JP4494027B2 - 極低温装置 - Google Patents
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Description
図13に従来の極低温装置の構成を示す。この図に示されるものは、医療用器具等として知られるMRI(磁気共鳴断層撮影装置)であり、中心軸が横向きのソレノイド型超電導マグネットを収納した極低温装置の縦断面を示している。
極低温冷凍機ユニット51は2段構成になっており、1段目冷却ステージ57が熱シールド56と、また2段目冷却ステージ58が再凝縮器59とそれぞれ熱的に接続されて必要な温度に冷却されている。冷凍機51が収納されている冷凍機スリーブ60と液体ヘリウム槽55は連通しており、液体ヘリウム槽55上部と冷凍機スリーブ60内には超電導マグネット53の運転温度における飽和蒸気圧力のヘリウムガスが充満している。
このため再凝縮器59はその表面温度が液体へリウム温度よりも低く保たれており,液体ヘリウム54のガス相部と接触することで、へリウムガスを再凝縮させて再び液体に戻すことができる。この仕組みにより図13の構成では、極低温冷凍機ユニット51が動作する限り液体ヘリウム54を補充する必要がなく、装置使用者が極低温冷媒の存在を意識せず極低温装置を使用できるようになっている。
従って、これを繰り返せば次第に液体ヘリウム54の量が減り、再び補充することから免れえず、装置の運転費用がかさむ事になる。したがって図13のような装置ではメンテナンス時間を極力短くし、液体ヘリウム槽55への総熱侵入量を減らす必要がある。
上記過程から分かるように、メンテナンス時間を短縮するためには、冷凍機ユニット51の抜き差しを迅速に行うのみならず、冷凍機ユニット51が再び定常状態になるまでの時間をも短くする必要があり、実質上数時間以下にはならないという問題があった。
すなわち図13に示したような装置構成において極低温冷凍機ユニット51の能力を充分に引き出すためには、1段目冷却ステージ57と前記熱シールド56、および2段目冷却ステージ58と再凝縮器59の間の熱的な接続を再現性良く、かつ良好に保つ必要がある。例えば1段目冷却ステージ57と熱シールド56の接続が良好でない場合、単位熱量が接続面を通過する際界面に生じる温度差(接触熱抵抗)が大きくなり、熱シールド56の温度が上昇して液体ヘリウム槽55への熱侵入が増えるからである。最悪の場合、液体ヘリウム槽55への熱侵入量が再凝縮器59の再液化能力を上まわり、極低温冷凍機ユニット51が稼動している間でも液体へリウム54の蒸発分を全量再液化できなくなることになる。つまり定期的に寒剤(液体ヘリウム)を補充する必要が生じ、極低温装置の使い勝手を著しく損なう結果を招く。
したがって2段目冷却ステージ58と再凝縮器59の間の温度差が大きくなった場合、再凝縮器59の温度が充分に下がらない結果、最悪の場合、フィンの表面温度が液体ヘリウム54の温度より高くなり、再凝縮機能を失って上述した寒剤補充の必要性を生じるのである。
即ち、極低温冷凍機ユニット51をスリーブ60から抜き取る場合、冷凍機スリーブ60の内部は外気温度よりも低い状態にあり、一般にその温度は熱シールド56で30〜60K、冷凍スリーブ60の底で3〜5K程度である。従って、外気が冷凍機スリーブ60内部に混合しないよう完璧な措置を取らない限り極低温冷凍機ユニット51が排除していた容積分の気体が真空容器52外部から侵入し、冷凍機スリーブ60内部に水蒸気、及び空気を結露、固着させる。その結果、1段目冷却ステージ57と熱シールド56の接触界面などにおける実接触面積が減少し、熱抵抗を増加させ、前述したものと同様の問題が生じかねない。
例えば、特開2000−49010号公報(特許文献1)に記載のものが公知である。
この従来の技術は、液体ヘリウム容器を密閉型として、寒剤の補充を不要としたものであった。また、極低温冷凍機ユニットの冷却ステージと液体ヘリウム容器(槽)の再凝縮部との間に所定の間隙を設け、該間隙にインジウムガスケットからなる熱ジョイントを介在して、冷凍機〜被冷却体間の熱抵抗を減らすというものであった。
即ち、極低温における2物体の接触面の接触熱抵抗は,接触面の面圧が高いほど小さくなるので、熱ジョイントにおける接触面の熱伝達を良好にするには、できるだけ接触面同士を高い圧力で押し当てることが望ましい。しかし、通常、極低温冷凍機ユニットの1段目及び2段目冷却ステージ間は、熱侵入を小さくするため、非常に肉厚の薄い材料で作られている事が多く、冷凍機ユニット本体に大きな力をかけると破損するおそれがあった。
また、メンテナンス等のために極低温冷凍機ユニットを取り外した場合、前記インジウムガスケットを用いたものでは、この部分から液体ヘリウム容器内へ熱が侵入するおそれがあり、再稼働のために長時間を要するおそれがあった。
さらに、極低温冷凍機ユニット脱着後にガスケットを交換する手間等が生じるため、メンテナンスの時間が多くなるという問題があった。
この特許文献2に記載の従来技術では、冷媒の蒸発再凝縮によって熱ジョイントを行うものであり、熱ジョイント媒体が固体でないため、冷凍機ユニットの脱着は非常に容易に行え、しかも冷却ステージには力がかからないため、取り付け位置誤差をさほど気にかける必要も無いなど利点は多い。
また、前記特許文献1又は2の何れの技術においても、冷凍機スリーブ内の汚染の問題については解決できていないものであった。
また、極低温冷凍機メンテナンス時には容易に冷凍機ユニットを脱着できる極低温装置を提供することにある。
さらに、極低温冷凍機ユニットを取り外したときにも、スリーブ内が外気などにより汚染されず、また、被冷却体に熱が侵入し難い極低温装置を提供することにある。
前記構成において、極低温冷凍機ユニットの稼働時は、熱ジョイントの物質は固体を呈する。非稼働時は、液体又は気体を呈するようにできる。
従って、本発明では、熱ジョイントが、極低温冷凍機ユニットの稼働時は熱スイッチをオンにした状態になり、被冷却体を効率よく冷却する。
本発明の極低温装置においては、被冷却体から極低温冷凍機ユニットを取付け又は取外すとき、熱ジョイントを液相又は気相状態とすることができ、その着脱が容易である。また、取り付けに際しては、間隙を介して取付けるので、取付位置調整が容易になり、また液相又は気相状態の熱ジョイントに対して取り付ければ、押付力が不要となるので、極低温冷凍機ユニットを損傷させるおそれはない。
前記被冷却体には前記熱ジョイントを収納するスリーブが設けられている。
前記熱ジョイントを加熱する加熱手段が設けられているのが好ましい。
この加熱手段により固体状の熱ジョイントを強制的に液体又は気体に相変化させることができるので、極低温冷凍機ユニットの取り外し時間が短縮される。
前記スリーブには、前記物質を貯留するバッファー容器を設け、該バッファー容器が連結管を介して前記熱ジョイントと接続されているのが好ましい。
前記被冷却体は、超電導マグネットと液体ヘリウムとを収納した液体ヘリウム容器を有し、該ヘリウム容器の上部に前記スリーブが設けられ、該スリーブ内を上下に密閉状に仕切る再凝縮器が設けられ、該再凝縮器の上面に前記熱ジョイントが形成されているものとすることができる。
前記液体ヘリウム容器の外周域は熱シールドにより覆われており、該熱シールドの外周域は真空容器で覆われており、該真空容器と前記ヘリウム容器間にわたって前記スリーブが設けられ、該スリーブ内に前記冷却ステージが挿脱自在に設けられている構成とすることができる。
前記被冷却体は、超伝導マグネット自体である構成とすることができる。
前記被冷却体の熱ジョイントに接する面は、銅などの熱伝導率の大きい材質で形成され、前記スリーブは、前記銅などよりも熱伝導率の小さいステンレスなどの材料で構成され、該スリーブには、上下方向の変形を吸収するための変形吸収部が設けられているのが好ましい。
また、極低温冷凍機メンテナンス時には容易に冷凍機ユニットを脱着できる。
さらに、極低温冷凍機ユニットを取り外したときにも、被冷却体に熱が侵入しにくいという効果を奏する。
図1に示すものは、極低温装置の一例であるMRIの模式断面である。この極低温装置は、極低温冷凍機ユニット1と被冷却体2とを備えている。極低温冷凍機ユニット1は冷却ステージ3を有する。この冷却ステージ3と被冷却体2との間に間隙が設けられ、該間隙に熱ジョイント4が介在されている。この熱ジョイント4は、前記被冷却体2の保冷温度よりも高い融点をもち、室温大気圧において液体または気体を呈する物質からなると共に、凝固状態において熱スイッチオン状態であるものとされている。
前記被冷却体2は、超電導マグネット7と液体ヘリウム8とを収納した液体ヘリウム容器9を有する。この液体ヘリウム容器9の外周域は熱シールド10により覆われている。この熱シールド10の外周域は真空容器11で覆われている。この真空容器11と前記ヘリウム容器9間にわたってスリーブ12が設けられている。
前記真空容器11は、内周壁13と外周壁14が所定間隔を有して同心円状に配置され、左右両側壁15,15により前記内外周壁間が閉じられた、リング状の内部空間を有する容器である。この真空容器11はその中心軸線が水平になるよう配置される。前記リング状内周壁13によって形成される中心部空間の左右両端は開口している。
前記真空容器11のリング状空間内は、所定の真空圧に維持され、熱シールド10内も同圧に維持される。
前記液体ヘリウム容器9に収納される液体ヘリウム8の液面と液体ヘリウム容器9内面間に空間が形成され、該空間に飽和蒸気圧のヘリウムガス16が充満している。
この再凝縮器17は、前記スリーブ12内面に密嵌する遮蔽板18と、遮蔽板18の下面に垂設されたフィン19とを有する。この再凝縮器17は、スリーブ12内面に固定されずに、液体ヘリウム容器9に固定されるものであっても良い。
この再凝縮器17は銅などの熱伝導率の大きな材質で構成されている。前記スリーブ12は、ステンレスなどの熱伝導の低い不良導体材料で構成され、その上端部は、真空容器11の部分で開口している。この開口部から極低温冷凍機ユニット1の冷却ステージ3が挿入される。スリーブ12上端の開口部は極低温冷凍機ユニット1の装着によって気密状に閉じられる。
前記熱ジョイント4は、前記被冷却体2の保冷温度よりも高い融点をもち、室温大気圧において液体または気体を呈する物質からなるものとされている。この物質の充填量は、固体状態で、2段目冷却ステージ6と再凝縮器17とを熱的にジョイントするに足りる量とされている。具体的には、前記熱ジョイント4の物質は、窒素、ネオン、パラ水素、及び水からなる群より選択される少なくとも一つを含むことが好ましい。更に前記物質はこれら単独若しくは混合物が主成分であることが好ましい。これら単独で且つ高純度品(例えば99.99%以上)を用いると熱伝導性が良く、さらに好適である。
固体窒素の熱伝導率は、一般に超電導マグネット7が運転される4.2K付近で最大値約20W/m/Kを取り、その値は半田などのような合金にも匹敵する。このため2段目冷却ステージ6と再凝縮器17の間の温度差を非常に小さくする事ができる。例えば2段目冷却ステージ6と再凝縮器17の間隙を1×10-4m、2段目冷却ステージ6の冷凍能力が1W、伝熱面積が0.005m2である場合、その温度差は僅か0.001Kとなる。すなわち、2段目冷却ステージ6を金属的に再凝縮器17に接続した場合と比べてもなんら遜色のない熱接触が得られる事になる。
極低温冷凍機ユニット1を装着するには、スリーブ12内へ液体窒素を導入し、再凝縮器17の上面に所定厚みの液層を形成する。そして、極低温冷凍機ユニット1をスリーブ12内に装着し、2段目冷却ステージ6の下端を液体窒素に沈める。そして、冷凍機ユニット1を起動すると、液体窒素は、2段目冷却ステージ6によって冷却されやがて固体になり、この固体窒素の熱ジョイント4を介して、2段目冷却ステージ6は再凝縮器17に熱的に結合される。
即ち、加熱手段20は、スリーブ12に接続されたガス導入管21を有する。この導入管21の一端は、熱ジョイント4近傍のスリーブ12内に開口し、他端は、真空容器11の外部に配管され、この外部端には、ガス導入バルブ22が設けられている。このバルブ22に窒素ガス供給装置(図示省略)を接続し、窒素ガスを供給することにより、熱ジョイント4を加熱し、固定窒素を溶解させる。
即ち、スリーブ12には、1段目冷却ステージ5を囲繞する上部スリーブ23と、2段目冷却ステージ6を囲繞する下部スリーブ24からなる。
上部スリーブ23は、熱の不良導体で円筒状に形成され、その上端部に径外方向に突出する上部フランジ25が形成されている。上部スリーブ23の上下方向中途部には、上下方向の変形を吸収するための変形吸収部26が設けられている。この変形吸収部26はベローズ(蛇腹)状に形成されている。上部スリーブ23の上端開口部には、上蓋27がOリング28を介して気密状に嵌合し、該上蓋27は、前記上部フランジ25に着脱自在に固定される。
上部スリーブ23の下端に下部フランジ31が接合されている。この下部フランジ31は熱の良導体で構成され、1段目冷却ステージ5と接触ししている。この下部フランジ31は銅の編み組線(Cu braid)32で熱シールド10と熱的にリンクされている。
下部スリーブ24の変形吸収部26よりも上部において、下部スリーブ24の内部は遮蔽板18により上下に気密状に区画されている。この遮蔽板18は熱の良伝導材で構成されている。この遮蔽板18下面にフィン19が設けられ、遮蔽板18及びフィン19により再凝縮器17が構成されている。
図3〜5に示すものは、前記図2に示す装置の動作説明図である。
予冷開始時、スリーブ12は図3の状態にある。スリーブ12上端部は開かれ、大気と連通している。ここでまず被冷却体2を寒剤で予冷する。本発明では被冷却体予冷に伴う寒剤の蒸発ガスはスリーブ12から大気放出されないため、液体ヘリウム容器9に液体ヘリウム8が溜まった段階でもスリーブ12内の再凝縮器17の温度は相当高い温度(例えば液体窒素温度以上)に保たれている。
次に極低温冷凍機ユニット1をスリーブ12に挿入する。冷凍機ユニット1の2段目冷却ステージ6が液体窒素33に浸るとともに予冷され、逆に2段目冷却ステージ6から熱を奪って蒸発した窒素は、スリーブ12上端開口部から大気中に放出される。液体窒素33の蒸発が激しい間は、スリーブ上蓋27を完全に上端フランジ25に密着させず、多少内部を大気と連通させた状態にするとよい。
2段目冷却ステージ6の予冷が完全に終わり、液体窒素33の蒸発速度が一定値に近づいた段階で、図5に示すように、ガス導入バルブ22より、ガス導入管21経由でスリーブ12の底に窒素ガスを送り込み、余分な液体窒素33を蒸発させ、2段目冷却ステージ6と再凝縮器17の間隙にのみ液体窒素33が存在する程度に液量を調整する。
2段目冷却ステージ6の温度が下がるにしたがい液体窒素温度も降下し、やがて固体に変化する。スリーブ12内のほとんどの部分はわずかに飽和蒸気圧力の気体が存在するのみとなる。
続いて極低温冷凍機ユニット1を交換する場合の手順を説明する。
まず冷凍機ユニット1の動作を停止し、ガス導入バルブ22よりガス導入管21を経由して窒素ガスを導入して下部スリーブ24を昇温する。スリーブ12に導入された窒素ガスは、最終的に上蓋27の逆止弁30より大気に放出されるが、その間に熱ジョイント4に形成された固体窒素を融解し、やがて蒸発させて、2段目冷却ステージ6を遮蔽板18から切り離す。再凝縮器17と液体ヘリウム容器9の間は熱不良導体である下部スリーブ24で隔離されているため、液体へリウム容器9への熱侵入量は低く抑えられており、メンテナンス作業中、液体ヘリウム全体が4.2Kになることはない。
次に予冷時と同様、スリーブ12内に液体窒素を導入する。この場合は、スリーブ12内が既に充分低い温度になっているため、さほど大量の液体窒素の蒸発は見られない。
前記実施の形態によれば、ガス導入管21により、冷凍機交換作業中にスリーブ12内に大気を巻き込む心配がなく、清浄に保つべき熱接触面の特性劣化を防ぐ事ができる。
更に4.2K付近でリン脱酸銅と同程度の熱伝達率を持つ固体窒素を熱ジョイント4の物質として採用したことにより、熱ジョイント4のサイズをCu Bradeなどに比べてよりコンパクトにでき、しかも熱ジョイント4における温度差をより小さくすることができる。しかも本発明の実施の形態の構成によれば、局所的な昇温が可能であるため、固体窒素を気化させるだけで2段目冷却ステージ6を脱着可能な状態にでき、冷凍機ユニット1の交換作業を速やかに行う事ができる。
超電導マグネットに代表される被冷却体2が真空容器11に収納されており、極低温冷凍機ユニット1の2段目冷却ステージ6により冷却されている。また真空容器11から被冷却体2への熱輻射を減らすため、熱シールド10が真空容器11と被冷却体2の間に設けられ、極低温冷凍機ユニット1の1段目冷却ステージ5で冷却されている。極低温冷凍機ユニット1はスリーブ12に収納されており、スリーブ12の下端部には底蓋34が設置されており、極低温冷凍機ユニット1の2段目冷却ステージ6と熱ジョイント4を介して熱的に接触している。
したがって本実施の形態によれば、冷凍機交換作業において被冷却体温度を80K付近にまで上昇させることができればよく、従来のように室温まで昇温するために多大な熱量を必要としないため、経済的にしかも迅速にメンテナンスを実施する事が可能となる。
図7に示すものは、本発明の他の実施の形態である。
前記バッファー容器35は、熱シールド10の内面に固定されており、連結管36を介してスリーブ12内部と連通しており、内部の物質を行き来させることができるように構成されている。
熱ジョイント4の物質の量は、それが固体状態となったとき、熱ジョイント4においてのみ固体相が形成され、バッファー容器35内部にはガス相が来るように調整されている。
この実施の形態によれば、極低温冷凍機ユニット1を取り外す際、加熱手段20を動作状態にして、熱ジョイント4の物質が気体に相変化する温度に保つ。この操作により、物質は膨張し、あふれ出した物質は、バッファー容器35に移行するが、バッファー容器35の内容積を熱ジョイント4に比べて100倍程度にしておくことにより、内部の圧力をさほど上昇させることはない。逆にバッファー容器35やスリーブ12の耐圧などから、このガス化後の内圧設定をすればよい。
次に極低温冷凍機ユニット1の2段目冷却ステージ温度が熱ジョイント物質の沸点以下、融点以上になった時点で、加熱手段20の設定温度を該温度に変更する。極低温冷凍機ユニット1が稼働状態であるので、熱ジョイント4の温度は速やかに低下し、主にバッファー容器35に蓄えられていた充填物質が熱ジョイント4の部分で液化してゆく。液化の際、発生する凝縮熱は、冷凍機ユニット1により奪われることになる。最終的に熱ジョイント4の物質の液が満ちた時点で、加熱手段20の動作を停止すれば、速やかに熱ジョイント4の物質の固体相が形成され、メンテナンス前の状態に復帰する。
図9に示すものは、本発明の他の実施の形態であり、前記バッファー容器35に貯留される物質が水素であり、該水素をオルソ−パラ水素変換させるための触媒を有する触媒槽37が、前記連結管36に介在されている。触媒槽37は、熱良導体37aにより2段目冷却ステージに熱的結合されている。バッファー容器35は、熱良導体35aにより1段目冷却ステージ5に熱的結合されている。バッファー容器35に供給管が35bが接続され、該供給管35bは、真空容器11の外方に延出している。前記触媒槽37の触媒により、パラ水素が熱ジョイント物質として用いられる。
図10に示すものは、本発明の他の実施の形態であり、1段目冷却ステージ5にも熱ジョイント38を設けたものである。即ち、1段目冷却ステージ5と熱シールド10間に間隙を設け、この間隙を埋めるように熱ジョイント38を形成している。
この1段目冷却ステージ5の熱ジョイント38の物質は、2段目冷却ステージ6の熱ジョイント4の物質と異なり、融点の更に高いものを用いている。例えば、熱シールド10の定常運転温度が、60Kである場合、2段目冷却ステージ6の熱ジョイント4の物質は、パラ水素を用い、1段目冷却ステージ5の熱ジョイント38の物質は水が用いられる。
図11に示すものは、本発明の他の実施の形態であり、被冷却体2が極低温寒剤中に浸漬されない冷凍機直接冷却型であり、熱ジョイント4が2段式とされている。即ち、スリーブ12の底蓋43を介してその両面に熱ジョイント4が設けられている。
図12に示すものは、本発明の他の実施の形態であり、液体ヘリウムを用いた極低温装置に適用されるものである。
前記再凝縮器17の上面と、2段目冷却ステージ6の下端との間に熱ジョイント4が形成されている。
再凝縮器17の温度が凝縮室44内のガス相の温度より低くなれば、再凝縮器17のフィン19表面でヘリウムが液化して、最下部に集められた後、凝縮液供給管45を介して液体ヘリウム容器9へ戻る。同時に、液体ヘリウム容器9内のガスが蒸発ガス供給管46を経由して凝縮室44に自動的に導入される。
なお、本発明は、前記各実施の形態に示したものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更できることはもちろんであり、例えば、NMR等に適用できる。
2 被冷却体
3 冷却ステージ
4 熱ジョイント
5 1段目冷却ステージ
6 2段目冷却ステージ
7 超電導マグネット
8 液体ヘリウム
9 液体ヘリウム容器
10 熱シールド
11 真空容器
12 スリーブ
17 再凝縮器
20 加熱手段
26 変形吸収部
35 バッファー容器
36 連結管
37 触媒槽
38 熱ジョイント
39 スリーブ
41 バッファー容器
Claims (8)
- 極低温冷凍機ユニットの冷却ステージと被冷却体との間に間隙が設けられ、該間隙に熱ジョイントが介在された極低温装置において、
前記熱ジョイントは、前記被冷却体の保冷温度よりも高い融点をもち、室温大気圧において液体または気体を呈する窒素、ネオン及びパラ水素からなる群より選択される少なくとも一つの物質であると共に、凝固状態において熱スイッチオン状態であり、
前記被冷却体には、前記熱ジョイントを収納すると共に、前記極低温冷凍機ユニットの冷却ステージを囲み、且つ内部に前記冷却ステージが挿脱自在に配備されるスリーブが設けられていて、
前記被冷却体は、超電導マグネットと液体ヘリウムとを収納した液体ヘリウム容器を有し、該ヘリウム容器の上部に前記スリーブが配備され、該スリーブ内を上下に密閉状に仕切る再凝縮器が設けられ、該再凝縮器の上面に前記熱ジョイントが形成されていることを特徴とする極低温装置。 - 極低温冷凍機ユニットの冷却ステージと被冷却体との間に間隙が設けられ、該間隙に熱ジョイントが介在された極低温装置において、
前記熱ジョイントは、前記被冷却体の保冷温度よりも高い融点をもち、室温大気圧において液体または気体を呈する窒素、ネオン及びパラ水素からなる群より選択される少なくとも一つの物質であると共に、凝固状態において熱スイッチオン状態であり、
前記被冷却体には、前記熱ジョイントを収納すると共に、前記極低温冷凍機ユニットの冷却ステージを囲み、且つ内部に前記冷却ステージが挿脱自在に配備されるスリーブが設けられていて、
前記被冷却体は超伝導マグネットであり、該超伝導マグネットの上部に前記スリーブが配備されていることを特徴とする極低温装置。 - 前記熱ジョイントを加熱する加熱手段が設けられたことを特徴とする請求項1又は2に記載の極低温装置。
- 前記スリーブには、前記物質を貯留するバッファー容器を設け、該バッファー容器が連結管を介して前記熱ジョイントと接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の極低温装置。
- 前記バッファー容器に貯留される物質が水素であり、該水素をオルソ−パラ水素変換させるための触媒を有する触媒槽が、前記連結管に介在されていることを特徴とする請求項4に記載の極低温装置。
- 前記液体ヘリウム容器の外周域は熱シールドにより覆われており、該熱シールドの外周域は真空容器で覆われており、該真空容器と前記ヘリウム容器間にわたって前記スリーブが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の極低温装置。
- 前記冷却ステージは、高温側の1段目冷却ステージと低温側の2段目冷却ステージとを有し、前記1段目冷却ステージは前記熱シールドを冷却し、前記2段目冷却ステージは前記液体ヘリウム容器内の液体ヘリウムのガス相部を冷却するように構成され、前記1段目および/または2段目冷却ステージに前記熱ジョイントが設けられていることを特徴とする請求項6に記載の極低温装置。
- 前記被冷却体の熱ジョイントに接する面は、銅などの熱伝導率の大きい材質で形成され、前記スリーブは、前記銅などよりも熱伝導率の小さいステンレスなどの材料で構成され、該スリーブには、上下方向の変形を吸収するための変形吸収部が設けられていることを特徴とする請求項1〜7の何れか一つに記載の極低温装置。
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