JP4506311B2 - Liquid color measuring device - Google Patents
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Description
本発明は、インキ等の測色対象液体に光を照射して透過率や反射率などの光学特性を測定する液体測色装置および液体測色方法に関し、さらに詳しくは、印刷インキ等の製造ないし調整中などにおける測色対象液体を直接導入して、該測色対象液体の光学特性を測定する液体測色装置に関するものである。
The present invention relates to a liquid color measurement device and a liquid color measurement method for measuring optical characteristics such as transmittance and reflectance by irradiating light to a color measurement target liquid such as ink. by introducing a color liquid of interest measured in such as during adjustment directly, but about the liquid measuring IroSo location for measuring the optical properties of the surveying color liquid of interest.
塗料、インキ、プラスチックなどの着色液体ないし調整中、または稼動中の印刷機等においては、製造ないし調整時の着色液体の光学特性または印刷機に供給される着色液体の光学特性を正確に把握する必要がある。その一つの方法として、上記着色液体に光を照射し、その透過光および反射光を分光分析する技術が、特許文献１および特許文献２に開示されている。
For colored liquids such as paints, inks, and plastics, or printers that are being adjusted or in operation, accurately grasp the optical characteristics of the colored liquid during manufacture or adjustment or the optical characteristics of the colored liquid supplied to the printing machine. There is a need. As one of the methods,
特許文献は以下の通り。
しかしながら、上述したような従来技術において、インキを収容する透明基板には一定膜厚を確保する膜厚規制手段が設けられているため、膜厚が固定であり、その膜厚精度は透明基板の加工精度に依存する。 However, in the prior art as described above, since the transparent substrate containing ink is provided with a film thickness regulating means for ensuring a certain film thickness, the film thickness is fixed, and the film thickness accuracy is the same as that of the transparent substrate. Depends on machining accuracy.
そのため、同じ測定対象液体であっても装置間で測色結果が異なってしまうという問題がある。特に、膜厚が１０ミクロン以下の場合、膜厚に対する加工誤差の割合が大きくなってしまい、装置間での分光透過率のバラツキがより大きくなってしまう。さらに測定対象液体ごとの最適な膜厚の設定が不可能である。 For this reason, there is a problem that even if the liquids are the same as the measurement target, the color measurement results differ between the apparatuses. In particular, when the film thickness is 10 microns or less, the ratio of the processing error with respect to the film thickness increases, and the variation in spectral transmittance between apparatuses increases. Furthermore, it is impossible to set an optimum film thickness for each liquid to be measured.
また、一対の透明基板が互いに平行でないと、光は照射された場所によって、測色対象液体中の光路長が変わってしまうため、分光透過率が変わってしまうという問題がある。 In addition, if the pair of transparent substrates are not parallel to each other, the optical path length in the colorimetric target liquid changes depending on the location where the light is irradiated, so that there is a problem that the spectral transmittance changes.
更にまた、一対の透明基板が互いに平行でないと、透過干渉法での干渉縞波形の振幅が小さくなり、透明基板間の表面間距離の測定精度が悪くなってしまうという問題がある。これは、測色には可視光線を使うことが必要であるからであり、反射干渉法であっても同様に干渉縞波形の振幅が小さくなり、透明基板間の表面間距離の測定精度が悪くなってしまうことには変わりがないからである。 Furthermore, if the pair of transparent substrates are not parallel to each other, there is a problem that the amplitude of the interference fringe waveform in the transmission interference method is reduced, and the measurement accuracy of the distance between the surfaces of the transparent substrates is deteriorated. This is because it is necessary to use visible light for colorimetry, and even with reflection interferometry, the amplitude of the interference fringe waveform is similarly reduced, and the measurement accuracy of the distance between the surfaces of the transparent substrates is poor. It is because there is no change in becoming.
また、この様な測定方法で測定できるのは透明基板間が空気層の場合のみであり、その他の測色対象液体などで満たされている様な場合には、当然その測色対象液体によるその成分による散乱が問題となり、そのままの測定結果は表面間距離を表さないことが一般的であるため、測定結果から表面間距離を導くには信頼性が低すぎるからである。 In addition, measurement with such a measurement method is possible only when the space between the transparent substrates is an air layer. If the liquid is filled with other color measurement target liquids, naturally the measurement by the color measurement target liquid is possible. This is because scattering due to components becomes a problem, and the measurement result as it is generally does not represent the distance between the surfaces, so that the reliability is too low to derive the distance between the surfaces from the measurement results.
従って、透明基板間の表面間距離の測定精度を上げるには先ず透明基板間の表面間の位置を決定してその表面間距離を透明基板間が空気層の状態で測定し、その後透明基板間を測色対象液体などで満たす必要があったが、透明基板間を測色対象液体などで満たす時間
に透明基板間の表面間距離をそのまま正確に維持する必要があったが、完全に行うことは容易ではなく、精度が低下しがちであった。また、その測色全体の工程も手間が増えていた。
Therefore, in order to improve the measurement accuracy of the distance between the surfaces of the transparent substrates, first, the position between the surfaces of the transparent substrates is determined, and the distance between the surfaces is measured in the state of an air layer between the transparent substrates. However, it is necessary to maintain the distance between the transparent substrates exactly as long as the space between the transparent substrates is filled with the liquid to be measured. Was not easy and the accuracy tended to decrease. In addition, the process of the entire colorimetry has increased labor.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、任意の値に可変な一対の透明基板の表面間距離をより一層正確に測定し、かつ互いの両透明基板を平行に維持することで、装置間で異なることのない測色結果を得るとともに、測定対象液体毎に最適な膜厚を形成でき、しかも測色時間を短くすることが可能な液体測色装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and more accurately measures the distance between the surfaces of a pair of transparent substrates variable to an arbitrary value, and keeps both transparent substrates parallel to each other. in, along with obtaining a color measurement result with no different between apparatuses, it can form an optimal thickness for each measurement target liquid, yet providing a liquid measuring IroSo location capable of shortening the colorimetry time Objective.
上記の目的を達成するために、本発明では、以下のような手段を講じる。 In order to achieve the above object, the present invention takes the following measures.
すなわち、請求項１の発明は、測色対象液体に光を照射し、反射光を積分球により集光したのちに導光路を介して分光器に導き、分光器によって測色対象液体の反射率を測定する液体測色装置であって、液体収納部と、移動手段と、位置検出手段と、調整手段と、光源と、遮光体とを備えている。 That is, according to the first aspect of the present invention, the color measurement target liquid is irradiated with light, and the reflected light is condensed by an integrating sphere and then guided to the spectroscope through the light guide, and the spectroscope uses the reflectivity of the color measurement target liquid. A liquid colorimetric apparatus for measuring the liquid level is provided with a liquid storage unit, a moving unit, a position detecting unit, an adjusting unit, a light source, and a light blocking body.
液体収容部は、互いに対向するように配置された一対の透明部材を備え、内部に測色対象液体を収容する。移動手段は、測色対象液体の液体収納部の内部への注入、およびこの注入された測色対象液体の測定のために、各透明部材のうちの何れか一方を、一対の透明部材の対向する方向に沿って任意位置に移動させる。 The liquid storage unit includes a pair of transparent members arranged so as to face each other, and stores the color measurement target liquid therein. The moving means is configured to inject one of the transparent members between the pair of transparent members in order to inject the color measurement target liquid into the liquid storage portion and to measure the injected color measurement target liquid. Move to any position along the direction.
位置検出手段は、移動手段によって移動された透明部材の位置を、積分球が設けられていない側から前記一対の透明部材に向けて、光を照射する近赤外光源と、前記近赤外光源からの近赤外光が前記一対の透明部材で各々反射した近赤外光により干渉した近赤外光を外部へと導く、前記積分球が設けられていない側に設けられた近赤外光導出路とから構成することにより、移動手段によって移動された透明部材の位置を検出する。 The position detecting means includes a near-infrared light source that irradiates light from the side where the integrating sphere is not provided to the pair of transparent members, and the near-infrared light source. Near-infrared light provided on the side where the integrating sphere is not provided, which guides near-infrared light interfered by near-infrared light reflected by the pair of transparent members to the outside. By comprising the exit path, the position of the transparent member moved by the moving means is detected.
調整手段は、一対の透明部材の平行度および表面間距離を調整する。すなわち、調整手段は、球体の任意の一部を平面に置き換えることによって球面部と平面部とを有し、一対の透明部材のうちの下側の透明部材を平面部に保持し、光源からの光を通す穴を有する球面ステージを備えている。また、球面ステージの底部から球面の中心に向かう方向である鉛直方向が光の照射方向である。そして、調整手段は、球面部の下方から空気を導入し、この空気圧によって球面ステージを浮上させ、しかる後に球面ステージを、球の中心を中心として揺動させながら一対の透明部材を平行になるようにしている。光源は、積分球を介して、調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて、その反射光が積分球により集光されるように、予め定めた入射角度で光を照射する。
The adjusting means adjusts the parallelism and the distance between the surfaces of the pair of transparent members. That is, the adjustment means, and a spherical surface portion and the flat portion by replacing any portion of a sphere in the plane, holding the lower side of the transparent member of the pair of transparent members in the plane portion, from a light source A spherical stage having a hole through which light passes is provided. The vertical direction, which is the direction from the bottom of the spherical stage toward the center of the spherical surface, is the light irradiation direction. Then, the adjusting means introduces air from below the spherical portion, and the spherical stage is floated by the air pressure, and then the pair of transparent members are made parallel while the spherical stage is swung around the center of the sphere. I have to. The light source emits light at a predetermined incident angle through the integrating sphere so that the reflected light is collected by the integrating sphere toward one of the pair of transparent members adjusted by the adjusting means. To do.
導出路は、積分球に設けられ、反射光のうち、入射角度に対する全反射方向の成分を、積分球の外部へと導く。遮光体は、積分球の内部に設けられ、光源によって照射された光が、導光路を介して分光器に直接導かれないように遮光する。 The lead-out path is provided in the integrating sphere, and guides the component of the total reflection direction with respect to the incident angle out of the reflected light to the outside of the integrating sphere. The light shielding body is provided inside the integrating sphere, and shields the light emitted from the light source so as not to be directly guided to the spectroscope via the light guide path.
従って、請求項１の発明の液体測色装置においては、以上のような手段を講じることにより、透明部材間に測色対象液体が満たされている状態であっても、その測色対象液体中の成分による散乱の影響を測定光を近赤外線とすることで透明部材の表面間距離を正確にその場で求めることが可能になり、一対の透明部材間の表面間距離を任意の寸法に正確に即座に調整し、かつ両透明部材を互いに平行に容易に維持することができる。その結果、装置間で異なることのない反射率を測定することができるとともに、測定対象液体毎に最適な膜厚を高精度に、繰り返し再現性良く形成することができる。 Therefore, in the liquid color measurement device according to the first aspect of the present invention, by taking the above-described means, even if the color measurement target liquid is filled between the transparent members, The distance between the surfaces of the transparent member can be accurately determined on the spot by using the near-infrared light as the measurement light, and the distance between the surfaces of the pair of transparent members can be accurately measured to any size. And can easily maintain both transparent members parallel to each other. As a result, it is possible to measure the reflectance that does not differ between apparatuses, and to form an optimum film thickness for each liquid to be measured with high accuracy and good repeatability.
また、可視光線のみの測定により同等の精度を求めるためには、他の部材の精度に極めて高度な精度が求められるものとなり、非常に高度な技術と製作時間、高度な器材管理、高価格のものとなっていたものが、容易に液体測色装置を構成使用することが可能になった。 In addition, in order to obtain the same accuracy by measuring only visible light, the accuracy of other members is required to be extremely high, and very advanced technology and production time, advanced equipment management, high cost However, the liquid color measuring device can be easily constructed and used.
請求項２の発明は、測色対象液体に反射率測定用の光を照射し、反射光を積分球により集光したのちに導光路を介して分光器に導き、分光器によって測色対象液体の反射率を測定するとともに、測色対象液体に透過率測定用の光を照射し、透過光を積分球により集光したのちに導光路を介して分光器に導き、分光器によって測色対象液体の透過率を測定する液体測色装置であって、液体収納部と、移動手段と、位置検出手段と、調整手段と、第１の光源と、第２の光源と、導出路と、遮光体とを備えている。
The invention of
液体収容部は、透過率測定用の光の照射方向に対してほぼ直交するように、かつ互いに対向するように配置された一対の透明部材を備え、内部に測色対象液体を収容する。移動手段は、測色対象液体の液体収納部の内部への注入、およびこの注入された測色対象液体の測定のために、各透明部材のうちの何れか一方を、照射方向に沿って任意位置に移動させる。 The liquid storage unit includes a pair of transparent members arranged so as to be substantially orthogonal to the light irradiation direction of the transmittance measurement light and opposed to each other, and stores the color measurement target liquid therein. The moving means may arbitrarily place any one of the transparent members along the irradiation direction in order to inject the color measurement target liquid into the liquid container and to measure the injected color measurement target liquid. Move to position.
位置検出手段は、移動手段によって移動された透明部材の位置を、積分球が設けられていない側から前記一対の透明部材に向けて、光を照射する近赤外光源と、前記近赤外光源からの近赤外光が前記一対の透明部材で各々反射した近赤外光により干渉した近赤外光を外部へと導く、前記積分球が設けられていない側に設けられた近赤外光導出路とから構成することにより、移動手段によって移動された透明部材の位置を検出する。 The position detecting means includes a near-infrared light source that irradiates light from the side where the integrating sphere is not provided to the pair of transparent members, and the near-infrared light source. Near-infrared light provided on the side where the integrating sphere is not provided, which guides near-infrared light interfered by near-infrared light reflected by the pair of transparent members to the outside. By comprising the exit path, the position of the transparent member moved by the moving means is detected.
調整手段は、一対の透明部材の平行度および表面間距離を調整する。すなわち、調整手段は、球体の任意の一部を平面に置き換えることによって球面部と平面部とを有し、一対の透明部材のうちの下側の透明部材を平面部に保持し、光源からの光を通す穴を有する球面ステージを備えている。そして、球面部の下方から空気を導入し、この空気圧によって球面ステージを浮上させ、しかる後に球面ステージを、球の中心を中心として揺動させながら一対の透明部材を平行になるようにしている。第１の光源は、調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて、照射方向に沿って透過率測定用の光を照射する。第２の光源は、積分球を介して、調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて、その反射光が積分球により集光されるように、予め定めた入射角度で反射率測定用の光を照射する。導出路は、積分球に設けられ、反射光のうち、入射角度に対する全反射方向の成分を、積分球の外部へと導く。遮光体は、積分球の内部に設けられ、第２の光源によって照射された光が、導光路を介して分光器に直接導かれないように遮光する。 The adjusting means adjusts the parallelism and the distance between the surfaces of the pair of transparent members. That is, the adjustment means, and a spherical surface portion and the flat portion by replacing any portion of a sphere in the plane, holding the lower side of the transparent member of the pair of transparent members in the plane portion, from a light source A spherical stage having a hole through which light passes is provided. Then, air is introduced from below the spherical portion, and the spherical stage is floated by this air pressure, and then the pair of transparent members are made parallel while the spherical stage is swung around the center of the sphere. The first light source irradiates light for measuring transmittance along one irradiation direction toward one of the pair of transparent members adjusted by the adjusting means. The second light source has a predetermined incident angle so that the reflected light is condensed by the integrating sphere toward one of the pair of transparent members adjusted by the adjusting means via the integrating sphere. Irradiate light for reflectance measurement. The lead-out path is provided in the integrating sphere, and guides the component of the total reflection direction with respect to the incident angle out of the reflected light to the outside of the integrating sphere. The light shielding body is provided inside the integrating sphere, and shields the light irradiated by the second light source from being directly guided to the spectroscope via the light guide.
従って、請求項２の発明の液体測色装置においては、以上のような手段を講じることにより、一対の透明部材間の表面間距離を任意の寸法に調整し、かつ両透明部材を互いに平行に維持することができる。その結果、装置間で異なることのない反射率および透過率を測定することができるとともに、測定対象液体毎に最適な膜厚を形成することができる。
Therefore, in the liquid color measuring device according to the second aspect of the invention, by taking the above-described means, the distance between the surfaces of the pair of transparent members is adjusted to an arbitrary dimension, and both the transparent members are parallel to each other. Can be maintained. As a result, it is possible to measure reflectance and transmittance that do not differ between apparatuses, and to form an optimum film thickness for each liquid to be measured.
請求項３の発明は、請求項１乃至２のうち何れか１項に記載の液体測色装置において、移動手段は、位置検出手段による位置検出結果に基づいて、各透明部材のうちの何れか一方を、光の照射方向に沿って移動させるようにしている。
According to a third aspect of the present invention, in the liquid color measurement device according to any one of the first to second aspects, the moving means is any one of the transparent members based on the position detection result by the position detecting means. One is moved along the light irradiation direction.
従って、請求項３の発明の液体測色装置においては、以上のような手段を講じることにより、一対の透明部材間の表面間距離を制御しながら、調整することができる。
Therefore, in the liquid color measuring device according to the third aspect of the present invention, adjustment can be performed while controlling the distance between the surfaces of the pair of transparent members by taking the above-described means.
請求項４の発明は、請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の液体測色装置において、移動手段は、光の照射方向に対する直交方向に沿って設けられたレールと、レールに沿って移動可能なように配置され、レールに面していない側に、照射方向に対して傾斜した第１の傾斜面を有する傾斜台と、第１の傾斜面に対して移動可能なように第１の傾斜面に外接して設けられた第２の傾斜面と、照射方向に対して直交した直交面とを有し、照射方向に沿って移動するように配置され、各透明部材のうちの何れか一方を直交面に保持してなる保持手段とを備えている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the liquid color measurement device according to any one of the first to third aspects, the moving means includes a rail provided along a direction orthogonal to the light irradiation direction, and the rail. And a tilt table having a first inclined surface inclined with respect to the irradiation direction on the side not facing the rail, and a first movable surface movable relative to the first inclined surface. A second inclined surface circumscribing the inclined surface of 1 and an orthogonal surface orthogonal to the irradiation direction, arranged to move along the irradiation direction, of each transparent member And holding means for holding either one of them on the orthogonal plane.
そして、傾斜台をレールに沿って移動させることによって、直交面を照射方向に沿って移動させることにより、直交面に保持された透明部材を、照射方向に沿って任意位置に移動させるようにしている。 Then, the transparent member held on the orthogonal plane is moved to an arbitrary position along the irradiation direction by moving the inclined base along the rail and moving the orthogonal plane along the irradiation direction. Yes.
従って、請求項４の発明の液体測色装置においては、以上のような手段を講じることにより、傾斜台をレールに沿って移動させることによって、一対の透明部材間の表面間距離を変化させることができる。また、傾斜台の傾斜角度を緩くすることによって、照射方向に対する直交面の移動精度をより高めることができる。
Therefore, in the liquid colorimetric device of the invention of
請求項５の発明は、請求項１乃至４のうち何れか１項に記載の液体測色装置において、互いに対向するように配置された一対の透明部材を、測定中における熱変形を阻止するような低熱膨張率金属によって非対向側から固定するようにしている。
According to a fifth aspect of the present invention, in the liquid color measurement device according to any one of the first to fourth aspects, the pair of transparent members disposed so as to face each other is prevented from being thermally deformed during the measurement. It is made to fix from the non-opposite side by a low thermal expansion coefficient metal.
従って、請求項５の発明の液体測色装置においては、以上のような手段を講じることにより、測定中に温度変化があった場合でも、透明部材の熱変形を阻止することができる。その結果、測定中に温度変化があった場合でも、透明部材間の表面間距離および平行を維持することが可能となる。
Therefore, in the liquid color measuring device according to the fifth aspect of the present invention, by taking the above-described means, it is possible to prevent thermal deformation of the transparent member even when there is a temperature change during the measurement. As a result, even when there is a temperature change during the measurement, it is possible to maintain the inter-surface distance and parallelism between the transparent members.
以上説明したように、本発明によれば、任意の値に可変な一対の透明基板の表面間距離を正確に測定し、かつ互いの透明基板を平行に維持することで、装置間で異なることのない測色結果を得るとともに、しかも測定が容易で、かつ測色対象液体を注入している間の時間変化による影響がなく、測定対象液体毎に最適な膜厚を形成できる液体測色装置および液体測色方法を実現することができる。 As described above, according to the present invention, the distance between the surfaces of a pair of transparent substrates variable to an arbitrary value can be accurately measured, and the transparent substrates can be kept parallel to each other, so that they can be different between apparatuses. Liquid color measuring device that can obtain a color measurement result without any problems and that is easy to measure and that is not affected by changes in time during the injection of the liquid to be measured, and that can form an optimum film thickness for each liquid to be measured And a liquid colorimetry method can be realized.
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
（本発明の前提となる実施の形態）
本発明の前提となる実施の形態を図１から図５を用いて説明する。
(Embodiment which is a premise of the present invention )
An embodiment as a premise of the present invention will be described with reference to FIGS.
図１は、本発明の前提となる実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置の一例を示す斜断面図である。
FIG. 1 is an oblique cross-sectional view showing an example of a liquid color measurement device to which a liquid color measurement method according to an embodiment as a premise of the present invention is applied.
すなわち、本実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置は、グラビアインキ等の測色対象液体を収容部１０に収容し、光源６０からハロゲン光等の光を照射し、その透過率を測定する。
That is, the liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to the present embodiment is applied stores a color measurement target liquid such as gravure ink in the
収容部１０は、図２の断面図に示すように、球体の任意の一部を平面に置き換えることによって球面部Ｋと平面部Ｈとを有した球面ステージ１４と、球面ステージ１４の先端部１５を覆うように配置された上蓋１６とによって形成された空間である。上蓋１６の上部は、積分球１７に固定している。また、上蓋１６の下部開口部の開口面積は、先端部１５よりも大きいために、シール材１８によって上蓋１６と先端部１５とをシールすることによって、収容部１０の内部を密閉している。シール材１８は、軟弱なものを使用し、これによって測色対象液体の漏れを防止するとともに、球面ステージ１４の遥動を阻害しないようにしている。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 2, the
更に、球面部Ｋの中央部には、光源６０及び６４からの光を導光するために、球の中心に向かって穿孔された導光路２２を備えている。この導光路２２は、球面部Ｋの中央部を貫通し、更に先端部１５の中央部をも貫通するように穿孔し、先端部１５の開口部を、石英ガラスやサファイヤガラス等の透明な材料からなる円盤状の透明部材２０（＃２）によって塞ぎ、透明部材２０（＃２）の周縁部を先端部１５に接着剤でシール固定している。なお、先端部１５は、インバー材など、熱変形を阻止するような低熱膨張率金属によって形成している。
Furthermore, a
上蓋１６の上部には、光源６０からの光を積分球１７側に導光するために穿孔された導光穴２３を備えており、更にこの導光穴２３を、石英ガラスやサファイヤガラス等の透明な材料からなる円盤状の透明部材２０（＃１）によって塞ぎ、透明部材２０（＃１）の周縁部を上蓋１６に接着剤でシール固定している。なお、上蓋１６もまた、インバー材など、熱変形を阻止するような低熱膨張率金属によって形成している。そして、上蓋１６は、透明部材２０（＃１）が、光源１２から発せられる光の照射方向Ｆに対してほぼ直交するように、積分球１７に固定されるようにしている。
An upper portion of the
また、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、球面ステージ１４は、上蓋１６に対して移動可能としている。これは、後述するように、サーボモータ２８と、ボールネジ３０と、下部傾斜台３２と、上部傾斜台３４等とから構成してなる上下移動機構が、球面ステージ１４を照射方向Ｆに沿って移動させることによって行う。
Further, as shown in FIGS. 3A and 3B, the
下部傾斜台３２は、図４の立断面図に示すように、その下部にリニアガイド３５を備え、その上面は、照射方向Ｆに対して傾斜した傾斜面になっている。このリニアガイド３５は、照射方向Ｆに対する直交方向に沿って設けられたレール３６に沿って移動可能な構成としている。また、下部傾斜台３２は、中心部が照射方向Ｆに沿ってくり抜かれ、ここに導光路１２が配置されるようにしている。
As shown in the sectional elevation view of FIG. 4, the lower
なお、導光路１２は図５の立断面図に示すように、光源６０からの光を導光する為に、円周状に設けられた複数の光源用導光路６２と、導光路１２の断面に対して円周状に設けられ、光源から６０の光が透明部材２０（＃１、＃２）で反射してなる反射光を取り込み
、分光器６１に導く為の分光器用導光路６３とを備えている。
As shown in the sectional elevation view of FIG. 5, the
更にまた、近赤外光源６４からの光を導光する為に、円周状に、設けられた複数の光源用導光路６５を備えている
サーボモータ２８は、ボールネジ３０によって自己の回転が、下部傾斜台３２の直動に変換されるようにしている。したがって、サーボモータ２８を回転させることによって、この回転が直動に変換され、下部傾斜台３２が移動するようにしている。この場合、下部傾斜台３２は、リニアガイド３５がレール３６に沿って移動することによって、照射方向Ｆに対する直交方向に沿って移動する。
Furthermore, in order to guide the light from the near-infrared
上部傾斜台３４は照射方向Ｆに沿って移動可能なように装置本体に固定されており、下部に、下部傾斜台３２の傾斜面に対して移動可能なように外接して設けられた傾斜面を有している。この傾斜面にもまた、リニアガイド３７が設けられており、下部傾斜台３２が、レール３６に沿って移動した場合であっても、上部傾斜台３４の方向が変わらないようにしている。また、上部傾斜台３４は、その上部に、照射方向Ｆに対して直交した平面部を有している。この平面部は上部に、球面ステージ受け軸３８を載置して保持している。球面ステージ受け軸３８は、その上部に球面ステージ１４の球面部Ｋを受けることができるように球面加工された凹部を設けており、この凹部に、球面部Ｋを揺動可能な状態で嵌めている。また、上部傾斜台３４は、中心部が照射方向Ｆに沿ってくり抜かれ、ここに光源１２が配置されるようにしている。
The upper
したがって、サーボモータ２８を回転させ、下部傾斜台３２をレール３６に沿って水平移動させることにより、上部傾斜台３４が、照射方向Ｆに沿って上下移動する。これによって、球面ステージ１４の先端部１５に保持された透明部材２０（＃２）も上下移動し、透明部材２０（＃１）との表面間距離が調節されるようにしている。この場合、下部傾斜台３２および上部傾斜台３４の傾斜面の傾斜角をより小さくする（好ましくは４５度以下とする）ことで減速比効果を得ることができ、照射方向Ｆに沿ってより高精度での位置制御を行うことができるようにしている。
Therefore, by rotating the
減速比効果について、図６を参照して以下に補足する。 The reduction ratio effect will be supplemented below with reference to FIG.
すなわち、下部傾斜台３２および上部傾斜台３４の傾斜面の傾斜角θを４５度以下とすることで水平移動量ｘに対する上下移動量ｙに減速比をかけることができる。図６は、仮に傾斜角θを４５度とし、更に上部傾斜台３４の辺ａと辺ｂとが等しい場合の図である。
That is, by setting the inclination angle θ of the inclined surfaces of the lower
このとき、水平移動量ｘと上下移動量ｙとが等しくなることから、ａ：ｂ＝ｙ：ｘの関係が成り立つ。この場合の減速比は１：１である。したがって、傾斜角θを４５度以下とすることによって、水平移動量ｘは、上下移動量ｙ以上となる。結果として、水平移動量ｘに対して上下移動量ｙをその半分以下にすることもできるようになり、サーボモータ２８の１パルスあたりの分解能が増すことになる。
At this time, since the horizontal movement amount x and the vertical movement amount y are equal, the relationship of a: b = y: x is established. In this case, the reduction ratio is 1: 1. Therefore, by setting the inclination angle θ to 45 degrees or less, the horizontal movement amount x becomes equal to or more than the vertical movement amount y. As a result, the vertical movement amount y can be reduced to half or less of the horizontal movement amount x, and the resolution per one pulse of the
上部傾斜台３４は、リニアスケール４０を備えている。このリニアスケール４０は、機械的負荷による部品のひずみ、熱膨張による寸法変化、機構部品のガタ等の影響を受けにくくするよう透明部材２０（＃２）とともに上下移動する上部傾斜台３４の上面に配置してあり、これによって透明部材２０（＃２）の照射方向Ｆに沿った位置を正確に検知する。また、透明部材２０（＃２）の可動範囲下端を検知するための検知機能も備えている。リニアスケール４０による位置検知結果は、サーボモータ２８へ出力され、サーボモータ２８の回転量が制御され、もって、透明部材２０（＃２）の移動量が調節されるようにしている。
The upper
上蓋１６の側部には液体注入口２４と、液体排出口２６とを備えており、測色対象液体を収容部１０に注入する場合には、上下移動機構およびリニアスケール４０によって、図３（ｂ）に示すような状態、好ましくは透明部材２０（＃１）と透明部材２０（＃２）との表面間距離を５ｍｍ程度に調節してから行う。また、収容部１０の内部に注入された測色対象液体を外部に排出する場合も上下移動機構およびリニアスケール４０によって、同様な状態に調節し、液体排出口２６から測色対象液体を排出する。
A
また、以下に示すような動作によって、透明部材２０（＃２）を、透明部材２０（＃１）と平行に保つようにしている。 Further, the transparent member 20 (# 2) is kept in parallel with the transparent member 20 (# 1) by the following operation.
すなわち、球面ステージ受け軸３８は、側部に、圧空供給口４２と、真空排出口４４とを備えている。この圧空供給口４２には、図示しない圧空供給ラインが接続されており、この圧空供給ラインを介して圧縮空気が供給されるようにしている。また、この真空排出口４４には、図示しない真空ポンプに接続された図示しない真空排出ラインが接続されており、この真空排出ラインを介して真空ポンプによって減圧されるようにしている。
That is, the spherical
圧空供給口４２を介して球面ステージ受け軸３８に圧縮空気が供給されると、図７（ａ）に示すように、この圧縮空気が球面ステージ１４を浮上させる。これによって球面ステージ１４は、球面ステージ受け軸３８から解放され、球面部Ｋを球面とした完全球の中心を中心として揺動しながら、透明部材２０（＃２）が透明部材２０（＃１）とほぼ平行になる。
When compressed air is supplied to the spherical
この状態で、サーボモータ２８に電流を供給し、球面ステージ１４を、球面ステージ受け軸３８よりも数μｍ上昇させる。このとき、上昇後にサーボモータ２８の駆動電流をモニタリングしておく。そして、駆動電流が予め定めた設定値を超えていなければ更に数μｍ上昇させる。これを駆動電流が設定値を超えるまで行う。これによって、図７（ｂ）に示すように、透明部材２０（＃１）に透明部材２０（＃２）を密着させる。
In this state, a current is supplied to the
この手順によって、毎回同等の力で透明部材２０（＃２）を透明部材２０（＃１）に密着させることができるようにしている。これにより密着位置を検知するためのセンサ類も不要としている。 By this procedure, the transparent member 20 (# 2) can be brought into close contact with the transparent member 20 (# 1) with the same force every time. This eliminates the need for sensors for detecting the contact position.
更にこの状態で圧縮空気の供給を停止するとともに、図示しない真空ポンプを起動させることによって、真空排出口４４から空気を排出し、球面ステージ１４を球面ステージ受け軸３８に吸引固定する。これによって透明部材２０（＃１）と透明部材２０（＃２）とを平行にする。
Further, in this state, the supply of compressed air is stopped, and a vacuum pump (not shown) is started to discharge air from the
この状態では、サーボモータ２８の駆動力により、透明部材２０（＃１）および透明部材２０（＃２）の周辺部材が僅かながら変形しており、密着時のリニアスケール４０の位置を、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離がゼロ（零）の位置とすることはできない。また、この変形量を検知することも困難である。
In this state, the peripheral members of the transparent member 20 (# 1) and the transparent member 20 (# 2) are slightly deformed by the driving force of the
このため、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離と、リニアスケール４０の位置とを正確に対応づけるために、分光器６１による反射干渉法を用いた校正を行っている。
For this reason, in order to correctly associate the distance between the surfaces between the transparent members 20 (# 1, # 2) and the position of the
この校正は、透明部材２０（＃２）を透明部材２０（＃１）に密着させた状態からサーボモータ２８に駆動電流を供給し、透明部材２０（＃２）を約５μｍ下降させ、収容部１０に測色対象液体を注入しないまま、すなわち空気が入った状態で透過干渉法により表面間距離を測定する。次に、表面間距離が５μｍ以上１０μｍ以下になるまで透明部材２０
（＃２）を下降させ、表面間距離が５μｍ以上１０μｍ以下になったら、反射干渉法によってなされた表面間距離の測定結果と、リニアスケール４０の位置情報とを対応させる。
In this calibration, the drive current is supplied to the
When (# 2) is lowered and the inter-surface distance becomes 5 μm or more and 10 μm or less, the measurement result of the inter-surface distance made by the reflection interference method and the position information of the
なお、反射干渉法によって表面間距離を測定する場合には、近赤外光源６４は導光路１２を介し照射方向Ｆに沿って光を照射する。この光は、透明部材２０（＃２）および透明部材２０（＃１）によって形成された空気層、ないし、測色対象液体の液層および透明部材２０（＃１、＃２）の表面、裏面で反射する。
When measuring the distance between the surfaces by the reflection interference method, the near-infrared
反射された光は、導光路１２の分光器用導光路６３を介して分光器６１に導かれ、ここで測定されるようにしている。光源６４から発せられた光の空気による吸収特性は予め知られているので、測定された反射率に基づいて、両透明部材２０（＃１、＃２）間の表面間距離を知ることが出来る。これによって、リニアスケール４０によって測定された位置情報と、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離との校正を行う。
The reflected light is guided to the
次に、このように校正されたリニアスケール４０によって移動量をモニタしながら、上下移動機構によって上部傾斜台３４を下降させることによって、図７（ｃ）に示すように、透明部材２０（＃１）と透明部材２０（＃２）との平行を維持しながら、表面間距離を所定の値に調整する。
Next, as shown in FIG. 7C, the transparent member 20 (# 1) is lowered by lowering the upper
その後、液体注入口２４から測定対象液体を収容部１０に注入する。そして、微少物体での透過性が強い近赤外光源６４は導光路１２を介し照射方向Ｆに沿って光を照射し透明部材同士の表面間隙間にインキが存在する場合の表面間距離を測定を行う。
Thereafter, the liquid to be measured is injected into the
その表面間距離の測定値から所望する隙間との相違量を補正することで任意の位置を正確に再現する。 An arbitrary position is accurately reproduced by correcting the difference from the desired gap from the measured value of the distance between the surfaces.
更に光源６０から導光路１２を会し照射方向Ｆに沿って光を照射する。
Further, the
この光は導光路２２に沿って透明部材２０（＃２）を透過し、更に透明部材２０（＃２）と透明部材２０（＃１）との間の収容部１０に収納された測定対象液体を透過し、更にまた透明部材２０（＃１）を透過した後に積分球１７に導かれるようにしている。そして、積分球１７では、この透過光を集光した後に導光路４５を介して分光器４６へと導く。
This light is transmitted through the transparent member 20 (# 2) along the
分光器４６は、導光路４５を介して積分球１７によって導かれた透過光の透過率を測定する。これによって、収容部１０に収納された測定対象液体の測色を完了する。
The
次に、以上のように構成した本発明の前提となる実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置の動作について説明する。
Next, the operation of the liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to the embodiment as the premise of the present invention configured as described above is applied will be described.
本発明の前提となる実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置によって測定対象液体の測色を行う場合には、まず、図８に示すフローチャートに従って両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離と、リニアスケール４０の位置とを正確に対応づけるための校正が行われる。
When color measurement of a measurement target liquid is performed by a liquid color measurement device to which a liquid color measurement method according to an embodiment of the present invention is applied, first, both transparent members 20 (# 1) according to the flowchart shown in FIG. , # 2) is calibrated to accurately associate the distance between the surfaces and the position of the
この校正を行う場合には、まず、サーボモータ２８に駆動電流を供給し、球面ステージ１４を上下移動させることによって、基準位置まで移動がなされる（Ｓ１）。
When performing this calibration, first, a drive current is supplied to the
次に、図示しない圧空供給ラインを介して圧空供給口４２から圧縮空気が球面ステージ受け軸３８に供給される（Ｓ２）。すると、図７（ａ）に示すように、この圧縮空気によって球面ステージ１４が浮上し、球面ステージ受け軸３８から解放され、球面部Ｋを球面
とした完全球の中心を中心として揺動しながら、透明部材２０（＃２）が透明部材２０（＃１）とほぼ平行になる。
Next, compressed air is supplied from the compressed
更に、この状態で、サーボモータ２８に電流が供給される。これによって、球面ステージ１４は、球面ステージ受け軸３８よりも数μｍ上昇する（Ｓ３）。このとき、上昇後にサーボモータ２８の駆動電流をモニタリングしておく。そして、駆動電流が予め定めた規定値を超えていない場合（Ｓ４：Ｎｏ）には、ステップＳ３に戻って更に数μｍ上昇させる。駆動電流が規定値を超えた場合（Ｓ４：Ｙｅｓ）には、圧縮空気の供給が停止される（Ｓ５）。この手順によって、透明部材２０（＃２）は、毎回同等の駆動電流によって透明部材２０（＃１）と密着される。
Further, in this state, current is supplied to the
次に、図示しない真空ポンプを起動する。これによって、真空排出口４４から空気が排出され、球面ステージ１４が球面ステージ受け軸３８に吸引固定される（Ｓ６）。これによって透明部材２０（＃１）と透明部材２０（＃２）との平行が確保される。しかしながら、この状態では、サーボモータ２８の駆動力により、透明部材２０（＃１）および透明部材２０（＃２）の周辺部材が僅かながら変形しており、密着時のリニアスケール４０の位置を、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離がゼロ（零）の位置とすることはできない。また、この変形量を検知することも困難である。
Next, a vacuum pump (not shown) is started. Thus, air is discharged from the
したがって、透明部材２０（＃２）を透明部材２０（＃１）に密着させた状態からサーボモータ２８に駆動電流を供給し、透明部材２０（＃２）を約５μｍ下降させる（Ｓ７）。そして、収容部１０に測色対象液体を注入しないまま、空気が入った状態で反射干渉法により表面間距離が測定される（Ｓ８）。
Accordingly, the drive current is supplied to the
反射干渉法によって表面間距離を測定する場合には、光源６０導光路１２の光源用導光路６２を介し、照射方向Ｆに沿って光が照射される。この光は、透明部材２０（＃１、＃２）によって形成された空気層、および透明部材２０（＃１、＃２）の表面、裏面で反射する反射された光は導光路１２の分光器用導光路６３を介して分光器６１に導かれ、分光器６１によって反射率が測定される。光源６０から発せられた光の空気層による吸収特性は予め知られているので、測定された反射率に基づいて、透明部材（＃１、＃２）間の表面間距離が把握される。
When the distance between the surfaces is measured by the reflection interference method, the light is irradiated along the irradiation direction F through the light source
また、近赤外光源を使用する場合も同様に近赤外光源６４は導光路１２を介し照射方向Ｆに沿って光を照射する。この光は、透明部材２０（＃２）および透明部材２０（＃１）によって形成された空気層の表面、裏面で反射する。
Similarly, when a near-infrared light source is used, the near-infrared
反射された光は、導光路１２の分光器用導光路６３を介して分光器６１に導かれ、ここで測定されるようにしている。光源６４から発せられた光の空気による吸収特性は予め知られているので、測定された反射率に基づいて、両透明部材２０（＃１、＃２）間の表面間距離把握される。なお、校正には、可視光でも近赤外光でも、どちらを用いても良い。
The reflected light is guided to the
そして再びサーボモータ２８に駆動電流を供給し、表面間距離が５μｍ以上１０μｍ以下になるまで透明部材２０（＃２）を下降させ（Ｓ９）、表面間距離が５μｍ以上１０μｍ以下になると、ステップＳ８において反射干渉法によってなされた表面間距離の測定結果と、リニアスケール４０の位置情報との対応がとられる（Ｓ１０）。
Then, the drive current is supplied again to the
このようにすることによって、リニアスケール４０によって測定された位置情報と、両透明部材２０（＃１，＃２）間との表面間距離の校正が行われる。
By doing in this way, the position information measured by the
このようにリニアスケール４０によって測定された位置情報と、両透明部材２０（＃１
，＃２）間との表面間距離の校正が行われると図９のフローチャートに示すようにして、測色対象液体の測色がなされる。
Thus, the position information measured by the
, # 2), when the distance between the surfaces is calibrated, the colorimetric target liquid is measured as shown in the flowchart of FIG.
すなわち、ステップＳ１０の状態から、サーボモータ２８に駆動電流を供給することによって、透明部材２０（＃２）との表面間距離が５ｍｍ程度に調節され（Ｓ１１）、液体注入口２４から測色対象液体が収容部１０に注入される（Ｓ１２）。収納部１０は軟弱な物質が適用されたシール材１８によってその内部が密閉されている。
That is, by supplying a drive current to the
次に、リニアスケール４０による位置情報をモニタしながら、サーボモータ２８に駆動電流を供給することによって、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離が所定の値に正確に調整される（Ｓ１３）。上蓋１６の側部には液体排出口２６が備えられており、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離を狭めることによって余った測色対象液体は、この液体排出口２６から収容部１０の外部へと排出される。
Next, by monitoring the position information by the
この際、近赤外光の反射干渉法による膜厚測定を行うことでリニアスケールの位置情報のみでは達成しえない、高精度な膜厚形成が可能である。 At this time, film thickness measurement by near-infrared light reflection interferometry enables highly accurate film thickness formation that cannot be achieved only by linear scale position information.
ここで、液体注入後に所定の膜厚に調整する理由は、測色時の膜厚（すなわち所定膜厚）形成後に液体注入するのでは液体が隙間に入っていかないからである。 Here, the reason for adjusting the film thickness to a predetermined value after the liquid injection is that the liquid does not enter the gap if the liquid is injected after the film thickness at the time of color measurement (that is, the predetermined film thickness) is formed.
そして、光源６０から導光路１２の光源用導光路６２を介し、照射方向Ｆに沿って光を照射する（Ｓ１４）。この光は、導光路２２に沿って透明部材２０（＃２）を透過し、更に透明部材２０（＃２）と透明部材２０（＃１）との間の収容部１０に収納された測定対象液体を透過し、更にまた透明部材２０（＃１）を透過した後に積分球１７に導かれる（Ｓ１５）。透過光は、積分球１７において集光された後に、導光路４５を介して分光器４６へと導かれ（Ｓ１６）、分光器４６では、導光路４５を介して積分球１７によって導かれた透過光の透過率が測定される（Ｓ１７）。これによって、収容部１０に収納された測定対象液体の測色が完了する。
Then, light is emitted from the
上述したように、本発明の前提となる実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置においては、上記のような作用により、測色対象液体の膜を、平行かつ正確な膜厚に形成することができ、特に数μｍ程度の薄膜を正確に測色することができる。
As described above, in the liquid colorimetry apparatus to which the liquid colorimetry method according to the embodiment as the premise of the present invention is applied, the film of the colorimetric object liquid is formed into a parallel and accurate film by the above-described action. In particular, a thin film of about several μm can be accurately measured.
また、従来は、積分球を介して干渉波形を測定し、一対の透明基板の表面間距離を正確に測定する為には一対の透明基板の平行を過剰なまでに正確に作り出す必要があったが、積分球を介さずに干渉波形の測定を行うことで、実用に十分な精度を得ることができ、かつ製作も容易とすることが出来る。 Further, conventionally, in order to measure the interference waveform via an integrating sphere and accurately measure the distance between the surfaces of the pair of transparent substrates, it was necessary to accurately create the parallelism of the pair of transparent substrates to an excessive extent. However, by measuring the interference waveform without using an integrating sphere, accuracy sufficient for practical use can be obtained and manufacturing can be facilitated.
また、任意の膜厚を正確に形成することができるため、複数の液体測色装置における測定結果のバラツキがなくなる。これによって、別々の液体測色装置を使用しても同じ目標色へ色を調整することができる。このように、複数の液体測色装置間の測定結果のバラツキがなくなることで、測定データを複数の液体測色装置間で共有できるようになり、従来、液体測色装置毎に目標値の測色に要していた作業負荷を軽減することが可能となる。 In addition, since an arbitrary film thickness can be formed accurately, there is no variation in measurement results among a plurality of liquid colorimetry devices. Accordingly, the color can be adjusted to the same target color even if different liquid color measuring devices are used. As described above, since there is no variation in the measurement results between the plurality of liquid color measuring devices, the measurement data can be shared among the plurality of liquid color measuring devices. It becomes possible to reduce the work load required for the color.
更に、透明部材２０（＃１，＃２）同士の平行度を修正することができるので、室温の変化や部材の経時変化の影響に伴う平行度のズレ修正が可能となり、長期間に亘る安定動作が可能となる。 Furthermore, since the parallelism between the transparent members 20 (# 1, # 2) can be corrected, it is possible to correct the deviation in parallelism due to the influence of the change in room temperature or the aging of the member, and stable over a long period of time. Operation is possible.
更にまた、透明部材２０（＃１，＃２）は、一般に市販されている円盤状の石英ガラスやサファイヤガラスを使用するため、経済的である。 Furthermore, the transparent member 20 (# 1, # 2) is economical because it uses a generally disk-shaped quartz glass or sapphire glass.
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態を図１０から図１２を用いて説明する。
(First Embodiment)
A first embodiment will be described with reference to FIGS.
図１０は、第１の実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置の一例を示す斜断面図であり、図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
FIG. 10 is an oblique cross-sectional view showing an example of a liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to the first embodiment is applied. The same parts as those in FIG. Only the different parts will be described here.
すなわち、本実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置は、グラビアインキ等の測色対象液体を収容部１０に収容し、その測色対象液体の透過率と反射率との両方を測定できる装置であり、図１に示す液体測色装置に加えて、反射率を測定するための光を照射する光源５０を付加している。この光源５０もまたハロゲン光等の光を照射する。
That is, the liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to the present embodiment is applied stores the color measurement target liquid such as gravure ink in the
反射率を測定する場合は、透明度の低い測色対象液体に対してである。透明度の低い測色対象液体は、透過率を測定することが困難であるので、反射率を測定することによって測色する。一方、半透明の測色対象液体に対しては、透過率と反射率との両方を測定することによって測色する。 When the reflectance is measured, it is for a colorimetric target liquid with low transparency. Since it is difficult to measure the transmittance of a colorimetric object liquid with low transparency, colorimetry is performed by measuring the reflectance. On the other hand, for a translucent colorimetric target liquid, colorimetry is performed by measuring both transmittance and reflectance.
光源５０は、反射率を測定する測色対象液体が収容された収容部１０の透明部材２０（＃１）に向けて、反射率測定用の光を照射する。光源５０は、この照射された光が透明部材２０（＃１）を介して測色対象液体によって反射されてなる反射光が、積分球１７により集光され、導光路４５を介して分光器４６に導かれるように、積分球１７の内部構成を詳細に示す図１１のように、予め定めた照射方向Ｅで光を照射するようにしている。また、図１１からも明らかなように、光源５０は、導光路４５側の半球内に備えている。
The
また、図１１に示すように、積分球１７の内部には、反射トラップ４８と拡散光バッフル５１とを付加している。反射トラップ４８は、光源５０から照射された光が測色対象液体において全反射した直接光成分Ｚを積分球１７の外部へと逃がすようにしている。測色対象液体において全反射した成分Ｚは、光源５０から照射されたそのままの光が大部分であり、測色対象液体による反射光の性質が弱いからである。また、拡散光バッフル５１は、光源５０から照射された直接光Ｔが、導光路４５を介して分光器４６に直接導かれないように遮光している。これによって、測色対象液体によって反射した反射光Ｐのみが分光器４６に導かれ、精度良く反射率が測定されるようにしている。
Further, as shown in FIG. 11, a
また、本実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置は、リファレンス反射率を測定するために必要な白色基準板５２を、透明部材２０（＃１）の上部を覆うような位置へと送り出すシリンダ５４を付加している。また、シリンダ５４によって送り出された白色基準板５２の位置を測定するリニアスケール５６ａ，５６ｂを付加している。
In addition, the liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to the present embodiment is applied covers the
次に、以上のように構成した本実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置の動作について説明する。 Next, the operation of the liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to this embodiment configured as described above is applied will be described.
まず、本実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置によって測定対象液体の測色を行う場合には、透過率の測定、および反射率の測定に関わらず、図８に示すフローチャートに従って両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離と、リニアスケール４０の位置とを正確に対応づけるための校正が行われる。このような校正が行われた後に、透過率の測定を行う場合には、図８のフローチャートに従って透過率が測定されることによって測定対象液体の測色が行われる。また、反射率の測定を行う場合には、図１２のフローチャートに従って反射率が測定されることによって測定対象液体の測色が行われる。
First, in the case of measuring the liquid to be measured by the liquid color measurement device to which the liquid color measurement method according to the present embodiment is applied, regardless of the measurement of the transmittance and the measurement of the reflectance, as shown in FIG. Calibration for accurately associating the distance between the surfaces between the transparent members 20 (# 1, # 2) and the position of the
図８および図９のフローチャートについては、本発明の前提となる実施の形態で説明した通りであるので、ここでは、図１２のフローチャートを用いて、測定対象液体の反射率を測定する動作について説明する。
Since the flowcharts of FIGS. 8 and 9 are the same as those described in the embodiment as the premise of the present invention, the operation of measuring the reflectance of the liquid to be measured will be described here using the flowchart of FIG. To do.
測定対象液体の反射率を測定する場合には、まず光源６０が消灯され、光源５０が点灯される（Ｓ２１）。これによって、光源５０から照射方向Ｅに沿って光が照射される。そして、シリンダ５４をエアー駆動させることによって、白色基準板５２が、透明部材２０（＃１）の上部を覆う位置にスライド移動される（Ｓ２２）。なお、スライド移動された白色基準板５２の位置は、リニアスケール５６ａ，５６ｂによって測定される。
When measuring the reflectance of the liquid to be measured, the
このようにして白色基準板５２が透明部材２０（＃１）の上部を覆う位置に移動されると、光源５０から照射方向Ｅに向けて照射された光が白色基準板５２によって反射される。反射された光のうち、全反射成分Ｚは反射トラップ４８を介して積分球１７の外部へと排出される。また、光源５０からの直接光Ｔは、拡散光バッフル５１によって遮光され、導光路４５へ入り込むことはない。
When the
白色基準板５２によって反射された光のうち、残りの成分Ｐは、積分球１７によって集光された後に、導光路４５を介して分光器４６へと導かれ、分光器４６によってリファレンス反射率として測定される（Ｓ２３）。
Of the light reflected by the
次に、シリンダ５４がエアー駆動されることによって白色基準板５２が引き抜かれ、光源５０からの光によって収納部１０が照射されるようになる（Ｓ２４）。次に、サーボモータ２８に駆動電流を供給することによって、透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離が５ｍｍ程度に調節され（Ｓ２５）、液体注入口２４から測色対象液体が収容部１０に注入される（Ｓ２６）。収納部１０は軟弱な物質が適用されたシール材１８によってその内部が密閉されている。
Next, when the
次に、リニアスケール４０による位置情報をモニタしながら、サーボモータ２８に駆動電流を供給することによって、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離が所定の値に正確に調整される（Ｓ２７）。上蓋１６の側部には液体排出口２６が備えられており、両透明部材２０（＃１，＃２）間の表面間距離を狭めることによって余った測色対象液体は、この液体排出口２６から収容部１０の外部へと排出される。
Next, by monitoring the position information by the
次に、光源５０から照射方向Ｅに沿って光を照射することによって、収納部１０に注入された測色対象液体の反射率の測定が開始される（Ｓ２８）。照射された光は、測色対象液体によって反射される。そして、反射された光のうち、全反射成分Ｚは反射トラップ４８を介して積分球１７の外部へと導出される。また、光源５０からの直接光Ｔは、拡散光バッフル５１によって遮光され、導光路４５へ入り込むことはない。測色対象液体によって反射された光のうち、残りの成分Ｐは、積分球１７によって集光された後に、導光路４５を介して分光器４６へと導かれ、分光器４６によって反射率が測定されることによって測色が完了する。
Next, measurement of the reflectance of the colorimetric target liquid injected into the
このようにして反射率が測定されると、例えば、サーボモータ２８によって球面ステージ１４が上下移動させられながら、液体注入口２４から洗浄液が注入されることによって収容部１０の内部が洗浄される（Ｓ２９）。更に、同様にサーボモータ２８によって球面ステージ１４が上下移動させられながら圧空供給口４２から乾燥空気が注入されることによって収容部１０の内部が乾燥されることによって一連の反射率測定処理を終了する（Ｓ３０）。
When the reflectance is measured in this manner, for example, the interior of the
上述したように、本実施の形態に係る液体測色方法を適用した液体測色装置においては、本発明の前提となる実施の形態と同様な作用効果を奏することができることに加えて、測色対象液体の反射率をも測定することができる。すなわち、測色対象液体の膜を平行かつ正確な膜厚に形成することができ、測色対象液体の透過率のみならず、反射率をも測定することができる。
As described above, in the liquid colorimetry device to which the liquid colorimetry method according to the present embodiment is applied, in addition to being able to achieve the same operational effects as the embodiment that is the premise of the present invention , colorimetry The reflectance of the target liquid can also be measured. That is, the film of the colorimetric object liquid can be formed in a parallel and accurate film thickness, and not only the transmittance of the colorimetric object liquid but also the reflectance can be measured.
したがって、透過度の低い測色対象液体に対しては、透過率を測定する代わりに反射率を測定し、その結果に基づいて測色することが可能となる。また、半透明な測色対象液体に対しては、透過率と反射率との両方を測定し、両測定結果に基づいて測色することも可能である。 Therefore, it is possible to measure the reflectance based on the result of measuring the reflectance of the liquid for colorimetry with low transmittance instead of measuring the transmittance. For a translucent colorimetric target liquid, both transmittance and reflectance can be measured, and colorimetry can be performed based on both measurement results.
反射率の測定に用いられる光は、光源５０から照射されるが、この照射した光が測色対象液体において全反射した成分Ｚは、光源５０の色を多く含んでいるが、このような光は反射トラップ４８から積分球１７の外部へと導出されることによって分光器４６へ導かれることを阻止することができる。また、拡散光バッフル５１によって、光源５０からの直接光Ｔが直接分光器４６へ導かれることを阻止することができる。以上のことから、分光器４６は、測色対象液体によって反射した光の成分Ｐのみを用いて反射率を測定することができるので、高精度で測色することが可能となる。
The light used for the measurement of the reflectance is emitted from the
以上、本発明の好適な実施の形態について、添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, this invention is not limited to this structure. Within the scope of the technical idea described in the claims, those skilled in the art will be able to conceive of various changes and modifications. The technical scope of the present invention is also applicable to these changes and modifications. It is understood that it belongs to.
例えば、上記実施の形態では、光源６０から発せられる光の照射方向Ｆが鉛直方向になる場合について説明したが、その構成の一部を変更することにより、光の照射方向Ｆを水平方向にしたような液体測色装置もまた本発明の技術的範囲に属すると了解される。
For example, in the above-described embodiment, the case where the irradiation direction F of the light emitted from the
測色対象液体の透過測定ないし反射測定に置いては、可視光域の光源と分光器を使用し、一対の透明部材の表面間距離の測定を行う為には近赤外域の光源と分光器が必要となる。 A light source and a spectroscope in the visible light range are used for transmission measurement or reflection measurement of the colorimetric object liquid, and a light source and a spectroscope in the near infrared region are used to measure the distance between the surfaces of a pair of transparent members. Is required.
出来ることならば可視光域から近赤外光域まで同一の光源を使用することが望ましいが、それぞれ別々の光源を使用しても構わない。 If possible, it is desirable to use the same light source from the visible light region to the near infrared light region, but separate light sources may be used.
と同時に、透過測定ないし反射測定を行う分光器も可視光域から近赤外光域まで広範囲に測定できる分光器を使用することが望ましいが、それぞれ別々の分光器を使用しても構わない。 At the same time, it is desirable to use a spectroscope capable of measuring in a wide range from the visible light region to the near infrared light region as a spectroscope performing transmission measurement or reflection measurement, but separate spectroscopes may be used.
本発明は、インキ等の測色対象液体に光を照射して透過率や反射率などの光学特性を測定する液体測色装置および液体測色方法に関し、さらに詳しくは、印刷インキ等の製造ないし調整中などにおける測色対象液体を直接導入して、該測色対象液体の光学特性を測定する液体測色装置および液体測色方法に関するものである。 The present invention relates to a liquid color measurement device and a liquid color measurement method for measuring optical characteristics such as transmittance and reflectance by irradiating light to a color measurement target liquid such as ink. The present invention relates to a liquid color measurement device and a liquid color measurement method for directly introducing a color measurement target liquid during adjustment and measuring the optical characteristics of the color measurement target liquid.
Ｋ…球面部
Ｈ…平面部
Ｅ，Ｆ…照射方向
１０…収容部
１２，５０…導光路
１４…球面ステージ
１５…先端部
１６…上蓋
１７…積分球
１８…シール材
２０…透明部材
２２…導光路
２３…導光穴
２４…液体注入口
２６…液体排出口
２８…サーボモータ
３０…ボールネジ
３２…下部傾斜台
３４…上部傾斜台
３５…リニアガイド
３６…レール
３７…リニアガイド
３８…球面ステージ受け軸
４０，５６…リニアスケール
４２…圧空供給口
４４…真空排出口
４５…導光路
４６…分光器
４８…反射トラップ
５１…拡散光バッフル
５２…白色基準板
５４…シリンダ
６０…光源
６１…分光器
６２…光源用導光路
６３…分光器用導光路
６４…近赤外光源
６５…近赤外光源導光路
K: Spherical part H ... Plane part E, F ...
Claims (5)
互いに対向するように配置された一対の透明部材を備え、内部に測色対象液体を収容する液体収容部と、
前記測色対象液体の前記液体収納部の内部への注入、およびこの注入された前記測色対象液体の測定のために、前記各透明部材のうちの何れか一方を、前記一対の透明部材の対向する方向に沿って任意位置に移動させる移動手段と、
前記移動手段によって移動された透明部材の位置を検出する位置検出手段と、
前記一対の透明部材の平行度および表面間距離を調整する調整手段と、
前記積分球を介して、前記調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて、その反射光が前記積分球により集光されるように、予め定めた入射角度で光を照射する光源と、
前記積分球に設けられ、前記反射光のうち、前記入射角度に対する全反射方向の成分を、前記積分球の外部へと導く導出路と、
前記積分球の内部に設けられ、前記光源によって照射された光が、前記導光路を介して前記分光器に直接導かれないように遮光する遮光体とを備え、
前記位置検出手段は、前記積分球が設けられていない側から前記一対の透明部材に向けて、近赤外光を照射する近赤外光源と、
前記近赤外光源からの近赤外光が前記一対の透明部材で各々反射した近赤外光により干渉した近赤外光を外部へと導く、前記積分球が設けられていない側に設けられた近赤外光導出路とからなっており、
前記調整手段は、球体の任意の一部を平面に置き換えることによって球面部と平面部とを有し、前記一対の透明部材のうちの下側の透明部材を前記平面部に保持し、前記光源からの光を通す穴を有する球面ステージを備えており、
前記球面ステージの底部から球面の中心に向かう方向である鉛直方向が前記光の照射方向であり、
前記調整手段は、前記球面部の下方から空気を導入し、この空気圧によって前記球面ステージを浮上させ、しかる後に前記球面ステージを、球の中心を中心として揺動させながら前記一対の透明部材を平行になるようにしていることを特徴とする液体測色装置。 A liquid colorimetric apparatus that irradiates light to a colorimetric object liquid, collects reflected light by an integrating sphere, guides it to a spectroscope through a light guide, and measures the reflectance of the colorimetric object liquid by the spectroscope. In
A liquid storage unit that includes a pair of transparent members disposed so as to face each other, and stores a liquid for colorimetry therein;
In order to inject the color measurement target liquid into the liquid storage portion and to measure the injected color measurement target liquid, either one of the transparent members may be replaced by the pair of transparent members. Moving means for moving to an arbitrary position along the facing direction;
Position detecting means for detecting the position of the transparent member moved by the moving means;
Adjusting means for adjusting the parallelism and the distance between the surfaces of the pair of transparent members;
Light is irradiated through the integrating sphere at a predetermined incident angle so that the reflected light is collected by the integrating sphere toward one of the pair of transparent members adjusted by the adjusting means. A light source to
A lead-out path that is provided in the integrating sphere and guides a component of the total reflection direction with respect to the incident angle of the reflected light to the outside of the integrating sphere;
A light-shielding body provided inside the integrating sphere and configured to shield the light emitted from the light source so as not to be directly guided to the spectroscope through the light guide,
The position detection means, a near infrared light source that irradiates near infrared light toward the pair of transparent members from the side where the integrating sphere is not provided,
Near infrared light from the near infrared light source is provided on the side where the integrating sphere is not provided for guiding the near infrared light interfered by the near infrared light reflected by the pair of transparent members to the outside. And a near infrared light lead-out path,
The adjusting means has a spherical surface portion and a flat surface portion by replacing an arbitrary part of a sphere with a flat surface, holds a lower transparent member of the pair of transparent members on the flat surface portion, and the light source Equipped with a spherical stage with a hole through which light from
The vertical direction, which is the direction from the bottom of the spherical stage toward the center of the spherical surface, is the light irradiation direction,
The adjusting means introduces air from below the spherical portion, causes the spherical stage to float by the air pressure, and then the pair of transparent members are paralleled while swinging the spherical stage around the center of the sphere. A liquid colorimetric device, characterized in that:
透過率測定用の光の照射方向に対してほぼ直交するように、かつ互いに対向するように配置された一対の透明部材を備え、内部に測色対象液体を収容する液体収容部と、前記測色対象液体の前記液体収納部の内部への注入、およびこの注入された前記測色対象液体の測定のために、前記各透明部材のうちの何れか一方を、前記照射方向に沿って任意位置に移動させる移動手段と、
前記移動手段によって移動された透明部材の位置を検出する位置検出手段と、
前記一対の透明部材の平行度および表面間距離を調整する調整手段と、
前記調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて、前記照射方向に沿って前記透過率測定用の光を照射する第１の光源と、
前記積分球を介して、前記調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて、その反射光が前記積分球により集光されるように、予め定めた入射角度で前記反射率測定用の光を照射する第２の光源と、
前記積分球に設けられ、前記反射光のうち、前記入射角度に対する全反射方向の成分を、前記積分球の外部へと導く導出路と、
前記積分球の内部に設けられ、前記第２の光源によって照射された光が、前記導光路を介して前記分光器に直接導かれないように遮光する遮光体とを備え、
前記位置検出手段は、前記積分球が設けられていない側から前記一対の透明部材に向けて、近赤外光を照射する近赤外光源と、
前記近赤外光源からの近赤外光が前記一対の透明部材で各々反射した近赤外光により干渉した近赤外光を外部へと導く、前記積分球が設けられていない側に設けられた近赤外光導出路とからなっており、
前記照射方向は、鉛直方向であり、
前記調整手段は、球体の任意の一部を平面に置き換えることによって球面部と平面部とを有し、前記一対の透明部材のうちの下側の透明部材を前記平面部に保持し、前記第１および第２の光源からの光を通す穴を有する球面ステージを備えており、
前記球面部の下方から空気を導入し、この空気圧によって前記球面ステージを浮上させ、しかる後に前記球面ステージを、球の中心を中心として揺動させながら前記一対の透明部材を平行になるようにしていることを特徴とする液体測色装置。 Irradiate light for reflectance measurement to the colorimetric target liquid, collect the reflected light with an integrating sphere, guide it to the spectroscope via the light guide, and measure the reflectance of the colorimetric target liquid with the spectroscope And irradiating the colorimetric target liquid with light for measuring transmittance, condensing the transmitted light by the integrating sphere, and then guiding the light to the spectroscope through the light guide, and the spectrophotometer performs the colorimetry. In a liquid color measuring device that measures the transmittance of a target liquid,
A pair of transparent members disposed so as to be substantially orthogonal to the light irradiation direction for measuring the transmittance and facing each other; In order to inject the color target liquid into the liquid storage section and to measure the injected color measurement target liquid, any one of the transparent members is placed at an arbitrary position along the irradiation direction. Moving means to move to,
Position detecting means for detecting the position of the transparent member moved by the moving means;
Adjusting means for adjusting the parallelism and the distance between the surfaces of the pair of transparent members;
A first light source that irradiates the transmittance measuring light along the irradiation direction toward one of the pair of transparent members adjusted by the adjusting means;
Through the integrating sphere, the reflectance is set at a predetermined incident angle so that the reflected light is collected by the integrating sphere toward one of the pair of transparent members adjusted by the adjusting means. A second light source that emits measurement light;
A lead-out path that is provided in the integrating sphere and guides a component of the total reflection direction with respect to the incident angle of the reflected light to the outside of the integrating sphere;
A light shield provided inside the integrating sphere and configured to shield the light emitted by the second light source from being directly guided to the spectrometer through the light guide,
The position detection means, a near infrared light source that irradiates near infrared light toward the pair of transparent members from the side where the integrating sphere is not provided,
Near infrared light from the near infrared light source is provided on the side where the integrating sphere is not provided for guiding the near infrared light interfered by the near infrared light reflected by the pair of transparent members to the outside. And a near infrared light lead-out path,
The irradiation direction is a vertical direction,
Said adjusting means includes a spherical portion and a flat portion by replacing any portion of a sphere in the plane, holding the lower side of the transparent member of the pair of transparent members to the planar portion, said first A spherical stage having a hole through which light from the first and second light sources passes;
Air is introduced from below the spherical surface, and the spherical stage is lifted by the air pressure, and then the spherical stage is swung around the center of the sphere so that the pair of transparent members are parallel to each other. A liquid colorimetric apparatus characterized by comprising:
前記移動手段は、前記位置検出手段による位置検出結果に基づいて、前記各透明部材のうちの何れか一方を、前記光の照射方向に沿って移動させるようにした液体測色装置。 The liquid colorimetric device according to any one of claims 1 to 2,
The liquid color measuring device, wherein the moving means moves any one of the transparent members along the light irradiation direction based on a position detection result by the position detecting means.
前記移動手段は、
前記光の照射方向に対する直交方向に沿って設けられたレールと、
前記レールに沿って移動可能なように配置され、前記レールに面していない側に、前記照射方向に対して傾斜した第１の傾斜面を有する傾斜台と、
前記第１の傾斜面に対して移動可能なように前記第１の傾斜面に外接して設けられた第２の傾斜面と、前記照射方向に対して直交した直交面とを有し、前記照射方向に沿って移動するように配置され、前記各透明部材のうちの何れか一方を前記直交面に保持してなる保持手段とを備え、
前記傾斜台を前記レールに沿って移動させることによって、前記直交面を前記照射方向に沿って移動させることにより、前記直交面に保持された透明部材を、前記照射方向に沿って任意位置に移動させるようにした液体測色装置。 The liquid colorimetric apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The moving means is
A rail provided along a direction orthogonal to the light irradiation direction;
An inclined table that is arranged so as to be movable along the rail and has a first inclined surface that is inclined with respect to the irradiation direction on a side not facing the rail;
A second inclined surface provided so as to circumscribe the first inclined surface so as to be movable with respect to the first inclined surface, and an orthogonal surface orthogonal to the irradiation direction, A holding means which is arranged to move along the irradiation direction and holds any one of the transparent members on the orthogonal plane;
The transparent member held on the orthogonal plane is moved to an arbitrary position along the irradiation direction by moving the orthogonal plane along the irradiation direction by moving the tilt base along the rail. A liquid colorimetry device designed to be used.
前記互いに対向するように配置された一対の透明部材を、測定中における熱変形を阻止するような低熱膨張率金属によって非対向側から固定するようにした液体測色装置。
The liquid colorimetric apparatus according to any one of claims 1 to 4,
A liquid colorimetric apparatus in which the pair of transparent members arranged so as to face each other is fixed from the non-facing side by a low thermal expansion coefficient metal that prevents thermal deformation during measurement.
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0293532A (en) * | 1988-09-30 | 1990-04-04 | Nippon Seiko Kk | Method and device for plotting pattern |
| JP2001230277A (en) * | 2000-02-17 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Bonding apparatus and aligning mechanism of electronic component |
| JP2003028718A (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Toppan Printing Co Ltd | Instrument for measuring color of liquid |
| JP2003065851A (en) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Suga Test Instr Co Ltd | Tristimulus value direct reading colorimetric device |
| JP2003232683A (en) * | 2002-01-11 | 2003-08-22 | X-Rite Inc | Desktop spectrophotometer with improved target setting |
| JP2003307408A (en) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Toppan Printing Co Ltd | Method and apparatus for measuring optical characteristics of liquid |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0293532A (en) * | 1988-09-30 | 1990-04-04 | Nippon Seiko Kk | Method and device for plotting pattern |
| JP2001230277A (en) * | 2000-02-17 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Bonding apparatus and aligning mechanism of electronic component |
| JP2003028718A (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Toppan Printing Co Ltd | Instrument for measuring color of liquid |
| JP2003065851A (en) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Suga Test Instr Co Ltd | Tristimulus value direct reading colorimetric device |
| JP2003232683A (en) * | 2002-01-11 | 2003-08-22 | X-Rite Inc | Desktop spectrophotometer with improved target setting |
| JP2003307408A (en) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Toppan Printing Co Ltd | Method and apparatus for measuring optical characteristics of liquid |
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