JP4484835B2 - ビーム照射装置 - Google Patents
ビーム照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4484835B2 JP4484835B2 JP2006070162A JP2006070162A JP4484835B2 JP 4484835 B2 JP4484835 B2 JP 4484835B2 JP 2006070162 A JP2006070162 A JP 2006070162A JP 2006070162 A JP2006070162 A JP 2006070162A JP 4484835 B2 JP4484835 B2 JP 4484835B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- magnitude
- drive
- drive signal
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/22—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means
- G01J1/24—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means using electric radiation detectors
- G01J1/26—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means using electric radiation detectors adapted for automatic variation of the measured or reference value
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/42—Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/93—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
- G01S17/931—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
Izm=(Ia+Ib)/2 ・・・(1)
Iym=(Ic+Id)/2 ・・・(2)
Δzd=2Dz/(Ia−Ib) ・・・(3)
Δyd=2Dy/(Ic−Id) ・・・(4)
10a パラメータ演算ルーチン
10b テーブル更新ルーチン
40 アクチュエータ駆動部
50 ビーム照射ヘッド
51 半導体レーザ
53 レンズアクチュエータ
57 PD
60 PD信号処理部
80 リミット検出部
90 比較部
503 PSD
Claims (8)
- 目標領域にビームを照射するビーム照射装置において、
レーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光を前記目標領域内にて走査させるアクチュエータと、
前記アクチュエータに駆動信号を印加するアクチュエータ駆動部と、
前記レーザ光の通常の走査範囲よりも外側で、且つ、前記アクチュエータによる走査限界範囲よりも内側の位置に配置された反射部と、
前記反射部によって反射された前記レーザ光を受光する受光素子と、
前記レーザ光を前記通常の走査範囲を超えてスキャンさせたときに前記受光素子から出力される検出信号をモニタし、この検出信号が最大となるときに前記アクチュエータに印加される前記駆動信号の大きさを検出する比較部と、
前記比較部によって検出された前記駆動信号の大きさに基づいて前記アクチュエータの駆動を制御する制御部を有し、
前記反射部は、前記レーザ光を第1の方向に走査させたときの第1の位置と、前記レーザ光を前記第1の方向とは逆の第2の方向に走査させたときの第2の位置にそれぞれ配置されており、
前記制御部は、前記第1および第2の方向における前記通常の走査範囲の中立位置に前記レーザ光を向けるに必要な前記駆動信号の大きさを、前記第1の方向および前記第2の方向に前記レーザ光を走査させたときに前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさに基づいて算出する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1において、
前記レーザ光の走査位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさと、前記比較部によって当該検出がなされたときに前記位置検出部によってそれぞれ検出された前記走査位置に基づいて、前記第1および第2の方向における前記通常の走査範囲の中立位置に前記レーザ光を向けるに必要な前記駆動信号の大きさを算出する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、前記第1および第2の方向に前記レーザ光を単位変位量だけ変位させるに必要な前記駆動信号の大きさを、前記第1の方向および前記第2の方向に前記レーザ光を走査させたときに前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさに基づいて算出する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項3において、
前記レーザ光の走査位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさと、前記比較部によって当該検出がなされたときに前記位置検出部によってそれぞれ検出された前記走査位置に基づいて、前記第1および第2の方向に前記レーザ光を単位変位量だけ変位
させるに必要な前記駆動信号の大きさを算出する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、前記目標領域内に設定された照射位置に前記レーザ光を向けるに必要な前記駆動信号の大きさを当該照射位置に対応付けて記述したテーブルを備え、該テーブルに記述された前記第1および第2の方向における前記駆動信号の大きさを、前記第1の方向および前記第2の方向に前記レーザ光を走査させたときに前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさに基づいて修正する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項5において、
前記レーザ光の走査位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさと、前記比較部によって当該検出がなされたときに前記位置検出部によってそれぞれ検出された前記走査位置に基づいて、前記テーブルに記述された前記第1および第2の方向における前記駆動信号の大きさを修正する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項1において、
前記制御部は、前記目標領域内に設定された照射位置に前記レーザ光を向けるに必要な前記駆動信号の大きさを前記アクチュエータの駆動特性に基づいて算出する演算処理を実行し、この演算処理の際に用いる前記アクチュエータの駆動特性を、前記第1の方向および前記第2の方向に前記レーザ光を走査させたときに前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさに基づいて修正する、
ことを特徴とするビーム照射装置。 - 請求項7において、
前記レーザ光の走査位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記比較部によってそれぞれ検出された前記駆動信号の大きさと、前記比較部によって当該検出がなされたときに前記位置検出部によってそれぞれ検出された前記走査位置に基づいて、前記アクチュエータの駆動特性を修正する、
ことを特徴とするビーム照射装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070162A JP4484835B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | ビーム照射装置 |
US11/682,449 US7423735B2 (en) | 2006-03-15 | 2007-03-06 | Beam irradiation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070162A JP4484835B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | ビーム照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007248171A JP2007248171A (ja) | 2007-09-27 |
JP4484835B2 true JP4484835B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=38516807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006070162A Expired - Fee Related JP4484835B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | ビーム照射装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7423735B2 (ja) |
JP (1) | JP4484835B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009210557A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-17 | Sanyo Electric Co Ltd | ビーム照射装置およびレーザレーダ |
JP5932371B2 (ja) * | 2012-02-02 | 2016-06-08 | 三菱電機株式会社 | 形状測定装置 |
JP6459239B2 (ja) * | 2014-06-20 | 2019-01-30 | 船井電機株式会社 | レーザレンジファインダ |
WO2016044630A1 (en) * | 2014-09-17 | 2016-03-24 | Precision Sonar, LLC | Sonar positioning device |
JP6482427B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2019-03-13 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
US10596964B2 (en) * | 2016-01-13 | 2020-03-24 | Ricoh Company, Ltd. | Distance measurement device, moveable device, and distance measuring method |
US20180189977A1 (en) * | 2016-12-30 | 2018-07-05 | Analog Devices Global | Light detector calibrating a time-of-flight optical system |
US20210262790A1 (en) * | 2018-10-31 | 2021-08-26 | Mitsubishi Electric Corporation | Optical Axis Deviation Detecting Device, Target Detection Device, and Movable Body |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1183988A (ja) | 1997-09-01 | 1999-03-26 | Nhk Spring Co Ltd | レーザ光照射レンズ用アクチュエータ |
JPH11142520A (ja) * | 1997-11-06 | 1999-05-28 | Omron Corp | 測距装置の軸調整方法及び軸ずれ検出方法並びに測距装置 |
JP3986671B2 (ja) * | 1998-07-15 | 2007-10-03 | 本田技研工業株式会社 | 物体検知装置 |
JP2000338245A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | 走査型距離測定装置 |
US7262765B2 (en) * | 1999-08-05 | 2007-08-28 | Microvision, Inc. | Apparatuses and methods for utilizing non-ideal light sources |
US6687035B2 (en) * | 2001-06-07 | 2004-02-03 | Leica Microsystems Heildelberg Gmbh | Method and apparatus for ROI-scan with high temporal resolution |
JP3730956B2 (ja) * | 2002-12-11 | 2006-01-05 | 本田技研工業株式会社 | 移動体用送受信機の軸調整装置 |
JP2006153820A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Sanyo Electric Co Ltd | ビーム照射装置 |
-
2006
- 2006-03-15 JP JP2006070162A patent/JP4484835B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-06 US US11/682,449 patent/US7423735B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070215787A1 (en) | 2007-09-20 |
US7423735B2 (en) | 2008-09-09 |
JP2007248171A (ja) | 2007-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4484835B2 (ja) | ビーム照射装置 | |
US7940443B2 (en) | Laser radar and beam irradiation apparatus therefor | |
US7351944B2 (en) | Beam irradiation device | |
US7570346B2 (en) | Detection device | |
JP2009014698A (ja) | ビーム照射装置およびレーザレーダ | |
US8000181B2 (en) | Beam irradiation device and laser radar | |
US6981642B2 (en) | Non-parallax optical auto-focusing system and method | |
EP1795913A2 (en) | Laser scanning device | |
US7773281B2 (en) | Beam irradiation apparatus | |
JPH06137867A (ja) | 距離計測装置におけるスキャン位置検出装置およびスキャン位置制御装置 | |
US7864304B2 (en) | Beam irradiation device, laser radar system, and detecting device | |
JP3162458B2 (ja) | 自動アライメント調整装置 | |
JP2008298652A (ja) | ビーム照射装置およびレーザレーダ | |
JP2008299144A (ja) | ビーム照射装置およびレーザレーダ | |
JP2009128014A (ja) | ビーム照射装置 | |
WO2013185919A1 (en) | Projection exposure apparatus and method for controlling a projection exposure apparatus | |
JP2006308558A (ja) | ビーム照射装置 | |
JP6370517B1 (ja) | レーザ加工装置 | |
CN115243824A (zh) | 激光加工装置 | |
JP3217637B2 (ja) | 自動焦点合わせ機構付き電子プローブマイクロアナライザ | |
JP2010048564A (ja) | ビーム照射装置 | |
JP2005098703A (ja) | 電子ビーム測定装置 | |
JP4086856B2 (ja) | ビーム照射装置 | |
JP2004145009A (ja) | フォーカシングサーボ装置、画像測定装置及びフォーカシングサーボ方法 | |
JPH03206608A (ja) | ビーム露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090616 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090714 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100223 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100323 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140402 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |