所定位置で行うべき一連の動作を制御するための制御信号を与えておくことにより、第1の駆動部140Bのフィードバック制御を、コントローラ110を介さずに第1の駆動部140Bを制御することを可能とし、第1の駆動部140Bに要求される高速制御を実現することができる。 Returning to FIG. 1, the lower-level controller 160 connects the servo amplifier 120 and the feedback signal of the first drive unit 140 </ b> B, and the series of the first drive unit 140 </ b> B to be performed at a predetermined position from the controller 110 to the lower-level controller 160 in advance. By giving a control signal for controlling the operation of the first drive unit 140B, the first drive unit 140B and the second drive unit 170 are controlled without using the controller 110 for feedback control of the first drive unit 140B. When the controller 110 controls the first driving unit 140B via one or more servo amplifiers 120 connected in series, the same scanning time is obtained on the same servo bus, and high-speed control as required by the first driving unit 140B ( Real-time feedback control cannot be realized. However, the feedback signal of the first drive unit 140B is connected to the lower controller 160, and control for controlling a series of operations that the first drive unit 140B should perform at a predetermined position from the controller 110 to the lower controller 160 in advance. By providing a signal, feedback control of the first drive unit 140B can be performed without using the controller 110, and the high speed required for the first drive unit 140B can be achieved. Control can be realized.
第1の駆動部140Bのフィードバック信号をサーボアンプ120及び下位コントローラ160にも直列に接続することにより、第1の駆動部140Bの制御情報をサーボアンプ120と下位コントローラ160がほぼ同時に共有可能となっている。この信号が下位コントローラ160に接続されていないと、下位コントローラ160が第1の駆動部140Bの制御情報を得たい場合には、上位のコントローラ110経由となり、スキャン時間遅れが発生して高速制御には望ましくない。 By connecting the feedback signal of the first driving unit 140B in series to the servo amplifier 120 and the lower controller 160, the servo amplifier 120 and the lower controller 160 can share the control information of the first driving unit 140B almost simultaneously. ing. If this signal is not connected to the lower controller 160, when the lower controller 160 wants to obtain control information of the first drive unit 140B, it goes through the upper controller 110, and a scan time delay occurs, resulting in high-speed control. Is not desirable.
図3は、下位コントローラ160の内部構成の一例を示す概略ブロック図である。下位コントローラ160は、子局121と、I/O回路124と、メモリ162と、検出部163と、処理部(マイクロコンピュータ)164と、タイミング発生回路165とを有する。なお、メモリ162、検出部163、処理部164及びタイミング発生回路165の全体又は一部をマイクロコンピュータで構成することも可能である。 FIG. 3 is a schematic block diagram showing an example of the internal configuration of the lower controller 160. The lower controller 160 includes a slave station 121, an I / O circuit 124, a memory 162, a detection unit 163, a processing unit (microcomputer) 164, and a timing generation circuit 165. Note that all or part of the memory 162, the detection unit 163, the processing unit 164, and the timing generation circuit 165 may be configured by a microcomputer.
子局121は、ネットワークNWに通信可能に接続されるインターフェースであり、本実施形態では、サーボアンプ120及び/又はコントローラ110との通信を可能とする。 The slave station 121 is an interface that is communicably connected to the network NW. In this embodiment, the slave station 121 can communicate with the servo amplifier 120 and / or the controller 110.
メモリ162は、第1の駆動部140Bに関する制御情報(例えば、「第1のモータ142が第1の位置に移動したら、第2のモータ142を第2の位置に移動させる」など)を予め格納する。メモリ162は、外部と通信可能に構成され、第1の駆動部140Bに関する制御情報を変更可能(プログラム可能)に構成される。例えば、メモリ162は、子局121を介してコントローラ110やサーボアンプ120と通信可能に構成され、検出部163を介して第1の駆動部140Bに関する制御情報を受信することも可能である。 The memory 162 stores in advance control information related to the first driving unit 140B (for example, “when the first motor 142 moves to the first position, the second motor 142 moves to the second position”). To do. The memory 162 is configured to be able to communicate with the outside, and is configured to be able to change (programmable) control information regarding the first drive unit 140B. For example, the memory 162 is configured to be able to communicate with the controller 110 and the servo amplifier 120 via the slave station 121, and can receive control information regarding the first drive unit 140 </ b> B via the detection unit 163.
検出部163は、第1の駆動部140Bのフィードバック信号を接続し、かかる第1の駆動部140Bの動作情報をサーボアンプ120とほぼ同時に検出すると共に、後述する処理部164に第1の駆動部140Bの動作情報を伝達する。検出部163が、動作情報を検出可能な第1の駆動部140Bの数は、本実施形態では、図3に示すように4つであるが、かかる数は例示的である。 The detection unit 163 connects the feedback signal of the first drive unit 140B, detects the operation information of the first drive unit 140B almost simultaneously with the servo amplifier 120, and sends the first drive unit to the processing unit 164 described later. 140B operation information is transmitted. In the present embodiment, the number of first drive units 140B from which the detection unit 163 can detect operation information is four as shown in FIG. 3, but this number is exemplary.
処理部(マイクロコンピュータ)164は、メモリ162及び検出部163と接続し、メモリ162に格納された第1の駆動部140Bに関する制御情報及び検出部163が検出した第1の駆動部140Bの動作情報に基づいて、次に駆動される第1の駆動部140Bが接続しているサーボアンプ120に、かかる第1の駆動部140Bの動作命令(例えば、「第2のモータ142を第2の位置に移動する」)を生成させる。処理部164とサーボアンプ120との通信は、上述したように、子局121を介して行われる。 The processing unit (microcomputer) 164 is connected to the memory 162 and the detection unit 163, and the control information related to the first drive unit 140B stored in the memory 162 and the operation information of the first drive unit 140B detected by the detection unit 163. The servo amplifier 120 connected to the first drive unit 140B to be driven next is connected to the operation command of the first drive unit 140B (for example, “the second motor 142 is set to the second position”). Move "). Communication between the processing unit 164 and the servo amplifier 120 is performed via the slave station 121 as described above.
下位コントローラ160が制御する第2の駆動部170がエアーバルブ144やカメラ146及びカメラ用照明147である場合には、I/O回路124やタイミング発生回路165を利用すればよい。メモリ162に制御情報を設定(位置やモード等)しておく事により、検出部163を通じて指定位置・時間でイベントを発生させて、タイミング発生回路165で指定モードの信号を、I/O回路124から出力可能となる。また、下位コントローラ160は、サーボアンプ120のI/O回路124と直接タイミングを取り合うことも可能となる。 When the second drive unit 170 controlled by the lower controller 160 is the air valve 144, the camera 146, and the camera illumination 147, the I / O circuit 124 and the timing generation circuit 165 may be used. By setting control information (position, mode, etc.) in the memory 162, an event is generated at the specified position / time through the detection unit 163, and the signal of the specified mode is output from the timing generation circuit 165 to the I / O circuit 124. Can be output. In addition, the lower-level controller 160 can directly control the timing with the I / O circuit 124 of the servo amplifier 120.
以下、ハンドラ100の制御系の動作を説明する。まず、第1の駆動部140を駆動する際に、コントローラ110は、親局112を介して、複数の第1の駆動部140の同時に動作すべき制御の情報、例えば、「第1のモータ142は第1の位置に移動する」という制御信号をネットワークNWに送出する。なお、コントローラ110は、ネットワークNWに対して、複数の第1の駆動部140がそれぞれ所定の位置で行うべき一連の動作を制御するための情報、例えば、「第1のモータ142は第1の位置に移動する。第1のモータ142が第1の位置に移動したら、第2のモータ142は第2の位置に移動する。」などを含む全情報を供給しないことに注意されたい。なお、かかる説明は、後述を参照すれば理解されるであろう。 Hereinafter, the operation of the control system of the handler 100 will be described. First, when driving the first drive unit 140, the controller 110 controls information to be simultaneously operated by the plurality of first drive units 140 via the master station 112, for example, “first motor 142. Is moved to the first position "is sent to the network NW. Note that the controller 110 controls the network NW to control a series of operations that the plurality of first driving units 140 should perform at predetermined positions, for example, “the first motor 142 is the first motor 142 Note that if the first motor 142 moves to the first position, then the second motor 142 moves to the second position, etc. " Such description will be understood with reference to the following description.
従来の構成であれば、コントローラ110は、第1のモータ142を第1の位置まで移動するための動作命令を、第1のモータ142に接続されたサーボアンプ120に送信し、次に、サーボアンプ120が駆動回路123を介して第1のモータ142を第1の位置まで駆動する。続いて、サーボアンプ120は、第1のモータ142が第1の位置に到達したことを示す動作情報を第1のモータ142から受信し、かかる情報をコントローラ110に送信する。次に、コントローラ110は、第2のモータ142を第2の位置まで移動するための動作命令を第2のモータ142に接続されたサーボアンプ120に送信する。これに応答して、サーボアンプ120は駆動回路123を介して第2のモータ142を第2の位置まで駆動する。続いて、サーボアンプ120は、第2のモータ142が第2の位置に到達したことを示す動作情報を第2のモータ142から受信し、かかる情報をコントローラ110に送信する。次に、コントローラ110は、エアーバルブ144を開口するための動作命令をエアーバルブ144が接続されたコントローラ110のI/O回路124を制御してエアーバルブ144を開口する。 In the conventional configuration, the controller 110 transmits an operation command for moving the first motor 142 to the first position to the servo amplifier 120 connected to the first motor 142, and then the servo 110 The amplifier 120 drives the first motor 142 to the first position via the drive circuit 123. Subsequently, the servo amplifier 120 receives operation information indicating that the first motor 142 has reached the first position from the first motor 142, and transmits the information to the controller 110. Next, the controller 110 transmits an operation command for moving the second motor 142 to the second position to the servo amplifier 120 connected to the second motor 142. In response to this, the servo amplifier 120 drives the second motor 142 to the second position via the drive circuit 123. Subsequently, the servo amplifier 120 receives operation information indicating that the second motor 142 has reached the second position from the second motor 142 and transmits the information to the controller 110. Next, the controller 110 controls the I / O circuit 124 of the controller 110 to which the air valve 144 is connected to open an air valve 144 with an operation command for opening the air valve 144.
このように、従来の構成では、サーボアンプ120は、コントローラ110に第1及び第2のモータ142の情報をフィードバックする必要があり、コントローラ110と第1及び第2のモータ142との間に複数のサーボアンプ120が介在していたため通信のスキャンに時間がかかっていた。また、コントローラ110は、サーボアンプ120から情報をフィードバックされるとリアルタイム性を維持するために直ちに第2のモータ142及びエアーバルブ144の制御情報を計算しなければならず、負荷がかかっていた。また、コントローラ110が第2のモータ142及びエアーバルブ144の制御情報をサーボアンプ120に送信する際の通信時間も、複数のサーボアンプ120をスキャンするため、長時間かかっていた。 As described above, in the conventional configuration, the servo amplifier 120 needs to feed back the information of the first and second motors 142 to the controller 110, and a plurality of servo amplifiers 120 are provided between the controller 110 and the first and second motors 142. Since the servo amplifier 120 was interposed, it took time to scan communications. In addition, when the information is fed back from the servo amplifier 120, the controller 110 must immediately calculate the control information of the second motor 142 and the air valve 144 in order to maintain the real-time property, which puts a load. The communication time when the controller 110 transmits the control information of the second motor 142 and the air valve 144 to the servo amplifier 120 also takes a long time because the plurality of servo amplifiers 120 are scanned.
これに対して、本実施形態では、コントローラ110からの制御信号を、ネットワークNWを介して、シリアル接続された複数のサーボアンプ120及び下位コントローラ160に送信する。コントローラ110からの制御信号がネットワークNWに流れると、下位コントローラ160を介して、対応するサーボアンプ120は、かかる制御信号を取得して対応する動作命令を接続された第1の駆動部140に供給する。例えば、対応するサーボアンプ120は、第1のモータ142が第1の位置に移動するための駆動信号を生成して第1のモータ142に供給する。 On the other hand, in the present embodiment, a control signal from the controller 110 is transmitted to a plurality of serially connected servo amplifiers 120 and lower-order controllers 160 via the network NW. When a control signal from the controller 110 flows through the network NW, the corresponding servo amplifier 120 acquires the control signal and supplies a corresponding operation command to the connected first driving unit 140 via the lower controller 160. To do. For example, the corresponding servo amplifier 120 generates a drive signal for moving the first motor 142 to the first position and supplies the drive signal to the first motor 142.
第1の駆動部140Bは、下位コントローラ160を介してのサーボアンプ120からの動作命令に従って、例えば、第1のモータ142は第1の位置に移動する。また、下位コントローラ160は、第1の駆動部140Bの動作情報を検出し、例えば、第1のモータ142が第1の位置に移動したことを示す動作情報を検出する。下位コントローラ160には、第1の駆動部140Bに関する制御情報(例えば、「第1のモータ142が第1の位置に移動したら、第2のモータ142を第2の位置に移動させる」など)が設定されており、かかる制御情報に従って、第1の駆動部140Bを制御する。詳細には、下位コントローラ160は、第1の駆動部140Bの動作情報(例えば、「第1のモータ142が第1の位置に移動した」)を検出し、予め設定された制御情報に基づいて、次に駆動する第1の駆動部140Bが接続されているサーボアンプ120に、かかる第1の駆動部140Bの動作命令(第2のモータ142を第2の位置に移動する)を生成させ、第1の駆動部140Bに供給する。換言すれば、下位コントローラ160は、コントローラ110を介さずに、第1の駆動部140Bのフィードバック制御を行う。従って、予め指令を与えておくことにより一連の動作が開始されると、コントローラ110と下位コントローラ160が独立した制御となって、駆動部140Bと駆動部170が動作する。これにより、第1の駆動部140Bと第2の駆動部170との高速制御(フィードバック制御のリアルタイム性)を実現することが可能となる。 In the first drive unit 140B, for example, the first motor 142 moves to the first position in accordance with an operation command from the servo amplifier 120 via the lower controller 160. The lower controller 160 detects the operation information of the first drive unit 140B, for example, detects operation information indicating that the first motor 142 has moved to the first position. The lower controller 160 has control information related to the first drive unit 140B (for example, “when the first motor 142 moves to the first position, the second motor 142 moves to the second position”). The first drive unit 140B is controlled according to the control information that has been set. Specifically, the lower controller 160 detects the operation information of the first driving unit 140B (for example, “the first motor 142 has moved to the first position”), and based on the preset control information Then, the servo amplifier 120 to which the first drive unit 140B to be driven next is connected generates an operation command for the first drive unit 140B (moves the second motor 142 to the second position), It supplies to the 1st drive part 140B. In other words, the lower controller 160 performs feedback control of the first drive unit 140B without using the controller 110. Therefore, when a series of operations is started by giving a command in advance, the controller 110 and the lower controller 160 are controlled independently, and the drive unit 140B and the drive unit 170 operate. This makes it possible to realize high-speed control (real-time feedback control) between the first drive unit 140B and the second drive unit 170.
また、下位コントローラ160のI/O回路124からは、上位のコントローラ110からの指令により、位置や時間に同期した各種モード(モーメンタリ/オルタネート、1ショット/指定ショット/連続ショット、位置/時間)の信号がプログラマブルに出力可能となっており、エアーバルブやカメラ、照明への出力に有効となる。 In addition, the I / O circuit 124 of the lower controller 160 receives various modes (momentary / alternate, one shot / designated shot / continuous shot, position / time) synchronized with the position and time according to a command from the upper controller 110. Signals can be output in a programmable manner, which is effective for output to air valves, cameras, and lighting.
一方、コントローラ110は、下位コントローラ160が第1の駆動部140Bと第2の駆動部170をフィードバック制御している間に他の処理を並列して実行する。他の処理は、例えば、第1の駆動部140Aのフィードバック制御、画像処理、収納トレーの駆動などを含む。このように、コントローラ110は、第1の駆動部140Bのフィードバック制御を下位コントローラ160に任せて他の処理を行うことができるので、ハンドラ100は、様々な処理を効率的に行うことができる。 On the other hand, the controller 110 executes other processes in parallel while the lower controller 160 feedback-controls the first drive unit 140B and the second drive unit 170. Other processing includes, for example, feedback control of the first driving unit 140A, image processing, storage tray driving, and the like. As described above, the controller 110 can perform other processing by leaving the feedback control of the first driving unit 140B to the lower controller 160, and thus the handler 100 can efficiently perform various processes.
以下、図4を参照して、ハンドラ100の処理について説明する。ここで、図4は、ハンドラ100の駆動部140の動作例を示す概略図である。 Hereinafter, the processing of the handler 100 will be described with reference to FIG. Here, FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an operation example of the driving unit 140 of the handler 100.
図4に示すように、本実施形態では、ピックアップ機構150の本体(アーム)152がポイント1でワークを吸着し、ポイント7でトレーに収納する作業を行う。作業ポイントは、ポイント1からポイント7を含み、各ポイントでの作業内容は以下のようになる。 As shown in FIG. 4, in this embodiment, the main body (arm) 152 of the pickup mechanism 150 performs the work of attracting the workpiece at point 1 and storing it in the tray at point 7. The work points include points 1 to 7, and the work contents at each point are as follows.
即ち、ポイント1では、エアーバルブ144を開口してワークを吸着し、その後、第3の(又はZ軸)モータ142に対応するピックアップ機構150の本体152(以下、アームZ軸という。)の上昇を行う。ポイント2では、第2の(又はY軸)モータ142に対応するピックアップ機構150の本体152(以下、アームY軸という。)の起動を行う。ポイント3では、アームY軸がポイント3を通過した時、アームZ軸が移動完了しているかをチェックし、移動完了していない場合は関係軸をエラー停止する。ポイント4では、設定通過位置に同期して、カメラ146とカメラ用照明147に対してフラッシュ発光と、ワークの画像取り込みを命令する。ポイント5では、アームZ軸の下降命令を行う。ポイント6では、エアーバルブ144を閉口するように命令する。ポイント7では、アームY軸とアームZ軸の最終位置決めを行ってから元の位置に戻す。 That is, at point 1, the air valve 144 is opened to attract the workpiece, and then the main body 152 (hereinafter referred to as the arm Z axis) of the pickup mechanism 150 corresponding to the third (or Z axis) motor 142 is raised. I do. At point 2, the main body 152 (hereinafter referred to as the arm Y axis) of the pickup mechanism 150 corresponding to the second (or Y axis) motor 142 is activated. At point 3, when the arm Y axis passes point 3, it is checked whether the arm Z axis has been moved. If the movement has not been completed, the related axes are stopped with an error. At point 4, in synchronization with the set passing position, the camera 146 and camera illumination 147 are instructed to perform flash emission and image capture of the workpiece. At point 5, a command to lower the arm Z axis is issued. At point 6, the air valve 144 is commanded to close. At point 7, the arm Y axis and the arm Z axis are finally positioned and then returned to their original positions.
まず、下位コントローラ160にポイント1から7までの動作を設定する。次に、コントローラ110は、下位コントローラ160を介してサーボモータ120に対して搬送スタートを指令する。これにより、ポイント1では、下位コントローラ160がI/O回路124を介してエアーバルブ144を開口し、次いで、下位コントローラ160を介して第3のモータ142を駆動する。ポイント2では、下位コントローラ160が第3のモータ142の駆動が完了したことを検出し、第2のモータ142を駆動する。ポイント3では、アームY軸がポイント3に来たことを第2のモータ142からの情報によって判断し、アームZ軸の移動が完了しているかどうか下位コントローラ160が判断する。ポイント4では、下位コントローラ160はタイミング発生回路165から信号出力してフラッシュ発光と画像取り込みを実行する。ポイント5では、下位コントローラ160は、第3のモータ142を駆動する。ポイント6では、下位コントローラ160のI/O回路124を介してエアーバルブ144を閉口する。ポイント7では、下位コントローラ160が、第2のモータ142を画像処理により補正された位置に移動させ、第3のモータを設定された高さに移動させた後、夫々のモータを初期位置に戻す。 First, the operations from points 1 to 7 are set in the lower controller 160. Next, the controller 110 instructs the servo motor 120 to start conveyance via the lower controller 160. As a result, at point 1, the lower controller 160 opens the air valve 144 via the I / O circuit 124, and then drives the third motor 142 via the lower controller 160. At point 2, the lower controller 160 detects that the driving of the third motor 142 is completed, and drives the second motor 142. At point 3, it is determined from the information from the second motor 142 that the arm Y axis has reached point 3, and the lower controller 160 determines whether or not the movement of the arm Z axis has been completed. At point 4, the lower controller 160 outputs a signal from the timing generation circuit 165 to execute flash emission and image capture. At point 5, the lower controller 160 drives the third motor 142. At point 6, the air valve 144 is closed via the I / O circuit 124 of the lower controller 160. At point 7, the lower controller 160 moves the second motor 142 to the position corrected by the image processing, moves the third motor to the set height, and then returns each motor to the initial position. .
このように、第2及び第3のモータ142の駆動を下位コントローラ160が制御することにより、コントローラ110にフィードバックする通信時間を除去することができ、高速制御を必要とする駆動部(第1の駆動部140B及び第2の駆動部170)のリアルタイムなフィードバック制御を実現することができる。 In this way, the lower controller 160 controls the driving of the second and third motors 142, so that the communication time to be fed back to the controller 110 can be eliminated, and the driving unit (first driving) that requires high-speed control. Real-time feedback control of the driving unit 140B and the second driving unit 170) can be realized.
コントローラ110は、ポイント4において、カメラ146が撮影した画像を受信して画像処理システム114が画像処理を行う。次に、コントローラ110は、画像処理によりワークのずれ量X及びYを(場合によっては、回転角θも)計算する。コントローラ110は、下位コントローラ160が第2及び第3のモータ142を駆動している間に画像処理を行うことができるので、ハンドラ100の処理は効率的になっている。 At point 4, the controller 110 receives an image captured by the camera 146 and the image processing system 114 performs image processing. Next, the controller 110 calculates the displacement amounts X and Y of the workpiece (and the rotation angle θ in some cases) by image processing. Since the controller 110 can perform image processing while the lower controller 160 drives the second and third motors 142, the processing of the handler 100 is efficient.
また、コントローラ110は、ずれ量に基づいて、収納トレーXYの移動を命令する。コントローラ110は、下位コントローラ160がアームZ軸を下降駆動している間に収納トレーを駆動することができるので、ハンドラ100の処理は効率的になっている。 Further, the controller 110 commands the movement of the storage tray XY based on the deviation amount. Since the controller 110 can drive the storage tray while the lower controller 160 drives the arm Z axis downward, the processing of the handler 100 is efficient.
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、本実施形態では、半導体製造装置の一例としてハンドラを使用して説明したが、本発明は他の半導体製造装置にも適用可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist. For example, in this embodiment, a handler is used as an example of a semiconductor manufacturing apparatus. However, the present invention can be applied to other semiconductor manufacturing apparatuses.
100 ハンドラ(半導体製造装置)
110 コントローラ
112 親局
114 画像処理システム
120 サーボアンプ
121 子局
122 マイクロコンピュータ
123 駆動回路
124 I/O(入出力)回路
140 第1の駆動部
140A 第1の駆動部(低速部)
140B 第1の駆動部(高速部)
142 モータ
144 エアーバルブ
146 カメラ
147 カメラ用照明
150 ピックアップ機構
152 本体(又はアーム)
154 吸着部
160 下位コントローラ
162 メモリ
163 検出部
164 処理部(マイクロコンピュータ)
165 タイミング発生回路
170 第2の駆動部
180 センサ
NW ネットワーク
100 handler (semiconductor manufacturing equipment)
110 controller 112 master station 114 image processing system 120 servo amplifier 121 slave station 122 microcomputer 123 drive circuit 124 I / O (input / output) circuit 140 first drive unit 140A first drive unit (low speed unit)
140B 1st drive part (high speed part)
142 Motor 144 Air valve 146 Camera 147 Camera illumination 150 Pickup mechanism 152 Main body (or arm)
154 Adsorption unit 160 Lower controller 162 Memory 163 Detection unit 164 Processing unit (microcomputer)
165 Timing generation circuit 170 Second drive unit 180 Sensor NW network
Claims (1)
第1のモータと前記ピックアップ機構に使用される第2のモータで構成される複数のモータと、A plurality of motors including a first motor and a second motor used in the pickup mechanism;
前記複数のモータの各々を駆動するサーボアンプと、A servo amplifier for driving each of the plurality of motors;
前記サーボアンプにシリアル接続され、前記複数のモータを駆動するように該サーボアンプを制御する上位コントローラと、A host controller that is serially connected to the servo amplifier and controls the servo amplifier to drive the plurality of motors;
前記ワークの吸着または分離を行うエアーバルブと、An air valve for adsorbing or separating the workpiece;
前記ワークの状態を撮像するカメラと、A camera that images the state of the workpiece;
前記第2のモータの位置に基づいて前記エアーバルブ及び前記カメラを制御する下位コントローラと、を有し、A lower controller for controlling the air valve and the camera based on the position of the second motor,
前記下位コントローラが、前記第2のモータの位置に基づいて前記エアーバルブの開閉タイミング及び前記カメラの撮像のタイミングを制御すると共に、前記上位コントローラが、前記カメラに撮像された画像を画像処理して前記ワークのずれ量を計算して該ずれ量に基づいて前記複数のモータの位置を補正して前記ピックアップ機構を動作させることを特徴とする半導体製造装置。The lower controller controls the opening / closing timing of the air valve and the imaging timing of the camera based on the position of the second motor, and the upper controller performs image processing on an image captured by the camera. 2. A semiconductor manufacturing apparatus, comprising: calculating a displacement amount of the workpiece, correcting positions of the plurality of motors based on the displacement amount, and operating the pickup mechanism.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004340399A JP4508845B2 (en) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | Semiconductor manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004340399A JP4508845B2 (en) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | Semiconductor manufacturing equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006153483A JP2006153483A (en) | 2006-06-15 |
JP4508845B2 true JP4508845B2 (en) | 2010-07-21 |
Family
ID=36631986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004340399A Active JP4508845B2 (en) | 2004-11-25 | 2004-11-25 | Semiconductor manufacturing equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4508845B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6088464B2 (en) * | 2014-05-29 | 2017-03-01 | ファナック株式会社 | Amplifier integrated robot controller |
JP2017151011A (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | Electronic component conveying device, and electronic component checkup device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01188904A (en) * | 1988-01-22 | 1989-07-28 | Komatsu Ltd | Robot controller |
JPH0490011A (en) * | 1990-03-02 | 1992-03-24 | S G:Kk | Servo control system |
JPH11197980A (en) * | 1998-01-08 | 1999-07-27 | Fanuc Ltd | Transport vehicle system |
-
2004
- 2004-11-25 JP JP2004340399A patent/JP4508845B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01188904A (en) * | 1988-01-22 | 1989-07-28 | Komatsu Ltd | Robot controller |
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JPH11197980A (en) * | 1998-01-08 | 1999-07-27 | Fanuc Ltd | Transport vehicle system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006153483A (en) | 2006-06-15 |
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