JP4464318B2 - パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法 - Google Patents

パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4464318B2
JP4464318B2 JP2005143175A JP2005143175A JP4464318B2 JP 4464318 B2 JP4464318 B2 JP 4464318B2 JP 2005143175 A JP2005143175 A JP 2005143175A JP 2005143175 A JP2005143175 A JP 2005143175A JP 4464318 B2 JP4464318 B2 JP 4464318B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
error
machine
dbb
sphere
end effector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005143175A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006318419A (ja
Inventor
哲也 松下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okuma Corp
Original Assignee
Okuma Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okuma Corp filed Critical Okuma Corp
Priority to JP2005143175A priority Critical patent/JP4464318B2/ja
Priority to US11/413,490 priority patent/US7520156B2/en
Priority to DE102006021084A priority patent/DE102006021084B4/de
Publication of JP2006318419A publication Critical patent/JP2006318419A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4464318B2 publication Critical patent/JP4464318B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1679Programme controls characterised by the tasks executed
    • B25J9/1692Calibration of manipulator
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1615Programme controls characterised by special kind of manipulator, e.g. planar, scara, gantry, cantilever, space, closed chain, passive/active joints and tendon driven manipulators
    • B25J9/1623Parallel manipulator, Stewart platform, links are attached to a common base and to a common platform, plate which is moved parallel to the base

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Orthopedic Medicine & Surgery (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Description

本発明は、パラレルメカニズムを備えた機械やロボット等の作業機において、エンドエフェクタの誤差を補正する方法に関するものである。
機械やロボット等の作業機において、主軸、工具、ハンド等のエンドエフェクタの位置及び姿勢を制御する場合、幾何学的誤差を無くすのは困難であり、機構パラメータをキャリブレーションして誤差を補正する方法が提案されている。このキャリブレーションする方法として、両端に球が取り付けられた支持バーの変位を測定し、その測定値から機構パラメータの誤差を推定する所謂DBB(ダブルボールバー)測定方法がある(例えば、特許文献1参照)。
また一方で、DBB測定により得られた測定値には、機構パラメータ以外の要因による誤差を含み、機構パラメータを精度良く推定できないという問題がある。この対策として機構パラメータのキャリブレーションと併せて、機械の構成要素のコンプライアンスを同時にキャリブレーションすることで、自重による構成要素の変形誤差をキャンセルして、エンドエフェクタの運動精度の向上を図る方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2005−103720号公報 特開2002−96232号公報
しかし、特許文献1のDBB測定方法をパラレルメカニズム機械に適用しようとした場合、複数の位置でDBB測定を行う必要があり、固定球を備えた支持ユニットの着脱を繰り返して行わなければならない。そのため、着脱操作に時間を要するし、着脱を繰り返した際の再現性や、時間経過による環境温度の変化に伴う機械の熱変位等の要因により、精度良くキャリブレーションできないという問題があった。
また、DBB測定で得られる測定値には、機械の構成要素の自重による変形誤差の他に、構成要素の熱変位や、DBBのバーの長さ誤差や球の直径誤差などがあり、自重による構成要素の変形誤差を加味するだけでは機構パラメータを精度良く推定するにはまだ充分ではなかった。
そこで、本発明はこのような問題点に鑑み、これらの誤差を加味して、即ち機械構成要素の自重変形による誤差に加えて、熱変位、測定器の誤差も加味することを可能とし、パラレルメカニズム機械の機構パラメータを高精度で推定することで、エンドエフェクタの運動精度を向上させることを目的とする。
上記課題を解決する為に、請求項1に記載の発明は、パラレルメカニズム機械のエンドエフェクタを複数の位置及び姿勢に位置決めし、固定点からの距離測定を行い、その測定値をもとに前記機械の機構パラメータを推定してキャリブレーションする方法において、ベース板上に複数の支柱を立設し、当該支柱の頂部に球を配置して成るボールプレートの前記球中心を前記固定点とし、前記球中心の位置座標を既知として前記球中心からの距離測定を行い、この距離測定値に含まれる前記機械の各構成部材の自重による変形誤差と、各構成部材の熱変位と、前記距離測定を行うための測定器の誤差と、に起因する測定値誤差推定値を、前記距離測定値からキャンセルすることを特徴とする。
この方法により、機構パラメータ以外の誤差要因である自重変形による誤差、熱変位、測定器の誤差を計算に入れることにより、機構パラメータを精度良く推定してキャリブレーションでき、エンドエフェクタの運動性能が向上する。
また、測定治具としてボールプレートを用いることにより、構成部材の着脱操作による再現誤差が全く無くなり、その作業時間も必要ないため、高精度に而も短時間にキャリブレーションが可能になる。
本発明によれば、機構パラメータ以外の要因である自重変形による誤差、熱変位、測定器の誤差を計算に入れることにより、機構パラメータを精度良く推定してキャリブレーションでき、エンドエフェクタの運動精度が向上する。
また、ボールプレートを用いることにより、前記支持ユニットの着脱による再現誤差が全くなく、その作業時間も必要ないため、高精度に而も短時間にキャリブレーションが可能になる。
以下、本発明を具体化した実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。図1は、パラレルメカニズム機械の一つである6自由度スチュワートプラットホーム型のパラレルメカニズム工作機械を示しており、床に固定されたフレーム1内に、フレーム1に固定される6個の第1ユニバーサルジョイント2a〜2fと、各第1ユニバーサルジョイント2a〜2fに接続されるサーボモータ3a〜3fと、各サーボモータ3a〜3fにより駆動されるボールねじ4a〜4fと、各ボールねじ4a〜4fの下端に接続される第2ユニバーサルジョイント5a〜5fと、第2ユニバーサルジョイント5a〜5fを有する1個のエンドエフェクタ6と、エンドエフェクタ6の対向位置においてフレーム1に固定されたテーブル7とを備えている。
そして、図2のパラレルメカニズムの模式図に示すように、機構パラメータとしては、ベースジョイントQ1〜Q6及びエンドエフェクタジョイントR1〜R6の回転中心位置、ストラットl1〜l6の基準長の合計42個がある。但し、この場合エンドエフェクタ6は比較的小さく、3次元測定機にてエンドエフェクタジョイントR1〜R6の回転中心位置を測定可能であるため、キャリブレーションの対象から外し、24個の機構パラメータをキャリブレーションの対象とする。
図3はDBB装置の説明図を示し、DBB(ダブルボールバー)11は、伸縮可能で測長器を備えたな支持バー12と、その両端に取り付けられて回転可能な球13a,13bから成り、一方の球13aはテーブル15に取り付けられ、他方の球13bにはエンドエフェクタ14が取り付けられている。
このように構成したDBB装置により、エンドエフェクタ14を複数の円弧運動もしくは円弧軌跡上に位置決めさせ、2球13a,13bの中心間距離を測定し、この測定値をもとに機構パラメータの誤差を推定する。
以下、推定のための計算方法を説明する。n個の機構パラメータを数1のように設定すると、DBB測定における2つの球13a,13bの中心間距離rとの関係には数2の関係式(1)が成り立つ。
Figure 0004464318
Figure 0004464318
ここで,fは順運動学関数,Xはエンドエフェクタ14の位置及び姿勢の指令値であり、DBB測定データ内のi番目の値である。数1から,機構パラメータの誤差ΔPは数3で表される。
Figure 0004464318
この機構パラメータ誤差ΔPとDBB測定値Δrの関係は、線形近似により数4に示す式(2)として表せる。
Figure 0004464318
実際には,自重による各部材の変形や熱変位や測定器の誤差など機構パラメータ以外の誤差が存在するため,線形近似して機構パラメータ以外の誤差をΔeとして考慮すれば,DBB測定値Δrは数5に示す式(3)として表される。
Figure 0004464318
ここで、機構パラメータ以外の誤差Δeについて考える。自重による各部材の変形は、本発明者が先に出願した特願2003−430628により求めることが可能であり、この変形量をもとに順運動学計算を行うことで、Δeの一部として求めることが可能である。すなわち、自重による各部材の変形による誤差を機構パラメータの一部の誤差ΔPGiとして扱うことができるため、機構パラメータ以外の誤差Δeを数6に示す式(4)で表すことができる。
Figure 0004464318
また、熱変位は、機構パラメータの誤差として扱えるため、順運動学計算を行うことでΔeの一部として求めることが可能である。例えば、エンドエフェクタの一部に他の部材と異なる材料を使用している場合に、それらの線膨張係数の違い、エンドエフェクタ6の部品寸法、室温(機体温)からエンドエフェクタジョイントR1〜R6の回転中心位置が熱変位による誤差ΔPが生ずる。この熱変位による誤差ΔPは、数7に示す式(5)で表すことができる。
Figure 0004464318
ここで、Tは機体温ベクトル、αは線膨張係数の違いと部品寸法から求まる係数マトリックスである。したがって、熱変位による機構パラメータ誤差ΔPを用いて機構パラメータ以外の誤差Δeは数8に示す式(6)で表すことができ、その他の機構パラメータの熱変位による誤差も同様に扱うことができる。
Figure 0004464318
一方、DBBの2球中心間距離は、線膨張係数がほぼ0の材質で2つの球面座を有し、その2球中心間距離をあらかじめ測定して既知にしてあるキャリブレータを用いて校正し、室温もしくは機体温と機械の線膨張係数から長さを補正する。この機体温の設定を誤った場合、DBB長さに誤差ΔrDBBが存在することとなり、この状態でDBB測定を行うと、その測定値に誤差が存在することになる。また、DBBの球の直径に誤差ΔrBallがある場合も同様であり、数9に示す式(7)に示すようにΔeの一部として扱うことができる。
Figure 0004464318
なお、上記の機構パラメータ誤差以外の原因による誤差Δeは全て同時に計算することが可能である。更に、これら誤差はDBB測定を行った後にいつでも数値を変更して再計算可能である。
DBB測定により異なる位置及び姿勢でm点のデータを取得されるため、式3はm個得られることになり、数10に示す式(8)が得られる。
Figure 0004464318
ここで,ΔR 、Aは、数11に示すマトリックスで設定される。
Figure 0004464318
これを最小自乗法で解くことにより機構パラメータ誤差ΔPが、数12に示す式(9)で得られる。
Figure 0004464318
以上より、式(3)の機構パラメータ以外の誤差Δeは、上記の式(4)、式(6)、式(7)の和とすることができ、さらに別の要因による誤差がある場合にも、これらの和に更に新たな誤差要因を組み込むことができる。
このように、機構パラメータ以外の誤差要因である自重変形による誤差、熱変位、測定器の誤差を計算に入れることができ、機構パラメータを精度良く推定してキャリブレーションでき、求めた機構パラメータ誤差ΔPを元の機構パラメータPに加え、NC装置内部のパラメータを書き換えることで、エンドエフェクタの運動精度が向上する。
尚、上記実施形態は、誤差が小さい事もありエンドエフェクタ6の機構パラメータをキャリブレーションの対象から外して説明しているが、この機構パラメータを外すことなく42個の全ての機構パラメータをキャリブレーションの対象としても良い。
次に、DBB測定に用いる治具について説明する。図4は治具の斜視図を示し、ベース16上に複数の支柱17を立設し、その支柱17の頂部に鋼球18を備えたボールプレート19と、第1ストッパ(手前)20、第2ストッパ(右側)21から構成され、これらはテーブル22上に配置されている。
第1ストッパ20は平行な2面を持ち、一方の面をテーブル22の側面(手前の面)に押し当ててテーブル22に固定される。これにより、テーブル22側面と平行な面ができ、これにボールプレート19を押し当てると、ボールプレート19をテーブル22側面に対して平行に配置することができる。また、第2ストッパ21はテーブル22右側面に押し当てて固定される。ボールプレート19に押し当てることにより、テーブル22右側面から一定の距離でボールプレート19を配置することができる。
そして、ボールプレート19は、3次元測定機により、その鋼球18の中心座標を測定しておく。これにより、テーブル22に対して各鋼球18,18・・の中心座標が決まり、テーブル座標系上の座標が既知の点となる。
尚、鋼球18の配置は、各DBB測定の際にDBBと鋼球18、若しくは支柱17が干渉しないように配置される。また、テーブル22に対する測定感度を上げるため、鋼球18の高さ方向(テーブル垂直方向)には高低差が付けられている。
このように作製し、鋼球18の座標が既知となったボールプレート19において、鋼球18をDBBの固定側球(球13a)としてDBB測定を行う。ここで、DBBの支持バー12はテーブル22の垂直方向の感度を上げるため傾けて測定する。
以上から、テーブル座標系上の既知の点を中心に円弧軌跡を得ることができ、テーブル22に対して機構パラメータが求められ、24個の機構パラメータをキャリブレーションすることができる。図5は、こうして自重の変形誤差を計算に考慮した場合としない場合でのキャリブレーション後のDBB測定結果を示し、P1は自重の変形誤差を考慮しない場合、P2は考慮した場合を示している。この図から、自重による変形誤差を計算に考慮することで真円度が向上していることがわかる。
このように、距離の測定治具としてボールプレートを用いることにより、構成部材の着脱による再現誤差が全くなく、その作業時間も必要ないため、高精度に而も短時間にキャリブレーションが可能になる。
本発明のキャリブレーション方法により制御されるパラレルメカニズム機械の一部透視斜視図。 パラレルメカニズムの模式図である。 DBB装置の説明図である。 DBB測定治具の斜視説明図である。 図1のパラレルメカニズム機械において本発明を適用した場合と適用しない場合のDBB法による真円度測定結果の説明図である。
符号の説明
6・・エンドエフェクタ、16・・ベース、14・・エンドエフェクタ、17・・支柱、18・・剛球、19・・ボールプレート。

Claims (1)

  1. パラレルメカニズム機械のエンドエフェクタを複数の位置及び姿勢に位置決めし、固定点からの距離測定を行い、その測定値をもとに前記機械の機構パラメータを推定してキャリブレーションする方法において、
    ベース板上に複数の支柱を立設し、当該支柱の頂部に球を配置して成るボールプレートの前記球中心を前記固定点とし、前記球中心の位置座標を既知として前記球中心からの距離測定を行い、
    この距離測定値に含まれる前記機械の各構成部材の自重による変形誤差と、各構成部材の熱変位と、前記距離測定を行うための測定器の誤差と、に起因する測定値誤差推定値を、前記距離測定値からキャンセルすることを特徴とするパラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法。
JP2005143175A 2005-05-16 2005-05-16 パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法 Expired - Fee Related JP4464318B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005143175A JP4464318B2 (ja) 2005-05-16 2005-05-16 パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法
US11/413,490 US7520156B2 (en) 2005-05-16 2006-04-28 Calibration method for a parallel kinematic mechanism machine
DE102006021084A DE102006021084B4 (de) 2005-05-16 2006-05-05 Kalibrierungsverfahren für eine Parallelkinematikmechanismusmaschine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005143175A JP4464318B2 (ja) 2005-05-16 2005-05-16 パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006318419A JP2006318419A (ja) 2006-11-24
JP4464318B2 true JP4464318B2 (ja) 2010-05-19

Family

ID=37311281

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005143175A Expired - Fee Related JP4464318B2 (ja) 2005-05-16 2005-05-16 パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7520156B2 (ja)
JP (1) JP4464318B2 (ja)
DE (1) DE102006021084B4 (ja)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4275632B2 (ja) * 2005-03-01 2009-06-10 新日本工機株式会社 パラレルメカニズム機構のキャリブレーション方法、キャリブレーションの検証方法、キャリブレーションの検証プログラム、データ採取方法及び空間位置補正における補正データ採取方法
DE102007018865A1 (de) * 2007-04-19 2008-10-30 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Längenmesssystem für eine Werkzeugmaschine
FR2917316B1 (fr) * 2007-06-15 2010-02-12 Cmw Construction Mecaniques De Procede de travail sur site d'une piece de grande dimension avec une machine a architecture parallele
EP2372302A1 (de) 2010-03-26 2011-10-05 Leica Geosystems AG Messverfahren für eine oberflächenvermessende Messmaschine
CN101966500B (zh) * 2010-10-15 2012-11-28 江苏长虹汽车装备集团有限公司 基于三自由度和四自由度并联机构的混联组合汽车喷涂机器人
DE102011079764B3 (de) * 2011-07-25 2012-11-15 Johannes Gottlieb Verfahren und Anordnung zur Kalibrierung einer Kinematik sowie ein entsprechendes Computerprogramm und ein entsprechendes computerlesbares Speichermedium
ES2448215B1 (es) * 2012-07-24 2015-04-01 Fundación Tekniker Método de calibración de una máquina de cinemática paralela portátil
WO2014029448A1 (en) * 2012-08-24 2014-02-27 Abb Technology Ltd Calibration tool for a delta robot
DE102013101095B4 (de) * 2013-02-04 2016-12-15 Johannes Gottlieb Verfahren und Anordnung zur Korrektur von Posenfehlern einer Kinematik sowie ein entsprechendes Computerprogramm und ein entsprechendes computerlesbares Speichermedium
JP2016155185A (ja) * 2015-02-23 2016-09-01 オークマ株式会社 工作機械の誤差同定方法
TWI585363B (zh) * 2015-12-01 2017-06-01 國立清華大學 應用於量測之雙球桿系統及其誤差補償方法
CN106695762A (zh) * 2016-12-31 2017-05-24 重庆大学 六维气动力产生的高机动风洞试验末端位姿误差补偿法
DE102018117802A1 (de) * 2018-07-24 2020-01-30 Krones Aktiengesellschaft Verfahren und Steuerungssystem zur Kalibrierung einer Handhabungsvorrichtung, insbesondere eines Parallelkinematik-Roboters
CN110757504B (zh) * 2019-09-30 2021-05-11 宜宾职业技术学院 高精度可移动机器人的定位误差补偿方法
CN111538284B (zh) * 2020-05-09 2020-12-29 广州机觉云物联科技有限公司 一种基于智能存量测量的实时数据进行业务管理的方法
CN111855183B (zh) * 2020-07-29 2022-04-19 中国科学院光电技术研究所 一种多自由度运动支链分辨率测试平台及测试方法
DE102020215257A1 (de) 2020-12-03 2022-06-09 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung einer Koordinatenmesseinrichtung
CN112775935B (zh) * 2020-12-14 2022-03-15 华南理工大学 一种基于末端误差检测信息子集的并联机器人标定方法
CN113146613B (zh) * 2021-01-22 2022-11-04 吉林省计量科学研究院 一种工业机器人d-h参数三维自标定校准装置及方法
CN112975913B (zh) * 2021-03-10 2022-05-27 清华大学 一种索驱动并联机构自标定方法和***
CN113580148B (zh) * 2021-09-13 2022-12-09 浙江理工大学 基于等效运动链的并联机器人运动学标定方法
CN115008476B (zh) * 2022-08-09 2022-12-13 广州数控设备有限公司 基于等效运动学模型的机器人标定方法及设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4155173A (en) * 1977-05-13 1979-05-22 Sprandel Hans W Mounting for coordinate measuring machine arms and probes
EP0362626B1 (de) * 1988-10-03 1993-02-10 Firma Carl Zeiss Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
GB9107207D0 (en) * 1991-04-05 1991-05-22 Tycho Technology Ltd Mechanical manipulator
US5401128A (en) * 1991-08-26 1995-03-28 Ingersoll Milling Machine Company Octahedral machine with a hexapodal triangular servostrut section
SE508176C2 (sv) * 1995-03-29 1998-09-07 Asea Brown Boveri Anordning och förfarande för kalibrering av en fleraxlig industrirobot
DE19921325A1 (de) * 1998-09-17 2000-03-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kalibriervorrichtung für einen parallelkinematischen Manipulator
JP2002096232A (ja) 2000-09-21 2002-04-02 Toyoda Mach Works Ltd 工作機械の制御方法
JP2005103720A (ja) 2003-09-30 2005-04-21 Okuma Corp 測定装置及び測定方法
JP4080992B2 (ja) * 2003-12-25 2008-04-23 オークマ株式会社 パラレルメカニズム機械の制御方法および制御装置
US7152456B2 (en) * 2004-01-14 2006-12-26 Romer Incorporated Automated robotic measuring system
JP4675047B2 (ja) * 2004-02-02 2011-04-20 株式会社ミツトヨ 三次元測定機の測定座標補正方法及び三次元測定システム

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006021084A1 (de) 2006-11-23
US20060254364A1 (en) 2006-11-16
US7520156B2 (en) 2009-04-21
JP2006318419A (ja) 2006-11-24
DE102006021084B4 (de) 2013-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4464318B2 (ja) パラレルメカニズム機械のキャリブレーション方法
US8918210B2 (en) Method of detecting an inter-axis offset of 6-axis robot
JP7206037B2 (ja) 運動学的較正
KR101200961B1 (ko) 평행 운동학적 기계, 평행 운동학적 기계의 교정 방법, 및교정 프로그램 제품
US6681495B2 (en) Measuring apparatus and method for correcting errors in a machine
KR100986669B1 (ko) 로봇 캘리브레이션 장치 및 그 방법
JP5321532B2 (ja) ロボットキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法
JP2021515215A (ja) 座標位置決め機械
JP6815924B2 (ja) キャリブレーション装置
JP2010531238A (ja) 切断機用自在軸受装置の位置調整用装置および方法
KR101797122B1 (ko) 이동형 3차원 좌표 측정기(cmm)의 에러 측정 및 보상 방법
JP5215378B2 (ja) 3軸力センサを用いて力制御をおこなうロボットの制御装置
JP2017217748A (ja) 部品圧入方法および部品圧入システム
JP6924563B2 (ja) 位置決め制御装置の制御方法及び位置決め制御装置
JP6542629B2 (ja) 加工ツールの位置決め装置及び位置決め方法
KR20080088165A (ko) 로봇 캘리브레이션 방법
US11289303B2 (en) Calibrating method and calibrating system
JPH06131032A (ja) ロボット装置およびロボット装置のティ−チング方法。
CN112902898B (zh) 三维测量装置及所适用的机械手臂的校正方法
JPH06304893A (ja) 位置決め機構のキャリブレーション方式
WO2022025060A1 (ja) ロボット制御装置
KR101826577B1 (ko) 로봇의 손목 축 움직임을 이용한 툴 보정 방법
JP2021186929A (ja) 多軸ロボットの制御方法
JP2005103720A (ja) 測定装置及び測定方法
KR100244758B1 (ko) 수직 다관절 용접 로봇의 캘리브레이션 방법 및 그 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071129

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091019

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091104

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091221

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100119

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100218

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4464318

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160226

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees