JP4473798B2 - 電子ビーム描画装置の描画方法 - Google Patents
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Description
13…ブランキング電極 14…第1成形アパーチャ
15…成形偏向器 16…投影レンズ
17…第2成形アパーチャ 18…ブランキングアパーチャ
19…縮小レンズ 20…対物レンズ 21…対物偏向器
30…載置台 31…導電領域
32…非導電領域 33…スリット
40…制御部 41…最大移動速度規定部
42…描画位置情報取得部 43…移動速度制御部
50…描画対象
Claims (4)
- 描画対象が載置される載置台上の電子ビーム照射位置に応じて前記載置台の最大移動速度を規定する工程と、
前記電子ビーム照射位置に応じて規定された最大移動速度を越えない速度で載置台を移動させながら、前記載置台に載置された描画対象に電子ビームを照射して描画を行う工程と、
を備え、
前記載置台の表面の一部には導電領域が設けられており、
前記最大移動速度は、前記載置台に誘起される渦電流に基づく電子ビームの偏向量が許容偏向量よりも小さくなるように規定される
ことを特徴とする電子ビーム描画装置の描画方法。 - 前記最大移動速度は、前記電子ビーム照射位置が前記導電領域に近いほど小さくなるように規定される
ことを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画装置の描画方法。 - 前記導電領域は、前記載置台の外周に沿って枠状に設けられている
ことを特徴とする請求項2に記載の電子ビーム描画装置の描画方法。 - 前記導電領域は複数の部分に分割されている
ことを特徴とする請求項2に記載の電子ビーム描画装置の描画方法。
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JP2005255244A JP4473798B2 (ja) | 2005-09-02 | 2005-09-02 | 電子ビーム描画装置の描画方法 |
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JP2005255244A JP4473798B2 (ja) | 2005-09-02 | 2005-09-02 | 電子ビーム描画装置の描画方法 |
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