JP4467369B2 - Transport cart - Google Patents
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Description
本発明は、搬送台車に関する。 The present invention relates to a transport cart.
現在、直径が300mm以上のウェハを複数収納して搬送するキャリアは、重量が7〜8kg以上と重くなっているので、通常は自動化を行って搬送している。しかし、自動化が行えない場合(カスタムLSIの製造工程や試作ラインなどの場合)は、キャリアの搬送を人手で行う必要がある。 Currently, a carrier for storing and transporting a plurality of wafers having a diameter of 300 mm or more has a weight of 7 to 8 kg or more, and is usually transported by automation. However, when automation is not possible (in the case of a custom LSI manufacturing process, trial production line, etc.), it is necessary to carry the carrier manually.
自動化されていない300mm拡散ラインにおいては、一人が一つの300mmFOUP(Front Opening Unified Pod)を乗せることができる搬送台車(PGV(Personal Guided Vehicle))を1台ずつ用いて、各装置間、装置棚間の搬送を実施している。 In a 300mm diffusion line that is not automated, one transport carriage (PGV (Personal Guided Vehicle)) on which one person can place one 300mm FOUP (Front Opening Unified Pod) is used. Is being carried.
そのような搬送台車の例として、特許文献1に記載の技術がある。図5は、特許文献1に記載された従来の半導体基板用キャリアの搬送台車を示す斜視図である。 As an example of such a transport carriage, there is a technique described in Patent Document 1. FIG. 5 is a perspective view showing a conventional carrier carriage for a semiconductor substrate carrier described in Patent Document 1. As shown in FIG.
この搬送台車は、複数枚のウェハ18が収納されるキャリア10を荷台に載せ、人手により種々の方向に移動される台車本体1を備える。また、この搬送台車は、キャリア10を移載すべき装置のステーション8に、台車本体1が衝突しない程度に近づいたとき、台車本体1を停止させる機能を有し、床面の孔11に挿入して台車本体1の位置を固定するピン5を具備する、位置決め機構2を備えている。 This transfer carriage includes a carriage main body 1 on which a carrier 10 in which a plurality of wafers 18 are stored is placed on a cargo bed and moved manually in various directions. In addition, this transport cart has a function of stopping the cart body 1 when it approaches the station 8 of the device to which the carrier 10 is to be transferred so that the cart body 1 does not collide, and is inserted into the hole 11 on the floor surface. And the positioning mechanism 2 provided with the pin 5 which fixes the position of the trolley | bogie main body 1 is provided.
また、台車本体1の荷台には、キャリア10を載せた状態で一方向に伸び、ステーション8のレール13上にキャリア10を移載させるフォーク4が備えられている。また、台車本体1の荷台には、フォーク4の移動を案内するフォークガイド9が備えられている。さらに、ステーション8の正面に台車本体1が所定の距離に近づいたとき、ステーションのターゲットを検知する近接スイッチ3が台車本体1の正面に設けられている。
In addition, the loading platform of the carriage main body 1 is provided with a fork 4 that extends in one direction with the carrier 10 mounted thereon and transfers the carrier 10 onto the
一方、台車本体1が方向変換や走行をし易いように、台車本体1の下面の四隅にキャスター12が取り付けられている。そのため、ハンドル15の操作によって、台車本体1を種々の方向に走行させることができる。また、位置決め機構2は、安価で単純な機構であって、筒部7内を摺動し床面にある孔11に挿入されるレールピン5を備えている。なお、挿入すべき孔11は大きくても直径40mm程度であって、この挿入孔11に足先を詰まらせることはない。また、このピン5は、台車本体1が走行中のときは、上に位置した状態を保っている。すなわち、ピン5が上に持ち上げられると、スリット14をガイドとするレバー6が持ち上げられ、横方向の切り欠きに係止することで、このピン5は、上に位置した状態を保っている。
On the other hand,
特許文献1に記載の搬送台車では、プロセス装置や検査装置にキャリア10を移載(搬出搬入)する際、搬送台車とステーション8上のレール13との位置あわせをする。その後、搬送台車に設置されたフォーク4でキャリア10を保持して装置のステーション8上のレール13との間で移載を行う。
In the transport cart described in Patent Document 1, the carrier cart and the
また、特許文献2には、キャリアを水平方向に移動させる機構と、キャリアを高さ方向に移動させる機構と、を備える搬送台車が記載されている。この搬送台車では、搬送人員がこれらの機構をそれぞれ独立して操作するように構成されている。
しかしながら、上記文献記載の従来技術は、以下の点で改善の余地を有していた。 However, the prior art described in the above literature has room for improvement in the following points.
第一に、特許文献1に記載の搬送台車では、キャリア10を高さ方向に移動させる機構が設けられていない。このため、搬送台車のフォーク4の高さとステーション8のレール13の高さとが異なる場合には、キャリア10の位置を上下方向について調整することが困難である。
First, the transport cart described in Patent Document 1 is not provided with a mechanism for moving the carrier 10 in the height direction. For this reason, when the height of the fork 4 of the transport carriage is different from the height of the
第二に、特許文献2に記載の搬送台車では、ウェハの直径が300mm以上になると、キャリアの重さは10kg近くなる。このため、搬送人員がキャリアを保持するアームの移動を円滑に操作し、搬送台車と装置のポート部との間でのキャリアの受け渡しを効率的に行うのは難しくなる。また、搬送人員が2つの機構をそれぞれ独立して操作するため、操作が複雑であり、水平および上下の2方向についてキャリアの位置合わせをするには時間がかかり効率を向上することが困難である。 Secondly, in the transport carriage described in Patent Document 2, when the wafer diameter is 300 mm or more, the weight of the carrier is nearly 10 kg. For this reason, it becomes difficult for the transport personnel to smoothly operate the movement of the arm that holds the carrier, and to efficiently transfer the carrier between the transport carriage and the port portion of the apparatus. Further, since the transport personnel operate the two mechanisms independently, the operation is complicated, and it takes time to align the carrier in the horizontal and vertical directions, and it is difficult to improve the efficiency. .
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について効率的に調整できる搬送台車を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a transport carriage capable of efficiently adjusting the position of a wafer carrier in the horizontal direction and the vertical direction.
本発明によれば、台車本体と、台車本体の上部に設けられ、ウェハキャリアを保持する保持部と、保持部を水平方向に移動する水平移動機構と、水平移動機構を上下方向に移動する上下移動機構と、水平移動機構および上下移動機構を操作する操作レバーと、を備え、水平移動機構は、保持部を水平方向に案内するレールを含み、上下移動機構は、水平移動機構を支持する偏心カムと、偏心カムを貫通するとともに操作レバーにより回転可能に構成された回転軸と、を含み、操作レバーに対してレールの延在方向の外力が加わると、操作レバーが保持部とともにレール上を外力の方向に移動し、操作レバーが回動すると偏心カムが連動して回転し、水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている搬送台車が提供される。 According to the present invention, the main body of the carriage, the holding part that is provided on the upper part of the main body of the carriage, holds the wafer carrier, the horizontal movement mechanism that moves the holding part in the horizontal direction, and the vertical movement that moves the horizontal movement mechanism in the vertical direction. A moving mechanism, and an operating lever for operating the horizontal moving mechanism and the vertical moving mechanism. The horizontal moving mechanism includes a rail that guides the holding portion in the horizontal direction, and the vertical moving mechanism is an eccentric that supports the horizontal moving mechanism. A cam and a rotating shaft configured to pass through the eccentric cam and be rotatable by the operation lever. When an external force in the rail extending direction is applied to the operation lever, the operation lever moves on the rail together with the holding portion. There is provided a transport carriage configured to move in the direction of an external force and rotate when the operation lever rotates, and the eccentric cam rotates in conjunction with the horizontal movement mechanism.
この構成によれば、操作人員が操作レバーに対してレールの延在方向の外力を加えると、レール上を保持部が操作レバーとともに外力の方向に移動するため、操作人員は容易にウェハキャリアの保持部の水平方向の位置を調整できる。また、操作人員が搬送台車の操作レバーを回転すると、偏心カムが操作レバーの回転中心に連動して回転し、水平移動機構が上下方向に移動するため、操作人員は容易にウェハキャリアの保持部の上下方向の位置を調整できる。そして、操作人員は操作レバーを操作するだけで、ウェハキャリアの保持部の水平方向および上下方向の移動を効率よく行うことができる。 According to this configuration, when the operator applies an external force in the rail extending direction to the operation lever, the holding member moves on the rail along with the operation lever in the direction of the external force. The horizontal position of the holding part can be adjusted. In addition, when the operator rotates the operation lever of the transport carriage, the eccentric cam rotates in conjunction with the rotation center of the operation lever, and the horizontal movement mechanism moves in the vertical direction. The vertical position of can be adjusted. Then, the operator can efficiently move the holding portion of the wafer carrier in the horizontal direction and the vertical direction only by operating the operation lever.
ここで、ウェハキャリアとは、ウェハやリング等の加工物を収納する容器である。 Here, the wafer carrier is a container for storing a workpiece such as a wafer or a ring.
また、操作レバーを操作することには、操作レバーに外力を付加することも含まれる。 Further, operating the operation lever includes applying an external force to the operation lever.
本発明によれば、特定の構成を有する水平移動機構および上下移動機構を備えるため、ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について効率的に調整できる搬送台車が提供される。 According to the present invention, since the horizontal movement mechanism and the vertical movement mechanism having a specific configuration are provided, a transport carriage capable of efficiently adjusting the position of the wafer carrier in the horizontal direction and the vertical direction is provided.
本発明に係る搬送台車において、上記操作レバーは、保持部の側面のうち、レールの延在方向に略直交する側面に設けられており、レールの延在方向と略直交する平面内で回転する構成とすることができる。 In the transport carriage according to the present invention, the operation lever is provided on a side surface of the holding portion that is substantially orthogonal to the rail extending direction, and rotates in a plane that is substantially orthogonal to the rail extending direction. It can be configured.
この構成によれば、操作人員が操作レバーに対してレールの延在方向の外力を加える際に、意図せず操作レバーが回転する誤動作を抑制できる。また、操作人員が搬送台車の操作レバーを回転する際に、意図せず操作レバーおよび保持部がレールの延在方向に移動する誤動作を抑制できる。このため、ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について調整する際の作業性が向上する。 According to this configuration, when an operator applies an external force in the direction in which the rail extends to the operation lever, it is possible to suppress an erroneous operation in which the operation lever rotates unintentionally. In addition, when the operator rotates the operation lever of the transport carriage, it is possible to suppress an erroneous operation in which the operation lever and the holding unit unintentionally move in the rail extending direction. For this reason, the workability | operativity at the time of adjusting the position of a wafer carrier about a horizontal direction and an up-down direction improves.
本発明に係る搬送台車において、上記回転軸は、操作レバーの一端を挿通し、操作レバーは、回転軸に沿って移動可能に構成されていてもよい。 In the transport carriage according to the present invention, the rotation shaft may be configured to be inserted through one end of the operation lever, and the operation lever may be movable along the rotation shaft.
この構成によれば、操作人員が操作レバーに対してレールの延在方向の外力を加えると、操作レバーは回転軸に沿って移動し、操作レバーが設けられている保持部はレール上を移動する。また、操作人員が搬送台車の操作レバーを回転すると、回転軸および偏心カムが連動して回転し、水平移動機構が上下動する。このため、ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について効率よく調整できる。 According to this configuration, when an operator applies an external force in the rail extension direction to the operation lever, the operation lever moves along the rotation axis, and the holding portion provided with the operation lever moves on the rail. To do. Further, when the operator turns the operation lever of the transport carriage, the rotation shaft and the eccentric cam rotate in conjunction with each other, and the horizontal movement mechanism moves up and down. For this reason, the position of the wafer carrier can be adjusted efficiently in the horizontal direction and the vertical direction.
本発明に係る搬送台車において、上記偏心カムは、複数設けることができる。 In the transport carriage according to the present invention, a plurality of the eccentric cams can be provided.
この構成によれば、上記偏心カムは、複数の箇所において水平移動機構を支持することとなるため、水平移動機構の安定性が向上する。また、複数の箇所において、水平移動機構の上下方向の移動を制御することとなるため、水平移動機構の上下方向の位置を精密に制御できる。 According to this configuration, since the eccentric cam supports the horizontal movement mechanism at a plurality of locations, the stability of the horizontal movement mechanism is improved. In addition, since the vertical movement of the horizontal movement mechanism is controlled at a plurality of locations, the vertical position of the horizontal movement mechanism can be precisely controlled.
本発明に係る搬送台車において、上記台車本体は、手押し操作により移動可能な構成とすることができる。 In the transport cart according to the present invention, the cart body can be configured to be movable by a manual push operation.
この構成によれば、操作人員が、手押し操作により搬送台車を移動可能であるため、搬送台車の移動の自由度が向上する。このため、自動化が困難な半導体装置の製造ラインにおいても、搬送台車を好適に使用することができる。 According to this configuration, since the operating personnel can move the transport carriage by a manual push operation, the degree of freedom of movement of the transport carriage is improved. For this reason, a conveyance cart can be used suitably also in the manufacturing line of a semiconductor device which is difficult to automate.
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.
図1は、実施の形態に係る搬送台車を説明するための斜視図である。図1(a)は、搬送台車の一状態を示す斜視図である。図1(b)は、搬送台車の別の状態を示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view for explaining a transport carriage according to an embodiment. FIG. 1A is a perspective view showing one state of the transport carriage. FIG.1 (b) is a perspective view which shows another state of a conveyance trolley | bogie.
本実施形態に係る搬送台車100の構成について、以下説明する。
The configuration of the
本実施形態に係る搬送台車100は、複数の半導体ウェハなどが収納された、FOUPをはじめとするウェハキャリアを載置し得る搬送台車100であり、ウェハキャリアをアーム102に載せ、手押し操作により移動可能な搬送台車である。
A
すなわち、搬送台車100は、台車本体106と、台車本体106に設けられているアーム支持部104と、アーム支持部104に支持される2本のアーム102と、を備える(ウェハキャリアの保持部は、アーム支持部104および2本のアーム102から構成される)。また、搬送台車100は、2本のアーム102を水平方向に移動する水平移動機構と、水平移動機構を上下方向に移動する上下移動機構と、水平移動機構および上下移動機構を操作する操作レバー108と、を備える。
That is, the
水平移動機構は、アーム支持部104を支持する2本のレール103を有し、操作レバー108に対してレール103の延在方向の外力が加わると、レール103上をアーム支持部104が操作レバー108とともに外力の方向に移動するように構成されている。
The horizontal movement mechanism has two
上下移動機構は、水平移動機構を支持し、操作レバー108の回転盤109と連結する偏心カム110を備え、操作レバー108が回動すると、偏心カム110が操作レバー108の回転盤109に連動して回転し、水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている。
The vertical movement mechanism includes an
この搬送台車100は、搬送人員の手押しにより移動可能なように、台車本体の下部に4つの車輪107(キャスター)を備える。この搬送台車100は、搬送人員が搬送台車を手押しにより移動させることが容易になるように、人の手によりグリップされるハンドル(不図示)を備える。
The
図2は、実施の形態に係る搬送台車を説明するための斜視図および拡大図である。図2(a)は、搬送台車を操作者の側から見た場合の斜視図である。図2(b)は、搬送台車の上下移動機構の一状態を示す拡大図である。図2(c)は、搬送台車の上下移動機構の別の状態を示す拡大図である。 FIG. 2 is a perspective view and an enlarged view for explaining the transport carriage according to the embodiment. FIG. 2A is a perspective view of the transport carriage as viewed from the operator side. FIG. 2B is an enlarged view showing one state of the vertical movement mechanism of the transport carriage. FIG.2 (c) is an enlarged view which shows another state of the up-and-down moving mechanism of a conveyance trolley.
搬送台車100において、水平移動機構に備わるレール103は並行して2本設けられている。また、上下移動機構は、レール103の両端部において、レール103の延在方向に直交するように設けられている板状部材113を有する。この板状部材113は、台車本体106の天面105の上部に、搬送台車100の前方および後方の2箇所に設けられている。すなわち、2本のレール103および2本の板状部材113は、長方形の枠体を形成している。
In the
板状部材113は、レール103と接合されており、2本のレール103を支持するように設けられている。偏心カム110は、板状部材113に取り付けられており、回転中心121を軸として回転する。そして、偏心カム110は、回転中心121において板状部材113を支持するように構成されている。
The plate-
台車本体106の天面105上には、ロール支持部127が設けられている。また、ロール支持部127には、ロール123が取り付けられている。ロール123は、偏心カム110の下部に、偏心カム110と接するように設けられている。
A
そして、ロール123は、偏心カム110が回転すると、偏心カム110との摩擦により、回転中心125を中心として偏心カム110の回転方向と反対方向に回転する。また、ロール123は、樹脂など材料からなる円盤状の部材である。すなわち、ロール123は、偏心カム110の回転が円滑に行われるように、偏心カム110に接した状態で回転可能に構成されている。
When the
2つの偏心カム110は、操作レバー108の回転盤109とシャフト111により連結されている。このシャフト111は、台車本体106の天面105の上部に設けられており、その両端には偏心カム110がそれぞれ連結されている。シャフト111の延在方向は、2本のレール103の絵印材方向と略平行である。操作レバー108の回転盤109が回転すると、シャフト111を介して、2つの偏心カム110は、回転盤109と同じ回転方向に回転する。
The two
操作レバー108の回転盤109は、シャフト111の延在方向に沿って移動可能に構成されている。回転盤109の中心に設けられている貫通孔中を、シャフト111が挿通している。この貫通孔の断面形状は、例えば四角形である。このとき、シャフト111の断面形状も四角形である。このため、操作レバー108の回転盤109が回転すると、四角形の断面を有するシャフト111の角部が回転盤109の貫通孔の角部に当接する。このため、回転盤109の回転に連動して、シャフト111も同じ方向に回転する。その結果、操作者が操作レバー108を回転すると、シャフト111の端部に設けられている偏心カム110が回転して、水平移動機構が上下動する。
The
また、シャフト111は、回転盤109に固定されておらず、回転盤109の中心に設けられている貫通孔中を挿通する構成であるため、操作レバー108の回転盤109は、シャフト111の延在方向に沿って移動可能である。このため、操作者が操作レバー108に対して、シャフト111の延在方向の外力を加えると、操作レバー108および回転盤109は、シャフト111の延在方向に沿って外力の加えられた方向に移動する。また、回転盤109の設けられている保持部104は、レール上を外力の加えられた方向に移動する。
Further, since the
なお、操作者が、操作レバー108に対して特定方向の外力を加える際には、外力の全ての成分が特定方向を向いている必要はない。すなわち、操作者が操作レバー108に加える外力の成分の一部が特定方向を向いていればよい。そのため、操作者は、操作レバー108に対して、レール103の延在方向またはシャフト111の延在方向に対して斜め方向に外力を加えてもよい。この際、操作レバー108には、回転盤の回転方向に対するストッパー機構(不図示)が設けられているため、このストッパー機構をストップ状態にしておけば、操作レバー108が意図せずに回転する誤動作を抑制できる。このため、ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について調整する際の作業性が向上する。
When the operator applies an external force in a specific direction to the
偏心カム110は、2箇所設けられており、互いに同一形状であり、互いに同一の向きに配置されている。このため、偏心カム110がロール(不図示)上で回転すると、図2(b)に示す状態から図2(c)に示す状態に偏心カム110の高さが変化し、偏心カム110に支持される2枚の板状部材113が、水平状態を安定的に維持しつつ上昇する。逆に、図2(c)に示す状態から図2(b)に示す状態に偏心カム110の高さが変化すると、偏心カム110に支持される2枚の板状部材113は、水平状態を安定的に維持しつつ下降する。
The
そして、板状部材113は2本のレール103を支持するため、上記の操作により板状部材113が昇降すると、2本のレール103も同様に水平状態を安定的に維持しつつ昇降する。すなわち、偏心カム110の回転により、2本のレール103および2本の板状部材113から形成される枠体が水平状態を安定的に維持しつつ昇降する。
Since the plate-
搬送台車100は、2枚の板状部材113の上下方向の移動を案内する、偏心カム110とは別の案内部112をさらに備える。案内部112は、偏心カム110の両脇に設けられており、2枚の板状部材113に接続されている。案内部112は、台車本体106の天面105上に4箇所設けられている。案内部112は、棒状の部材が、台車本体106の天面105に設けられている貫通孔を出入する構造を備えている。
The
本実施形態に係る搬送台車の作用効果について、以下説明する。 The effects of the transport carriage according to this embodiment will be described below.
図3は、実施の形態に係る搬送台車と装置のポートとの間でのウェハキャリアの搬出入の様子を説明するための断面図である。本実施形態に係る搬送台車100によれば、操作人員が操作レバー108を操作するだけで、ウェハキャリア101を保持する2本のアーム102の水平方向および上下方向の移動を効率よく行うことができるという作用効果が奏される。
FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining how the wafer carrier is carried in and out between the transport carriage and the port of the apparatus according to the embodiment. According to the
操作者は、台車本体106に設けられているハンドル(不図示)を掴んで搬送台車を移動させ、半導体装置の製造ライン中に設けられている各種装置115のポートの前面に移動させる。この際、各種装置115のポートと搬送台車100との位置あわせは、各種装置毎にあらかじめ決められた位置マークに、搬送台車100の位置あわせ部(図示せず)を一致させて行う。また、各種装置の前面には、搬送台車100の固定装置117が設けられているため、操作者は、搬送台車100を装置115のポートに対して前面から接続することが可能となっている。そして、操作者は、簡易な操作により、搬送台車100を固定装置117に接続、取外し可能である。
The operator grasps a handle (not shown) provided on the carriage
操作者は、搬送台車100とプロセス装置や検査装置などの装置115のポートとの間で、ウェハキャリア101の受渡しをする。このため、2本のアーム102は、ウェハキャリア101の受け部119を保持可能に構成されている。この受け部119は、ウェハキャリア101の搬送・移送用のガイド機構として機能する。
An operator delivers the
2本のアーム102が、ウェハキャリア101の受け部119を保持し、ウェハキャリア101を前後に移動させて、各種装置115のポートとの間でウェハキャリア101の搬出入を行う。
The two
操作レバー108の回転盤109は、アーム支持部104と連結されている。このため、操作者が、操作レバー108に対してレール103の延在方向の外力を加えると、レール103上をアーム支持部104が移動する。このとき、アーム支持部104に連結する回転盤109および操作レバー108も、シャフト111に沿って、アーム支持部104と同じ方向に移動する。したがって、操作者は、操作レバー108に外力を加えることにより、2本のアーム102の水平方向の位置を調整できる。
A
この搬送台車106の上部にはアーム102がある。また、2本のアーム102は、ウェハキャリア101の受け部119を保持する。そして、アーム102は上にウェハキャリア101を載せたまま、アーム102を支持するアーム支持部104はレール103に沿って操作レバー108により水平方向にスライド移動を行う。また、アーム支持部104を支持するレール103をさらに支持する板状部材113の下部には、偏心カム110が設けられる。操作レバー108の回転盤109が回転すると偏心カム110も回転し、アーム支持部104を支持するレール103をさらに支持する板状部材113を昇降させる。したがって、操作者は、操作レバー108を操作することにより、2本のアーム102の上下方向の位置を調整できる。
There is an
その結果、操作者は、操作レバー108を操作するだけで、2本のアーム102の水平方向の移動と上下方向の昇降動作とを効率よく行うことが可能になる。すなわち、搬送台車100によれば、ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について効率的に調整できる。
As a result, the operator can efficiently perform the horizontal movement and the vertical movement of the two
一方、図4は、実施の形態に係る昇降機構を備えない搬送台車と装置のポートとの間でウェハキャリアの搬出入をする様子を説明するための断面図である。 On the other hand, FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a state in which a wafer carrier is carried in and out between a transport carriage that does not include the lifting mechanism according to the embodiment and a port of the apparatus.
この搬送台車によれば、操作人員は、ウェハキャリア301を受け部321において保持する2本のアーム302を支持するアーム支持部304を水平方向に移動するために、スライドレバー318を操作する。また、操作人員は、アーム支持部304を上下方向に移動するために、昇降レバー308を操作する。このため、操作人員は、スライドレバー318および昇降レバー308をともに操作するため、操作が複雑となる。その結果、操作人員がウェハキャリア301の位置を水平方向および上下方向について正確にあわせるには時間がかかり、操作効率を向上することは困難である。
According to this transport cart, the operating personnel operates the
これに対して、本実施形態に係る搬送台車100によれば、操作人員は、ひとつの操作レバー108をスライド・旋回させることによって、アーム102の水平方向のスライド、上下方向の昇降を行うことができる。このため、操作人員は、ウェハキャリア101の位置を水平方向および上下方向について効率的に調整できる。
On the other hand, according to the
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.
たとえば、上記実施形態では、偏心カム110の個数は、2箇所としたが、特に限定されず、3箇所以上であってもよい。
For example, in the above embodiment, the number of the
また、シャフト111の断面形状は、四角形としたが、特に限定されず、三角形などの他の多角形であってもよい。
Moreover, although the cross-sectional shape of the
1 台車本体
2 位置決め機構
3 近接スイッチ
4 フォーク
5 ピン
6 レバー
7 筒部
8 ステーション
9 フォークガイド
10 キャリア
11 孔
12 キャスター
13 レール
15 ハンドル
18 ウェハ
100 搬送台車
101 ウェハキャリア
102 アーム
103 レール
104 アーム支持部
105 天面
106 台車本体
107 車輪
108 操作レバー
109 回転軸
110 偏心カム
111 シャフト
112 案内部
113 板状部材
115 各種装置
117 固定装置
119 受け部
121 回転中心
123 ロール
125 回転中心
127 ロール支持部
301 ウェハキャリア
302 アーム
304 アーム支持部
306 台車本体
307 車輪
308 昇降レバー
315 装置
317 固定装置
318 スライドレバー
321 受け部
1 Cart body 2 Positioning mechanism 3 Proximity switch 4 Fork 5
Claims (4)
前記台車本体の上部に設けられ、ウェハキャリアを保持する保持部と、
前記保持部を水平方向に移動する水平移動機構と、
前記水平移動機構を上下方向に移動する上下移動機構と、
前記水平移動機構および前記上下移動機構を操作する操作レバーと、
を備え、
前記水平移動機構は、前記保持部を水平方向に案内するレールを含み、
前記上下移動機構は、
前記水平移動機構を支持する偏心カムと、
前記偏心カムを貫通するとともに前記操作レバーにより回転可能に構成された回転軸と、
を含み、
前記操作レバーは、前記保持部の側面のうち、前記レールの延在方向に略直交する側面に設けられており、前記レールの延在方向と略直交する平面内で回転し、
前記操作レバーに対して前記レールの延在方向の外力が加わると、前記操作レバーが前記保持部とともに前記レール上を前記外力の方向に移動し、
前記操作レバーが回動すると前記偏心カムが連動して回転し、前記水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている
ことを特徴とする搬送台車。 The cart body,
A holding unit that is provided on an upper portion of the carriage body and holds a wafer carrier;
A horizontal movement mechanism for moving the holding portion in a horizontal direction;
A vertical movement mechanism for moving the horizontal movement mechanism in the vertical direction;
An operation lever for operating the horizontal movement mechanism and the vertical movement mechanism;
With
The horizontal movement mechanism includes a rail that guides the holding portion in a horizontal direction,
The vertical movement mechanism is
An eccentric cam that supports the horizontal movement mechanism;
A rotating shaft configured to pass through the eccentric cam and be rotatable by the operation lever;
Including
The operation lever is provided on a side surface of the holding portion that is substantially orthogonal to the extending direction of the rail, and rotates in a plane that is approximately orthogonal to the extending direction of the rail.
When an external force in the extending direction of the rail is applied to the operating lever, the operating lever moves on the rail along with the holding portion in the direction of the external force,
When the operation lever rotates, the eccentric cam rotates in conjunction with each other, and the horizontal movement mechanism moves in the vertical direction.
前記台車本体の上部に設けられ、ウェハキャリアを保持する保持部と、
前記保持部を水平方向に移動する水平移動機構と、
前記水平移動機構を上下方向に移動する上下移動機構と、
前記水平移動機構および前記上下移動機構を操作する操作レバーと、
を備え、
前記水平移動機構は、前記保持部を水平方向に案内するレールを含み、
前記上下移動機構は、
前記水平移動機構を支持する偏心カムと、
前記偏心カムを貫通するとともに前記操作レバーにより回転可能に構成された回転軸と、
を含み、
前記回転軸は、前記操作レバーの一端を挿通し、
前記操作レバーは、前記回転軸に沿って移動可能に構成されており、
前記操作レバーに対して前記レールの延在方向の外力が加わると、前記操作レバーが前記保持部とともに前記レール上を前記外力の方向に移動し、
前記操作レバーが回動すると前記偏心カムが連動して回転し、前記水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている
ことを特徴とする搬送台車。 The cart body,
A holding unit that is provided on an upper portion of the carriage body and holds a wafer carrier;
A horizontal movement mechanism for moving the holding portion in a horizontal direction;
A vertical movement mechanism for moving the horizontal movement mechanism in the vertical direction;
An operation lever for operating the horizontal movement mechanism and the vertical movement mechanism;
With
The horizontal movement mechanism includes a rail that guides the holding portion in a horizontal direction,
The vertical movement mechanism is
An eccentric cam that supports the horizontal movement mechanism;
A rotating shaft configured to pass through the eccentric cam and be rotatable by the operation lever;
Including
The rotating shaft is inserted through one end of the operation lever,
The operation lever is configured to be movable along the rotation axis,
When an external force in the extending direction of the rail is applied to the operating lever, the operating lever moves on the rail along with the holding portion in the direction of the external force,
When the operation lever rotates, the eccentric cam rotates in conjunction with each other, and the horizontal movement mechanism moves in the vertical direction.
前記偏心カムが複数設けられていることを特徴とする搬送台車。 In the conveyance trolley | bogie of Claim 1 or 2 ,
A conveying cart characterized in that a plurality of the eccentric cams are provided.
前記台車本体は、手押し操作により移動可能であることを特徴とする搬送台車。 In the conveyance trolley | bogie in any one of Claims 1 thru | or 3 ,
The carriage main body can be moved by a manual push operation.
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