JP4461660B2 - 吸着ノズルとこれを用いた部品装着方法及び装置 - Google Patents
吸着ノズルとこれを用いた部品装着方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4461660B2 JP4461660B2 JP2001532933A JP2001532933A JP4461660B2 JP 4461660 B2 JP4461660 B2 JP 4461660B2 JP 2001532933 A JP2001532933 A JP 2001532933A JP 2001532933 A JP2001532933 A JP 2001532933A JP 4461660 B2 JP4461660 B2 JP 4461660B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- suction
- suction nozzle
- suction surface
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 12
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 5
- 241000270666 Testudines Species 0.000 claims description 4
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 8
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
- H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
- H05K13/0409—Sucking devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49131—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by utilizing optical sighting device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
- Y10T29/53178—Chip component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53191—Means to apply vacuum directly to position or hold work part
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を基板に装着する部品装着方法及び装置に関し、詳しくはこの部品装着装置に用いられる吸着ノズルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
回路基板に電子部品を装着する電子部品装着装置の一例としてロータリーヘッド方式のものが知られている。このタイプの装置は装着速度が速く、電子回路基板製造のメイン設備として多用されている。図13は従来の電子部品装着設備を示し、図14は、ロータリーヘッド方式の電子部品装着装置の要部構成を示し、装着部1は部品供給部2の任意の部品供給手段3から部品を取り出し、XYテーブル4上にセットされた基板5に部品を装着するように構成されている。
【0003】
部品供給部2では、部品供給テーブル9上に多数の部品供給手段3が搭載されている。部品供給手段3にはそれぞれ部品リール8がセットされており、各リールにはそれぞれ所定の種類の多数の部品を保持したテープが巻回されている。部品供給手段3を搭載した部品供給テーブル9はガイドレール9aに沿って移動され、任意の部品供給手段3が所定の部品供給位置10に位置決めされる。装着部1は、間欠回転する回転テーブル11から成り、回転テーブルの外周部には複数の装着ヘッド12が設けられている。個々の装着ヘッド12は単数又は複数の吸着ノズルを有し、部品供給位置10に到達した装着ヘッドが吸着ノズルにより部品供給手段3から部品を取り出し、回転テーブル11の回転によりこの装着ヘッド12が部品装着位置に停止したとき、吸着保持していた部品をXYテーブル4によって位置決めされた基板5上に装着する。これらの動作の繰り返しにより、部品供給部2から供給される部品を順次基板5に装着して回路基板が生産される。
【0004】
基板5に装着する部品の種類は様々であり、様々な形状サイズの部品に対応できるように、前記装着ヘッド12には複数種類の吸着ノズルが設けられており、これらは吸着保持する部品の種類に応じて選択切り換えできるように構成されている。
【0005】
近年、部品装着速度の高速化が求められ、各移動部材の移動時間を短くすることが要求されている。しかし、装着部1における回転テーブル11の回転速度を上げて装着ヘッド12の移動時間を短くすることは比較的容易である一方、部品供給テーブル9やXYテーブル4の移動に使用できる時間は装着ヘッド12の移動時間よりも制限されているため、これらの移動時間を短縮することが困難であった。この課題を解決すべく本願発明者らは、部品供給テーブル9やXYテーブル4の移動距離を短くして装着速度の向上を図る部品装着方法及び装置を創案し、特願平10−303562号として提案した。
【0006】
図12(a)〜(e)は、本願発明者らによる上記の部品装着装置において、装着部1の回転テーブル11が間欠回転して、回転テーブル11の外周部に設けた各装着ヘッド12が順次部品供給手段3から部品を吸着する動作を示している。図12(a)では、各装着ヘッド12の中の1つの装着ヘッド12aが部品を吸着し、図12(b)では、回転テーブル11が1ピッチの間欠回転をした状態で装着ヘッド12bにて部品を吸着する。以後、図12(c)では装着ヘッド12c、図12(d)では装着ヘッド12d、図12(e)では装着ヘッド12eが順次部品を吸着する。
【0007】
図12(a)〜図12(e)に示すように、装着ヘッド12a〜12eが矢印で示される部品供給位置Fに停止した状態において、吸着ノズル20は、回転テーブル11の回転円Mと部品供給手段3の移動方向線Wとが接する基準点Cより回転テーブル11の回転方向Sの上流側に偏位した第1の吸着動作位置Kと、前記基準点Cより回転テーブル11の回転方向Sの下流側に偏位した第2の吸着動作位置Lとの、2つの位置のいずれかに選択的に位置することができる。この方法によれば、部品供給手段3の移動量が半減されるので、部品装着タクトの大幅な短縮を図ることができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように基準点Cから回転テーブル11の回転方向Sの上流側に偏位した第1の吸着動作位置Kあるいは下流側に偏位した第2の吸着動作位置Lにおいて部品を吸着するとき、部品供給手段3から供給される部品の所定位置・姿勢に対して吸着ノズル20の位置ずれが生じやすくなる。この位置ずれは微小な誤差であるが、微小な部品では様々な問題が生じる。例えばチップ部品には、長辺が0.6mm、短辺が0.3mmといった微小なサイズのものがある。これに対応して、部品供給時にテープ送りするピッチや、基板上に装着する際の隣の部品との間隔も極小化している。このため、図15に示すように、上記のようないわゆる0603チップ部品100を、先端が円形の従来の吸着ノズル20で吸着するためには、隣の部品に吸着ノズルが干渉しないようにするために、ノズル先端直径Rが、部品の短辺Pより大きいが長辺Qよりは小さい0.5mm程度の微小なサイズでなければならず、耐久性が低下して寿命が短かくなる。また、先端が微小な吸着ノズル20が当接時に与える衝撃から部品の破損をまねくことにもなる。さらに、微小な部品に微小な吸着ノズル20を位置決めすることになるため、僅かな位置ずれも吸着エラーとなり、吸着率の低下を招くという問題もある。
【0009】
本発明が目的とするところは、取り扱う部品が微小であっても、寿命が長く吸着率のよい構造を持つ吸着ノズルと、この吸着ノズルを用いた部品装着方法及び装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第1の特徴は、部品供給部から供給される部品を部品が供給される方向に対して吸着面の長手方向軸が傾いた状態で吸着保持し、この部品を基板上に装着する部品装着装置の吸着ノズルであって、前記部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着面が、前記被吸着面の面積より大きな面積で、吸着する部品の長軸方向の幅が前記部品の短軸方向の幅より小さい任意形状に形成されてなる吸着ノズルを提供することである。ノズルの吸着面の面積が吸着する部品の被吸着面の面積より大きく形成され、微小な部品を扱う吸着ノズルでありながら、その吸着面は部品より大きな径に形成されるため、ノズルの耐久性を向上できる。また、ノズル先端は細長い形状であるので、短軸方向、すなわち長辺が平行となるように多数個整列された部品に対して、吸着時に隣の部品に干渉することがなく、基板への装着時にも先に装着された部品に干渉することがない。部品に対して吸着ノズルの吸着面の軸がある角度に回転された状態で部品を吸着するときには、部品が微小なサイズの場合に吸着ノズルが部品からずれてしまい、吸着エラーが生じやすい。しかし本発明の吸着ノズルでは、吸着面が大きく形成され、ノズル開口部の開口面積が大きく、またそれに伴って吸引力も強いため、ノズルと部品間の位置ずれに対する許容量が大きくなり、微小な部品でも吸着率の低下を防止することができる。
【0011】
上記構成において、吸着面の中央部には被吸着面の形状に対応するノズル開口部が形成される。部品の被吸着面より大きな面積の吸着面にノズル開口部を形成することができるので、大きな開口面積を得ることができ、吸引力が増加するため、小さい吸着ノズルでも吸着率のよい吸着保持がなされる。
【0012】
また、部品供給部において部品がその長辺が平行となるように並列配置され、順送りに所定位置に供給されるとき、吸着面の部品の長辺に平行な方向の幅が小さく形成されているので、長辺が平行となるように並列されている部品を吸着するときに、隣接する他の部品に干渉することがない。
【0013】
また、本発明の第2の特徴は、一方向に間欠回転する回転テーブルの周囲に吸着ノズルを設けた装着ヘッドを複数に配設し、この装着ヘッドを順次部品供給位置に停止させる一方、回転テーブルの回転円に接する方向に移動する部品供給テーブルに並列状態に搭載された多数の部品供給手段のうち吸着されるべき部品を供給する部品供給手段を順次所定位置に停止させ、部品供給手段から並列配置した多数の部品を順送りに供給し、前記部品供給位置において、回転テーブルの回転円と部品供給テーブルの移動方向線とが接する基準点から回転テーブルの回転方向の上流側に偏位した第1の吸着動作位置と、前記基準点から回転テーブルの回転方向の下流側に偏位した第2の吸着動作位置との何れかを選択して所定位置に停止した部品供給手段から部品を吸着保持し、間欠回転により装着ヘッドが部品装着位置に移動したとき、基板上に部品を装着する部品装着装置の吸着ノズルであって、前記部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着面が、前記被吸着面の面積より大きな面積で、前記第1の吸着動作位置及び第2の吸着動作位置における部品の長軸方向の幅が前記部品の短軸方向の幅より小さい任意形状に形成され、この吸着面の中央部に被吸着面の形状に対応するノズル開口部が形成されてなる吸着ノズルを提供することである。
【0014】
この構成によれば、部品の供給方向に対して基準点から偏位した第1及び第2の吸着動作位置から吸着ノズルにより部品を吸着するとき、吸着ノズルは部品供給手段から供給される部品をその並列方向に対して傾斜した状態で吸着保持することになる。その結果、部品の供給位置に吸着ノズルを位置させるときに微小な位置ずれが生じやすく、部品が微小なサイズであるとき吸着エラーが発生する恐れがあるが、吸着ノズルの吸着面の面積は部品の被吸着面の面積より大きく形成されるのでノズルと部品の間の位置ずれに対する許容量が大きくなり、微小なサイズの部品でも吸着エラーの発生を防止することができる。
【0015】
上記各構成において、吸着面の形状は、部品の長手方向に平行な対向辺を含む多角形に形成することにより、部品を吸着するときに並列配置された他の部品に吸着ノズルが干渉する恐れがなく、基板に部品を装着するときにも先に装着された部品に干渉することがなく、実装密度の高い基板にも対応させることができる。また、吸着面の形状は、部品の長手方向に平行な対向辺を含む亀甲状の六角形に形成することもできる。また、吸着面の形状は、楕円形もしくは長円形に形成しても同様の効果を得ることができる。
【0016】
また、ノズル開口部に部品の被吸着面の短辺の寸法より開口径を狭くした狭窄部を形成することにより、ノズル開口部に部品が吸い込まれたり、立ったり斜めになった状態で吸着されたりすることを防止できる。
【0017】
本発明の第3の特徴は、部品供給部から長辺が平行となるように並列配置された部品を順送りに所定位置に供給し、部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着面が、前記被吸着面の面積より大きな面積で、吸着する部品の長軸方向の幅が前記部品の短軸方向の幅より小さい任意形状に形成された吸着ノズルにより前記所定位置から部品を吸着し、吸着した部品を基板上に装着する部品装着方法を提供することである。長辺が平行となるように並列配置された部品を、吸着面が部品の長辺に平行な方向の幅を小さくした形状の吸着ノズルにより吸着するので、吸着時に並列配置された他の部品に干渉することがなく、基板への装着時にも先に装着されている部品に干渉することを避けられる。
【0018】
本発明の第4の特徴は、一方向に間欠回転する回転テーブルの周囲に配設され、吸着ノズルを設けた複数の装着ヘッドを順次部品供給位置に停止させる一方、回転テーブルの回転円に接する方向に移動する部品供給テーブルに並列状態に搭載された多数の部品供給手段のうち吸着されるべき部品を供給する部品供給手段を順次所定位置に停止させ、部品供給手段から並列配置した多数の部品を順送りに供給し、前記部品供給位置において、回転テーブルの回転円と部品供給テーブルの移動方向線とが接する基準点から回転テーブルの回転方向の上流側に偏位した第1の吸着動作位置と、前記基準点から回転テーブルの回転方向の下流側に偏位した第2の吸着動作位置との何れかを選択して所定位置に停止した部品供給手段から、部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着面が、前記被吸着面の面積より大きな面積で、前記第1の吸着動作位置及び第2の吸着動作位置における部品の長軸方向の幅が前記部品の短軸方向の幅より小さい任意形状に形成された吸着ノズルにより部品を吸着保持し、間欠回転により装着ヘッドが部品装着位置に移動したとき、前記吸着ノズルに吸着された部品を基板上に装着する部品装着方法を提供することである。基準点から上流側及び下流側に偏位した位置から部品を吸着する場合に、部品と吸着ノズルとの間に位置ずれが生じやすいが、吸着面の面積が部品の被吸着面の面積より大きく形成されているので、ノズルと部品の間の位置ずれに対する許容量が大きくなり、確実に吸着することができる。
【0019】
本発明の第5の特徴は、長辺が平行となるように並列配置された部品を順送りに所定位置に供給する部品供給部と、部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着面が、前記被吸着面の面積より大きな面積で、吸着する部品の長軸方向の幅が前記部品の短軸方向の幅より小さい任意形状に形成された吸着ノズルを備え、この吸着ノズルにより前記所定位置から部品を吸着し、吸着ノズルを基板上に移動させて吸着した部品を基板上に装着する部品装着手段とを備えてなる部品装着装置を提供することである。長辺が平行となるように並列配置された部品を、吸着面が部品の長辺に平行な方向の幅を小さくした形状の吸着ノズルにより吸着するので、吸着時に並列配置された他の部品に干渉することがなく、基板への装着時にも先に装着されている部品との干渉を回避することができるので、吸着エラーが少なく高密度実装にも対応する部品装着装置を提供することができる。
【0020】
本発明の第6の特徴は、一方向に間欠回転する回転テーブルの周囲に吸着ノズルを設けた装着ヘッドを複数に配設し、この装着ヘッドを順次部品供給位置に停止させる一方、回転テーブルの回転円に接する方向に移動する部品供給テーブルに並列状態に搭載された多数の部品供給手段のうち吸着されるべき部品を供給する部品供給手段を順次所定位置に停止させ、部品供給手段から並列配置した多数の部品を順送りに供給し、前記部品供給位置において、回転テーブルの回転円と部品供給テーブルの移動方向線とが接する基準点から回転テーブルの回転方向の上流側に偏位した第1の吸着動作位置と、前記基準点から回転テーブルの回転方向の下流側に偏位した第2の吸着動作位置との何れかを選択して所定位置に停止した部品供給手段から、部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着面が、前記被吸着面の面積より大きな面積で、前記第1の吸着動作位置及び第2の吸着動作位置における部品の長軸方向の幅が前記部品の短軸方向の幅より小さい任意形状に形成された吸着ノズルにより部品を吸着保持し、間欠回転により装着ヘッドが部品装着位置に移動したとき、前記吸着ノズルに吸着された部品を基板上に装着する部品装着方法を提供することである。基準点から回転テーブルの回転方向の上流側及び下流側に偏位した位置から部品を吸着する場合に、部品と吸着ノズルとの間に位置ずれが生じやすいが、吸着面の面積が部品の被吸着面の面積より大きく形成されていることにより、ノズルと部品の間の位置ずれに対する許容量が大きくなって確実に吸着することができ、吸着エラーが少なく高密度実装にも対応できる部品装着装置を提供することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であって、本発明はこれに限定されることなくクレームする発明の精神及び範囲から離れずに種々の変更及び改造を施すことができる。
【0022】
まず、本実施形態に係る吸着ノズルを適用する部品装着装置の構成とその動作について説明する。この部品装着装置の構成及びその動作は、本願発明者が特願平10−303562号として提案したものである。部品装着装置の全体構成は、図13、図14に示すように構成されたものであって、従来技術において説明したように、装着部1にて部品供給部2の任意の部品供給手段3から部品を取り出し、XYテーブル4にセットされた基板5に部品を装着するように構成されている。
【0023】
部品供給部2に搭載された各部品供給手段3は、延長方向に等間隔に部品を保持したテープをリールに巻回したテーピング部品を装着したパーツカセットとして構成されており、その端部から1個ずつ部品を供給することができる。各部品供給手段3は所定の種類の部品をそれぞれ収容して部品供給テーブル9上に多数搭載されている。部品供給テーブル9をガイドレール9aに沿って移動させ、任意の部品供給手段3を1か所に設定された部品供給位置10に位置決めすることにより、任意の部品が部品供給位置10に供給される。
【0024】
装着部1は間欠回転する回転テーブル11から成り、回転テーブルの外周部に複数の装着ヘッド12が配設されている。回転テーブル11の間欠回転により前記部品供給位置10に到達した装着ヘッド12が吸着ノズルにより部品供給手段3から部品を吸着し、回転テーブルのさらなる間欠回転により部品装着位置に停止したとき、XYテーブル4によって位置決めされた基板5の所定位置に部品を装着する。装着ヘッド12には複数の吸着ノズルが設けられており、吸着保持する部品の種類に適したものが選択される。
【0025】
図10は装着ヘッド12の構成例を示す。回転テーブル11の周囲に複数に設けられた装着ヘッド12にはそれぞれ、回転軸15の下端に固定された回転体18の外周部にその回転軸芯と並行に複数種類の吸着ノズル20が配設されている。各吸着ノズル20は回転体18の外周部に上下動自在に支持された可動軸31の下端に装着されている。可動軸31の上部には下降位置と上昇位置で係止されるための位置決め段部32a、32bが設けられるとともに可動軸31の上端と回転体18との間に下方に向けて付勢するバネ33が介装されている。回転体18の外周には各可動軸31に対応して位置決め段部32aに対して係合する位置と係合解除位置との間で揺動可能な係止爪34が配設され、その周囲に係合位置に向けて付勢するリングバネ35が外側から嵌合されている。係止爪34はその下端に位置決め段部32a、32bに対する係合部34a、中間に支点突部34b、上端部に揺動操作部34cが設けられている。図10において右側に示す吸着ノズル20aは上昇位置にあるが、係止爪34の係合部34aは位置決め段部32bに係合しており、稼動軸31はバネ33の付勢力に抗して上昇位置に保持されている。この状態で、揺動操作部34cを押圧することにより係止爪34が係合解除位置に移動し、可動軸31が下降位置に移動し、係止爪34の係合部34aは位置決め段部32aと係合することにより、図10の左側のように吸着ノズル20bは下降位置に保持される。
【0026】
可動軸31の下部には吸着ノズル20に連通するエア通路36が形成され、回転軸15内部にはエア通路23が形成されている。エア通路23の下部には放射溝37aと外周の環状溝37bとからなるエア通路37が形成され、可動軸31のエア通路36は回転軸15側に向いた連通路36aを有している。これにより任意の可動軸31が下降位置で係止されたとき、可動軸31のエア通路36と回転軸15のエア通路37、23が環状溝37bと連通路36aとにより互いに連通される。かくして、係止爪34の揺動操作部34cを押圧して可動軸31を下降位置に位置させることによってその吸着ノズル20にて部品を吸着することができる。従って、部品の種類に応じてこれに適した吸着ノズルに対応する係止爪34を操作することによってその吸着ノズル20が下降して作動状態となり、その状態で回転体18を回転させることによって吸着ノズル20の動作位置を選択することができ、部品の吸着及び装着の動作を行うことができる。
【0027】
上記構成になる部品装着装置による部品装着の動作を図11、図12(a)〜図12(e)を参照して説明する。図11は、部品装着装置の各部の平面的な配置を示すものである。
【0028】
図11において、複数の装着ヘッド12が配設されて一方向Sに間欠回転する回転テーブル11を順次部品供給位置Fに停止させる一方、回転テーブル11の回転円Mに接する接線W方向に移動する部品供給テーブル9に並列状態に搭載された多数の部品供給手段3のうち吸着されるべき部品を供給する部品供給手段3を順次所定位置に停止させる。部品供給位置Fに位置している装着ヘッド12が吸着ノズル20にて部品供給手段3から部品を吸着し、その装着ヘッド12が回転テーブル11の間欠回転によって部品認識位置Gに達したとき、吸着した部品を部品認識カメラ51で認識し、更に部品装着位置Hに達したときに吸着した部品を基板5に装着する。
【0029】
装着ヘッド12は、図10に示すように、その回転軸15の回転軸芯と吸着ノズル20の軸芯とがDだけ偏位している構成となっており、部品供給位置Fに停止した状態において、下降位置にある吸着ノズル20が、回転テーブル11の回転円Mと部品供給手段3の移動方向線Wとが接する基準点Cより回転テーブル11の回転方向Sの上流側に偏位した第1の吸着動作位置Kと、前記基準点Cより回転テーブル11の回転方向Sの下流側に偏位した第2の吸着動作位置Lとの2つの位置のいずれかに選択的に位置することができる(図11参照)。
【0030】
部品供給テーブル9上には、間隔pで部品供給手段3が並設され、部品供給テーブル9は図11に矢印で示すW方向にp/2のピッチで間欠移動している。また、前記第1の吸着動作位置K及び第2の吸着動作位置Lの基準点Cからの偏位は、それぞれp/4である。以下、図12(a)〜図12(e)を参照しながら部品吸着時の詳細な動作を説明する。
【0031】
図12(a)に示す第1サイクルにおいて、部品供給位置Fに位置する吸着ヘッド12aは、吸着ノズル20の位置として第1の吸着動作位置Kを選択し、これに対応する位置に位置決めされた部品供給手段3aから部品Zaを吸着する。図12(b)に示す第2サイクルでは、部品供給位置Fに達した次の装着ヘッド12bは、吸着ノズル20の位置として第2の吸着動作位置Lを選択し、これに対応する位置までp/2ピッチ移動されて位置決めされた次の部品供給手段3bから部品Zb1を吸着する。図12(c)に示す第3サイクルでは、部品供給位置Fに達した第3の装着ヘッド12cは、吸着ノズル20の位置として第1の吸着動作位置Kを選択し、これに対応する位置までp/2ピッチ移動されて位置決めされた第2サイクルで用いた同じ部品供給手段3bから引き続き部品Zb2を吸着する。図12(d)に示す第4サイクルでは、部品供給位置Fに達した第4の装着ヘッド12dは、吸着ノズル20の位置として第2の吸着動作位置Lを選択し、これに対応する位置までp/2ピッチ移動されて位置決めされた第3の部品供給手段3cから部品Zc1を吸着する。次に部品供給位置Fに達する装着ヘッド12eは、図12(e)に示すように、第3の部品供給手段3cから第1サイクルと同様にして部品Zc2を吸着する。以下これらの工程を繰り返すことによって部品吸着を行う。
【0032】
尚、上記第1サイクル〜第4サイクルのいずれかにおける部品吸着動作を、部品供給テーブル9をピッチ移動させずに停止させた状態で繰り返すときは、次に部品供給位置Fに来る装着ヘッド12を1つ前の装着ヘッド12と同一の吸着動作位置に選択して、同一の部品供給手段3から供給される部品を吸着するようにすればよい。例えば、図12(a)に示す状態で再度部品供給手段3aから部品を吸着する場合は、次の装着ヘッド12bを第1の吸着動作位置Kに選択して部品吸着を行えばよい。
【0033】
上記動作により、部品供給テーブル9を順次W方向に移動させながら部品を取り出すようにし、同一の部品供給手段3から連続して取り出すときの最初の装着ヘッド12では吸着動作位置Kとし、最後の装着ヘッド12では吸着動作位置Lとすると、1サイクル毎における部品供給手段3の移動量を部品供給手段3間のピッチpの半分(p/2)にすることができる。部品供給テーブル9上には通常の生産では多数の部品供給手段3が搭載されており、いかに部品供給テーブル9の1サイクル毎の移動量を少なくするかが部品装着タクトを短縮する上でのキーポイントであったが、この動作により部品装着タクトの大幅な短縮を図ることができる。
【0034】
しかしながら、上記のように第1の吸着動作位置K及び第2の吸着動作位置Lにおいて部品を吸着するとき、回転テーブル11の回転円Mの円弧軌跡上を基準点Cから上流・下流側に吸着ノズル20を偏位させるため、部品供給手段3から供給される部品の所定位置・姿勢に対して吸着ノズル20が位置ずれがしやすい。この位置ずれは微小な誤差であるが、微小な部品では前述したように様々な問題が生じる。すなわち、前述の0603部品のように微小なものでは僅かな位置ずれでも吸着エラーとなり吸着率が低下してしまう。これを防ぐために部品に対応させてノズル先端を微小なものとすると、耐久性が低くなり寿命が短縮する。また、微小な先端形状のノズルを用いると、当接時に与える衝撃から部品の破損を招きかねない。
【0035】
本実施形態に係る吸着ノズル20は、微小な部品を吸着するときに生じる上記の課題を解決することができるように構成されたもので、図1(a)、図1(b)に示すように、吸着ノズル20の先端の吸着面60が微小な部品に適合する形状に形成されている。この吸着面60を形成した先端軸61は、これを支持する本体軸62に向けて徐々にその直径が大きくなる形状に形成されているので、その強度を保つことができる。
【0036】
前記吸着面60の形状は、図2に拡大図示するように、亀甲状の六角形に形成され、その中央部にノズル開口部65が開口している。このノズル開口部65は先端軸61を貫通するエア通路63から本体軸62内の空洞部66に連通している。この吸着ノズル20は、図10に示したような装着ヘッド12に取り付けられたとき、本体軸62の空洞部66が放射溝37aを経て装着ヘッド12のエア通路23に接続されるので、エア吸引力が吸着ノズル20のノズル開口部65におよび、吸着面60に部品を吸着することができる。
【0037】
この吸着ノズル20は、図3(a)、図3(b)に示すように、長方形の被吸着面を有する部品55の被吸着面を吸着するように構成されており、ノズル開口部65は長方形の被吸着面に対応させて長穴に形成されている。また、図2に示すように、ノズル開口部65の中央部には、両側から突出する狭窄部64、64が形成され、狭窄部64の対向間の距離gを部品55の短辺111のサイズより小さく形成しておくことによって、部品55がノズル開口部65内に吸い込まれたり、立ったり斜めになった状態で吸着されたりすることを防止している。
【0038】
図3(a)に示す部品55の吸着状態は、先に図12(a)〜図12(e)を参照して説明した第1の吸着動作位置Kに吸着ノズル20が位置した状態を示している。平面視した状態を図4に示すように、部品55の被吸着面のほぼ中心に吸着ノズル20の吸着面60の中心が位置し、部品供給手段3aの部品供給方向Jに対して吸着面60の長手方向軸Oが傾いた状態に位置する。この長手方向軸Oが傾いた状態で、吸着面60はその対向する辺60a、60bがそれぞれ部品55の長辺110に平行になるように形成されている。
【0039】
また、図3(b)に示す部品55の吸着状態は、先に図12(a)〜図12(e)を参照して説明した第2の吸着動作位置Lに吸着ノズル20が位置した状態を示しており、図5に示すように、部品供給手段3bの部品供給方向Jに対して吸着面60の長手方向軸Oが傾いた状態に位置する。第2の吸着動作位置Lに吸着ノズル20が位置した状態では、この長手方向軸Oが傾いた状態で、吸着面60の対向する辺60c、60dがそれぞれ部品55の長辺110に平行になるように形成されている。この部品55の長辺110と平行になる各辺60a〜60dは、部品55の長辺110から外側に越える距離(図3(a)、図3(b)においてEで示す距離)が吸着ノズル20としての強度を保持できる範囲でできるだけ短くなるように形成される。
【0040】
即ち、吸着面60は、吸着する部品55の長軸方向の幅、すなわち部品55の長辺110に平行な対向辺の幅G1が、部品55の短軸方向の幅、すなわち部品55の短辺111に平行な方向の幅G2に比べて小さくなるように形成されている。
【0041】
上記のように吸着面60を構成すると、図4、図5で示すように第1及び第2の各吸着動作位置K、Lにおいて部品55を吸着するとき、並列された部品55のうち吸着すべきものだけに当接して、他の部品55に干渉することがない。また、図8に示すように吸着した部品55を基板上に装着するとき、狭い間隔で部品55が並列される実装密度の高い基板でも問題なく装着することができる。本発明の吸着ノズルは微小な部品55を扱う吸着ノズルでありながら、吸着面60の面積は部品55の被吸着面の面積より大きく形成されるため、耐久性が低下することはない。また、吸着面60の面積に従ってノズル開口部65も大きく開口することができ、吸着力を大きくして吸着率の低下を抑制することができる。
【0042】
尚、吸着面60の外形形状は、図6に示す楕円形の吸着面60a、図7に示す長円形の吸着面60bとして構成しても、上記亀甲形状のものと同様の効果が得られる。また、部品55の吸着は、第1及び第2の吸着動作位置K、Lからだけでなく、図9に示すように基準点Cから部品55を吸着する従来通りの用に供することもできる。
【0043】
【発明の効果】
以上の説明の通り本発明の吸着ノズルによれば、部品の被吸着面の面積より大きな面積の吸着面でありながら、部品を吸着するときに並列された部品のうちの吸着すべきものだけに当接して他の部品に接触することがなく、部品の並列状態を乱すことがない。同じく、狭い間隔で部品が並列される実装密度の高い基板にも問題なく装着することができる。吸着面の面積を部品の被吸着面の面積より大きくすることで、吸着ノズルの構成が微小とならず、耐久性の低下を防止できる。吸着面の面積と同様にノズル開口部も大きく開口することができ、吸着力を大きくして吸着率の低下を抑制することができる。従って本発明の吸着ノズルは部品のサイズが微小な場合でも、精度の高い実装及び吸着率のよさと、ノズルの寿命や耐久性の向上を両立する上で有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る吸着ノズルの構成を示し、(a)は断面図であり、(b)は先端側の平面図である。
【図2】 吸着ノズルの吸着面の構成を示す平面図である。
【図3】 吸着ノズルによる部品の吸着角度を説明する図であって、(a)は第1の吸着動作位置でのノズル姿勢を示し、(b)は第2の吸着動作位置でのノズル姿勢を示す。
【図4】 第1の吸着動作位置での部品吸着を説明する図である。
【図5】 第2の吸着動作位置での部品吸着を説明する図である。
【図6】 吸着ノズルの吸着面の形状の別態様を示す平面図である。
【図7】 吸着ノズルの吸着面の形状のさらに別の態様を示す平面図である。
【図8】 吸着ノズルで吸着した部品を基板上に装着する際の状態を示す平面図である。
【図9】基準点での部品吸着を説明する図である。
【図10】装着ヘッドの構成例を示す断面図である。
【図11】 部品装着装置の平面的な配置関係を示す概略図である。
【図12】 部品装着方法を順を追って示す説明図である。
【図13】 部品装着装置の全体構成を示す斜視図である。
【図14】 部品装着装置の要部構成を示す斜視図である。
【図15】 従来の吸着ノズルで部品を吸着した状態を示す説明図である。
Claims (16)
- 長辺(110)と短辺(111)とからなる長方形状の被吸着面を有する部品(55)がその短軸方向に向けて並列配置されて部品供給部(2)から順送りに供給され、前記部品が供給される方向に対して吸着ノズル(20)の吸着面(60)の長手方向軸(O)が傾いた状態で、前記部品を吸着保持して基板上に装着する吸着ノズルであって、
前記部品の被吸着面に当接する前記吸着ノズルの吸着面が、前記部品の被吸着面の面積より大きな面積で、かつ吸着する前記部品の長辺に平行な対向辺を有し、その対向辺が吸着面の長手方向軸に対して傾斜し、その対向辺間の幅(G1)が、吸着する前記部品の長辺に平行な方向における幅(G2)より小さい任意形状に形成されてなり、前記吸着面を前記被吸着面に当接させて前記部品を吸着する吸着ノズル。 - 吸着面(60)の中央部に被吸着面の形状に対応するノズル開口部(65)が形成されてなる請求項1記載の吸着ノズル。
- 吸着面(60)の形状が、吸着時に部品(55)の長手方向に平行な対向辺を含む多角形に形成されてなる請求項1記載の吸着ノズル。
- 吸着面(60)の形状が、吸着時に部品(55)の長手方向に平行な対向辺を含む亀甲状の六角形に形成されてなる請求項1記載の吸着ノズル。
- 吸着面(60)の形状が、楕円形もしくは長円形に形成されてなる請求項1記載の吸着ノズル。
- ノズル開口部(65)に部品(55)の被吸着面の短辺(111)より開口径を狭くした狭窄部(64)が形成されてなる請求項2記載の吸着ノズル。
- 吸着ノズル(20)を有する装着ヘッド(12)を複数個外周に配設し、一方向に間欠回転する回転テーブル(11)から成り、前記装着ヘッドを順次部品供給位置に停止させる一方、前記回転テーブルの回転円(M)に接する方向に移動する部品供給テーブル(9)に並列状態に搭載された多数の部品供給手段(3)のうち吸着されるべき部品(55)を供給する部品供給手段を順次所定位置に停止させ、長辺(110)と短辺(111)からなる長方形状の被吸着面を有する複数の部品をその短軸方向に向けて並列配置して部品供給手段から順送りに供給し、前記部品供給位置において、装着ヘッドの吸着ノズルを、回転テーブルの回転円と部品供給テーブルの移動方向線(W)とが接する基準点(C)から回転テーブルの回転方向(S)の上流側に偏位した第1の吸着動作位置(K)と、前記基準点から回転テーブルの回転方向の下流側に偏位した第2の吸着動作位置(L)との何れかを選択して位置させ、前記吸着ノズルにより所定位置に停止した部品供給手段から部品を吸着保持し、回転テーブルの間欠回転により装着ヘッドが部品装着位置に移動したとき、吸着ノズルにより基板上に前記部品を装着する部品装着装置において用いられる吸着ノズルであって、
吸着ノズルの、前記部品の被吸着面に当接する吸着面(60)が、前記部品の被吸着面の面積より大きな面積で、かつ前記第1の吸着動作位置及び第2の吸着動作位置における吸着する前記部品の長辺に平行であって前記吸着面の長手方向軸(O)に対して傾斜した対向辺間の幅(G1)が、吸着する部品の長辺に平行な方向における幅(G2)より小さい任意形状に形成され、この吸着面の中央部に前記被吸着面の形状に対応するノズル開口部(65)が形成されてなることを特徴とする吸着ノズル。 - 吸着面(60)の形状が、吸着時に部品(55)の長手方向に平行な対向辺を含む多角形に形成されてなる請求項7記載の吸着ノズル。
- 吸着面(60)の形状が、吸着時に部品(55)の長手方向に平行な対向辺を含む亀甲状の六角形に形成されてなる請求項7記載の吸着ノズル。
- 吸着面(60)の形状が、楕円形もしくは長円形に形成されてなる請求項7記載の吸着ノズル。
- ノズル開口部(65)に部品の被吸着面の短辺(111)より開口径を狭くした狭窄部(64)が形成されてなる請求項7記載の吸着ノズル。
- 長辺(110)と短辺(111)とからなる長方形状の被吸着面を有する複数の部品(55)をその短軸方向に向けて並列配置して部品供給部(2)から所定位置に順送りに供給し、前記部品が供給される方向に対して吸着ノズル(20)の吸着面(60)の長手方向軸(O)が傾いた状態で、前記部品を吸着ノズルで吸着保持して基板上に装着する部品装着方法であって、
前記部品の被吸着面に当接して部品を吸着する吸着ノズルの吸着面が、前記部品の被吸着面の面積より大きな面積で、かつ吸着する部品の長辺に平行であって吸着ノズルの吸着面の長手方向軸に対して傾斜した対向辺間の幅(G1)が、吸着する前記部品の長辺に平行な方向における幅(G2)より小さい任意形状に形成された吸着ノズルにより前記所定位置から部品を吸着し、吸着した部品を基板上に装着する部品装着方法。 - 一方向に間欠回転する回転テーブル(11)の周囲に配設され、吸着ノズル(20)を設けた複数の装着ヘッド(12)を順次部品供給位置に停止させる一方、回転テーブルの回転円(M)に接する方向に移動する部品供給テーブル(9)に並列状態に搭載された多数の部品供給手段(3)のうち吸着されるべき部品(55)を供給する部品供給手段を順次所定位置に停止させ、長辺(110)と短辺(111)とからなる長方形状の被吸着面を有する複数の部品をその短軸方向に向けて並列配置して前記部品供給手段から順送りに供給し、前記部品供給位置において、回転テーブルの回転円と部品供給テーブルの移動方向線(W)とが接する基準点(C)から回転テーブルの回転方向(S)の上流側に偏位した第1の吸着動作位置(K)と、前記基準点から回転テーブルの回転方向の下流側に偏位した第2の吸着動作位置(L)との何れかを選択して所定位置に停止した部品供給手段から、前記部品の被吸着面に当接して前記部品を吸着する吸着面(60)が、前記部品の被吸着面の面積より大きな面積で、かつ前記第1の吸着動作位置及び第2の吸着動作位置における吸着する前記部品の長辺に平行であって前記吸着ノズルの吸着面の長手方向軸(O)に対して傾斜した対向辺間の幅(G1)が、吸着する前記部品の長辺に平行な方向における幅(G2)より小さい任意形状に形成された吸着ノズルにより前記部品を吸着保持し、回転テーブルの間欠回転により装着ヘッドが部品装着位置に移動したとき、前記吸着ノズルに吸着された部品を基板上に装着する部品装着方法。
- 長辺(110)と短辺(111)とからなる長方形状の被吸着面を有する複数の部品(55)をその短軸方向に向けて並列配置して供給位置に順送りに供給する部品供給部(2)と、前記部品の被吸着面に当接して前記部品を吸着する吸着面(60)が、前記部品の被吸着面の面積より大きな面積で、かつ吸着する前記部品の長辺に平行であって前記吸着面の長手方向軸(O)に対して傾斜した対向辺間の幅(G1)が、吸着する前記部品の長辺に平行な方向における幅(G2)より小さい任意形状に形成された吸着ノズル(20)と、前記吸着ノズルにより前記供給位置から部品を吸着し、この吸着ノズルを移動させて、吸着した部品を基板上に装着する部品装着手段とを備えてなる部品装着装置。
- 一方向に間欠回転する回転テーブル(11)の周囲に吸着ノズル(20)を設けた装着ヘッド(12)を複数個配設し、この装着ヘッドを順次部品供給位置に停止させる一方、回転テーブルの回転円(M)に接する方向に移動する部品供給テーブル(9)に並列状態に搭載された多数の部品供給手段(3)のうち吸着されるべき部品(55)を供給する部品供給手段を順次所定位置に停止させ、長辺(110)と短辺(111)とからなる長方形状の被吸着面を有する複数の部品をその短軸方向に向けて並列配置して前記部品供給手段から順送りに供給し、前記部品供給位置において、回転テーブルの回転円と部品供給テーブルの移動方向線(W)とが接する基準点(C)から回転テーブルの回転方向(S)の上流側に偏位した第1の吸着動作位置(K)と、前記基準点から回転テーブルの回転方向の下流側に偏位した第2の吸着動作位置(L)との何れかを選択して所定位置に停止した部品供給手段から、前記部品の被吸着面に当接して前記部品を吸着する吸着面(60)が、前記部品の被吸着面の面積より大きな面積で、かつ前記第1の吸着動作位置及び第2の吸着動作位置における吸着する前記部品の長辺に平行であって前記吸着ノズルの吸着面の長手方向軸(O)に対して傾斜した対向辺間の幅(G1)が、吸着する前記部品の長辺に平行な方向における幅(G2)より小さい任意形状に形成された吸着ノズルにより部品を吸着保持し、回転テーブルの間欠回転により装着ヘッドが部品装着位置に移動したとき、前記吸着ノズルに吸着された部品を基板上に装着する部品装着装置。
- 吸着する部品(55)の長辺(110)に平行であって、吸着ノズル(20)の吸着面(60)の長手方向軸(O)に対して傾斜した吸着面の対向辺は、前記部品の長辺から外側に超える距離が強度を保持できる範囲で短く形成されてなる請求項1に記載の吸着ノズル。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30916399 | 1999-10-29 | ||
PCT/JP2000/007647 WO2001030543A1 (fr) | 1999-10-29 | 2000-10-30 | Buse d'aspiration et methode et appareil permettant d'installer des pieces au moyen de celle-ci |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4461660B2 true JP4461660B2 (ja) | 2010-05-12 |
Family
ID=17989697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001532933A Expired - Fee Related JP4461660B2 (ja) | 1999-10-29 | 2000-10-30 | 吸着ノズルとこれを用いた部品装着方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060119118A1 (ja) |
EP (1) | EP1231031B1 (ja) |
JP (1) | JP4461660B2 (ja) |
CN (1) | CN1278823C (ja) |
DE (1) | DE60031288T2 (ja) |
WO (1) | WO2001030543A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101690445B (zh) * | 2007-05-24 | 2012-10-10 | 松下电器产业株式会社 | 元件安装方法及元件安装机 |
CN101842000B (zh) * | 2009-03-19 | 2014-04-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 贴附装置及使用该贴附装置的贴附方法 |
JP5292208B2 (ja) * | 2009-07-10 | 2013-09-18 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 電子部品の装着ヘッド、電子部品の吸着ノズル及び電子部品装着装置 |
US10440868B2 (en) * | 2014-03-20 | 2019-10-08 | Fuji Corporation | Rotary head for component mounting device |
WO2017037879A1 (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | 富士機械製造株式会社 | 作業割付装置 |
CN106229287B (zh) * | 2016-09-30 | 2019-04-05 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 用于转移微元件的转置头及微元件的转移方法 |
TWI744850B (zh) * | 2019-04-15 | 2021-11-01 | 日商新川股份有限公司 | 封裝裝置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3013480B2 (ja) * | 1991-03-12 | 2000-02-28 | 安藤電気株式会社 | Icソケットのicコンタクト機構 |
US5348316A (en) * | 1992-07-16 | 1994-09-20 | National Semiconductor Corporation | Die collet with cavity wall recess |
US5588203A (en) * | 1995-02-28 | 1996-12-31 | Matsushita Communication Industrial Corporation Of America | Nozzle for a vacuum mounting head |
JPH09293995A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-11-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品吸着方法 |
US5810611A (en) * | 1996-02-29 | 1998-09-22 | Berg Technology, Inc. | Pick up cover for use in transporting electrical headers |
JP3610161B2 (ja) * | 1996-04-01 | 2005-01-12 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 装着ヘッド装置 |
JPH09293770A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Sony Corp | 吸着ノズル及び実装装置 |
JPH1075095A (ja) * | 1996-08-29 | 1998-03-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品自動装着装置及び電子部品の吸着方法 |
WO1998033369A1 (de) * | 1997-01-28 | 1998-07-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Vakuumpipette zum ansaugen von elektrischen bauelementen |
JPH11103197A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品吸着用ノズル |
-
2000
- 2000-10-30 WO PCT/JP2000/007647 patent/WO2001030543A1/ja active IP Right Grant
- 2000-10-30 EP EP00970224A patent/EP1231031B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-30 CN CNB00814916XA patent/CN1278823C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-10-30 DE DE60031288T patent/DE60031288T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-30 JP JP2001532933A patent/JP4461660B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-01-19 US US11/335,054 patent/US20060119118A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60031288D1 (de) | 2006-11-23 |
EP1231031A1 (en) | 2002-08-14 |
CN1384774A (zh) | 2002-12-11 |
US20060119118A1 (en) | 2006-06-08 |
CN1278823C (zh) | 2006-10-11 |
EP1231031A4 (en) | 2004-10-13 |
EP1231031B1 (en) | 2006-10-11 |
WO2001030543A1 (fr) | 2001-05-03 |
DE60031288T2 (de) | 2007-05-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3739218B2 (ja) | 部品装着方法及び装置 | |
US7401401B2 (en) | Mounting head of electronic component mounting apparatus | |
WO2015011805A1 (ja) | 部品実装機の部品移載装置 | |
JP4461660B2 (ja) | 吸着ノズルとこれを用いた部品装着方法及び装置 | |
US8091216B2 (en) | Electronic parts mounting apparatus and electronic parts mounting method | |
KR20000064628A (ko) | 전자부품 장착 장치 | |
WO2013171836A1 (ja) | 電子部品装着機 | |
KR100465212B1 (ko) | 핸드링 장치 및 이 핸드링 장치를 사용한 부품 조립 장치 | |
JP3607445B2 (ja) | 電子部品の吸着ノズル | |
US20200100406A1 (en) | Component mounter | |
JP5876967B2 (ja) | 部品実装装置 | |
WO2017081809A1 (ja) | 部品実装装置、部品実装方法、及び、表面実装機 | |
JP6818770B2 (ja) | 部品実装機、部品吸着方法及びノズル配置方法 | |
KR101632264B1 (ko) | 부품 장착 장치 | |
JP7003214B2 (ja) | 部品実装機 | |
JP2001102794A (ja) | 部品装着方法及びその装置 | |
JP3660498B2 (ja) | 部品供給装置 | |
JP3665368B2 (ja) | 電子部品自動装着装置 | |
JP3144793B2 (ja) | 部品吸着ノズルおよびその部品吸着ノズルを備えた部品装着装置 | |
JP4228473B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
JP3935632B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
JPH09214186A (ja) | チップマウンター | |
JP2002283266A (ja) | 電子部品の吸着ノズル | |
JP6378054B2 (ja) | 部品実装機のツール保持装置および部品実装機のノズルツール | |
JP2002018755A (ja) | 電子部品吸着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070111 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090403 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100126 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100208 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140226 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |