JP4495104B2 - 可変式照明源 - Google Patents
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Description
R=k1λ/NA
DOF=+/−k2λ/NA2
を利用して所与の技術の性能を評価してきた。
σ=λ/(√2NA・ピッチ)
から推計可能であり、二重極又は45°回転した四重極に関するシグマは、
σ=λ/(2NA・ピッチ)
から推計可能である。
26 光学積分器(ライト・パイプ、棒体)
28 結合器
32 フライアイ要素
34、36 対物レンズ
102 可変式光学要素
104 集光器
106 制御装置
108 サブ要素
C 標的部分
CO 集光器
IL 照射系(照射器)
IN 積分器
LA 放射源
MA マスク
MT 物体(マスク)テーブル
PB 投影ビーム
PL 投影系又はレンズ
W 基板
WT 物体(基板)テーブル
Claims (17)
- リソグラフィ投影装置であって、
放射ビームを調節するように構成された照明系と、
パターン形成した放射ビームを形成するために前記放射ビームの断面中にパターンを付与できるパターン形成装置を支持するように構成された支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターン形成した放射ビームを前記基板の標的部分上に投影するように構成された投影系と、
前記照明系の一部を構成し、可変透過率を有するようにそれぞれ構成されかつ配置された複数のアドレス指定可能要素のアレイを含む可変式光学要素であって、前記複数のアドレス指定可能要素のそれぞれの透過率を変化させることで制御信号にしたがった断面を有する照明を形成するように構成された可変式光学要素と、
前記パターン形成装置により付与されるパターンに適した多重極照明断面をシミュレーションを通じて決定し、決定された多重極照明断面を有する照明を前記パターン形成装置の瞳平面に形成するように前記アドレス指定可能要素を制御する制御信号を前記可変式光学要素に供給する制御手段と、
を有する装置。 - 前記決定された多重極照明断面は、少なくとも一部が前記パターン形成した放射ビームの前記パターンに基づいて選択される、請求項1に記載の装置。
- 前記アドレス指定可能要素は、液晶表示パネルの画像素子を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記液晶表示パネルの前記画像素子は、第1の、即ち、オンの状態と第2の、即ち、オフの状態とを有する、請求項3に記載の装置。
- 前記液晶表示パネルの前記画像素子は複数の状態を有し、前記画像素子の透過率は約0と約1との間で変化する、請求項3に記載の装置。
- それぞれのアドレス指定可能要素は、バンド・ギャップを有するヘテロ接合を含み、前記ヘテロ接合の透過率は、前記バンド・ギャップの変更によって可変である、請求項1に記載の装置。
- 前記バンド・ギャップは、前記ヘテロ接合に印加される電圧の変更によって変化可能である、請求項6に記載の装置。
- 前記電圧の変更は前記電圧の振幅の変更を含む、請求項7に記載の装置。
- 前記電圧の変更は前記電圧の反転を含む、請求項7に記載の装置。
- 基板上にパターンを描画する方法であって、
放射ビームを生成する段階と、
前記基板に投影されるパターンに適した多重極照明断面をシミュレーションを通じて決定する段階と、
決定された多重極照明断面を有する照明をパターン形成装置の瞳面に形成するように、可変式光学要素の複数のアドレス指定可能要素のそれぞれの透過率を変化させる制御信号を前記可変式光学要素に供給する段階と、
前記放射ビームを前記可変式光学要素に当て、前記決定された多重極照明断面を有する照明を形成する段階と、
前記決定された多重極照明断面を有する照明を形成する段階の後で、前記放射ビームによって描画パターン形成装置を照射する段階と、
前記照射する段階の後で、前記放射ビームを前記基板上に投影する段階とを含む方法。 - 前記アドレス指定可能要素は、液晶表示パネルの画像素子を含む、請求項10に記載の方法。
- 前記方法は、前記決定された多重極照明断面の少なくとも一部を前記描画パターン形成装置のパターンに基づいて選択する段階を更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記アドレス指定可能要素の透過率を変化させる段階は、オフ状態とオン状態との間で前記画像素子を切り換える段階を更に含む、請求項11に記載の方法。
- 前記アドレス指定可能要素の透過率を変化させる段階は、オフ状態とオン状態との間のかつこれらの状態を含む複数の状態の間で前記画像素子を変更する段階を更に含む、請求項11に記載の方法。
- 前記アドレス指定可能要素は、バンド・ギャップを有するヘテロ接合を含み、前記アドレス指定可能要素の透過率を変化させる段階は、前記バンド・ギャップを変更する段階を更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記バンド・ギャップを変更する段階は、前記バンド・ギャップに印加される電圧を変更する段階を更に含む、請求項15に記載の方法。
- 前記電圧を変更する段階は、前記電圧の振幅を変更する段階及び/又は前記電圧を反転する段階を含む、請求項16に記載の方法。
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