JP4498129B2 - 結晶製造装置および結晶製造方法 - Google Patents
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Description
(1)重力F1
(2)融液IDaからの力F2(F2は、種収納室114の方向である下向きに受ける第1の力Faと原料収納室113の方向である上向きの力Fbとの差分である)
が作用する。
ここで、力F2が重力F1と同じ方向を向いている場合、つまりFaがFbより大きく、力F2が下向きの場合には、キャップ部材117は円錐部116に接触した状態を維持し、浮き上がらない。
F2=(下面117bに働く力)−(上面117aに働く力)
=∫Pbds−∫Pads
となる。
そして、融液IDaの密度をρg、キャップ部材117の上面117aの面積をS1、下面117bの面積をS2、上下面117a,117b間の距離をD1、キャップ部材117の上面117aから融液IDaの上面までの距離(キャップ部材117までの融液IDaの深さ)をD2とし、簡単のためにD2>>D1とすると、上向きを正方向として力F2を求めると、
=∫Pbds−∫Pads
=ρg・(D1+D2)・S2−ρg・D2・S1
となり、S1>S2の条件下では符号は負となる。よって、重力と同じ方向である下向きの力がキャップ部材117に働くことになる。
∫Pbds−∫Pads<0
すなわち、
∫Pads>∫Pbds
の条件を満たすものであれば構わない。
さらにヒータ140は、図1に示すように、上ヒータ142と下ヒータ144の2つのヒータ領域に分割されている。これにより、成長炉CGF内の温度を精密に制御することができる。具体的には、上ヒータ142は、融液IDaの温度を保持するために原料の融点以上の温度に設定され、下ヒータ144は、成長した単結晶(固体部)IDbの保持に適した温度に設定される。さらに、上ヒータ142と下ヒータ144との中間付近において、坩堝110内が原料の融点温度になるように調整されている。このため、上ヒータ142と下ヒータ144との中間付近に、融液IDaと単結晶IDbとの境界SLIが存在する。
図9は、ステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)では、ウェハ上に電極を蒸着などによって形成する。ステップ14(イオン打ち込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では、上述の露光装置500によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。かかるデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。このように、露光装置500を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。
110 坩堝
112 坩堝の下部
114 収納室
116 円錐部
117 キャップ部材
118 貫通孔
119 栓部材
120 支持部材
130 坩堝昇降部
140 ヒータ
142 上ヒータ
144 下ヒータ
150 熱電対
160 断熱部材
170 筐体
IDa 溶融原料(融液)
IDb 単結晶(固体)
SLI 固液界面
SC 種結晶
CGF 成長炉
EM 排気装置
500 露光装置
510 照明装置
514 照明光学系
530 投影光学系
Claims (8)
- 結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる結晶製造装置であって、
種結晶が配置される第1室および前記原料が配置される第2室を有する坩堝と、
前記第2室内に配置され、前記第1室側と前記第2室側とに開口する、ネッキングを行うための貫通孔が形成された第1の部材とを有し、
前記第1の部材は、溶融した前記原料から前記第1室の方向に受ける第1の力が前記第2室の方向に受ける第2の力よりも大きくなる形状を有することを特徴とする結晶製造装置。 - 以下の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の結晶製造装置。
∫Pads>∫Pbds
但し、∫Padsは前記第1の部材における前記溶融した原料から前記第2室側の面に作用する圧力Paの面積分、∫Pbdsは前記第1の部材における前記溶融した原料から前記第1室側の面に作用する圧力の面積分である。 - 前記第2室は、前記第1室側に向かって径が小さくなる円錐部を有し、
前記第1の部材は、前記円錐部に接触することを特徴とする請求項1又は2に記載の結晶製造装置。 - 前記原料の溶融前に、前記貫通孔内に、前記原料と同一物質により形成された第2の部材が設置されることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の結晶製造装置。
- 結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる結晶製造装置であって、
種結晶が配置される第1室および前記原料が配置される第2室を有する坩堝と、
前記坩堝内に配置され、前記第1室側と前記第2室側とに開口する、ネッキングを行うための貫通孔が形成された第1の部材とを有し、
前記第1の部材は、溶融した前記原料から前記第1室の方向に受ける第1の力が前記第2室の方向に受ける第2の力よりも大きくなる形状を有しており、
前記原料の溶融前に、前記貫通孔内に、前記原料と同一物質により形成された第2の部材が設置されることを特徴とする結晶製造装置。 - 前記第2の部材は、前記貫通孔内に挿入される挿入部と、前記貫通孔の前記第2室側の開口を覆う端部とを有することを特徴とする請求項5に記載の結晶製造装置。
- 結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる方法であり、種結晶が配置される第1室および前記原料が配置される第2室を有する坩堝を用いる結晶製造方法であって、
前記第1室に種結晶を配置するステップと、
前記第2室内に、前記第1室側と前記第2室側とに開口する、ネッキングを行うための貫通孔が形成された第1の部材を配置するステップと、
前記第2室に前記原料を配置するステップと、
前記原料を溶融するステップとを有し、
前記第1の部材は、溶融した前記原料から前記第1室の方向に受ける第1の力が前記第2室の方向に受ける第2の力よりも大きくなる形状を有することを特徴とする結晶製造方法。 - 結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる方法であり、種結晶が配置される第1室および前記原料が配置される第2室を有する坩堝を用いる結晶製造方法であって、
前記第1室に種結晶を配置するステップと、
前記坩堝内に、前記第1室側と前記第2室側とに開口する、ネッキングを行うための貫通孔が形成された第1の部材を配置するステップと、
前記第2室に前記原料を配置するステップと、
前記原料を溶融するステップとを有し、
前記第1の部材は、溶融した前記原料から前記第1室の方向に受ける第1の力が前記第2室の方向に受ける第2の力よりも大きくなる形状を有しており、
前記原料の溶融前に、前記貫通孔内に、前記原料と同一物質により形成された第2の部材を設置するステップをさらに有することを特徴とする結晶製造方法。
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