JP2003171081A - Ceiling transporting system and transporting method therefor - Google Patents
Ceiling transporting system and transporting method thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、掬い上げ式の移載
装置を備えたストッカと、ホイストを備えた天井搬送車
と、天井搬送車で搬送される物品がホイストにより移載
される処理装置と、天井搬送車が走行するレールとを備
えた天井搬送システム及びその搬送方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stocker provided with a scooping type transfer device, an overhead carrier provided with a hoist, and a processing device for transferring articles conveyed by the overhead carrier by the hoist. The present invention relates to a ceiling transfer system including a rail on which a ceiling transfer vehicle travels and a transfer method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体等の多数の処理工程が必要
な物品では、複数の処理装置を１つの系にしてこの系毎
にストッカを配置し、系内の間で物品を搬送する工程内
搬送と、ある系のストッカと別の系のストッカとの間で
物品を搬送する工程間搬送とが設けられている。工程内
搬送には、処理装置の定められた高さ位置に物品を搬送
するために、ホイスト付きの天井搬送車が用いられてい
る。また、工程間搬送には、掬い上げ式の移載装置をス
トッカに設けることで、載置台のみ設けて高速搬送を可
能にした天井搬送車が用いられている。2. Description of the Related Art Conventionally, for an article such as a semiconductor which requires a large number of processing steps, a plurality of processing apparatuses are made into one system and a stocker is arranged for each system, and the article is conveyed between the systems. Transport and inter-process transport for transporting articles between one system stocker and another stocker are provided. For in-process transportation, a ceiling transportation vehicle with a hoist is used to transport the article to a predetermined height position of the processing device. Further, for the inter-process transportation, a ceiling transportation vehicle is used in which a scooping-up type transfer device is provided in the stocker so that only a mounting table is provided to enable high-speed transportation.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】工程内搬送用と工程間
搬送用と別々の搬送装置を用いると、両搬送系の間で必
ず物品の移し替えが必要なことから、全てホイスト付き
の天井搬送車で行うことや、先端にホイストを備えた移
載装置を搭載した天井搬送車により行うことが検討され
ている。しかしながら、ホイストは、掬い上げ式の移載
装置に比べて移載時間が掛かるため、全てホイスト付き
の天井搬送車では、工程間搬送におけるストッカへの移
載に時間が掛かることとなる。また、天井搬送車に移載
装置を設けると、天井搬送車及びそのレールに大きな強
度が必要になり、実施が困難であった。そこで、本発明
は、工程間搬送と工程内搬送とを備え、移載時間をでき
るだけ短くし、且つ、天井搬送車及びレールに大きな強
度を必要としない天井搬送車システム及びその搬送方法
を提供することが課題である。If separate transport devices for in-process transport and inter-process transport are used, it is necessary to transfer articles between both transport systems. Therefore, all ceiling transport with hoist is required. It is being considered to use a car or a ceiling carrier equipped with a transfer device having a hoist at the tip. However, since the hoist requires a longer transfer time than the scooping-type transfer device, all the ceiling transfer vehicles with the hoist need a longer transfer time to the stocker during the inter-process transfer. Further, if the ceiling transfer vehicle is provided with the transfer device, a large strength is required for the ceiling transfer vehicle and its rails, which is difficult to implement. Therefore, the present invention provides an overhead transportation vehicle system and a transportation method thereof, which are provided with inter-process transportation and intra-process transportation, and which shorten transfer time as much as possible and do not require great strength for the ceiling transportation vehicle and rail. That is the challenge.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、以上のような
課題を解決すべく、次のような手段を用いるものであ
る。即ち、請求項１の発明においては、天井搬送システ
ムは、掬い上げ式の移載装置を備えたストッカと、ホイ
ストを備えた天井搬送車と、天井搬送車で搬送される物
品がホイストにより移載される処理装置と、天井搬送車
が走行するレールとを備え、天井搬送車には、搬送され
る物品の下方に配置され、物品の両側から水平方向内側
へ突出して、該物品を支持可能な一対の落下防止片が設
けられ、落下防止片に支持された物品と天井搬送車にお
ける物品収納スペースの上端との間には前記移載装置に
より物品を掬い上げることができるだけの間隔が設けら
れているものである。The present invention uses the following means in order to solve the above problems. That is, in the invention of claim 1, in the ceiling transfer system, the stocker including the scooping-type transfer device, the ceiling transfer vehicle including the hoist, and the articles transferred by the ceiling transfer vehicle are transferred by the hoist. And a rail on which the ceiling carrier travels. The ceiling carrier is provided below the article to be transported, and can project horizontally from both sides of the article to support the article. A pair of fall prevention pieces are provided, and an interval is provided between the article supported by the fall prevention pieces and the upper end of the article storage space in the ceiling guided vehicle so that the transfer device can scoop the articles. There is something.
【０００５】また、請求項２の発明においては、前記落
下防止片には、落下防止部及び支持部が備えられている
ものである。Further, in the invention of claim 2, the fall prevention piece is provided with a fall prevention portion and a support portion.
【０００６】さらに、請求項３の発明においては、天井
搬送システムの搬送方法は、少なくとも、ストッカに設
けられた移載装置により、ストッカから、天井搬送車に
設けられ物品を支持可能な落下防止片へ、該物品を移載
するステップと、落下防止片に支持された物品を天井搬
送車に設けられるホイストによりチャックするステップ
と、物品をホイストによりチャックして持ち上げた状態
で搬送するステップとを含む、又は、前記ホイストによ
りチャックされて持ち上げられた状態の物品を、前記落
下防止片に移載するステップと、落下防止片に支持され
る物品を前記移載装置によりストッカに移載するステッ
プとを含む、ものである。Further, in a third aspect of the present invention, in the method of transporting the ceiling transport system, at least a fall prevention piece capable of supporting an article provided in the ceiling transport vehicle from the stocker by the transfer device provided in the stocker. The step of transferring the article, the step of chucking the article supported by the fall prevention piece by the hoist provided on the ceiling transport vehicle, and the step of transporting the article while chucked by the hoist and lifted Or, a step of transferring the article chucked and lifted by the hoist to the fall prevention piece, and a step of transferring the article supported by the fall prevention piece to the stocker by the transfer device. Including.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、添付の図
面より説明する。図１は天井搬送システムを示す平面
図、図２は天井搬送車を示す側面図、図３は落下防止片
へ載置されたカセットの下端部を示す側面断面図、図４
はカセットが落下防止片へ載置された状態の天井搬送車
を示す側面図、図５はストッカの移載装置によりカセッ
トが持ち上げられた状態の天井搬送車を示す側面図、図
６はカセットをホイストにより処理装置へ移載している
状態の天井搬送車を示す側面図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a plan view showing a ceiling transfer system, FIG. 2 is a side view showing a ceiling transfer vehicle, FIG. 3 is a side sectional view showing a lower end portion of a cassette placed on a fall prevention piece, and FIG.
Is a side view showing the ceiling transfer vehicle with the cassette placed on the fall prevention piece, FIG. 5 is a side view showing the ceiling transfer vehicle with the cassette being lifted by the stocker transfer device, and FIG. It is a side view which shows the ceiling conveyance vehicle in the state currently transferred to the processing apparatus by the hoist.
【０００８】まず、本発明の天井搬送システムの全体構
成について説明する。図１に示す搬送システムＳは、本
発明の天井搬送システムを、例えば、半導体製造工場の
クリーンルーム内における、半導体ウエハ等を収納する
カセットを搬送するための搬送システムに適用したもの
である。First, the overall configuration of the ceiling transfer system of the present invention will be described. A transfer system S shown in FIG. 1 is an application of the ceiling transfer system of the present invention to, for example, a transfer system for transferring a cassette for storing semiconductor wafers in a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
【０００９】搬送システムＳにおいては、レール１３が
クリーンルームの天井等に敷設されており、カセットを
搬送する天井搬送車１が、該レール１３に沿って走行す
るように構成されている。また、レール１３の周囲に
は、カセットを収納するストッカ１５や、カセット内に
収納されるウエハを加工するための処理装置１６等が多
数設置されている。そして、クリーンルーム内における
各工程Ｋ１・Ｋ２・Ｋ３・Ｋ４・・・毎に複数の処理装
置１６がライン状に纏めて配置され、該各工程Ｋ１・Ｋ
２・Ｋ３・Ｋ４・・・の上流側端部にストッカ１５が配
置されている。In the transfer system S, rails 13 are laid on the ceiling of a clean room or the like, and a ceiling transfer vehicle 1 for transferring cassettes is configured to run along the rails 13. Around the rail 13, there are many stockers 15 for accommodating cassettes, a plurality of processing devices 16 for processing the wafers accommodated in the cassettes, and the like. A plurality of processing devices 16 are collectively arranged in a line for each process K1, K2, K3, K4 ... In the clean room.
A stocker 15 is arranged at the upstream end of 2.K3.K4 ....
【００１０】前記レール１３は、各工程Ｋ１・Ｋ２・Ｋ
３・Ｋ４・・・におけるストッカ１５及び処理装置１６
の近傍に敷設される工程内レール１９と、クリーンルー
ム内の全体にわたって敷設される工程間レール１８とで
構成されている。工程間レール１８は、各工程Ｋ１・Ｋ
２・Ｋ３・Ｋ４・・・間を接続するものであり、例え
ば、天井搬送車１により、ある工程Ｋ１・Ｋ２・Ｋ３・
Ｋ４・・・から別の工程Ｋ１・Ｋ２・Ｋ３・Ｋ４・・・
へカセットを搬送する際に用いられる。工程内レール１
９は、各工程Ｋ１・Ｋ２・Ｋ３・Ｋ４・・・内のストッ
カ１５と処理装置１６とを、及び各処理装置１６間を接
続するものであり、例えば、各工程Ｋ１・Ｋ２・Ｋ３・
Ｋ４・・・内にて、ストッカ１５から処理装置１６へ、
又はある処理装置１６から別の処理装置１６へカセット
を搬送する際に用いられる。The rail 13 is used for each process K1, K2, K
Stocker 15 and processing device 16 in 3.K4 ...
It is configured by an in-process rail 19 laid in the vicinity of and a inter-process rail 18 laid throughout the clean room. Inter-process rail 18 is used for each process K1 ・ K
2, K3, K4, etc. are connected to each other. For example, a process K1, K2, K3,
Another process from K4 ... K1, K2, K3, K4 ...
It is used when the cassette is transported to the. In-process rail 1
9 connects the stocker 15 and the processing devices 16 in each process K1, K2, K3, K4 ... And between the processing devices 16, for example, each process K1, K2, K3.
In K4 ..., from stocker 15 to processing device 16,
Alternatively, it is used when a cassette is transported from one processing device 16 to another processing device 16.
【００１１】また、工程間レール１８を走行する天井搬
送車１と工程内レール１９を走行する天井搬送車１とは
同一仕様に構成され、工程間レール１８と工程内レール
１９とは連絡路２０により接続されており、工程間レー
ル１８を走行する天井搬送車１及び工程内レール１９を
走行する天井搬送車１が、相互に工程内レール１９及び
工程間レール１８へ乗り入れることが可能となってい
る。The ceiling carrier 1 traveling on the inter-process rail 18 and the ceiling carrier 1 traveling on the in-process rail 19 are configured to have the same specifications, and the inter-process rail 18 and the in-process rail 19 have a connecting path 20. The ceiling transport vehicle 1 running on the inter-process rail 18 and the ceiling transport vehicle 1 running on the in-process rail 19 are connected to each other by the inter-process rail 18 and the in-process rail 19 and the inter-process rail 18. There is.
【００１２】次に、天井搬送車１について説明する。天
井搬送車１は物品支持部２と走行装置３とで構成され、
該走行装置３は、前記レール１３に走行可能に支持され
ている。物品支持部２は支持空間２ａを有しており、該
支持空間２ａの上端部にはチャック機構７を備えたホイ
スト６が設けられている。支持空間２ａ内には、チャッ
ク機構７により取っ手部５ａがチャックされ、ホイスト
６に支持された状態のカセット５が収容されている。こ
のように、天井搬送車１は、支持空間２ａ内にカセット
５を支持収容しながらレール１３に沿って走行すること
で、該カセット５を搬送するように構成されている。Next, the ceiling carrier 1 will be described. The ceiling carrier 1 is composed of an article support unit 2 and a traveling device 3,
The traveling device 3 is supported by the rail 13 so as to be capable of traveling. The article support unit 2 has a support space 2a, and a hoist 6 having a chuck mechanism 7 is provided at the upper end of the support space 2a. In the support space 2a, the handle 5a is chucked by the chuck mechanism 7 and the cassette 5 supported by the hoist 6 is accommodated. In this way, the ceiling transport vehicle 1 is configured to transport the cassette 5 by traveling along the rail 13 while supporting and housing the cassette 5 in the support space 2a.
【００１３】また、物品支持部２の下端部には一対の落
下防止片２ｂ・２ｂが設けられている。落下防止片２ｂ
・２ｂは、搬送される物品であるカセット５の下方に配
置され、該カセット５の両側方に位置する物品支持部２
の両側壁から水平方向内側へ突出している。該落下防止
片２ｂ・２ｂ間の寸法Ｗ１は、カセット５の幅寸法Ｗ２
よりも狭くなっている。A pair of fall prevention pieces 2b, 2b are provided at the lower end of the article support portion 2. Fall prevention piece 2b
2b is an article support unit 2 which is arranged below the cassette 5 which is an article to be conveyed and which is located on both sides of the cassette 5.
It projects horizontally inward from both side walls. The dimension W1 between the fall prevention pieces 2b and 2b is the width dimension W2 of the cassette 5.
Is narrower than.
【００１４】カセット５を天井搬送車１により搬送する
場合は、前述の図２に示すように、支持空間２ａ内でホ
イスト６によりカセット５を支持して持ち上げた状態で
搬送するが、万が一、チャック機構７によるチャック状
態が解除されてカセット５が落下した場合には、前記寸
法Ｗ１が寸法Ｗ２よりも小さく構成されているので、該
カセット５が下方に配置される落下防止片２ｂ・２ｂに
係止して支持空間２ａ内に留まることとなる。このよう
に、物品支持部２に落下防止片２ｂ・２ｂを設けること
で、不意にチャック機構７によるチャック状態が解除さ
れた場合でも、カセット５が天井搬送車１から落下する
ことを防止することができる。When the cassette 5 is carried by the ceiling carrier 1, as shown in FIG. 2, the cassette 5 is carried by the hoist 6 in the supporting space 2a and is lifted up. When the cassette 5 is dropped by releasing the chuck state by the mechanism 7, since the dimension W1 is configured to be smaller than the dimension W2, the cassette 5 is engaged with the fall prevention pieces 2b, 2b arranged below. It will stop and will remain in the support space 2a. In this way, by providing the article support portion 2 with the fall prevention pieces 2b, 2b, even if the chuck state by the chuck mechanism 7 is unexpectedly released, it is possible to prevent the cassette 5 from falling from the ceiling transport vehicle 1. You can
【００１５】また、カセット５を、ホイスト６により支
持された図２に示す状態から下降させると、図３に示す
ように、落下防止片２ｂ・２ｂの上面にカセット５が載
置されることとなり、該落下防止片２ｂ・２ｂによりカ
セット５を支持することができる。この場合、落下防止
片２ｂの上面には、上方に突出する支持突起２ｃが突出
しており、該支持突起２ｃが、落下防止片２ｂに載置さ
れたカセット５の底面に形成される係合溝５ｂと係合し
ている。支持突起２ｃと係合溝５ｂとが係合すること
で、落下防止片２ｂ上に載置されたカセット５が位置決
め支持される。When the cassette 5 is lowered from the state shown in FIG. 2 supported by the hoist 6, the cassette 5 is placed on the upper surfaces of the fall prevention pieces 2b, 2b as shown in FIG. The cassette 5 can be supported by the fall prevention pieces 2b and 2b. In this case, the support protrusion 2c protruding upward is projected on the upper surface of the fall prevention piece 2b, and the support protrusion 2c is formed in the engagement groove formed on the bottom surface of the cassette 5 placed on the fall prevention piece 2b. 5b is engaged. By engaging the support protrusion 2c and the engagement groove 5b, the cassette 5 placed on the fall prevention piece 2b is positioned and supported.
【００１６】そして、支持突起２ｃを係合溝５ｂに係合
させながら、カセット５を落下防止片２ｂ・２ｂ上に載
置することで、物品支持部２が移動・停止を繰り返した
り、揺れたりした場合でも、安定的にカセット５を落下
防止片２ｂ・２ｂ上に載置しておくことができるため、
この状態で該カセット５を天井搬送車１により搬送する
ことも可能となっている。このように、主にカセット５
の落下防止部材として機能する落下防止片２ｂ上にカセ
ット５を載置しつつ、カセット５の支持部としての機能
を有する支持突起２ｃによりカセット５の下部を支持す
ることで、ホイスト６のチャック機構７によりカセット
５の上端部のみを支持した場合に比べて、カセット５の
揺れを抑えることができ、安定した姿勢で確実に搬送す
ることが可能となる。By placing the cassette 5 on the fall prevention pieces 2b, 2b while engaging the support projection 2c with the engagement groove 5b, the article support section 2 repeatedly moves and stops, or shakes. Even if it is done, since the cassette 5 can be stably placed on the fall prevention pieces 2b and 2b,
In this state, the cassette 5 can be transported by the ceiling transport vehicle 1. In this way, mainly cassette 5
While mounting the cassette 5 on the fall prevention piece 2b that functions as a fall prevention member, the lower portion of the cassette 5 is supported by the support protrusions 2c that have the function of supporting the cassette 5, and thus the chuck mechanism of the hoist 6 is formed. As compared with the case where only the upper end portion of the cassette 5 is supported by 7, it is possible to suppress the shaking of the cassette 5, and it is possible to reliably convey the cassette 5 in a stable posture.
【００１７】尚、カセット５を落下防止片２ｂ・２ｂ上
に載置して搬送する場合は、チャック機構７により取っ
手部５ａをチャックしていない状態でも良く、チャック
した状態でも良い。また、搬送されるカセット５の下方
に配置され、物品支持部２の両側壁から水平方向内側へ
突出する落下防止片２ｂ・２ｂは、突出量が可変に構成
されている。即ち、物品支持部２の両側壁からの突出量
を変化させて、該落下防止片２ｂ・２ｂ間の寸法Ｗ１を
調節することが可能である。また、支持突起２ｃの形状
は、本例のように略円錐形状に形成された突起物だけで
なく、係合溝５ｂに係合可能なピン部材のようなもので
もよく、該係合溝５ｂと係合可能でカセット５を位置決
め支持できるものであればよい。さらに、この支持突起
２ｃは、複数の形状のものが混在していてもよい。When the cassette 5 is placed on the fall prevention pieces 2b, 2b and conveyed, the grip portion 5a may or may not be chucked by the chuck mechanism 7. Further, the drop preventing pieces 2b, 2b, which are arranged below the conveyed cassette 5 and project horizontally inward from both side walls of the article support unit 2, are configured to have variable projecting amounts. That is, it is possible to adjust the dimension W1 between the fall prevention pieces 2b and 2b by changing the amount of protrusion from both side walls of the article support portion 2. Further, the shape of the support protrusion 2c is not limited to the protrusion formed in a substantially conical shape as in this example, but may be a pin member capable of engaging with the engagement groove 5b. Any device that can be engaged with and can position and support the cassette 5 may be used. Furthermore, the support protrusions 2c may have a plurality of shapes.
【００１８】ここで、本搬送システムＳにおいては、天
井搬送車１やストッカ１５等の動作を制御する制御装置
が設けられており、該制御装置により、例えば、天井搬
送車１が工程間レール１８に沿って搬送してきたカセッ
ト５をストッカ１５に移載し、ストッカ１５に収納され
たカセット５を工程内レール１９に沿って走行する天井
搬送車１へ移載し、さらに、工程内レール１９を走行す
る天井搬送車１から処理装置１６へカセット５を移載す
るように制御されている。Here, in the present transport system S, a control device for controlling the operations of the ceiling transport vehicle 1, the stocker 15 and the like is provided, and by the control device, for example, the ceiling transport vehicle 1 is moved to the inter-process rail 18. The cassette 5 transported along the above is transferred to the stocker 15, the cassette 5 stored in the stocker 15 is transferred to the ceiling transport vehicle 1 traveling along the in-process rail 19, and the in-process rail 19 is further transferred. It is controlled to transfer the cassette 5 from the traveling overhead carrier 1 to the processing device 16.
【００１９】そして、カセット５が工程間レール１８上
を搬送される場合は、前述の如く、ホイスト６により支
持された状態又は落下防止片２ｂ・２ｂ上に載置された
状態となっているが、工程間レール１８を走行する天井
搬送車１からストッカ１５へカセット５が移載されると
きには、該天井搬送車１は、図４に示すように、カセッ
ト５を落下防止片２ｂ・２ｂ上に載置するとともに、チ
ャック機構７による取っ手部５ａのチャック状態を解除
するように制御されている。このカセット５を落下防止
片２ｂ・２ｂ上に載置する動作は、天井搬送車１が走行
中に行うこともでき、天井搬送車１が移載するストッカ
１５の前で停止してから行うこともできる。搬送先が処
理装置１６であるかストッカ１５であるかは、例えば、
図示しない上位のコントローラから天井搬送装置１に送
信される、搬送指令に含まれる行き先情報を基に判断す
ればよい。When the cassette 5 is conveyed on the inter-process rail 18, it is in the state of being supported by the hoist 6 or being placed on the fall prevention pieces 2b, 2b as described above. When the cassette 5 is transferred from the ceiling carrier 1 traveling on the inter-process rail 18 to the stocker 15, the ceiling carrier 1 moves the cassette 5 onto the fall prevention pieces 2b and 2b as shown in FIG. While being placed, the chuck mechanism 7 is controlled to release the chucked state of the handle portion 5a. The operation of placing the cassette 5 on the fall prevention pieces 2b and 2b can be performed while the ceiling transport vehicle 1 is traveling, and is performed after the ceiling transport vehicle 1 is stopped in front of the stocker 15 to which the ceiling transport vehicle 1 is transferred. You can also Whether the transfer destination is the processing device 16 or the stocker 15 is determined by, for example,
The determination may be made based on the destination information included in the transfer command transmitted from the upper controller (not shown) to the ceiling transfer apparatus 1.
【００２０】ストッカ１５には移載装置２１が備えられ
ており、該移載装置２１により、落下防止片２ｂ・２ｂ
上に載置されたカセット５がストッカ１５へ移載され
る。移載装置２１は掬い上げ式の移載装置に構成されて
おり、移載装置２１の移載アーム２１ａをカセット５の
下方へ移動した後、図５に示すように、該移載アーム２
１ａを上昇させてカセット５持ち上げ、物品支持部２か
らカセット５を取り出すようにしている。従って、支持
空間２ａ内における、落下防止片２ｂ・２ｂに載置され
た状態のカセット５の上端とチャック機構７との間に
は、移載アーム２１ａによりカセット５を持ち上げた際
に、カセット５の上端とチャック機構７とが干渉せず、
且つ、カセット５の下端と落下防止片２ｂから突出する
支持突起２ｃとが干渉しない状態となるだけの間隙ｈ１
が設けられている。The stocker 15 is provided with a transfer device 21, and the transfer device 21 allows the fall prevention pieces 2b, 2b.
The cassette 5 placed on the top is transferred to the stocker 15. The transfer device 21 is configured as a scooping-type transfer device. After the transfer arm 21a of the transfer device 21 is moved to the lower side of the cassette 5, as shown in FIG.
1a is raised to raise the cassette 5, and the cassette 5 is taken out from the article supporting unit 2. Therefore, when the cassette 5 is lifted by the transfer arm 21a between the upper end of the cassette 5 placed on the fall prevention pieces 2b and 2b and the chuck mechanism 7 in the support space 2a, the cassette 5 The upper end of the and the chuck mechanism 7 do not interfere,
In addition, the gap h1 is such that the lower end of the cassette 5 and the support protrusion 2c protruding from the fall prevention piece 2b do not interfere with each other.
Is provided.
【００２１】このようにして、物品支持部２から取り出
されストッカ１５に移載されたカセット５は、次に、工
程内レール１９を走行する天井搬送車１へ移載される。
このストッカ１５から工程内レール１９の天井搬送車１
へのカセット５の移載も、ストッカ１５の移載装置２１
により行われる。この場合は、ストッカ１５に収納され
ているカセット５が、移載装置２１の移載アーム２１ａ
により天井搬送車１まで運ばれ、物品支持部２の落下防
止片２ｂ・２ｂ上に載置される。The cassette 5 thus taken out from the article supporting unit 2 and transferred to the stocker 15 is then transferred to the ceiling carrier 1 which travels on the in-process rail 19.
Ceiling carrier 1 from this stocker 15 to the in-process rail 19
The transfer device 21 of the stocker 15 is also used for transferring the cassette 5 to the stocker 15.
Done by. In this case, the cassette 5 stored in the stocker 15 is the transfer arm 21a of the transfer device 21.
Are carried to the ceiling carrier 1 and placed on the fall prevention pieces 2b, 2b of the article support unit 2.
【００２２】ストッカ１５から工程内レール１９の天井
搬送車１へ移載されたカセット５は、さらに、所定の処
理装置１６へ移載される。図６に示すように、クリーン
ルームの天井面に敷設されたレール１３に支持される天
井搬送車１は、床面からの高さが所定の高さに設定され
ている処理装置１６のカセット載置面１６ａよりもかな
り高所に位置しているため、天井搬送車１から処理装置
１６へのカセット５の移載は、ホイスト６を用いて行
う。The cassette 5 transferred from the stocker 15 to the ceiling carrier 1 of the in-process rail 19 is further transferred to a predetermined processing device 16. As shown in FIG. 6, the ceiling transfer vehicle 1 supported by the rails 13 laid on the ceiling surface of the clean room has a cassette mounting of the processing device 16 whose height from the floor surface is set to a predetermined height. The hoist 6 is used to transfer the cassette 5 from the ceiling carrier 1 to the processing device 16 because the cassette 5 is located at a position considerably higher than the surface 16a.
【００２３】即ち、カセット５を移載する処理装置１６
までの天井搬送車１の走行途中に、又は該処理装置１６
まで天井搬送車１が走行してきたら、該カセット５をチ
ャック機構７によりチャックして、図２に示す状態の如
く、ホイスト６により支持した状態とする。この状態か
ら、落下防止片２ｂ・２ｂの突出量を減少させて、該落
下防止片２ｂ・２ｂ間の寸法Ｗ１がカセット５の幅寸法
Ｗ２よりも大きくなるようにする。ホイスト６は、ワイ
ヤ６ａを巻き上げ又は巻き下げ操作することにより昇降
可能に構成されており、その後、ホイスト６を巻き下げ
操作してカセット５を下降させ、該カセット５を処理装
置１６のカセット載置面１６ａへ移載するのである。
尚、カセット載置面１６ａには、カセット５の下面に形
成される係合溝５ｂと位置を合わせて、係合突起１６ｂ
が突出しており、該カセット載置面１６ａに載置された
カセット５の位置決めを行うようにしている。That is, the processing device 16 for transferring the cassette 5
During traveling of the ceiling guided vehicle 1 or the processing device 16
When the ceiling guided vehicle 1 travels up to this point, the cassette 5 is chucked by the chuck mechanism 7 and is supported by the hoist 6 as shown in FIG. From this state, the protrusion amount of the fall prevention pieces 2b, 2b is reduced so that the dimension W1 between the fall prevention pieces 2b, 2b becomes larger than the width dimension W2 of the cassette 5. The hoist 6 is configured to be able to move up and down by winding up or winding down the wire 6a. After that, the hoist 6 is wound down to lower the cassette 5, and the cassette 5 is placed on the cassette mounting device of the processing device 16. It is transferred to the surface 16a.
In addition, the engaging protrusion 16b is aligned with the engaging groove 5b formed on the lower surface of the cassette 5 on the cassette mounting surface 16a.
Is projected, and the cassette 5 placed on the cassette placing surface 16a is positioned.
【００２４】逆に、処理装置１６から天井搬送車１へカ
セット５へ移載する場合も、同様にホイスト６を用いて
移載を行う。即ち、カセット載置面１６ａに載置された
カセット５を、下降してきたホイスト６のチャック機構
７によりチャックした後に、該ホイスト６を巻き上げ操
作してカセット５を物品支持部２の支持空間２ａまで上
昇させる。その後、落下防止片２ｂ・２ｂの突出量を増
加させて、落下防止片２ｂ・２ｂ間の寸法Ｗ１がカセッ
ト５の幅寸法Ｗ２よりも小さくなるようにする。On the contrary, when the cassette 5 is transferred from the processing device 16 to the ceiling carrier 1, the hoist 6 is also used for transfer. That is, after the cassette 5 mounted on the cassette mounting surface 16a is chucked by the chuck mechanism 7 of the hoist 6 that has descended, the hoist 6 is rolled up to move the cassette 5 to the support space 2a of the article support unit 2. To raise. After that, the protrusion amount of the fall prevention pieces 2b, 2b is increased so that the dimension W1 between the fall prevention pieces 2b, 2b becomes smaller than the width dimension W2 of the cassette 5.
【００２５】このように、天井搬送車１に昇降自在なホ
イスト６を設け、該ホイスト６に支持されるカセット５
の下方に、該カセット５を支持可能な落下防止片２ｂ・
２ｂを設けるとともに、落下防止片２ｂ・２ｂ上に載置
されたカセット５の上端と支持空間２ａとの間に、移載
装置２１によりカセット５を掬い上げて取り出すことが
できるだけの間隔ｈ１を設けることで、工程内レール１
９を走行する天井搬送車１と処理装置１６との間では、
ホイスト６によりカセット５の移載を行い、工程間レー
ル１８を走行する天井搬送車１とストッカ１５との間で
は、カセット５を落下防止片２ｂ・２ｂ上に載置するこ
とで、ストッカ１５に備えられる移載装置２１を用いて
カセット５を移載することができる。As described above, the hoist 6 which can be raised and lowered is provided on the ceiling carrier 1, and the cassette 5 supported by the hoist 6 is provided.
A fall prevention piece 2b capable of supporting the cassette 5 below
2b is provided, and an interval h1 is provided between the upper end of the cassette 5 placed on the fall prevention pieces 2b and 2b and the support space 2a so that the cassette 5 can be picked up by the transfer device 21 and taken out. By doing so, rail 1 in the process
Between the ceiling guided vehicle 1 traveling on 9 and the processing device 16,
The cassette 5 is transferred by the hoist 6, and the cassette 5 is placed on the fall prevention pieces 2b and 2b between the ceiling transport vehicle 1 traveling on the inter-process rail 18 and the stocker 15 so that the cassette 5 is transferred to the stocker 15. The cassette 5 can be transferred using the transfer device 21 provided.
【００２６】従って、天井搬送車１と処理装置１６との
間では、全ての天井搬送車１でホイスト６により移載作
業を行うように構成した場合よりも、移載時間を短縮す
ることができる。また、本システムでは、掬い上げ式の
移載装置２１をストッカ１５に設けているため、天井搬
送車１や、工程間レール１８及び工程内レール１９とい
ったレール１３の強度を大きくする必要がない。Therefore, the transfer time can be shortened between the ceiling guided vehicle 1 and the processing device 16 as compared with the case where the hoist 6 is used to perform the transfer operation in all the ceiling guided vehicles 1. . Further, in the present system, since the scooping-up type transfer device 21 is provided in the stocker 15, it is not necessary to increase the strength of the ceiling carrier 1 and the rails 13 such as the inter-process rail 18 and the intra-process rail 19.
【００２７】特に、本搬送システムＳにより行われる搬
送制御は、カセット５をストッカ１５から天井搬送車１
へ移載する際に、ストッカ１５の移載装置２１により、
ストッカ１５から、天井搬送車１の落下防止片２ｂ・２
ｂへ、カセット５を移載するステップと、落下防止片２
ｂ・２ｂ上に支持されたカセット５を天井搬送車１に設
けられるホイスト６のチャック機構７によりチャックし
て支持するステップと、カセット５をチャック機構７に
よりチャックして持ち上げ支持した状態（図２に示す状
態）で搬送するステップとを含んでいるので、該移載装
置２１によりカセット５を移載することができ、移載時
間を短縮することができて、搬送能力を向上することが
可能となっている。逆に、天井搬送車１からストッカ１
５へカセット５を移載する際に、ホイスト６のチャック
機構７によりチャックされて持ち上げられた状態のカセ
ット５を、落下防止片２ｂ・２ｂに移載するステップ
と、落下防止片２ｂ・２ｂに支持された状態のカセット
５を移載装置２１によりストッカ１５に移載するステッ
プとを含んでいるので、常にカセット５をホイスト６に
よりチャックして支持するように構成した場合とは異な
り、ストッカ１５の移載装置２１によりカセット５を移
載することができ、移載時間を短縮することができて、
搬送能力を向上することが可能となっている。In particular, the transport control performed by the transport system S is performed by moving the cassette 5 from the stocker 15 to the ceiling transport vehicle 1.
The transfer device 21 of the stocker 15
From the stocker 15 to the fall prevention pieces 2b, 2 of the ceiling guided vehicle 1.
b, the step of transferring the cassette 5 and the fall prevention piece 2
b and 2b, a step of chucking and supporting the cassette 5 supported by the chuck mechanism 7 of the hoist 6 provided on the ceiling transport vehicle 1, and a state in which the cassette 5 is chucked and lifted by the chuck mechanism 7 (see FIG. 2). Since the transfer device 21 can transfer the cassette 5, the transfer time can be shortened, and the transfer capability can be improved. Has become. Conversely, from the ceiling carrier 1 to the stocker 1
When the cassette 5 is transferred to the cassette 5, the cassette 5 chucked and lifted by the chuck mechanism 7 of the hoist 6 is transferred to the fall prevention pieces 2b and 2b, and the cassette 5 is moved to the fall prevention pieces 2b and 2b. Since the cassette 5 in the supported state is transferred to the stocker 15 by the transfer device 21, unlike the case where the cassette 5 is always chucked and supported by the hoist 6, the stocker 15 is not supported. It is possible to transfer the cassette 5 by the transfer device 21 of and transfer time can be shortened,
It is possible to improve the carrying capacity.
【００２８】尚、工程間レール１８を走行する天井搬送
車１は、カセット５をストッカ１５へ移載することな
く、連絡路２０を通じて工程内レール１８へ侵入し、ホ
イスト６を用いて、カセット５を直接処理装置１６へ移
載することも可能である。このように構成することで、
カセット５をストッカ５へ移載する時間が不要となるの
で、搬送時間を短縮して迅速な搬送処理を行うことが可
能となる。また、ストッカ１５の数を減少することが可
能となる。The ceiling carrier 1 traveling on the inter-process rail 18 enters the intra-process rail 18 through the connecting path 20 without transferring the cassette 5 to the stocker 15 and uses the hoist 6 to transfer the cassette 5 to the cassette 5. It is also possible to transfer the data directly to the processing device 16. With this configuration,
Since it is not necessary to transfer the cassette 5 to the stocker 5, it is possible to shorten the transfer time and perform a quick transfer process. Also, the number of stockers 15 can be reduced.
【００２９】また、本実施の形態では、搬送先に応じ
て、ホイスト６にカセット５をチャックさせて搬送する
か、落下防止片２ｂ・２ｂに支持させて搬送するかを変
えていたが、搬送先にかかわらず、全て落下防止片２ｂ
・２ｂでカセット５を支持して搬送させるようにしても
良い。より具体的には、ストッカ１５の移載装置２１に
よりカセット５を移載した場合には、ホイスト６を作動
させずにそのまま搬送する。この場合、ホイスト６は巻
き上げられて、カセット５とホイスト６の間に、移載装
置２１で掬い上げることが可能となる間隔ｈ１が形成さ
れている。In the present embodiment, depending on the destination, the hoist 6 chucks the cassette 5 for transportation or the hoist 6 supports the fall prevention pieces 2b, 2b for transportation. Regardless of the destination, all fall prevention pieces 2b
The cassette 5 may be supported by 2b to be transported. More specifically, when the cassette 5 is transferred by the transfer device 21 of the stocker 15, the hoist 6 is conveyed without being operated. In this case, the hoist 6 is wound up, and an interval h1 is formed between the cassette 5 and the hoist 6 so that the hoist 6 can be picked up by the transfer device 21.
【００３０】そして、搬送先が処理装置１６であれば、
搬送中、もしくは処理装置１６に到着した後に、ホイス
ト６を所定量下降させ、ホイスト６のチャック機構７で
カセット５の取っ手部５ａをチャックする。次に、落下
防止片２ｂ・２ｂを移動可能にするため、ホイスト６を
上昇させる。それから、突出させている落下防止片２ｂ
・２ｂをカセット５が通過可能な位置まで戻し、ホイス
ト６を下降させて、処理装置１６のカセット載置面１６
ａにカセット５を載置する。一方、搬送先がストッカ１
５であれば、ホイスト６を作動させることなく、目的の
ストッカ１５まで搬送し、ストッカ１５の移載装置２１
によりカセット５をストッカ１５に移載する。処理装置
１６のカセット載置面１６ａに載置されているカセット
５を受け取って搬送する場合、天井搬送車１のホイスト
６を所定量下降させ、カセット５の取っ手部５ａをホイ
スト６のチャック機構７でチャックする。そして、ホイ
スト６を上昇させて、カセット５を支持可能な間隔とな
るまで落下防止片２ｂ・２ｂを突出させた後、ホイスト
６を所定量下降させて、カセット５を落下防止片２ｂ・
２ｂに載置し、目的の搬送先へカセット５を搬送する。If the transport destination is the processing device 16,
During transportation or after reaching the processing device 16, the hoist 6 is lowered by a predetermined amount, and the chuck mechanism 7 of the hoist 6 chucks the handle portion 5a of the cassette 5. Next, in order to make the fall prevention pieces 2b, 2b movable, the hoist 6 is raised. Then, the fall prevention piece 2b that is projected
2b is returned to a position where the cassette 5 can pass, the hoist 6 is lowered, and the cassette mounting surface 16 of the processing device 16 is lowered.
Place the cassette 5 on a. On the other hand, the transport destination is stocker 1
If it is 5, the hoist 6 is conveyed to the target stocker 15 without being operated, and the transfer device 21 of the stocker 15 is transferred.
Then, the cassette 5 is transferred to the stocker 15. When receiving and transporting the cassette 5 placed on the cassette placing surface 16a of the processing device 16, the hoist 6 of the ceiling guided vehicle 1 is lowered by a predetermined amount, and the handle portion 5a of the cassette 5 is moved to the chuck mechanism 7 of the hoist 6. Chuck with. Then, the hoist 6 is raised to project the fall prevention pieces 2b, 2b until the cassette 5 can be supported, and then the hoist 6 is lowered by a predetermined amount to move the cassette 5 to the fall prevention piece 2b.
The cassette 5 is placed on 2b, and the cassette 5 is transported to the intended destination.
【００３１】また、本実施の形態では、落下防止片２ｂ
・２ｂ上に形成された支持突起２ｃと、カセット５の底
部に形成された係合溝５ｂとを係合させるようにしてい
るが、カセット５の底部の形状に合わせて形成された係
合部を落下防止片２ｂ・２ｂに成形し、カセット５の底
部と係合部とを係合させても良い。この結果、カセット
５を位置決めするとともに、カセット５が水平方向に移
動するのを規制することができる。落下防止片２ｂ・２
ｂに前記係合部を形成した場合、落下防止片２ｂ・２ｂ
の突出量を変更可能にしておき、カセット５を落下防止
片２ｂ・２ｂの係合部に係合させる第一突出位置と、係
合部への係合はしていないが、カセット５が落下しない
（前記第一突出位置より突出量の少ない）第二突出位置
とを設け、カセット５を落下防止片２ｂ・２ｂで支持し
て搬送する場合は第一突出位置にして、カセット５を移
載する際に第二突出位置に変更するように、落下防止片
２ｂ・２ｂの突出量を制御することが好ましい。Further, in this embodiment, the fall prevention piece 2b is provided.
The support projection 2c formed on 2b and the engagement groove 5b formed on the bottom of the cassette 5 are engaged with each other, but the engagement portion formed according to the shape of the bottom of the cassette 5. May be formed into the fall prevention pieces 2b and 2b, and the bottom portion of the cassette 5 and the engagement portion may be engaged with each other. As a result, the cassette 5 can be positioned and the movement of the cassette 5 in the horizontal direction can be restricted. Fall prevention piece 2b / 2
When the engaging portion is formed on b, the fall prevention pieces 2b, 2b
The protrusion amount of the cassette 5 can be changed, and the cassette 5 is dropped although the first protrusion position where the cassette 5 is engaged with the engagement portion of the fall prevention pieces 2b and 2b is not engaged with the engagement portion. If the cassette 5 is supported by the fall prevention pieces 2b and 2b, the second protrusion position is provided (the protrusion amount is smaller than the first protrusion position), and the cassette 5 is transferred with the first protrusion position. It is preferable to control the protrusion amount of the fall prevention pieces 2b and 2b so as to change to the second protrusion position when performing.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、次の
ような効果を奏するのである。即ち、請求項１記載の如
く、掬い上げ式の移載装置を備えたストッカと、ホイス
トを備えた天井搬送車と、天井搬送車で搬送される物品
がホイストにより移載される処理装置と、天井搬送車が
走行するレールとを備え、天井搬送車には、搬送される
物品の下方に配置され、物品の両側から水平方向内側へ
突出して、該物品を支持可能な一対の落下防止片が設け
られ、落下防止片に支持された物品と天井搬送車におけ
る物品収納スペースの上端との間には前記移載装置によ
り物品を掬い上げることができるだけの間隔が設けられ
ているので、工程内レールを走行する天井搬送車と処理
装置との間では、ホイストにより物品の移載を行い、工
程間レールを走行する天井搬送車とストッカとの間で
は、カセットを落下防止片上に載置することで、ストッ
カに備えられる移載装置を用いてカセットを移載するこ
とができるようになる。従って、天井搬送車と処理装置
との間では、全ての天井搬送車でホイストにより移載作
業を行うように構成した場合よりも、移載時間を短縮す
ることができる。また、本搬送システムでは、掬い上げ
式の移載装置をストッカに設けているため、天井搬送車
や、工程間レール及び工程内レールといったレールの強
度を大きくする必要がない。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. That is, as described in claim 1, a stocker provided with a scooping-type transfer device, an ceiling transport vehicle provided with a hoist, and a processing device in which an article transported by the ceiling transport vehicle is transferred by the hoist, And a rail on which the ceiling carrier travels, wherein the ceiling carrier is provided with a pair of fall prevention pieces that are arranged below the article to be conveyed, project from both sides of the article horizontally inward, and can support the article. Since an interval is provided between the article supported by the fall prevention piece and the upper end of the article storage space in the ceiling transport vehicle, there is provided an interval for picking up the article by the transfer device. The hoist transfers the articles between the ceiling transport vehicle and the processing device, and the cassette is placed on the fall prevention piece between the ceiling transport vehicle and the stocker traveling on the inter-process rail. , Su It is possible to transfer the cassette with the transfer device provided in Tsu mosquitoes. Therefore, the transfer time can be shortened between the ceiling guided vehicle and the processing device, compared to the case where the transfer work is performed by hoists in all the ceiling guided vehicles. Further, in the present transport system, since the scooping-up type transfer device is provided in the stocker, it is not necessary to increase the strength of the ceiling transport vehicle and the rails such as the inter-process rail and the intra-process rail.
【００３３】さらに、請求項２記載の如く、前記落下防
止片には、落下防止部及び支持部が備えられているの
で、落下防止部上に物品を載置しつつ、支持部により物
品の下部を支持することで、ホイストのチャック機構に
より物品の上端部のみを支持した場合に比べて、天井搬
送車が移動・停止を繰り返したり、揺れたりした場合で
も、物品の揺れを抑えることができ、該天井搬送車によ
り、物品を安定した姿勢で確実に搬送することが可能と
なる。Further, as described in claim 2, since the fall prevention piece is provided with the fall prevention portion and the support portion, the article is placed on the fall prevention portion while the support portion lowers the article. By supporting, compared to the case where only the upper end of the article is supported by the chuck mechanism of the hoist, even when the ceiling carrier repeatedly moves and stops, or shakes, it is possible to suppress the shaking of the article, By means of the ceiling transport vehicle, it becomes possible to reliably transport the article in a stable posture.
【００３４】さらに、請求項３記載の如く、本搬送シス
テムにおける搬送方法は、少なくとも、ストッカに設け
られた移載装置により、ストッカから、天井搬送車に設
けられ物品を支持可能な落下防止片へ、物品を移載する
ステップと、落下防止片に支持された物品を天井搬送車
に設けられるホイストによりチャックするステップと、
物品をホイストによりチャックして持ち上げた状態で搬
送するステップとを含む、又は、前記ホイストによりチ
ャックされて持ち上げられた状態の物品を、前記落下防
止片に移載するステップと、落下防止片に支持される物
品を前記移載装置によりストッカに移載するステップと
を含むので、常に物品をホイストによりチャックして支
持するように構成した場合とは異なり、ストッカの掬い
上げ式の移載装置により物品を移載することができ、移
載時間を短縮することができて、搬送能力を向上するこ
とが可能となる。Further, according to a third aspect of the present invention, in the carrying method of the present carrying system, at least the transfer device provided in the stocker moves from the stocker to the fall prevention piece provided on the ceiling carrier and capable of supporting the article. , A step of transferring the article, and a step of chucking the article supported by the fall prevention piece by a hoist provided on the ceiling carrier,
A step of chucking the article by a hoist and carrying it in a lifted state, or a step of transferring the article chucked and lifted by the hoist to the fall prevention piece, and supporting the fall prevention piece. And the step of transferring the article to the stocker by the transfer apparatus, unlike the case where the article is always chucked and supported by the hoist, the article is transferred by the scooping-type transfer apparatus of the stocker. Can be transferred, the transfer time can be shortened, and the transfer capacity can be improved.
【図１】天井搬送システムを示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a ceiling transfer system.
【図２】天井搬送車を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a ceiling carrier.
【図３】落下防止片へ載置されたカセットの下端部を示
す側面断面図である。FIG. 3 is a side sectional view showing a lower end portion of the cassette placed on the fall prevention piece.
【図４】カセットが落下防止片へ載置された状態の天井
搬送車を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing the ceiling guided vehicle with the cassette placed on the fall prevention piece.
【図５】ストッカの移載装置によりカセットが持ち上げ
られた状態の天井搬送車を示す側面図である。FIG. 5 is a side view showing the ceiling transport vehicle with the cassette being lifted by the stocker transfer device.
【図６】カセットをホイストにより処理装置へ移載して
いる状態の天井搬送車を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing the ceiling guided vehicle in a state where the cassette is transferred to the processing device by a hoist.
１ 天井搬送車 ２ 物品支持部 ２ｂ 落下防止片 ２ｃ 支持突起 ５ カセット ６ ホイスト ７ チャック機構 １３ レール １５ ストッカ １６ 処理装置 １８ 工程間レール １９ 工程内レール 1 Ceiling carrier 2 Article support 2b Fall prevention piece 2c Support protrusion 5 cassettes 6 hoists 7 Chuck mechanism 13 rails 15 Stocker 16 Processor 18 inter-process rail 19 Process rail
Claims (3)
と、ホイストを備えた天井搬送車と、天井搬送車で搬送
される物品がホイストにより移載される処理装置と、天
井搬送車が走行するレールとを備え、 天井搬送車には、搬送される物品の下方に配置され、物
品の両側から水平方向内側へ突出して、該物品を支持可
能な一対の落下防止片が設けられ、 落下防止片に支持された物品と天井搬送車における物品
収納スペースの上端との間には前記移載装置により物品
を掬い上げることができるだけの間隔が設けられている
ことを特徴とする天井搬送システム。1. A stocker provided with a scooping-type transfer device, a ceiling transfer vehicle provided with a hoist, a processing device for transferring articles transferred by the ceiling transfer vehicle by the hoist, and a ceiling transfer vehicle. The ceiling carrier is provided with a pair of fall prevention pieces which are arranged below the article to be conveyed, project from both sides of the article inward in the horizontal direction, and can support the article. The ceiling transfer system, wherein an interval is provided between the article supported by the prevention piece and the upper end of the article storage space in the ceiling transfer vehicle so that the transfer device can pick up the article.
持部が備えられていることを特徴とする請求項１に記載
の天井搬送システム。2. The ceiling transfer system according to claim 1, wherein the fall prevention piece is provided with a fall prevention portion and a support portion.
装置により、ストッカから、天井搬送車に設けられ物品
を支持可能な落下防止片へ、該物品を移載するステップ
と、落下防止片に支持された物品を天井搬送車に設けら
れるホイストによりチャックするステップと、物品をホ
イストによりチャックして持ち上げた状態で搬送するス
テップとを含む、 又は、前記ホイストによりチャックされて持ち上げられ
た状態の物品を、前記落下防止片に移載するステップ
と、落下防止片に支持される物品を前記移載装置により
ストッカに移載するステップとを含む、 ことを特徴とする天井搬送システムの搬送方法。3. A step of transferring the article from the stocker to a fall prevention piece provided on a ceiling carrier capable of supporting the article by at least a transfer device provided on the stocker, and supporting the fall prevention piece. A step of chucking the article with a hoist provided on the ceiling transport vehicle, and a step of transporting the article in a state of being chucked by the hoist and lifted, or, an article in a state of being chucked and lifted by the hoist. A transfer method of the ceiling transfer system, comprising: transferring onto the fall prevention piece; and transferring an article supported by the fall prevention piece onto the stocker by the transfer device.
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