JP4494425B2 - Ring laser gyro - Google Patents

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JP4494425B2 JP2007035399A JP2007035399A JP4494425B2 JP 4494425 B2 JP4494425 B2 JP 4494425B2 JP 2007035399 A JP2007035399 A JP 2007035399A JP 2007035399 A JP2007035399 A JP 2007035399A JP 4494425 B2 JP4494425 B2 JP 4494425B2
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Description

この発明は、例えば、航空機その他の運動体の慣性基準装置として角速度を検出するリングレーザージャイロに関する。   The present invention relates to a ring laser gyro for detecting an angular velocity as an inertial reference device for an aircraft or other moving body, for example.

図８を参照して従来のリングレーザージャイロを簡単に説明する。なお、図８はリングレーザージャイロの入力軸線と垂直な断面で切った断面図（以下、単に、断面図という）である。ブロック１１は多角形（図８では三角形）であり、ブロック１１内にその多角形の各頂点に反射鏡１３ａ、１４、１５を設けて、三角形の閉塞光路１２が形成される。閉塞光路１２にはレーザ媒質が封入され、閉塞光路１２の二個の辺には陽極１６、１７かつ、これら両辺間の辺に陰極１８が設けられている。光路長制御用アクチュエータ１９は光路長制御用の反射鏡１５を変位させる。   A conventional ring laser gyro will be briefly described with reference to FIG. FIG. 8 is a cross-sectional view (hereinafter simply referred to as a cross-sectional view) cut along a cross section perpendicular to the input axis of the ring laser gyro. The block 11 is a polygon (a triangle in FIG. 8), and the reflecting mirrors 13a, 14 and 15 are provided at the apexes of the polygon in the block 11, so that a triangular blocking optical path 12 is formed. A laser medium is sealed in the blocking optical path 12, and anodes 16 and 17 are provided on two sides of the blocking optical path 12, and a cathode 18 is provided between the two sides. The optical path length control actuator 19 displaces the optical path length control reflecting mirror 15.

また、ブロック１１では陽極１６、１７と陰極１８との間に高電圧を印加し、プラズマ放電を発生させて、レーザ媒質を励起し、閉塞光路１２に時計方向と反時計方向に通過する２つのレーザ光を発振させる。この状態で、ブロック１１に閉塞光路１２の軸線（入力軸）を中心とする角速度が入力すると、２つのレーザ光に光路差が生じ、その光路差が２つのレーザ光間に発振周波数差を生じさせる。   In the block 11, a high voltage is applied between the anodes 16 and 17 and the cathode 18 to generate a plasma discharge to excite the laser medium and to pass through the blocking optical path 12 clockwise and counterclockwise. Laser light is oscillated. In this state, when an angular velocity centered on the axis (input axis) of the blocking optical path 12 is input to the block 11, an optical path difference is generated between the two laser beams, and the optical path difference generates an oscillation frequency difference between the two laser beams. Let

レーザ光の取り出しは、反射鏡１３ａを介して行われる。取り出された２つのレーザ光をプリズム２９と反射鏡１３ｂとを介して、重ね合わせることにより、干渉縞が出来る。この干渉縞から入力角速度を光検出器２７で検知する。   The laser light is extracted through the reflecting mirror 13a. By superimposing the two extracted laser beams via the prism 29 and the reflecting mirror 13b, interference fringes are formed. The input angular velocity is detected by the photodetector 27 from the interference fringes.

ところで、リングレーザージャイロには、低角速度入力時において、角速度を検出できない状態（ジャイロの不感帯）を起こすロックイン現象がある。ロックイン現象を回避するために、リングレーザージャイロに対して、入力軸廻りにディザー角振動を与え、低角速度も検出できるようにする方法がある。   By the way, the ring laser gyro has a lock-in phenomenon that causes a state in which the angular velocity cannot be detected (gyro dead zone) when a low angular velocity is input. In order to avoid the lock-in phenomenon, there is a method of applying a dither angular vibration around the input shaft to the ring laser gyro so that a low angular velocity can be detected.

リングレーザージャイロにディザー角振動を印加するために、ディザースプリング２１をブロック１１の中央付近に配置する。ブロック１１の中央付近に円形の貫通穴２８を設け、ディザースプリング２１を貫通穴２８の内側に挿入する。   A dither spring 21 is disposed near the center of the block 11 in order to apply dither angular vibration to the ring laser gyro. A circular through hole 28 is provided near the center of the block 11, and the dither spring 21 is inserted inside the through hole 28.

また、ブロック１１は熱膨張率が小さいガラス製であるのに対し、ディザースプリング２１は金属性のため、その熱膨張率はブロック１１より大きい。特許文献１に示すように、ディザースプリング２１の熱膨張による応力がブロック１１に伝わるのを緩和する構造が考案されている。   Further, the block 11 is made of glass having a small coefficient of thermal expansion, whereas the dither spring 21 is metallic so that its coefficient of thermal expansion is larger than that of the block 11. As shown in Patent Document 1, a structure has been devised in which stress due to thermal expansion of the dither spring 21 is reduced from being transmitted to the block 11.

ディザースプリング２１は外周壁２６とその中心２４から放射方向に伸張した複数の腕２３（図１では腕２３は３本）を有する。各腕２３の両側面に、圧電素子２５、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を取り付ける。圧電素子２５に交流電圧を印加させることにより、ブロック１１に対して、ディザー角振動を与える。このディザー角振動を起こす機構をディザー機構という。リングレーザージャイロから検出される角速度ω１は、リングレーザージャイロの外部からの角速度ω２とディザー機構のディザー角振動による角速度ω３が合わさった角速度である。よって、外部入力角速度ω２は、検出される角速度ω１からディザー機構による角速度ω３を差し引くことにより、求まる。 The dither spring 21 has an outer peripheral wall 26 and a plurality of arms 23 (three arms 23 in FIG. 1) extending radially from the center 24 thereof. A piezoelectric element 25, for example, PZT (lead zirconate titanate) is attached to both side surfaces of each arm 23. By applying an AC voltage to the piezoelectric element 25, a dither angular vibration is applied to the block 11. The mechanism that causes this dither angular vibration is called a dither mechanism. The angular velocity ω 1 detected from the ring laser gyro is an angular velocity obtained by combining the angular velocity ω 2 from the outside of the ring laser gyro and the angular velocity ω 3 due to the dither angular vibration of the dither mechanism. Therefore, the external input angular velocity ω 2 is obtained by subtracting the angular velocity ω 3 by the dither mechanism from the detected angular velocity ω 1 .

リングレーザージャイロの誤差要因に、ディザー機構による角速度ω３を差し引く際の値の不正確さに起因するものや、ディザー角振動の振幅や周波数の不安定性に起因するもの等がある。ディザー角振動を伝えるディザースプリングとブロックの接合方法はディザー角振動の正確さと安定性に関わるので、リングレーザージャイロの性能に大きな影響を与える。 The error factors of the ring laser gyro include those caused by inaccuracy of values when subtracting the angular velocity ω 3 by the dither mechanism, and those caused by instability of the amplitude and frequency of the dither angular vibration. The method of joining the dither spring and the block that transmits the dither angular vibration is related to the accuracy and stability of the dither angular vibration, and thus greatly affects the performance of the ring laser gyro.

ディザースプリング２１の外周壁２６と腕２３とは接続部３１により接続される。外周壁２６において、隣接する接続部３１間の中間部は、腕２３がないので、剛性が低い。隣接する接続部３１間の中間部に、外周壁２６の外周面上より放射外方に突出部３２が形成される。   The outer peripheral wall 26 of the dither spring 21 and the arm 23 are connected by a connecting portion 31. In the outer peripheral wall 26, the intermediate portion between the adjacent connection portions 31 has no arm 23, so that the rigidity is low. A protruding portion 32 is formed radially outward from the outer peripheral surface of the outer peripheral wall 26 at an intermediate portion between the adjacent connecting portions 31.

ディザースプリング２１をブロック１１の貫通穴２８に装着して組み立てる。その装着により、突出部３２の突出端面（以下、接合面という）３２ａを、ブロック１１の貫通穴２８の内周面３５と接合させる。この接合方法としては、接合面３２ａに接着剤を塗布して接合する、または、単に圧入することも出来る。   The dither spring 21 is attached to the through hole 28 of the block 11 and assembled. With the mounting, the projecting end surface (hereinafter referred to as a joining surface) 32 a of the projecting portion 32 is joined to the inner peripheral surface 35 of the through hole 28 of the block 11. As this joining method, an adhesive may be applied to the joining surface 32a for joining, or simply press-fitted.

図９に突出部３２近辺を拡大した断面図を示す。図９では、接合面３２ａとブロック１１の内周面３５とが接着剤層３３により接合された状態を示している。ブロック１１の内周面３５とディザースプリング２１の外周壁２６の外周面との間に、突出部３２の突出長だけ、空間３６が形成される。この結果、ディザースプリング２１が熱膨張しても、熱膨張による応力がブロック１１に伝達されるのは、外周壁２６中の剛性が低い突出部３２の接合面３２ａを介して行われるため、ディザースプリング２１の熱膨張による応力は緩和される。
特公平８−３４３２６号公報 FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the protrusion 32. FIG. 9 shows a state in which the bonding surface 32 a and the inner peripheral surface 35 of the block 11 are bonded by the adhesive layer 33. A space 36 is formed between the inner peripheral surface 35 of the block 11 and the outer peripheral surface of the outer peripheral wall 26 of the dither spring 21 by the protruding length of the protruding portion 32. As a result, even if the dither spring 21 is thermally expanded, the stress due to the thermal expansion is transmitted to the block 11 through the joint surface 32a of the protrusion 32 having a low rigidity in the outer peripheral wall 26. The stress due to the thermal expansion of the spring 21 is relaxed.
Japanese Patent Publication No. 8-34326

ディザースプリング２１の熱膨張による応力の向きは、ディザースプリング２１の半径方向外方である。外周壁２６において、外周壁２６と腕２３とが接続される接続部３１の剛性が高く、ブロック１１と接合する突出部３２は外周壁２６の剛性が低い中間部に設けられている。よって、外周壁２６の全周に対して、突出部３２が小さいほど、つまり突出部３２の接合面３２ａの面積がより小さければ、ブロック１１へ伝達される応力はより緩和される。しかし、接合面３２ａの面積が小さくなると、ディザースプリング２１のディザー角振動方向と、接合面３２ａとは、ほぼ平行であるため、ディザー角振動に対して、接着剤による十分な接着強度、あるいは圧入による十分な接合強度を得ることが出来ず、ディザー角振動を伝達できなくなる可能性がある。   The direction of stress due to thermal expansion of the dither spring 21 is outward in the radial direction of the dither spring 21. In the outer peripheral wall 26, the connecting portion 31 where the outer peripheral wall 26 and the arm 23 are connected has high rigidity, and the protruding portion 32 joined to the block 11 is provided in an intermediate portion where the outer peripheral wall 26 has low rigidity. Therefore, the smaller the protrusion 32 is with respect to the entire circumference of the outer peripheral wall 26, that is, the smaller the area of the joint surface 32 a of the protrusion 32, the more relaxed the stress transmitted to the block 11. However, when the area of the joining surface 32a is reduced, the dither angle vibration direction of the dither spring 21 and the joining surface 32a are substantially parallel, so that sufficient adhesive strength or press-fitting with an adhesive against dither angle vibration is achieved. Insufficient bonding strength due to the above cannot be obtained and dither angular vibrations may not be transmitted.

この発明によれば、多角形のブロックの各頂点に反射鏡を設けて閉塞光路を形成し、前記光路に２本のレーザ光を時計方向と反時計方向に通過させて例えば光検出器により、回転運動を検出する前記ブロックと、リングレーザージャイロにディザー角振動を印加するために、前記ブロックの中央部の円形の貫通穴に装着されて、円筒形の外周壁と、中心から前記外周壁に向かって、放射方向に伸長する複数の腕を有するディザースプリングと、を備えるリングレーザージャイロにおいて、前記ディザースプリングの外周壁の外周面上には、前記ディザースプリングの軸線と平行な直線状の凸部、あるいは溝が前記複数の腕の隣接間にそれぞれ備えられ、前記ブロックの貫通穴の内周面には、前記凸部あるいは前記溝にそれぞれ嵌合された直線状溝あるいは凸部が備えられる。   According to this invention, a reflecting mirror is provided at each vertex of the polygonal block to form a blocking optical path, and two laser beams are passed through the optical path in a clockwise direction and a counterclockwise direction, for example, by a photodetector. In order to apply dither angular vibration to the block for detecting the rotational motion and the ring laser gyroscope, the block is mounted in a circular through hole in the central portion of the block, and has a cylindrical outer peripheral wall and a center to the outer peripheral wall. And a dither spring having a plurality of arms extending radially in a ring laser gyro, and a linear convex portion parallel to an axis of the dither spring on the outer peripheral surface of the outer peripheral wall of the dither spring Or a groove provided between adjacent ones of the plurality of arms, and a straight line respectively fitted to the convex portion or the groove on the inner peripheral surface of the through hole of the block Groove or protrusion is provided.

この発明によるリングレーザージャイロは、ブロックへ伝達されるディザースプリングの熱膨張による応力を緩和する凸部を備え、ディザースプリングとブロックとの接合面は、ディザースプリングのディザー角振動の方向とほぼ垂直な方向である。このため、ディザー角振動をブロックに伝達するのに十分な接合強度を得ることができる。   The ring laser gyro according to the present invention includes a convex portion that relieves stress due to thermal expansion of the dither spring transmitted to the block, and the joint surface between the dither spring and the block is substantially perpendicular to the dither angular vibration direction of the dither spring. Direction. For this reason, it is possible to obtain a bonding strength sufficient to transmit the dither angular vibration to the block.

以下に、この発明を実施するための最良の形態を示す。   The best mode for carrying out the present invention will be described below.

この発明のリングレーザージャイロの機能構成例の断面図を図１に示す。図８と同じ部分には同一参照番号を付け、重複説明を省略する。このことは、図２から図７の説明についても同様とする。   A cross-sectional view of a functional configuration example of the ring laser gyro according to the present invention is shown in FIG. The same parts as those in FIG. 8 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. The same applies to the description of FIGS.

ブロック６１の中央部に円形の貫通穴６２が設けられる。ディザースプリング６３は円筒形の外周壁６４と、中心部６５から外周壁６４に向かって放射方向に伸張する複数の腕６８（実施例１では、腕６８は３本、以下も同様）を有している。この実施例においては、ディザースプリング６３の外周壁６４の外周面６４ａ上に、ディザースプリング６３の軸線と平行な直線状の凸部６６が、隣接しあう腕６８の間、好ましくは、真ん中に備えられる。また、ブロック６１の貫通穴６２の内周面６２ａ上には、凸部６６に嵌合した直線状溝７２が備えられる。凸部６６と溝７２を嵌合させることにより、ディザースプリング６３の角振動方向とほぼ垂直な接合面を介して、ディザースプリング６３のディザー角振動がブロック６１に伝達される。   A circular through hole 62 is provided at the center of the block 61. The dither spring 63 has a cylindrical outer peripheral wall 64 and a plurality of arms 68 extending in the radial direction from the central portion 65 toward the outer peripheral wall 64 (in the first embodiment, there are three arms 68, and so on). ing. In this embodiment, on the outer peripheral surface 64a of the outer peripheral wall 64 of the dither spring 63, a linear convex portion 66 parallel to the axis of the dither spring 63 is provided between the adjacent arms 68, preferably in the middle. It is done. Further, a linear groove 72 fitted to the convex portion 66 is provided on the inner peripheral surface 62 a of the through hole 62 of the block 61. By fitting the convex portion 66 and the groove 72, the dither angular vibration of the dither spring 63 is transmitted to the block 61 through the joint surface substantially perpendicular to the angular vibration direction of the dither spring 63.

図２に凸部６６の近辺を拡大した断面図を示す。この実施例１および以下の実施例２および３では、凸部６６の形状は直六面体であり、ディザースプリング６３の軸線と垂直な断面は矩形状となる。   FIG. 2 shows an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the convex portion 66. In Example 1 and Examples 2 and 3 below, the shape of the convex portion 66 is a cuboid, and the cross section perpendicular to the axis of the dither spring 63 is rectangular.

凸部６６と溝７２との嵌合により、外周壁６４の周方向と交差する接合面６６ａが形成される。この接合面６６ａを通じて、ディザー角振動がディザースプリング６３からブロック６１に伝達される。この実施例では、接合面６６ａは、ディザー角振動方向と垂直であり、ディザースプリング６３とブロック６１の接合面が小さい面積でもディザー角振動を十分に伝達することができる。   A joint surface 66 a that intersects the circumferential direction of the outer peripheral wall 64 is formed by fitting the convex portion 66 and the groove 72. Dither angular vibration is transmitted from the dither spring 63 to the block 61 through the joint surface 66a. In this embodiment, the joint surface 66a is perpendicular to the dither angular vibration direction, and can sufficiently transmit the dither angular vibration even when the joint surface between the dither spring 63 and the block 61 is small.

ところで、ディザースプリング６３の熱膨張の応力の向きはディザースプリング６３の中心からの放射方向であり、ディザースプリング６３の凸部６６の突出頂面６６ｂとブロック６１の溝７２の底面７２ｂとが接合すると、ブロック６１はこの接合面からもディザースプリング６３の熱膨張による応力を受けることになる。そこで、ディザースプリング６３の凸部６６の突出頂面６６ｂとブロック６１の溝７２の底面７２ｂとの間に空間９０を設けることにより、突出頂面６６ｂからブロック６１に与える応力を防止することが出来る。以下の説明では、この空間を応力緩和空間と称する。応力緩和空間９０を設けない構成も考えられるが、応力緩和空間９０を設けることが望ましい。このことは以下の実施例においても同様である。   By the way, the direction of the thermal expansion stress of the dither spring 63 is a radial direction from the center of the dither spring 63, and when the projecting top surface 66b of the convex portion 66 of the dither spring 63 and the bottom surface 72b of the groove 72 of the block 61 are joined. The block 61 also receives stress due to thermal expansion of the dither spring 63 from this joint surface. Therefore, by providing the space 90 between the projecting top surface 66b of the convex portion 66 of the dither spring 63 and the bottom surface 72b of the groove 72 of the block 61, stress applied to the block 61 from the projecting top surface 66b can be prevented. . In the following description, this space is referred to as a stress relaxation space. Although a configuration in which the stress relaxation space 90 is not provided is conceivable, it is desirable to provide the stress relaxation space 90. The same applies to the following embodiments.

上述したように、ディザースプリング６３は、ブロック６１の貫通穴６２に装着して組み立てられる。その装着に当たっては、凸部６６の接合面６６ａに接着剤を塗布してもよく、また、単に圧入してもよい。このことは以下の実施例でも同様である。   As described above, the dither spring 63 is assembled by being mounted in the through hole 62 of the block 61. In mounting, an adhesive may be applied to the joint surface 66a of the convex portion 66, or may be simply press-fitted. The same applies to the following embodiments.

図３にこの実施例２のディザースプリング６３とこれに関連する部分の機能構成例の断面図を示す。この実施例２では、図３に示すように、隣接しあう腕６８の間に、ディザースプリング６３の外周壁６４の外周面６４ａ上にディザースプリング６３の軸線と平行な直線状の溝８０が備えられる。またブロック６１の貫通穴６２の内周面６２ａ上に、溝８０に嵌合する直線状凸部８２が備えられる。溝８０の近辺を拡大した断面図を図４に示す。この実施例２ではディザ角振動方向と垂直な面が溝８０と凸部８２の嵌合によって形成され、この面が接合面８０ａとなる。また、凸部８２の突出頂面８２ｂと溝８０の底面８０ｂとの間に応力緩和空間１１０を設けることが望ましい。   FIG. 3 shows a cross-sectional view of a functional configuration example of the dither spring 63 of the second embodiment and parts related thereto. In the second embodiment, as shown in FIG. 3, a linear groove 80 parallel to the axis of the dither spring 63 is provided between the adjacent arms 68 on the outer peripheral surface 64 a of the outer peripheral wall 64 of the dither spring 63. It is done. Further, a linear convex portion 82 that fits into the groove 80 is provided on the inner peripheral surface 62 a of the through hole 62 of the block 61. FIG. 4 shows an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the groove 80. In the second embodiment, a surface perpendicular to the dither angular vibration direction is formed by fitting the groove 80 and the convex portion 82, and this surface becomes the joint surface 80 a. In addition, it is desirable to provide the stress relaxation space 110 between the protruding top surface 82 b of the convex portion 82 and the bottom surface 80 b of the groove 80.

実施例２では、互いに嵌合する直線状凸部をブロック６１側に設け、溝をディザースプリング６３側に設けた点が実施例１と異なるだけで、実施例１と同様の作用効果が得られることは明らかであろう。   In the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment is obtained except that the linear protrusions that are fitted to each other are provided on the block 61 side and the groove is provided on the dither spring 63 side. It will be clear.

図５に、この実施例３の要部の断面図を示す。この実施例３では、ディザースプリング６３の外周壁６４の外周面６４ａ上に、その軸線と平行な直線状溝１３５が形成され、ブロック６１の貫通穴６２の内周面６２ａ上に、ディザースプリング６３の軸線と平行な直線状溝１４５が形成される。そして、直六面体であり、断面矩形状の継手部材１３０Ａの一半部１３１Ａが溝１３５に嵌合される。他半部１３２Ａが突出され、凸部６６として機能する。このようにして、凸部６６は、外周壁６４とは別体のものを用いて設けてもよい。そして、凸部６６が溝１４５と嵌合される。この実施例３の場合、継手部材１３０Ａと溝１３５との嵌合により形成された外周壁６４の周方向と交差する面、および継手部材１３０Ａと溝１４５との嵌合により内周面６２ａの周方向と交差する面がそれぞれ接合面１３０Ａａとなる。   FIG. 5 shows a cross-sectional view of the main part of the third embodiment. In the third embodiment, a straight groove 135 parallel to the axis is formed on the outer peripheral surface 64 a of the outer peripheral wall 64 of the dither spring 63, and the dither spring 63 is formed on the inner peripheral surface 62 a of the through hole 62 of the block 61. A straight groove 145 parallel to the axis is formed. Then, one half 131A of the joint member 130A having a rectangular parallelepiped shape and a rectangular cross section is fitted into the groove 135. The other half part 132 </ b> A protrudes and functions as the convex part 66. In this manner, the convex portion 66 may be provided using a separate member from the outer peripheral wall 64. Then, the convex portion 66 is fitted with the groove 145. In the case of Example 3, the surface intersecting the circumferential direction of the outer peripheral wall 64 formed by fitting the joint member 130A and the groove 135, and the inner peripheral surface 62a by fitting the joint member 130A and the groove 145. The surfaces intersecting the direction become the joint surfaces 130Aa.

また、溝１３５の底面１３５ａと、これと対向する継手部材１３０Ａの端面１３０Ａｂとの間に応力緩和空間１１０が設けられていることが望ましい。応力緩和空間１１０を設けることで、応力緩和空間９０同様、ディザースプリング６３の熱膨張による応力の緩和を図ることが出来る。   Further, it is desirable that the stress relaxation space 110 is provided between the bottom surface 135a of the groove 135 and the end surface 130Ab of the joint member 130A facing the bottom surface 135a. By providing the stress relaxation space 110, as with the stress relaxation space 90, stress due to thermal expansion of the dither spring 63 can be reduced.

ブロック６１は熱膨張率が小さいガラス製であり、ディザースプリング６３も熱膨張率が小さいインバーである。継手部材１３０Ａの材質は、ブロック６１あるいはディザースプリング６３と同じ熱膨張率の材質が望ましい。以下の実施例で説明する継手部材の材質についても同様である。   The block 61 is made of glass having a small coefficient of thermal expansion, and the dither spring 63 is also an invar having a small coefficient of thermal expansion. The material of the joint member 130 </ b> A is preferably a material having the same thermal expansion coefficient as that of the block 61 or the dither spring 63. The same applies to the material of the joint member described in the following embodiments.

実施例１〜３では、ディザースプリング６３の凸部６６、または、ブロック６１の凸部８２が直六面体、つまりディザースプリング６３の軸線と直角な断面で見ると、矩形状である場合を説明した。実施例４は、凸部が矩形状から台形状への変形した例であり、ディザースプリング６３、ブロック６１の凸部と溝が嵌合されている近辺の断面図を図６に示す。   In the first to third embodiments, the case has been described in which the convex portion 66 of the dither spring 63 or the convex portion 82 of the block 61 has a rectangular shape when viewed in a rectangular parallelepiped, that is, a cross section perpendicular to the axis of the dither spring 63. The fourth embodiment is an example in which the convex portion is deformed from a rectangular shape to a trapezoidal shape, and FIG. 6 shows a cross-sectional view of the vicinity where the convex portion and the groove of the dither spring 63 and the block 61 are fitted.

図６Ａは、ディザースプリング６３の凸部１４０が、前記断面がテーパ面を有する台形状である場合の断面図である。この場合、凸部１４０が、ブロック６１の溝１５０に嵌合される。テーパ面１４０ａ中の溝１５０の側面と接する面１４０ａ’が接合面となる。また、凸部１４０の突出頂面１４０ｂと溝１５０の底面１５０ａとの間には、応力緩和空間１４２が設けられることが望ましい。   FIG. 6A is a cross-sectional view when the convex portion 140 of the dither spring 63 has a trapezoidal shape in which the cross section has a tapered surface. In this case, the convex portion 140 is fitted into the groove 150 of the block 61. A surface 140 a ′ in contact with the side surface of the groove 150 in the tapered surface 140 a becomes a bonding surface. Further, it is desirable that a stress relaxation space 142 is provided between the protruding top surface 140 b of the convex portion 140 and the bottom surface 150 a of the groove 150.

図６Ａに示した凸部１４０の特に接合面を形成する部分の台形のテーパ面の傾斜が急なほど、ディザー角振動をディザースプリング６３からブロック６１へ伝達する接合面１４０ａの面積を小さく出来る。このことは以下で説明する図６Ｂ、図６Ｃにおいても同様である。   6A, the area of the joint surface 140a for transmitting dither angular vibration from the dither spring 63 to the block 61 can be reduced as the slope of the trapezoidal taper surface of the convex portion 140 shown in FIG. The same applies to FIGS. 6B and 6C described below.

図６Ｂは、ブロック６１の凸部１８０は前記断面がテーパ面１８０ａを有する台形状である場合の断面図である。この場合、凸部１８０が、ディザースプリング６３の溝１６０に嵌合される。テーパ面１８０ａ中の溝１６０の側面と接する面１８０ａ’が接合面となる。また、凸部１８０の突出頂面１８０ｂと溝１６０の底面１６０ａとの間には、応力緩和空間１８２が設けられることが望ましい。   FIG. 6B is a cross-sectional view when the convex portion 180 of the block 61 has a trapezoidal shape in which the cross section has a tapered surface 180a. In this case, the convex portion 180 is fitted into the groove 160 of the dither spring 63. A surface 180 a ′ in contact with the side surface of the groove 160 in the tapered surface 180 a becomes a bonding surface. Further, it is desirable that a stress relaxation space 182 is provided between the protruding top surface 180 b of the convex portion 180 and the bottom surface 160 a of the groove 160.

図６Ｃは、前記断面が逆台形状の溝１９０が、ディザースプリング６３に設けられ、これに対し、継手部材１３０Ｂの一部が嵌合されて凸部６６１が形成された場合の断面図である。また、ブロック６１の溝２００と凸部６６１との嵌合は図６Ａに示した場合と同様とされている。この実施例では、継手部材１３０Ｂの溝１９０に嵌合されている台形形状と、溝２００に嵌合されている台形形状とが、継手部材１３０Ｂの断面の中心線１３０Ｂｃに対し、対称とされている。継手部材１３０Ｂが対称とされることで、溝１９０と溝２００を同一形状にしておけば、継手部材１３０Ｂの一半部をどちらにしても、この実施例を実施することが出来るという効果を得ることができる。   FIG. 6C is a cross-sectional view in the case where the groove 190 having the inverted trapezoidal cross section is provided in the dither spring 63, and a protrusion 661 is formed by fitting a part of the joint member 130 </ b> B. . Further, the fitting between the groove 200 of the block 61 and the convex portion 661 is the same as that shown in FIG. 6A. In this embodiment, the trapezoidal shape fitted in the groove 190 of the joint member 130B and the trapezoidal shape fitted in the groove 200 are symmetrical with respect to the center line 130Bc of the cross section of the joint member 130B. Yes. By making the joint member 130B symmetrical, if the groove 190 and the groove 200 have the same shape, the effect that this embodiment can be carried out in any one half of the joint member 130B is obtained. Can do.

この場合は、継手部材１３０Ｂと、ディザースプリング６３の溝１９０およびブロック６１の溝２００と、が接する面１３０Ｂａが接合面となる。なお、この場合も、溝１９０の底面１９０ａと、これと対向する継手部材１３０Ｂの端面１３０Ｂｂとの間に応力緩和空間９２が設けられ、溝２００の底面２００ａと、これと対向する継手部材１３０Ｂの端面１３０Ｂｂ’との間に、応力緩和空間９４が設けられることが望ましい。   In this case, a surface 130Ba where the joint member 130B contacts the groove 190 of the dither spring 63 and the groove 200 of the block 61 is a bonding surface. In this case as well, the stress relaxation space 92 is provided between the bottom surface 190a of the groove 190 and the end surface 130Bb of the joint member 130B facing the groove 190, and the bottom surface 200a of the groove 200 and the joint member 130B facing the surface 200B. It is desirable to provide a stress relaxation space 94 between the end face 130Bb ′.

実施例１〜４では、ディザースプリング６３の凸部６６、または、ブロック６１の凸部８２が直六面体、つまりディザースプリング６３の軸線と直角な断面で見ると、矩形状である場合、あるいは、テーパ面を有する台形状である場合を説明した。しかし、一般的に、ガラス材であるブロックの製造工程において、正しく断面矩形状あるいは断面台形状の凸部や溝を形成するのは高度な技術と長い加工時間を要する。   In the first to fourth embodiments, when the convex portion 66 of the dither spring 63 or the convex portion 82 of the block 61 is a rectangular parallelepiped, that is, when viewed in a cross section perpendicular to the axis line of the dither spring 63, or in a tapered shape. The case where the shape is a trapezoid having a surface has been described. However, in general, in the manufacturing process of a block made of a glass material, it is necessary to use a high level of technology and a long processing time to correctly form convex portions and grooves having a rectangular cross section or a trapezoidal cross section.

凸部、溝加工の容易化を図るため、図７に示すように、凸部および溝のディザースプリング６３の軸線と直角な断面が半レーストラック形状あるいは半楕円状をなす形状とすることが出来る。   In order to facilitate the processing of the convex portions and grooves, as shown in FIG. 7, the cross section perpendicular to the axis of the dither spring 63 of the convex portions and grooves can be formed into a semi-race track shape or a semi-elliptical shape. .

図７Ａは、断面が半レーストラック形状の凸部２８０をディザースプリング６３が有し、断面が半レーストラック形状の溝２８５をブロック６１が有し、凸部２８０と溝２８５が嵌合する場合の断面図である。この場合、凸部２８０と溝２８５が接する面が接合面２８０ａとなる。また、凸部２８０の突出頂面２８０ｂと溝２８５の底面２８５ａの間に応力緩和空間２９０が設けられることが望ましい。   FIG. 7A shows the case where the dither spring 63 has a convex portion 280 having a semi-race track shape in cross section, the block 61 has a groove 285 having a semi-race track shape in cross section, and the convex portion 280 and the groove 285 are fitted. It is sectional drawing. In this case, the surface where the convex portion 280 contacts the groove 285 becomes the bonding surface 280a. In addition, it is desirable that a stress relaxation space 290 is provided between the protruding top surface 280 b of the convex portion 280 and the bottom surface 285 a of the groove 285.

図７Ｂは、断面が半レーストラック形状の凸部３００をブロック６１が有し、凸部３００と嵌合するような断面が半レーストラック形状の溝３０５をディザースプリング６３が有することを示す断面図である。この場合、凸部３００と溝３０５が接する面が接合面３００ａとなる。また、凸部３００の突出頂面３００ｂと溝３０５の底面３０５ａの間に応力緩和空間３１０が設けられることが望ましい。   FIG. 7B is a cross-sectional view showing that the block 61 has a convex portion 300 having a semi-race track shape in cross section and the dither spring 63 has a groove 305 having a semi-race track shape to be fitted to the convex portion 300. It is. In this case, the surface where the convex portion 300 and the groove 305 are in contact becomes the bonding surface 300a. Further, it is desirable that a stress relaxation space 310 is provided between the protruding top surface 300 b of the convex portion 300 and the bottom surface 305 a of the groove 305.

図７Ｃは、断面がレーストラック形状である継手部材１３０Ｃが用いられ、ディザースプリング６３に形成された溝３６０に継手部材１３０Ｃの一半部が嵌合されて、凸部６６２が形成され、この凸部６６２がブロック６１に形成された半レーストラック形状溝３７０に嵌合されている断面図である。この場合は、継手部材１３０Ｃと、溝３６０および溝３７０と、が接する面１３０Ｃａが接合面となる。また、溝３６０の底面３６０ａと、これと対向する継手部材１３０Ｃの端面１３０Ｃｂとの間に応力緩和空間３２４が設けられ、溝３７０の底面３７０ａと、これと対向する継手部材の端面１３０Ｃｂ’との間に、応力緩和空間３２２が設けられることが望ましい。   In FIG. 7C, a joint member 130 </ b> C having a racetrack shape in cross section is used, and a half portion of the joint member 130 </ b> C is fitted into a groove 360 formed in the dither spring 63 to form a convex portion 662. 662 is a cross-sectional view in which 662 is fitted in a semi-race track shaped groove 370 formed in the block 61. FIG. In this case, the surface 130Ca where the joint member 130C, the groove 360, and the groove 370 are in contact with each other serves as a joint surface. Further, a stress relaxation space 324 is provided between the bottom surface 360a of the groove 360 and the end surface 130Cb of the joint member 130C facing this, and the bottom surface 370a of the groove 370 and the end surface 130Cb ′ of the joint member facing this A stress relaxation space 322 is preferably provided therebetween.

図５、図６Ｃ、図７Ｃでは、継手部材１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃをディザースプリング６３側に設けられた溝（図５では溝１３５、図６Ｃでは溝１９０、溝３６０）に嵌合して凸部（図５では凸部６６、図６Ｃでは凸部６６１、図７Ｃでは凸部６６２）を設けて、この設けられた凸部をブロック６１側に設けられた溝（図５では溝１４５、図６Ｃでは溝２００、図７Ｃでは溝３７０）に嵌合させる手順を説明した。継手部材１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃの接合手順の変形例として、ブロック６１側に設けられた溝（図５では溝１４５、図６Ｃでは溝２００、図７Ｃでは溝３７０）に継手部材１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃのいずれかを嵌合させて、凸部を形成し、この形成された凸部をディザースプリング６３側の溝（図５では溝１３５、図６Ｃでは溝１９０、溝３６０）に嵌合させてもよい。   5, 6C, and 7C, fitting members 130A, 130B, and 130C are fitted into grooves provided on the dither spring 63 side (groove 135 in FIG. 5, groove 190, groove 360 in FIG. 6C) and protruded. (The convex portion 66 in FIG. 5, the convex portion 661 in FIG. 6C, and the convex portion 662 in FIG. 7C) are provided, and the provided convex portion is a groove provided on the block 61 side (in FIG. 5, the groove 145 and FIG. 6C). Then, the procedure for fitting into the groove 200 and the groove 370 in FIG. 7C has been described. As a modification of the joining procedure of the joint members 130A, 130B, and 130C, the joint members 130A, 130B, and 130C are provided in the grooves provided on the block 61 side (the groove 145 in FIG. 5, the groove 200 in FIG. 6C, and the groove 370 in FIG. 7C). A convex portion is formed by fitting any one of the above, and the formed convex portion may be fitted into a groove on the dither spring 63 side (groove 135 in FIG. 5, groove 190, groove 360 in FIG. 6C). Good.

また、ディザースプリング６３側の溝（図５では溝１３５、図６Ｃでは溝１９０、溝３６０）およびブロック６１側の溝（図５では溝１４５、図６Ｃでは溝２００、図７Ｃでは溝３７０）を両方設けて、対応する継手部材をディザースプリング６３側の溝とブロック６１側の溝に同時に嵌合させてもよい。   Also, the groove on the dither spring 63 side (groove 135 in FIG. 5, groove 190, groove 360 in FIG. 6C) and the groove on the block 61 side (groove 145 in FIG. 5, groove 200 in FIG. 6C, groove 370 in FIG. 7C). Both may be provided, and the corresponding joint members may be simultaneously fitted into the groove on the dither spring 63 side and the groove on the block 61 side.

この発明の実施例１のリングレーザージャイロの入力軸線と垂直に切った断面図（以下単に断面図という）。Sectional drawing cut | disconnected perpendicularly | vertically to the input axis line of the ring laser gyro of Example 1 of this invention (henceforth only sectional drawing). この発明の実施例１の凸部６６の近辺を拡大した断面図。Sectional drawing which expanded the vicinity of the convex part 66 of Example 1 of this invention. この発明の実施例２のディザースプリング６３の近辺の断面図。Sectional drawing of the vicinity of the dither spring 63 of Example 2 of this invention. この発明の実施例２の凸部８２の近辺を拡大した断面図。Sectional drawing which expanded the vicinity of the convex part 82 of Example 2 of this invention. この発明の実施例３の継手部材１３０Ａの一半部１３１Ａが溝１３５に嵌合され、凸部６６が形成され、凸部６６が溝１４５に嵌合されていることを示す断面図。Sectional drawing which shows that the half part 131A of the coupling member 130A of Example 3 of this invention is fitted by the groove | channel 135, the convex part 66 is formed, and the convex part 66 is fitted by the groove | channel 145. FIG. この発明の実施例４を示す断面図であり、図６Ａは凸部１４０の近辺を拡大した断面図、図６Ｂは凸部１８０の近辺を拡大した断面図、図６Ｃは継手部材１３０Ｂが溝１９０に嵌合され、形成された凸部６６１が溝２００に嵌合されていることを示す断面図である。FIG. 6A is a cross-sectional view in which the vicinity of the convex portion 140 is enlarged, FIG. 6B is a cross-sectional view in which the vicinity of the convex portion 180 is enlarged, and FIG. 6C is a cross-sectional view showing Embodiment 4 of the present invention. It is sectional drawing which shows that the convex part 661 fitted and formed by the groove | channel is fitted by the groove | channel 200. FIG. この発明の実施例５を示す断面図であり、図７Ａは凸部２８０の近辺を拡大した断面図、図７Ｂは凸部３００の近辺を拡大した断面図、図７Ｃは継手部材１３０Ｃが溝３６０に嵌合され、形成された凸部６６２が溝３７０に嵌合されていることを示す断面図である。7A is a cross-sectional view in which the vicinity of the convex portion 280 is enlarged, FIG. 7B is a cross-sectional view in which the vicinity of the convex portion 300 is enlarged, and FIG. It is sectional drawing which shows that the convex part 662 fitted and formed in the groove | channel 370 is fitted. 従来のリングレーザージャイロの断面図。Sectional drawing of the conventional ring laser gyro. 従来のリングレーザージャイロの突出部３２近辺を拡大した断面図。Sectional drawing which expanded the protrusion part 32 vicinity of the conventional ring laser gyro.

Claims (4)

多角形のブロックの各頂点に反射鏡を設けて閉塞光路を形成し、
前記光路に２本のレーザ光を時計方向と反時計方向に通過させる前記ブロックと、
リングレーザージャイロにディザー角振動を印加するために、前記ブロックの中央部の円形貫通穴に装着されて、円筒形の外周壁と、中心から前記外周壁に向かって、放射方向に伸長する複数の腕を有するディザースプリングと、を備えるリングレーザージャイロにおいて、
前記ディザースプリングの外周壁の外周面上には、前記ディザースプリングの軸線と平行な直線状の凸部、あるいは溝が前記複数の腕の隣接間にそれぞれ備えられ、
前記ブロックの円形貫通穴の内周面上には、前記凸部あるいは前記溝にそれぞれ嵌合された直線状溝あるいは凸部が備えられていることを特徴とするリングレーザージャイロ。 A reflecting mirror is provided at each vertex of the polygonal block to form a blocking optical path,
The block that allows two laser beams to pass through the optical path in a clockwise direction and a counterclockwise direction;
To apply a dither angular vibration to the ring laser gyro, the cylindrical laser is mounted in a circular through hole in the center of the block, and a plurality of cylindrical outer walls extend radially from the center toward the outer wall. In a ring laser gyro provided with a dither spring having arms,
On the outer peripheral surface of the outer peripheral wall of the dither spring, linear protrusions or grooves parallel to the axis of the dither spring are provided between the adjacent arms, respectively.
A ring laser gyro characterized in that linear grooves or protrusions fitted into the protrusions or grooves, respectively, are provided on the inner peripheral surface of the circular through hole of the block. 請求項１記載のリングレーザージャイロにおいて、
前記凸部の突出頂面と前記溝の底面との間に空間が形成されることを特徴とするリングレーザージャイロ。 The ring laser gyro according to claim 1, wherein
A ring laser gyro characterized in that a space is formed between the protruding top surface of the convex portion and the bottom surface of the groove. 請求項１または２に記載のリングレーザージャイロにおいて、
前記外周壁の外周面上あるいは前記貫通穴の内周面上に形成された溝に、継手部材の一半部が嵌合され、前記継手部材の突出した他半部が前記凸部を構成していることを特徴とするリングレーザージャイロ。 The ring laser gyro according to claim 1 or 2,
One half of the joint member is fitted into a groove formed on the outer peripheral surface of the outer peripheral wall or the inner peripheral surface of the through-hole, and the other half of the joint member protruding constitutes the convex portion. A ring laser gyro characterized by 請求項３記載のリングレーザージャイロにおいて、
前記溝の底面とこれと対向する前記継手部材の端面との間に空間が設けられていることを特徴とするリングレーザージャイロ。 In the ring laser gyro according to claim 3,
A ring laser gyro characterized in that a space is provided between a bottom surface of the groove and an end surface of the joint member facing the groove.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5342474B2 (en) 2010-02-25 2013-11-13 日本航空電子工業株式会社 precision equipment
CN107144275B (en) * 2017-07-17 2023-05-26 四川知微传感技术有限公司 Micro-mechanical inertial sensor temperature drift resistant structure
KR102124075B1 (en) * 2018-11-14 2020-06-17 주식회사 한화 Ring laser and gyroscope device including the same
CN109798887B (en) * 2019-02-26 2021-05-11 中北大学 Integrated optical waveguide gyroscope photoelectric integrated structure device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5861405A (en) * 1981-09-14 1983-04-12 ザ　シンガ−　コンパニ↓− Suspension of gyroscope
JPS5947814U (en) * 1982-09-22 1984-03-30 日本航空電子工業株式会社 laser gyroscope
JPS61263292A (en) * 1985-05-10 1986-11-21 ハネウエル・インコ−ポレ−テツド Dither suspension organization in laser angular velocity sensor
JPS6271815A (en) * 1985-08-06 1987-04-02 ジーイーシー・フェランティ・デフェンス・システムス・リミテッド Dither mechanism for ring laser-gyroscope
JPS62226011A (en) * 1986-03-18 1987-10-05 リツトン・システムズ・インコ−ポレ−テツド Dither deflection of ring laser gyro
JPH0387082A (en) * 1989-07-29 1991-04-11 British Aerospace Plc <Baf> Shake disposition
JP2002500368A (en) * 1997-12-04 2002-01-08 ハネウェル・インコーポレーテッド Dither motor structure for ring laser gyroscope

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0834326B2 (en) * 1987-08-27 1996-03-29 日本航空電子工業株式会社 Ring laser gyro dither mechanism

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5861405A (en) * 1981-09-14 1983-04-12 ザ　シンガ−　コンパニ↓− Suspension of gyroscope
JPS5947814U (en) * 1982-09-22 1984-03-30 日本航空電子工業株式会社 laser gyroscope
JPS61263292A (en) * 1985-05-10 1986-11-21 ハネウエル・インコ−ポレ−テツド Dither suspension organization in laser angular velocity sensor
JPS6271815A (en) * 1985-08-06 1987-04-02 ジーイーシー・フェランティ・デフェンス・システムス・リミテッド Dither mechanism for ring laser-gyroscope
JPS62226011A (en) * 1986-03-18 1987-10-05 リツトン・システムズ・インコ−ポレ−テツド Dither deflection of ring laser gyro
JPH0387082A (en) * 1989-07-29 1991-04-11 British Aerospace Plc <Baf> Shake disposition
JP2002500368A (en) * 1997-12-04 2002-01-08 ハネウェル・インコーポレーテッド Dither motor structure for ring laser gyroscope

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