JP4489040B2 - ビーム照射装置 - Google Patents
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Description
30 レーザ駆動回路
100 走査用レーザ
300 アクチュエータ
301 走査レンズ
400 ダイクロイックミラー
401 偏光ミラー
500 サーボ用レーザ
700 PSD
Claims (3)
- 第1の波長を有する第1のレーザ光を出射する第1の光源と、
前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する第2のレーザ光を出射する第2の光源と、
前記第1のレーザ光の光軸と前記第2のレーザ光の光軸とを整合させる手段と、
前記整合手段によって光軸が整合された前記第1および第2のレーザ光が入射され、第2のレーザ光に収束作用を与えるレンズと、
前記レンズを前記第1および第2のレーザ光の光軸に垂直な方向に駆動するアクチュエータと、
前記第1および第2のレーザ光の波長の相違に基づいて、前記レンズを透過した第1のレーザ光を透過させると共に、前記レンズを透過した第2のレーザ光を反射する光学素子と、
前記光学素子で反射された前記第2のレーザ光を受光し、受光面上に収束された第2のレーザ光の受光位置に応じた検出信号を出力する光検出器と、
を有することを特徴とするビーム照射装置。 - 第1のレーザ光を出射する第1の光源と、
第2のレーザ光を出射する第2の光源と、
前記第1のレーザ光の光軸と前記第2のレーザ光の光軸とを整合させる手段と、
前記整合手段によって光軸が整合された前記第1および第2のレーザ光が入射され、第2の波長のレーザ光に収束作用を与えるレンズと、
前記レンズを前記第1および第2のレーザ光の光軸に垂直な方向に駆動するアクチュエータと、
前記第1のレーザ光および第2のレーザ光の偏光面が互いに相違するようにして入射され、第1のレーザ光および第2のレーザ光の偏光面の相違に基づいて、前記レンズを透過した第1のレーザ光を透過させると共に、前記レンズを透過した第2のレーザ光を反射する光学素子と、
前記光学素子で反射された前記第2のレーザ光を受光し、受光面上に収束された第2のレーザ光の受光位置に応じた検出信号を出力する光検出器と、
を有することを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1または2のビーム照射装置において、
照射目標位置に応じたタイミングにて前記第1のレーザ光をパルス状に発光するよう前記第1の光源を制御するとともに、一定の出力レベルにて第2のレーザ光を常時発光するよう前記第2の光源を制御するレーザ制御回路をさらに有する、
ことを特徴とするビーム照射装置。
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JP7363369B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2023-10-18 | 株式会社リコー | 測定装置、吸光度測定装置、生体情報測定装置、及び測定方法 |
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