JP4489458B2 - Precision processing machine - Google Patents

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Description

本発明は、精密金型や光学部品などの加工を行う精密加工機に係り、特に、機械本体に発生する回転振動を抑制する技術に関する。   The present invention relates to a precision processing machine that processes precision molds, optical components, and the like, and more particularly to a technique for suppressing rotational vibration generated in a machine body.

半導体製造装置や精密加工機をはじめとして高精度の処理・加工を行う装置では、振動の影響が精度に大きな影響を及ぼすので、外部振動の伝わりを遮断したり、機械本体に発生する振動を除去するための除振装置が必要不可欠とされている。   In devices that perform high-precision processing and processing, such as semiconductor manufacturing equipment and precision processing machines, the influence of vibrations has a large effect on accuracy, so the transmission of external vibrations can be cut off and vibrations generated in the machine body can be removed. A vibration isolator is necessary for this purpose.

この種の除振装置には、ばねやゴムなどの弾性体を利用して振動を減衰させる受動型の除振装置や、空気ばねと電磁アクチュエータを組み合わせ、電磁アクチュエータの制御により振動を積極的に除去する能動型の除振装置が利用されている。   This type of vibration isolation device is a passive vibration isolation device that uses an elastic body such as a spring or rubber to dampen vibrations, and a combination of an air spring and an electromagnetic actuator. An active vibration isolator for removal is used.

能動型の除振装置の例として、半導体露光装置では、機械本体上に搭載されたＸＹステージの移動により発生するピッチング、ローリング、ローリングなどの回転振動を抑制するため、回転慣性要素を駆動する回転アクチュエータと、回転慣性要素の駆動反力によって除振台にトルクを加える回転質量ユニットを組み合わせ、検出した回転振動に基づいて適切な補償演算を行いながら回転質量ユニットを駆動を制御することにより回転振動を低減する能動型除振装置がある（特許文献１参照）。   As an example of an active vibration isolator, in a semiconductor exposure apparatus, rotation that drives a rotary inertia element to suppress rotational vibrations such as pitching, rolling, and rolling caused by movement of an XY stage mounted on the machine body A combination of an actuator and a rotating mass unit that applies torque to the anti-vibration table by the driving reaction force of the rotating inertial element, and the rotational vibration by controlling the driving of the rotating mass unit while performing appropriate compensation calculation based on the detected rotating vibration There is an active vibration isolator that reduces noise (see Patent Document 1).

また、レンズ用金型やレンズなどの超精密加工を行う精密加工機では、外部振動の影響を少なくするために、ベースと機械本体間での振動の伝わりを遮断する除振装置を設けるものが提案されている（特許文献２参照）
特開２００１−３０４３３２号公報 特開平１１−７０４２８号公報 In addition, some precision processing machines that perform ultra-precise processing such as lens molds and lenses are equipped with vibration isolation devices that block the transmission of vibration between the base and the machine body in order to reduce the effects of external vibration. Proposed (see Patent Document 2)
JP 2001-304332 A JP-A-11-70428

図５は、従来の精密加工機において回転振動が発生する状況を模式的に示す図である。参照番号１０はベッドで、このベッド１０は、除振装置１２により支持されている。ベッド１０の上には、前後方向（Ｘ軸）に移動する第１テーブル１４と左右方向（Ｚ軸）に移動する第２テーブル１５が設置されている。第１テーブル１４には研削主軸１６が設けられ、第２テーブル１５にはワーク主軸１７が設けられている。   FIG. 5 is a diagram schematically showing a situation in which rotational vibration occurs in a conventional precision processing machine. Reference numeral 10 is a bed, and the bed 10 is supported by a vibration isolation device 12. A first table 14 that moves in the front-rear direction (X-axis) and a second table 15 that moves in the left-right direction (Z-axis) are installed on the bed 10. The first table 14 is provided with a grinding spindle 16, and the second table 15 is provided with a workpiece spindle 17.

加工中に、第１テーブル１４のＸ軸移動、第２テーブル１５のＺ軸移動が連続的に行われるということは、ベッド１０上で重量物が水平方向に移動することである。そして、重心をＧとすると、除振装置１２で支持された精密加工機の場合、ベッド１０の支持点Ａとベッド１０の重心Ｇの間が高さ方向に距離ｈだけ差が生じている。このため、ベッド１０の上で第１テーブル１４、第２テーブル１５の移動があると、重心Ｇを中心とするモーメントがベッド１０に作用し、これが回転振動の要因となる。このような回転振動は、一般の工作機械の場合は問題となることは少ないが、レンズを研削するなどの超精密非球面加工では、回転振動に起因する機械本体のごく僅かなねじれさえも、加工精度を低下させる原因となる。   The fact that the X-axis movement of the first table 14 and the Z-axis movement of the second table 15 are continuously performed during processing means that a heavy object moves on the bed 10 in the horizontal direction. When the center of gravity is G, in the case of a precision processing machine supported by the vibration isolation device 12, a difference between the support point A of the bed 10 and the center of gravity G of the bed 10 is a distance h in the height direction. For this reason, when the first table 14 and the second table 15 are moved on the bed 10, a moment centering on the center of gravity G acts on the bed 10, and this causes a rotational vibration. Such rotational vibration is less likely to be a problem for general machine tools, but in ultra-precise aspheric processing such as grinding a lens, even a very slight twist of the machine body caused by rotational vibration, This causes a reduction in machining accuracy.

また、精密加工機の場合、除振装置１２により支持する構造がかえって、回転振動の発生を助長する結果となる。これに対して、半導体製造装置に適用されるような能動除振装置による対策が考えられるが、重量のある精密加工機では、制御の応答性や複雑化の点で現実的ではない。   Further, in the case of a precision processing machine, the structure supported by the vibration isolation device 12 is changed to promote the generation of rotational vibration. On the other hand, a countermeasure using an active vibration isolator as applied to a semiconductor manufacturing apparatus can be considered, but a heavy precision processing machine is not realistic in terms of control responsiveness and complexity.

そこで、本発明の目的は、前記従来技術の有する問題点を解消し、ベッドそれ自体に回転振動抑制機能をもたせることにより、超精密の加工精度を維持できるようにした精密加工機を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a precision processing machine that can maintain the ultra-precision processing accuracy by solving the problems of the prior art and providing the bed itself with a rotational vibration suppressing function. It is in.

前記の目的を達成するために、本発明は、平面上で直交する２方向にそれぞれ移動する移動体がベッド上に載置され、前記移動体の移動によって生じるモーメントによって前記ベッドの重心を振動中心とする回転振動が発生する精密加工機において、前記ベッドは、前記移動体と前記移動体の送り機構および加工部が設置されたベッド本体と、前記ベッド本体の下面中央部から下方に突き出た出張り部と、を有する異形型のベッドからなり、前記ベッド本体の両側を支持する支持機構の支持点の間に前記出張り部を配置することにより、前記支持点と前記回転振動の回転中心である前記重心との高さの差を小さくしたことを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a moving body that moves in two directions orthogonal to each other on a plane is placed on a bed, and the center of gravity of the bed is centered on a vibration by a moment generated by the movement of the moving body. in precision processing machine rotational vibration is generated to the previous SL bed, a feed mechanism and the bed body working portion is installed in the moving body and the moving body, projecting downward from the lower surface center portion of said bed body And a center of rotation of the rotational vibration by disposing the projecting portion between support points of a support mechanism that supports both sides of the bed main body. The difference in height from the center of gravity is reduced.

本発明では、前記支持機構は、除振装置からなることが好ましい。   In this invention, it is preferable that the said support mechanism consists of a vibration isolator.

また、本発明では、前記ベッド上を移動する移動体の送り機構は、ボールネジ機構の代わりに、リニアモータ駆動の送り機構にすることもできる。
さらに、本発明では、前記ベッドにワークの加工点と回転振動の回転中心の距離を可及的に小さくする凹部を設けるようにしてもよい。 In the present invention, the feed mechanism of the moving body that moves on the bed may be a linear motor drive feed mechanism instead of the ball screw mechanism.
Furthermore, in the present invention, the bed may be provided with a recess that makes the distance between the workpiece processing point and the rotational center of the rotational vibration as small as possible.

本発明によれば、支持点Ａの間で出張り部を有するＴ字形一体構造のベッドとすることにより、重心の位置が下がるので、支持点と回転振動の回転中心となる重心Ｇとの高さの差を可能なかぎり小さくすることができ、回転振動の原因となる水平方向のモーメントが働きにくい構造になる。   According to the present invention, since the position of the center of gravity is lowered by making the bed of a T-shaped integral structure having a protruding portion between the support points A, the height between the support point and the center of gravity G serving as the rotation center of the rotational vibration is increased. The difference in height can be made as small as possible, and a structure in which a horizontal moment that causes rotational vibration is difficult to work.

以下、本発明による精密加工機の一実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態による精密加工機の側面を示す図である。この精密加工機は、レンズ部品などを研削、旋削する超精密加工を行うための加工機である。 Hereinafter, an embodiment of a precision machine according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
First embodiment
FIG. 1 is a view showing a side surface of a precision processing machine according to a first embodiment of the present invention. This precision processing machine is a processing machine for performing ultra-precise processing for grinding and turning lens parts and the like.

図１において、参照番号２０は、精密加工機の基台であるベッドを示す。このベッド２０の上面には、水平案内面として直交する２方向に超精密高剛性のころがり案内が設けられており、第１テーブル２１、第２テーブル２２がそれぞれころがり案内に沿って移動可能に設置されている。第１テーブル２１に搭載されているのがコラム２３で、このコラム２３の側面には垂直案内面が設けられている。研削主軸２４は、空気静圧スピンドルからなり、垂直案内面に沿って昇降可能に設置されている。第２テーブル２２には、同じく空気静圧スピンドルからなるワーク主軸２５が搭載されており、このワーク主軸２５はモータ２６により駆動される。   In FIG. 1, reference numeral 20 indicates a bed which is a base of a precision processing machine. On the upper surface of the bed 20, there are provided high-precision and high-rigidity rolling guides in two orthogonal directions as horizontal guide surfaces, and the first table 21 and the second table 22 are installed so as to be movable along the rolling guides. Has been. A column 23 is mounted on the first table 21, and a vertical guide surface is provided on a side surface of the column 23. The grinding spindle 24 is composed of an aerostatic spindle, and is installed so as to be movable up and down along the vertical guide surface. The second table 22 is mounted with a work spindle 25 which is also composed of an aerostatic spindle. The work spindle 25 is driven by a motor 26.

この１実施形態の精密加工機では、送り機構としてボールネジ送り機構が用いられており、研削主軸２４を前後に送るために第１テーブル２１を移動させる軸がＸ軸、研削主軸２４を上下に送る軸がＹ軸、ワーク主軸２５を左右に送るために第２テーブル２２を移動する軸がＺ軸である。ワーク主軸２５の回転軸がＣ軸である。参照番号２７は研削主軸２４の送り機構を駆動するＸ軸サーボモータ、２９は第２テーブル２２のＺ軸サーボモータである。 In the precision processing machine of this embodiment, a ball screw feed mechanism is used as the feed mechanism, and the axis for moving the first table 21 to feed the grinding spindle 24 back and forth feeds the X axis and the grinding spindle 24 up and down. The axis that moves the second table 22 in order to feed the Y axis and the work spindle 25 to the left and right is the Z axis. The rotation axis of the work spindle 25 is the C axis. X-axis servomotor reference numbers 27 to drive the feed mechanism of the grinding spindle 24, 29 is a second table 2 2 Z-axis servomotor.

次に、ベッド２０は、従来一般に使われている直方体のベッドとは異なり、この第１実施形態では、次のような異形型のベッドとして構成されている。   Next, the bed 20 is configured as the following irregularly shaped bed in the first embodiment, unlike the rectangular parallelepiped bed generally used.

ベッド２０は、直方体であるベッド本体３０と、このベッド本体３０の下面中央部から下方に突き出た出張り部３１との二つの部分からなるＴ字形一体構造のベッドである。ベッド２０では、出張り部３１の左右両側に張り出したところが支持部３１ａ、３１ｂになっていて、この支持部３１ａ、３１ｂは、床に設置されている支持機構としての除振装置３２により支持されている。ベッド２０が除振装置３２によって支持された状態では、出張り部３１の下面は床面から離れている。除振装置３２としては、例えば、空気ばねを利用した受動型除振装置が用いられている。この他、除振装置３２には、空気ばねと電磁アクチュエータを併用した能動型除振装置を用いることもできる。   The bed 20 is a T-shaped integrated bed composed of two parts, a bed main body 30 that is a rectangular parallelepiped and a projecting portion 31 that protrudes downward from the center of the lower surface of the bed main body 30. In the bed 20, the portions protruding from the left and right sides of the protruding portion 31 are support portions 31 a and 31 b, and the support portions 31 a and 31 b are supported by a vibration isolation device 32 as a support mechanism installed on the floor. ing. In the state where the bed 20 is supported by the vibration isolation device 32, the lower surface of the protruding portion 31 is separated from the floor surface. As the vibration isolator 32, for example, a passive vibration isolator using an air spring is used. In addition, the vibration isolator 32 can be an active vibration isolator using both an air spring and an electromagnetic actuator.

本実施形態による精密加工機は、以上のように構成されるものであり、次に、その作用並びに効果について説明する。   The precision processing machine according to the present embodiment is configured as described above. Next, the operation and effect thereof will be described.

精密加工機でワークを加工する間は、研削主軸２４のＸ軸移動、ワーク主軸２５のＺ軸移動や、研削主軸２４のＹ軸移動が連続して行われる。このようなベッド２０上における重量物の移動は、ベッド２０にモーメントを作用させ、振動発生の原因となる。   While the workpiece is processed by the precision processing machine, the X-axis movement of the grinding spindle 24, the Z-axis movement of the workpiece spindle 25, and the Y-axis movement of the grinding spindle 24 are continuously performed. Such movement of heavy objects on the bed 20 causes a moment to act on the bed 20 and causes vibration.

図２は、本実施形態による精密加工機を模式的に示した図である。ベッド２０の重心をＧで示し、除振装置３２で支持されているベッド２０の支持点をＡで示す。
ベッド２０の上で研削主軸２４のＸ軸移動、ワーク主軸２５のＺ軸移動のために、第１テーブル２１、第２テーブル２２が移動すると、ベッド２０には重心Ｇを中心とする水平軸回りのモーメントが作用する。そのモーメントの大きさは研削主軸２４およびワーク主軸２５の位置に応じて変動する。 FIG. 2 is a diagram schematically showing the precision processing machine according to the present embodiment. The center of gravity of the bed 20 is indicated by G, and the support point of the bed 20 supported by the vibration isolation device 32 is indicated by A.
When the first table 21 and the second table 22 are moved on the bed 20 to move the X axis of the grinding spindle 24 and the Z axis of the workpiece spindle 25, the bed 20 has a horizontal axis around the center of gravity G. The moment of acting. The magnitude of the moment varies depending on the positions of the grinding spindle 24 and the workpiece spindle 25.

水平軸回りのモーメントは、重心Ｇを振動中心とする回転振動の原因になり、ベッド２０の重心Ｇと支持点Ａの間の距離ｈが離れるほど、水平軸回りのモーメントは大きくなる（図５参照）。ベッド２０に作用する水平軸回りのモーメントは、ベッド２０を鉛直方向に振動させる要因にもなるが、鉛直方向の振動は除振装置３２によって抑制される。しかも、本実施形態のように、ベッド本体３０の下面中央部から下方に突き出た出張り部３１を支持点Ａの間で有するＴ字形一体構造のベッド２０の場合、重心Ｇの位置が下がるので、支持点Ａと回転振動の回転中心となる重心Ｇとの高さの差を可能なかぎり小さくすることができる。したがって、回転振動の原因となる水平軸回りのモーメントが働きにくい固有の構造をもったベッド２０となるので、ベッド２０それ自体に回転振動抑制機能を付加することができる。   The moment about the horizontal axis causes rotational vibration with the center of gravity G as the center of vibration, and as the distance h between the center of gravity G of the bed 20 and the support point A increases, the moment about the horizontal axis increases (FIG. 5). reference). Although the moment about the horizontal axis acting on the bed 20 also causes the bed 20 to vibrate in the vertical direction, the vibration in the vertical direction is suppressed by the vibration isolation device 32. Moreover, in the case of the bed 20 having a T-shaped integral structure having the protruding portion 31 protruding downward from the center of the lower surface of the bed main body 30 between the support points A as in the present embodiment, the position of the center of gravity G is lowered. The difference in height between the support point A and the center of gravity G that is the center of rotation of the rotational vibration can be made as small as possible. Therefore, since the bed 20 has a unique structure in which a moment around the horizontal axis that causes rotational vibration is difficult to work, a rotational vibration suppressing function can be added to the bed 20 itself.

１ｎｍのオーダーでの加工精度が要求され、回転振動により引き起こされる機械本体のわずかなねじれが加工精度に影響する本実施形態のような精密加工機では、上記のように除振装置３２では抑制し難い回転振動を発生し難くい構造とすることで、加工精度低下防止上の効果は大きいものがある。   In a precision processing machine such as this embodiment, which requires a processing accuracy of the order of 1 nm and a slight torsion of the machine body caused by rotational vibration affects the processing accuracy, the vibration isolator 32 suppresses the processing accuracy as described above. By adopting a structure that is difficult to generate difficult rotational vibration, there is a great effect in preventing a reduction in processing accuracy.

また、支持点Ａと回転振動の回転中心となる重心Ｇとの高さの差を可能なかぎり小さくすることは、従来からある懸垂形の除振装置を用いることで可能であるが、機械の設置面積が増大してしまう欠点がある。この点、本実施形態ではベッド２０のＴ字形異形構造で実現しているので、省スペース化が可能となる。   In addition, it is possible to reduce the difference in height between the support point A and the center of gravity G, which is the center of rotation of rotational vibration, as much as possible by using a conventional suspension type vibration isolator. There is a drawback that the installation area increases. In this regard, in the present embodiment, since the bed 20 is realized with the T-shaped deformed structure, the space can be saved.

第２実施形態
次に、本発明の第２の実施形態に係る精密加工機について図３を参照しながら説明する。 Second embodiment
Next, a precision machine according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本発明の第２実施形態による精密加工機では、ベッド２０上を移動する第１テーブル２１、第２テーブル２２の送り機構は、リニアモータ機構の送り機構から構成されている。ベッド２０の構造は、図１の第１実施形態と同様であるので、同一の構成要素には同一の参照番号を付して説明は省略する。   In the precision processing machine according to the second embodiment of the present invention, the feed mechanism of the first table 21 and the second table 22 moving on the bed 20 is constituted by a feed mechanism of a linear motor mechanism. Since the structure of the bed 20 is the same as that of the first embodiment of FIG. 1, the same reference numerals are assigned to the same components, and descriptions thereof are omitted.

図３において、参照番号４０は第１テーブル２１を送るＸ軸リニアモータ機構を示す。このＸ軸リニアモータ機構４０は、ベッド２０の上面右側にＸ軸方向に延びるコイル列４１と、このコイル列４１と対向するように第１テーブル２１の底面中央に取り付けられた永久磁石４２とから構成されている。第２テーブル２２を送るＹ軸リニアモータ機構も同様に構成されている（図示省略）。 In FIG. 3, reference numeral 40 indicates an X-axis linear motor mechanism that sends the first table 21. The X-axis linear motor mechanism 40 includes a coil array 41 extending in the X-axis direction on the right side of the upper surface of the bed 20 , and a permanent magnet 42 attached to the center of the bottom surface of the first table 21 so as to face the coil array 41. It is composed of The Y-axis linear motor mechanism that sends the second table 22 is configured in the same manner (not shown).

リニアモータを精密加工機の送り機構に採用した場合、機械本体の回転振動が位置制御の精度向上を実現する上で甚だしい障害になっていることはよく知られている。そこで、本実施形態のように、回転振動を発生し難くい構造としたベッドとすることにより、リニアモータ駆動によるテーブルの位置決め精度の向上を容易に実現可能になる。
第３実施形態
次に、図４は本発明の第３の実施形態に係る精密加工機を示す。
この第３実施形態は、第１実施形態と同様にベッド本体３０の下面中央部から下方に突き出た出張り部３１を設け、ベッド２０の支持点Ａと回転振動の回転中心となる重心Ｇとの高さの差を可能なかぎり小さくすることに加えて、ベッド本体３０の上部に凹部４６を形成し、この凹部の底面に、研削主軸２４を搭載した第１テーブル２１とワーク主軸２５を搭載した第２テーブル２２を配置している。 It is well known that when a linear motor is adopted as a feed mechanism of a precision processing machine, rotational vibration of the machine main body is a serious obstacle to achieving improved position control accuracy. Therefore, by using a bed having a structure that hardly generates rotational vibration as in the present embodiment, it is possible to easily improve the positioning accuracy of the table by driving the linear motor.
Third embodiment
Next, FIG. 4 shows a precision processing machine according to the third embodiment of the present invention.
As in the first embodiment, the third embodiment is provided with a protruding portion 31 protruding downward from the center of the lower surface of the bed body 30, and a support point A of the bed 20 and a center of gravity G serving as a rotation center of rotational vibration. In addition to making the difference in height as small as possible, a recess 46 is formed in the upper part of the bed main body 30, and the first table 21 on which the grinding spindle 24 is mounted and the workpiece spindle 25 are mounted on the bottom surface of the recess. The second table 22 is arranged.

この第３実施形態によれば、ワークの加工点Ｂと回転振動の回転中心である重心Ｇの間の距離も可及的に小さくすることができるので、回転振動を抑制すると同時に、加工点Ｂにおける回転振動の影響を最小限にすることが可能となる。   According to the third embodiment, the distance between the machining point B of the workpiece and the center of gravity G, which is the rotation center of the rotation vibration, can be made as small as possible. It is possible to minimize the influence of rotational vibration in

本発明の第１実施形態による精密加工機を示す側面図。The side view which shows the precision processing machine by 1st Embodiment of this invention. 同精密加工機の重心位置を示す模式図。The schematic diagram which shows the gravity center position of the precision processing machine. 本発明の第２実施形態による精密加工機を示す側面図。The side view which shows the precision processing machine by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態による精密加工機を示す模式図。The schematic diagram which shows the precision processing machine by 3rd Embodiment of this invention. 従来の精密加工機と除振装置および重心の位置関係を示す模式図。The schematic diagram which shows the positional relationship of the conventional precision processing machine, a vibration isolator, and a gravity center.

符号の説明Explanation of symbols

２０ ベッド
２１ 第１テーブル（移動体）
２２ 第２テーブル（移動体）
２３ コラム
２４ 研削主軸
２５ ワーク主軸
３０ ベッド本体
３１ 出張り部
３１ａ、３１ｂ 支持部
３２ 除振装置（支持機構）
４０ Ｘ軸リニアモータ機構
４６ 凹部
Ａ 支持点
Ｂ 加工点
Ｇ 重心 20 Bed 21 First table (moving body)
22 Second table (moving body)
23 Column 24 Grinding spindle 25 Work spindle 30 Bed body 31 Protruding parts 31a, 31b Supporting part 32 Vibration isolator (supporting mechanism)
40 X-axis linear motor mechanism 46 Recess A Support point B Processing point G Center of gravity

Claims (4)

平面上で直交する２方向にそれぞれ移動する移動体がベッド上に載置され、前記移動体の移動によって生じるモーメントによって前記ベッドの重心を振動中心とする回転振動が発生する精密加工機において、
前記ベッドは、前記移動体と前記移動体の送り機構および加工部が設置されたベッド本体と、前記ベッド本体の下面中央部から下方に突き出た出張り部と、を有する異形型のベッドからなり、前記ベッド本体の両側を支持する支持機構の支持点の間に前記出張り部を配置することにより、前記支持点と前記回転振動の回転中心である前記重心との高さの差を小さくしたことを特徴とする精密加工機。 In a precision processing machine in which a moving body that moves in two directions orthogonal to each other on a plane is placed on a bed, and a rotational vibration with the center of gravity of the bed as a vibration center is generated by a moment generated by the movement of the moving body .
Before Symbol bed, a bed body feeding mechanism and the processing section of the mobile body and the mobile body is placed, and a lug portion that projects downward from the lower surface center portion of the bed body, the profiled type bed with Thus, by arranging the projecting portion between the support points of the support mechanism that supports both sides of the bed body, the difference in height between the support point and the center of gravity that is the rotation center of the rotational vibration is reduced. A precision processing machine characterized by 前記支持機構は、除振装置からなることを特徴とする請求項１に記載の精密加工機。   The precision processing machine according to claim 1, wherein the support mechanism includes a vibration isolation device. 前記ベッド本体上を移動する移動体の送り機構は、リニアモータ駆動の送り機構からなることを特徴とする請求項１に記載の精密加工機。 The precision processing machine according to claim 1, wherein the feed mechanism of the moving body that moves on the bed main body is a feed mechanism driven by a linear motor. 前記ベッド本体は、ワークの加工点と回転振動の回転中心の距離を可及的に小さくする凹部を有することを特徴とする請求項１に記載の精密加工機。 The precision processing machine according to claim 1, wherein the bed main body has a concave portion that makes the distance between the processing point of the workpiece and the rotation center of the rotational vibration as small as possible.
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