JP4498819B2 - 薄膜抵抗装置及び抵抗温度特性調整方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態における薄膜抵抗装置の概略構成を示す模式図である。図2は、本発明の第1の実施の形態における薄膜抵抗装置の断面構造を示す模式図である。図3(a)は本発明の実施の形態におけるナノグラニュラー薄膜抵抗の一次の抵抗温度係数αとCo濃度との関係を示すグラフであり、(b)は二次の抵抗温度係数βとCo濃度との関係を示すグラフである。図4は、本発明の実施の形態におけるナノグラニュラー薄膜抵抗のシート抵抗値RとCo濃度との関係を示すグラフである。
次に、本発明の第2の実施の形態について図面に基づいて説明する。図5は、本発明の第2の実施の形態における薄膜抵抗装置の断面構造を示す模式図である。なお、上述の実施形態との共通部分についての詳しい説明は省略する。
次に、本発明の第3の実施の形態について図面に基づいて説明する。図6は、本発明の第3の実施の形態における薄膜抵抗装置の断面構造を示す模式図である。なお、上述の実施形態との共通部分についての詳しい説明は省略する。
Claims (7)
- 基板に形成されたナノグラニュラー薄膜抵抗と、
前記ナノグラニュラー薄膜抵抗を加熱することによって当該ナノグラニュラー薄膜抵抗の一次の抵抗温度係数及び二次の抵抗温度係数を調整するヒータ部材と、
を備えることを特徴とする薄膜抵抗装置。 - 前記基板は半導体集積回路が形成され、前記ヒータ部材は発熱抵抗体からなり、当該ヒータ部材及び前記ナノグラニュラー薄膜抵抗は、当該半導体集積回路に集積化されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜抵抗装置。
- 前記ナノグラニュラー薄膜抵抗は、前記半導体集積回路の複数箇所に形成されることを特徴とする請求項2に記載の薄膜抵抗装置。
- 前記ナノグラニュラー薄膜抵抗は、ターゲットをAl2O3とCoとするスパッタリングによって形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の薄膜抵抗装置。
- ナノグラニュラー薄膜抵抗を形成する形成工程と、
前記ナノグラニュラー薄膜抵抗の抵抗温度特性を計測する計測工程と、
前記ナノグラニュラー薄膜抵抗を加熱する加熱工程と、を有し、
前記加熱工程は、前記計測工程にて計測しながら行ない、
前記形成工程は、半導体集積回路に前記ナノグラニュラー薄膜抵抗と共に発熱抵抗体を形成する工程を含み、
前記加熱工程において前記発熱抵抗体を発熱させることによって前記ナノグラニュラー薄膜抵抗を加熱することで、当該ナノグラニュラー薄膜抵抗の抵抗温度特性を調整することを特徴とする抵抗温度特性調整方法。 - 前記加熱工程は、前記ナノグラニュラー薄膜抵抗にレーザ又は赤外線を照射して加熱した後に、前記発熱抵抗体を発熱させて加熱することを特徴とする請求項5に記載の抵抗温度特性調整方法。
- 前記加熱工程は、前記ナノグラニュラー薄膜抵抗が形成された基板全体をアニール処理して加熱した後に、前記発熱抵抗体を発熱させて加熱することを特徴とする請求項5に記載の抵抗温度特性調整方法。
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