JP4475633B2 - Feeder - Google Patents
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Description
本発明は、圧電素子を用いた送り装置に関するものである。 The present invention relates to a feeding device using a piezoelectric element.
従来、圧電素子を用いた送り装置として、例えば特開2000−152671号公報に開示されたものである。かかる装置では、圧電素子を有する駆動子をロータに当接させ、駆動子で生じる超音波振動を利用してロータを動作させていた。そのため、駆動子には常にロータへ当接させるための押圧力が付与されていた。押圧力は、一端部が駆動子側に配置されるばねの弾性力によって確保されていた。また、押圧力の調整は、ばねの他端部に、すなわち、駆動子と逆側の端部に設けられた調整ボルトの締め付け量の調整によって行われていた。
しかしながら、上述した従来の送り装置では、駆動子をロータに当接したあとで、調整ボルトによって押圧力を調整する必要があり、適正な使用を行えるようになるまでたいへん手間がかかっていた。また、使用に際して生じる駆動子の振動が伝達することで調整ボルトが緩む恐れがあった。さらに、押圧力は調整ボルトの締め付け量で決定されるところ、締め付け量の設定を一義的に行うことは難しく、押圧力の正確な調整・管理が困難であった。 However, in the above-described conventional feeding device, it is necessary to adjust the pressing force with the adjusting bolt after the driver is brought into contact with the rotor, and it takes a lot of work until the proper use can be performed. Further, the adjustment bolt may be loosened due to the transmission of the vibration of the driver generated during use. Furthermore, since the pressing force is determined by the tightening amount of the adjusting bolt, it is difficult to uniquely set the tightening amount, and it is difficult to accurately adjust and manage the pressing force.
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、出力部を被送り体に当接させたあとに押圧力の調整作業を行わずに済む送り装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a feeding device that does not need to perform a pressing force adjusting operation after the output unit is brought into contact with the fed body. .
本発明の別の目的は、長期の使用にわたって、振動に起因した押圧力の狂いを低減することができる送り装置を提供することである。 Another object of the present invention is to provide a feeding device capable of reducing a deviation in pressing force due to vibration over a long period of use.
本発明の更に別の目的は、調整手段の締め付け量に依存することなく、押圧力を決定することができる送り装置を提供することである。 Still another object of the present invention is to provide a feeding device that can determine the pressing force without depending on the tightening amount of the adjusting means.
上述した課題を解決するため、本発明に係る送り装置は、台座と、圧電素子を有する出力部と、前記台座に一体的に設けられ、前記出力部を、少なくとも、被送り体に当接する使用ポジションと被送り体に当接しない組付けポジションとの間でスライド自在に支持するスライドガイド機構と、前記使用ポジション及び組付けポジションの双方において自然長より収縮しており、前記出力部を被送り体側に向けて押圧する弾性体と、前記弾性体の押圧力に抗して前記出力部を前記組付けポジションに維持する力を受ける維持力受け部とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a feeding device according to the present invention is provided so that a pedestal, an output unit having a piezoelectric element, and the pedestal are integrally provided, and the output unit is at least in contact with a fed body The slide guide mechanism that is slidably supported between the position and the assembled position that does not contact the fed body, and contracted from the natural length in both the use position and the assembled position, and the output section is fed An elastic body that is pressed toward the body side, and a maintenance force receiving portion that receives a force that maintains the output portion at the assembly position against the pressing force of the elastic body.
かかる構成によれば、出力部を被送り体に当接させた後は、押圧力が設定どおりの一定値にセットされ、煩わしい押圧力の調整を不用にすることができた。しかも、かかる押圧力は、従来のように締め付け量といった曖昧な要素に依存することはなく、距離寸法だけで常に、正確且つ一義的に決定される。よって、設計寸法を管理するだけで、作業者の経験などの影響を受けずに、毎回、所望の押圧力を獲得することができる。 According to such a configuration, after the output unit is brought into contact with the object to be fed, the pressing force is set to a constant value as set, and annoying adjustment of the pressing force can be made unnecessary. In addition, the pressing force does not depend on an ambiguous element such as a tightening amount as in the conventional case, and is always accurately and uniquely determined only by the distance dimension. Therefore, a desired pressing force can be obtained every time only by managing the design dimensions without being affected by the experience of the operator.
また、前記弾性体は、スライド方向に沿って巻き軸が配置されたコイルばねであると好適である。 Further, it is preferable that the elastic body is a coil spring in which a winding shaft is disposed along the sliding direction.
これによれば、ばね定数をより小さく採ることができ、摺動する部分の磨耗による寸法変化が生じても、押圧力の変化を再調整不用な程度に抑えることができる。 According to this, the spring constant can be made smaller, and even if a dimensional change due to wear of the sliding portion occurs, the change in the pressing force can be suppressed to a level where readjustment is unnecessary.
また、前記維持力を付与する部材を前記維持力受け部に対して支持すべく、前記台座と一体的に設けられる支持部を備えると好適である。 In addition, it is preferable that a support portion provided integrally with the pedestal is provided in order to support the member that provides the maintenance force with respect to the maintenance force receiving portion.
これによれば、人力で支持する場合に比べて、維持力を安定的に付与し続けることができ、組付けの容易性を向上させることができる。 According to this, compared with the case where it supports by human power, a maintenance force can be continued stably and the ease of an assembly | attachment can be improved.
また、前記維持力受け部及び前記支持部の一方にはねじ孔が形成され、他方には該ねじ孔と同軸的に貫通孔が形成されているようにしてもよい。 Further, a screw hole may be formed in one of the maintenance force receiving portion and the support portion, and a through hole may be formed coaxially with the screw hole in the other.
これによれば、出力部を被送り体に当接させ、押圧力を負荷する際、ねじ手段の回転に伴い押圧力を徐々に連続的に変化させることができ、維持力や押圧力などの応力のかかる部位への負担を軽くし、各部の設計寸法からの変形を防止することができる。 According to this, when the output portion is brought into contact with the fed body and the pressing force is applied, the pressing force can be gradually and continuously changed with the rotation of the screw means, such as the maintenance force and the pressing force. It is possible to reduce the burden on the part where the stress is applied, and to prevent deformation of each part from the design dimensions.
本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。 Other features of the present invention and the operational effects thereof will be described in more detail by embodiments with reference to the accompanying drawings.
以下、本発明に係る送り装置を、ステージを直線的に駆動するリニアタイプ送り装置として実施した場合の実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment in which a feeding device according to the present invention is implemented as a linear type feeding device that linearly drives a stage will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
図1、図2及び図3はそれぞれ、本実施の形態に係る送り装置の平面、側面及び背面を示す図である。また、図4は、送り装置の要部に関する分解斜視図である。なお、説明は、図1における紙面左右方向を「前後方向」とし、紙面上下方向を「左右方向」とし、紙面表裏方向を「上下方向」として行う。 1, 2, and 3 are views showing a plane, a side surface, and a back surface of the feeding device according to the present embodiment, respectively. FIG. 4 is an exploded perspective view of a main part of the feeding device. In the description, the horizontal direction in FIG. 1 is referred to as “front-rear direction”, the vertical direction in FIG. 1 is referred to as “left-right direction”, and the front / back direction in FIG.
送り装置1は、台座3と、出力部5と、スライドガイド機構7と、弾性体9と、維持力受け部11とを備えている。台座3は、平面矩形に形成された平板状の部材である。この台座3の上面には、スライドガイド機構7が取り付けられている。本実施の形態において、スライドガイド機構7は、ベース7aとテーブル7bとを有している。ベース7aとテーブル7bにはそれぞれレールが設けられており、互いのレール間には複数のころが介在されている。ベース7aは台座3に取り付けられており、テーブル7bは、ベース7aに対して当接方向Cに沿ってスライド可能に取り付けられている。なお、スライドガイド機構の構成については、上記に限定されるものではなく、適宜、変更することができる。
The feeding device 1 includes a
出力部5は、駆動子13と、連結ブロック15とを備えている。駆動子13は、一対のランジュバン型超音波振動子を備えている。一対のランジュバン型超音波振動子は、所定角度で交差するような形状の先端部17を共有しており、軸心方向中央部には圧電素子19を備えている。駆動子13は、連結ブロック15の前面にねじ固定される。
The
連結ブロック15は、その左右両側部に相反する方向に突出した腕部21を有する。これら一対の腕部21には、当接方向Cと平行な軸線を有する有底のねじ孔23が形成されている。これら一対のねじ孔23は、維持力受け部11として機能する。また、連結ブロック15は、上下面を貫通する連結用穴25を介して、スライドガイド機構7のテーブル7bの上面にねじ固定される。
The
台座3の上面後部には、ばね支持ブロック27がねじ固定されている。ばね支持ブロック27は、前後方向の端面が下向きに開口した「コ」字状の部材であり、間隔をあけて上下方向に延びる左右一対の直立部27aと、それら直立部27aの上部を架橋する架橋部27bとを有する。このような構成により、架橋部27bの下方且つ一対の直立部27aの間には、立方体状の空間が画定される。ばね支持ブロック27は、この空間にスライドガイド機構7の後部が位置するようにして、台座3に取り付けられる。また、直立部27aのそれぞれには、その前後面に開口する貫通孔29が穿設されている。一対の貫通孔29は、連結ブロック15とばね支持ブロック27とが組み付けられた際に、一対のねじ孔23と同軸上に位置するように設けられている。また、貫通孔29を画定する内周面は、ねじ溝を持たない滑面で構成されている。
A
また、台座3上に組み付けられた連結ブロック15及びばね支持ブロック27の間には左右一対の弾性体9が配置されている。弾性体9は、本実施の形態では、コイルばねからなる。詳細には、コイルばねの前端は、連結ブロック15の対応する腕部21の後面に当接されており、コイルばねの後端は、ばね支持ブロック27の対応する直立部27aの前面に当接されている。また、コイルばねは、その巻き軸が、対応するねじ孔23及び貫通孔29とほぼ同軸となるように配置されている。
A pair of left and right
次に、このような構成を有する送り装置1の動作について説明する。図1に示されるように、送り装置1は、可動ステージ装置51の架台53上に、台座3ごと取り付け固定されている。架台53上には、ステージレール55がステージ移動方向Tに沿って延長している。ステージレール55には、ステージ57が移動可能に係合している。ステージ57は、送り装置1と対向する側の面に、摺動部材57aを有している。
Next, operation | movement of the feeder 1 which has such a structure is demonstrated. As shown in FIG. 1, the feeding device 1 is attached and fixed together with the
送り装置1における駆動子13の先端部17は、弾性体9によって生じる所定の押圧力Nでステージ57に押し付けられている。なお、駆動子13がステージ57に当接しているときの、先端部17とばね支持ブロック27の前面27cの距離をL1とし、腕部21の後面21aとばね支持ブロック27の前面27cとの距離(ばね全長)をD1とする。
The
そして、駆動子13を構成する二つの超音波振動子に対して、例えば、縮退する共振周波数で90度位相のずれた正弦波の電圧を印加すると、各超音波振動子で発生した変位が先端部17で合成され、先端部17は楕円運動を描くように動作する。そして、この動作が押圧力Nを垂直抗力とする摩擦力としてステージ57に伝達され、ステージ57はステージレール55に案内されてステージ移動方向Tに送られる。
For example, when a sinusoidal voltage having a phase difference of 90 degrees is applied to the two ultrasonic transducers constituting the
次に、送り装置1の組立て並びに可動ステージ装置51への組付けについて説明する。まず、台座3の上面にスライドガイド機構7をねじ固定する。続いて、駆動子13及び連結ブロック15からなる出力部5を、スライドガイド機構7にねじ固定する。さらに、台座3の上面にばね支持ブロック27をねじ固定する。このときは、出力部5は、台座3やばね支持ブロック27に対して抗力を受けることなく自在にスライド可能な状態となっている。
Next, assembly of the feeding device 1 and assembly to the
続いて、連結ブロック15とばね支持ブロック27との間に左右一対の弾性体9を配置し、さらに、ばね支持ブロック27の貫通孔29に、後方から、ねじ軸部材31を挿入する。そして、ねじ軸部材31を、コイルばね(弾性体9)の巻き軸方向に沿ってコイルばねの内側を挿通させて、その前端をねじ孔23にねじ込ませる。この状態では、弾性体9は自然長であり、出力部5は弾性体9の押圧力を受けていない無負荷ポジションにあるものとする。
Subsequently, the pair of left and right
なお、ねじ軸部材31は、全周にねじ溝が切られたものを使用しているが、これに限らず、両端部の必要範囲にねじ溝が切られたものでもよい。ねじ軸部材31の露出する端面31aには、六角穴が形成されている。また、弾性体9のセットに際し、腕部21後面におけるねじ孔23の周囲、及び、ばね支持ブロック27の前面27cにおける貫通孔29の周囲に、予め座ぐり穴(図4に一部図示)のようなものを設けておくと、コイルばねの端部の位置ズレを抑えることができ、組立て作業が容易に行える。
In addition, although the
続いて、ねじ軸部材31の後端に、蝶ナット33を螺合させる。蝶ナット33がばね支持ブロック27の後面に当接した後、さらに蝶ナット33を締め付けると、腕部21やそれと一体的な駆動子13の先端部17等が弾性体9の押圧力Nに抗してばね支持ブロック27へ接近する。蝶ナット33の締め付けは、出力部5が組付けポジションに到達するまで行う。
Subsequently, the
ここで、図5をもとに、出力部5の各ポジションについて説明する。まず、前述した無負荷ポジションは、コイルばねが自然長となっているときの出力部5のポジションであり、そのときの出力部5の先端部17とばね支持ブロック27の前面27cとの距離をL0とする。
Here, each position of the
次に、使用ポジションは、送り装置1が可動ステージ装置51に組付けられている状態において出力部5の先端部17がステージ57と当接しているときの、出力部5の位置であり、出力部5の先端部17とばね支持ブロック27の前面27cとの距離は前述のとおりL1(<L0)である。すなわち、コイルばねは、自然長よりもL0−L1だけ収縮しており、その収縮量に応じた弾性力N1が出力部5に作用している。
Next, the use position is the position of the
さらに、組付けポジションは、使用ポジションよりも更にコイルばねが収縮した状態の任意の位置であり、出力部5の先端部17とばね支持ブロック27の前面27cとの距離はL2(<L1)である。コイルばねは、自然長よりもL0−L2だけ収縮しており、その収縮量に応じた弾性力N2が出力部5に作用している。
Further, the assembly position is an arbitrary position in which the coil spring is further contracted than the use position, and the distance between the
送り装置1は、上記のように、蝶ナット33を締め付け、出力部5が組付けポジションにある状態で、可動ステージ装置51の架台53に組付けられる。従って、組付け時に出力部5の先端部17とステージ57との間には適当なクリアランスが確保されており、両者が干渉することなく極めて簡単に組付け作業が完了する。また、このとき、出力部5には、L0−L2の収縮量に対応した弾性体9の押圧力が作用しているが、ねじ軸部材31によって出力部5の位置が固定されているため、出力部5が組付けポジションにある状態で組付けが行える。すなわち、腕部21のねじ孔23部分が、弾性体9の押圧力に対して出力部5を組付けポジションに維持するための維持力を受ける部分として機能する。
As described above, the feeding device 1 is assembled to the
送り装置1を架台53の所定位置に組付け・固定したならば、ねじ軸部材31を緩める。これは、ねじ軸部材31の端面31aに形成された六角穴に六角レンチなどを係合させ、蝶ナット33ごとねじ軸部材31を緩め方向に回転させる。これによって、ねじ軸部材31及び蝶ナット33が一体的にねじ孔23に対して回転する。かかる動作によって、ねじ軸部材31の前端が徐々にねじ孔23から退出していき、弾性体9から生じる押圧力の作用によって、出力部5の先端部17が徐々にステージ57に接近していく。ねじ軸部材31を緩め続けると、出力部5の先端部17とばね支持ブロック27の前面27cとの距離がL1となったところで、すなわち、出力部5が使用ポジションに到達したところで、先端部17がステージ57に当接する。かかる使用ポジションでは、所望且つ一定の押圧力として、L0−L1の収縮量に対応した弾性体9の押圧力が正確に出力部5に作用している。従って、このあと更に押圧力を調整する必要はなく、組付けの完了と同時に押圧力の設定も完了し、前述のとおり送り装置1の駆動を開始することが可能である。
When the feeding device 1 is assembled and fixed at a predetermined position of the
以上、説明したように、本実施の形態に係る送り装置1においては、出力部5を被送り体であるステージ57に当接させた後は、押圧力が設定どおりの一定値にセットされ、煩わしい押圧力の調整を不用にすることができた。しかも、かかる押圧力は、従来のように締め付け量といった曖昧な要素に依存することはなく、ばね支持ブロック27の前面27c及び先端部17と、維持力受け部11との距離寸法だけで常に、正確且つ一義的に決定される。よって、設計寸法を管理するだけで、作業者の経験などの影響を受けずに、毎回、所望の押圧力を獲得することができる。
As described above, in the feeding device 1 according to the present embodiment, after the
また、ねじ軸部材31を徐々にねじ孔23から退出させることにより、押圧力は、ねじ軸部材31の回転に伴い徐々に連続的に変化していくため、維持力や押圧力などの応力のかかる部位への負担が軽く、各部の設計寸法からの変形を防止することができる。
In addition, by gradually retracting the
また、本実施の形態では、出力部5と一体的な維持力受け部11にねじ孔23を設け、ばね支持ブロック27に貫通孔29を設け、出力部5を押圧力に抗して引っ張る態様とした。このため、ばね支持ブロック27の後方、すなわちステージ57とは逆側で、ねじ軸部材31の操作を行うことができ、作業性が良好となっている。
Moreover, in this Embodiment, the
また、維持力を付与する部材であるねじ軸部材31を、台座3に固定されたばね支持ブロック27で支持する態様であるため、人力で支持する場合に比べて、維持力を安定的に付与し続けることができ、組付けの容易性を向上させることができた。
In addition, since the
さらに、本発明の如く、出力部5をステージ57に当接させた後は押圧力の調整が不要となる構造においては、弾性体9としてコイルばねを用いることが、特に有益な作用効果を奏する。ステージ57を送るための摩擦力Fは、ステージ57及び先端部17の摩擦係数μと垂直抗力としての押圧力Nとで決まり、F=μNである。そして、押圧力Nは、ばね定数kと収縮量xとで決まり、N=kxである。
Furthermore, in the structure in which the adjustment of the pressing force is not required after the
例えば、F=150[N]、μ=0.5、N=300[N]での使用を想定した場合、本発明ではk=15[N/mm]のコイルばねを2つ用い、比較例ではk=150[N/mm]の皿ばねを2つ用いたとする。それぞれ先端部がステージとの摩擦により0.1mm磨耗したとすると、比較例では、0.1mmの収縮量減少によってばね2つ全体で押圧力Nは30[N]減少する。一方、本発明では、0.1mmの収縮量減少によっても、ばね2つ全体で押圧力Nは3[N]減少するだけで済む。このように、コイルばねを用いることによって、ばね定数をより小さく採ることができ、摺動する部分の磨耗による寸法変化が生じても、押圧力の変化を再調整不用な程度に抑えることができる。 For example, assuming use at F = 150 [N], μ = 0.5, and N = 300 [N], the present invention uses two coil springs of k = 15 [N / mm] and is a comparative example. Then, it is assumed that two disc springs with k = 150 [N / mm] are used. Assuming that the tip ends wear 0.1 mm due to friction with the stage, in the comparative example, the pressing force N is reduced by 30 [N] across the two springs due to a reduction in the amount of contraction of 0.1 mm. On the other hand, in the present invention, even if the amount of contraction is reduced by 0.1 mm, the pressing force N only needs to be reduced by 3 [N] in the entire two springs. In this way, by using the coil spring, the spring constant can be made smaller, and even if a dimensional change due to wear of the sliding portion occurs, the change in the pressing force can be suppressed to an unnecessary level for readjustment. .
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。 Although the contents of the present invention have been specifically described with reference to the preferred embodiments, various modifications can be made by those skilled in the art based on the basic technical idea and teachings of the present invention. It is self-explanatory.
例えば、出力部としては、一対のランジュバン型超音波振動子を有する単一の駆動子からなる構成に限定されるものではなく、複数の駆動子を備える構成であってもよい。また、本発明に関する駆動子は、ランジュバン型超音波振動子を用いたものに限定されるものでもなく、例えば、図6に示されるように、圧電体の伸縮変形とせん断変形を利用した駆動子を用いることもできる。送り装置101における出力部105は、左右一対の圧電体(圧電素子)119を先端に有する駆動子103を有する。一対の圧電体119は、ステージ57に向けて整列しており、後方からは弾性体9による押圧力が付与されて、ステージ57に当接されている。そして、圧電体119に対して適当な電圧が印加されると、各圧電体119における伸縮変形とせん断変形との組み合わせにより、被送り体との当接部は楕円軌道を描いて変形し、その当接面の摩擦力によってステージ57が一定方向に送られる。かかる送り装置101においても、スライドガイド機構7、弾性体9、維持力受け部11及びばね支持ブロック27等が設けられており、図1〜図5に示した実施の形態と同様な好適な効果が得られる。なお、圧電体119の配置パターンは、n行m列の行列パターンなど適宜改変することができる。
For example, the output unit is not limited to a configuration including a single driver having a pair of Langevin type ultrasonic transducers, and may include a plurality of drivers. Further, the driver according to the present invention is not limited to the one using the Langevin type ultrasonic vibrator, and for example, as shown in FIG. 6, the driver using the expansion / contraction deformation and shear deformation of the piezoelectric body. Can also be used. The
また、維持力受け部に貫通穴を形成し、支持ブロックにねじ孔を形成して、出力部の前方側からねじ軸部材を操作する態様で実施することもできる。また、押圧力に抗するための維持力は、出力部をばね支持ブロックに向けて押圧するような態様で付与してもよい。さらに、維持力を付与する手段として、カムやレバーを用いて実施することもできる。また、弾性体としてコイルばねを用いることで上述した利点はあるものの、本発明は、弾性力を生じる部材であれば、コイルばね以外の、例えば皿ばね等を用いることも可能である。 Moreover, it can also implement in the aspect which forms a through-hole in a maintenance force receiving part, forms a screw hole in a support block, and operates a screw shaft member from the front side of an output part. Moreover, you may provide the maintenance force for resisting pressing force in the aspect which presses an output part toward a spring support block. Furthermore, it can also be implemented using cams or levers as means for imparting maintenance force. Moreover, although there exists an advantage mentioned above by using a coil spring as an elastic body, if this invention is a member which produces an elastic force, it is also possible to use a disk spring etc. other than a coil spring, for example.
また、本発明の送り装置は、被送り体を直線的に移動させる態様に限定されるものではなく、例えば、ロータ(被送り体)を回転駆動させる態様として実施することもできる。 Moreover, the feeding apparatus of this invention is not limited to the aspect which moves a to-be-delivered body linearly, For example, it can also be implemented as an aspect to rotationally drive a rotor (to-be-feeded body).
1 送り装置
3 台座
5 出力部
7 スライドガイド機構
9 弾性体
11 維持力受け部
19、119 圧電素子
23 ねじ孔
27 ばね支持ブロック(支持部)
29 貫通孔
57 ステージ(被送り体)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
29 Through
Claims (3)
圧電素子を有する出力部と、
前記台座に一体的に設けられ、前記出力部を、スライド自在に支持するスライドガイド機構と、
前記スライドガイド機構と一体化され、前記出力部に連結された連結部と、
前記連結部から間隔をおいて前記台座に固定された支持部と、
前記連結部と前記支持部との間において圧縮される弾性体と、
前記連結部及び前記支持部の一方に設けられたねじ孔に一端が結合され、他方に前記ねじ孔と同軸に設けられた貫通孔を通って導出され、前記支持部に対する前記連結部の前記間隔を調整して、前記出力部のポジションを調整するねじ軸部材と、
を備える送り装置であって、
前記ねじ軸部材は、
前記台座に対する各部分の組付けが完了するまでは、前記支持部に対する前記連結部の前記間隔を前記弾性体の自然長よりも収縮させて、前記出力部を組立ポジションに設定し、
前記組付けが完了した後は、前記一端が前記ねじ孔から退出し、前記支持部に対する前記連結部の前記間隔を、前記組立ポジションの場合よりも拡大して、前記出力部を使用ポジションに設定し、
前記使用ポジションでは、前記連結部と前記支持部との間に前記弾性体の押圧力のみが作用する、
ことを特徴とする送り装置。 A pedestal,
An output unit having a piezoelectric element;
A slide guide mechanism provided integrally with the pedestal and slidably supporting the output unit;
A connecting portion integrated with the slide guide mechanism and connected to the output portion;
A support portion fixed to the pedestal at a distance from the connecting portion;
An elastic body compressed between the connecting portion and the support portion;
One end is coupled to a screw hole provided in one of the connection part and the support part, and the other is led out through a through hole provided coaxially with the screw hole, and the distance of the connection part with respect to the support part A screw shaft member that adjusts the position of the output section by adjusting
A feeding device comprising:
The screw shaft member is
Until the assembly of each part with respect to the pedestal is completed, the interval of the connecting part with respect to the support part is contracted from the natural length of the elastic body, and the output part is set to an assembly position,
After the assembly is completed, the one end is withdrawn from the screw hole, and the interval of the connecting part with respect to the support part is set larger than that in the assembly position, and the output part is set to the use position. And
In the use position, only the pressing force of the elastic body acts between the connecting portion and the support portion.
A feeder characterized by that.
圧電素子を有する出力部と、
前記出力部に接触する被送り体と、
前記台座に一体的に設けられ、前記出力部を、スライド自在に支持するスライドガイド機構と、
前記スライドガイド機構と一体化され、前記出力部に連結された連結部と、
前記連結部から間隔をおいて前記台座に固定された支持部と、
前記連結部と前記支持部との間で圧縮された弾性体とを備え、
前記連結部及び前記支持部の一方には、ねじ孔が形成され、他方には前記ねじ孔と同軸的に貫通孔が形成されている送り装置であって、
前記出力部のポジションを調整するに当たり、ねじ軸部材が用いられ、前記ねじ軸部材は、
一端が前記ねじ孔に結合され、前記貫通孔を通って導出され、前記支持部に対する前記連結部の前記間隔を調整するものであり、
前記台座に対する各部分の組付けが完了するまでは、前記支持部に対する前記連結部の前記間隔を、前記弾性体の自然長よりも収縮させて、前記出力部を組立ポジションに設定し、
前記組付けが完了した後は、前記一端が前記ねじ孔から退出し、前記支持部に対する前記連結部の前記間隔を前記組立ポジションの場合よりも拡大して、前記出力部を使用ポジションに設定し、
前記使用ポジションでは、前記連結部と前記支持部との間に前記弾性体の押圧力のみが作用する、
ことを特徴とする送り装置。 A pedestal,
An output unit having a piezoelectric element;
A fed object that contacts the output unit;
A slide guide mechanism provided integrally with the pedestal and slidably supporting the output unit;
A connecting portion integrated with the slide guide mechanism and connected to the output portion;
A support portion fixed to the pedestal at a distance from the connecting portion;
An elastic body compressed between the connecting portion and the support portion;
One of the connecting part and the support part is a feeding device in which a screw hole is formed, and the other is formed with a through hole coaxially with the screw hole ,
In adjusting the position of the output portion, a screw shaft member is used, and the screw shaft member is
One end is coupled to the screw hole, led out through the through hole, and adjusts the distance of the connecting portion relative to the support portion,
Until the assembly of each part with respect to the pedestal is completed, the interval of the connecting part with respect to the support part is contracted more than the natural length of the elastic body, and the output part is set to an assembly position,
After the assembly is completed, the one end is withdrawn from the screw hole, and the interval of the connecting portion with respect to the support portion is enlarged as compared with the assembly position, and the output portion is set to the use position. ,
In the use position, only the pressing force of the elastic body acts between the connecting portion and the support portion.
A feeder characterized by that.
The feeding device according to claim 1, wherein the elastic body is a coil spring in which a winding shaft is disposed along a sliding direction.
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