JP4461625B2

JP4461625B2 - 太陽電池セル特性の連続自動測定方法および装置

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Publication number: JP4461625B2
Application number: JP2001069841A
Authority: JP
Inventors: 伸二林
Original assignee: Fuji Electric Holdings Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2001-03-13
Filing date: 2001-03-13
Publication date: 2010-05-12
Anticipated expiration: 2021-03-13
Also published as: JP2002270873A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ユニットセルを複数個直列接続した薄膜太陽電池のセル特性の連続自動測定方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜太陽電池は、薄型で軽量、製造コストの安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の太陽電池の主流となると考えられ、電力供給用以外に、建物の屋根や窓などにとりつけて利用される業務用，一般住宅用にも需要が広がってきている。
【０００３】
従来の薄膜太陽電池はガラス基板を用いているものが一般的であった。近年、軽量化、施工性、量産性においてプラスチックフィルムを用いたフレキシブルタイプの太陽電池の研究開発が進められ実用化されている。さらに、フレキシブルな金属材料に絶縁被覆したフィルム基板を用いたものも開発されている。このフレキシブル性を生かし、ロールツーロール方式やステッピングロール方式の製造方法により大量生産が可能となった。
【０００４】
上記の薄膜太陽電池は、電気絶縁性フィルム基板上に第１電極（以下、下電極ともいう）、薄膜半導体層からなる光電変換層および第２電極（以下、透明電極ともいう）が積層されてなる光電変換素子（またはセル）が複数形成されている。ある光電変換素子の第１電極と隣接する光電変換素子の第２電極を電気的に接続することを繰り返すことにより、最初の光電変換素子の第１電極と最後の光電変換素子の第２電極とに必要な電圧を出力させることができる。例えば、インバータにより交流化し商用電力源として交流１００Ｖを得るためには、薄膜太陽電池の出力電圧は１００Ｖ以上が望ましく、実際には数１０個以上の素子が直列接続される。
【０００５】
このような光電変換素子とその直列接続は、電極層と光電変換層の成膜と各層のパターニングおよびそれらの組み合わせ手順により形成される。上記太陽電池の構成および製造方法の一例として、本願出願人により、いわゆるＳＣＡＦ（Series Connection through Apertures on Film ）型の薄膜太陽電池が提案されており、例えば特開平１０−２３３５１７号公報や特願平１１−１９３０６号に記載されている。
【０００６】
図８は、上記特開平１０−２３３５１７号公報に記載された薄膜太陽電池の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）における線ＡＢＣＤおよびＢＱＣに沿っての断面図であり、（ｃ）は（ａ）におけるＥＥ断面図を示す。
【０００７】
電気絶縁性でフレキシブルな樹脂からなる長尺のフィルム基板上に、順次、第１電極層、光電変換層、第２電極層が積層され、フィルム基板の反対側（裏面）には第３電極層、第４電極層が積層され、裏面電極が形成されている。光電変換層は例えばアモルファスシリコンのpin接合である。フィルム基板用材料としては、ポリイミドのフィルム、例えば厚さ５０μｍのフィルムが用いられている。
【０００８】
次に、製造工程の概要につき以下に説明する。
【０００９】
先ず、フィルム基板にパンチを用いて、接続孔ｈ１を開け、基板の片側（表側とする）に第１電極層として、スパッタにより銀を、例えば１００ｎｍの厚さに成膜し、これと反対の面（裏側とする）には、第３電極層として、同じく銀電極を成膜する。接続孔ｈ１の内壁で第１電極層と第３電極層とは重なり、導通する。
【００１０】
成膜後、表側では、第１電極層を所定の形状にレーザ加工して、下電極ｌ１〜ｌ６をパターニングする。下電極ｌ１〜ｌ６の隣接部は一本の分離線ｇ２を、二列の直列接続の光電変換素子間および周縁導電部ｆとの分離のためには二本の分離線ｇ２を形成し、下電極ｌ１〜ｌ６は分離線により囲まれるようにする。再度パンチを用いて、集電孔ｈ２を開けた後、表側に、光電変換層ｐとしてa-Si層をプラズマＣＶＤにより成膜する。マスクを用いて幅Ｗ２の成膜とし、レーザ加工により二列素子の間だけに第１電極層と同じ分離線を形成する。なお、前記幅Ｗ２は、接続孔ｈ１にまたがってもよい。
【００１１】
さらに第２電極層として表側に透明電極層（ＩＴＯ層）を成膜する。但し、二つの素子列の間とこれに平行な基板の両側端部にはマスクを掛け接続孔ｈ１には成膜しないようにし、素子部のみに成膜する。
【００１２】
次いで裏面全面に第４電極層として金属膜などの低抵抗導電膜からなる層を成膜する。第４電極の成膜により、集電孔ｈ２の内壁で第２電極と第４電極とが重なり、導通する。表側では、レーザ加工により下電極と同じパターンの分離線を入れ、個別の第２電極ｕ１〜ｕ６を形成し、裏側では第３電極と第４電極とを同時にレーザ加工し、接続電極ｅ１２〜ｅ５６、および電力取り出し電極ｏ１，ｏ２を個別化し、基板の周縁部では表側の分離線ｇ３と重なるように分離線ｇ２を形成し、隣接電極間には一本の分離線を形成する。
【００１３】
全ての薄膜太陽電池素子を一括して囲う周縁、および二列の直列接続太陽電池素子の隣接する境界には（周縁導電部ｆの内側）分離線ｇ３がある。分離線ｇ３の中にはどの層も無い。裏側では、全ての電極を一括して囲う周縁、および二列の直列接続電極の隣接する境界には（周縁導電部ｆの内側）分離線ｇ２がある。分離線ｇ２の中にはどの層も無い。
【００１４】
こうして、電力取り出し電極ｏ１−集電孔ｈ２−上電極ｕ１、光電変換層、下電極ｌ１−接続孔ｈ１−接続電極ｅ１２−上電極ｕ２、光電変換層、下電極ｌ２−接続電極ｅ２３−・・・−上電極ｕ６、光電変換層、下電極ｌ６−接続孔ｈ１−電力取出し電極ｏ２の順の光電変換素子の直列接続が完成する。
【００１５】
なお、第３電極層と第４電極層は電気的には同一の電位であるので、以下の説明においては説明の便宜上、併せて一層の接続電極層として扱うこともある。
【００１６】
図９は、構造の理解の容易化のために、薄膜太陽電池の構成を簡略化して斜視図で示したものである。図９において、基板６１の表面に形成した単位光電変換素子６２および基板６１の裏面に形成した接続電極層６３は、それぞれ複数の単位ユニットに完全に分離され、それぞれの分離位置をずらして形成されている。このため、素子６２のアモルファス半導体部分である光電変換層６５で発生した電流は、まず透明電極層６６に集められ、次に該透明電極層領域に形成された集電孔６７（ｈ２）を介して背面の接続電極層６３に通じ、さらに該接続電極層領域で素子の透明電極層領域の外側に形成された直列接続用の接続孔６８（ｈ１）を介して上記素子と隣り合う素子の透明電極層領域の外側に延びている下電極層６４に達し、両素子の直列接続が行われている。
【００１７】
次に、前記ロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造プロセスおよび各種装置の概要の一例を、図１０に示す。図１０の左側に各プロセスを示し、右側に各プロセスで使用される装置の概要を矢印で示す（詳細は、例えば特願平１１−２０９３２２号参照）。
【００１８】
装置としては、穴あけ装置５１，スパッタ装置５２，ステッピングロール方式成膜装置５３，レーザースクライバー５４，特性評価装置５５などがあり、前記各装置は、巻出し用ロール１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅおよび巻取り用ロール２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと、ガイドロール３、張力ロール４などを備えて、自動連続生産のためにロール搬送が行なわれている。
【００１９】
前述のように、薄膜太陽電池は、自動連続生産が基本であるため、太陽電池セルの特性測定においても自動化が不可欠である。現在、ソーラーシミュレータによるセル特性パラメータの計測、および単体の太陽電池素子（ユニットセル）のリーク電流測定によるシャント抵抗測定を、セル全数に対して行なっている。
【００２０】
次に、前記セル特性パラメータの計測について、その概要を以下に述べる。図６は、従来から使用しているセル特性の連続自動測定装置の概略構成を示す。
【００２１】
前述のように、ユニットセルの受光面側で発生した電流は透明電極から集電孔を通してフィルムの裏面側の接続電極層に伝わり、裏面の接続電極層は接続孔を通して下電極層に接続されているので、フィルム裏面の接続電極層に測定用プローブを当てることにより太陽電池セルと測定回路を電気的に接続してセル特性の測定を行なうことができる。量産の場合には、ユニットセル毎ではなしに、後述するように、複数セルを一括して、図６に示す測定装置により、太陽電池群のセル特性測定が行なわれる。
【００２２】
図６に示すように、長尺フィルム基板１０上に形成されたＳＣＡＦ型薄膜太陽電池群の受光面を下に向け搬送し、測定装置の所定位置で停止させる。この時、セルの受光面はガラス面に密着して平面を保っている。ガラス１１を通して下方の光源１２から光を当て、フィルムの背面側に上から測定用プローブ電極１４を押し当てて測定を行なう。これを太陽電池群毎に、繰り返し行なうことによって連続自動測定を行なう。
【００２３】
ところで、薄膜太陽電池を量産する場合に、前述のように基板は長尺基板とし、この長尺基板上に前記直列に接続してなる薄膜太陽電池と、電力を外部に取り出すための電力の取り出し用の電極層とを有する薄膜太陽電池群を、基板の長尺方向に所定の間隔をおいてパターニングして複数形成し、基板の前記間隔領域に設けた位置決め用のマーカー穴を基準点として、前記第１電極層，光電変換層，透明電極層，接続電極層などの各層の形成ならびに各パターニング等の加工、さらには、マーカー穴を基準点として素子の特性評価や薄膜太陽電池群毎に裁断を行なう等の製造方法が採用されている。
【００２４】
図７は、上記製造方法に関わり、長尺基板上に複数個の薄膜太陽電池群が形成された薄膜太陽電池の概略構成を示す模式的平面図である。図７において、１０は長尺フィルム基板、２０ａ，２０ｂは薄膜太陽電池群、２５はマーカー穴を示す。薄膜太陽電池群２０ａ，２０ｂは、パターニングライン２３により複数個のユニットセル２１と電力取出電極層２２とに、用途に応じて適宜分割されている。
【００２５】
２０ａ，２０ｂの薄膜太陽電池群は、図示のように、それぞれセルの配置パターンが異なる。２０ａは、基板長尺方向に２並列多数直列された薄膜太陽電池群のパターンを示し、また、２０ｂは、基板短尺方向に４並列多数直列された薄膜太陽電池群のパターンを示す。
【００２６】
図７において、マーカー穴２５は、薄膜太陽電池群の間隔領域に設けられ、この位置決め用のマーカー穴を、光透過型または光反射型のセンサーにより検出し、この穴を基準点として位置決めを行なった上で、薄膜太陽電池群の各層の形成や各パターニング加工等が行なわれる。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ＳＣＡＦ構造の薄膜太陽電池における太陽電池セル特性の連続自動測定方法および装置においては、下記のような問題があった。
【００２８】
前述のセル特性測定装置において、測定用プローブ電極は、電流測定用電極と電圧測定用電極が、ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池セルのプラス電極とマイナス電極に相対する位置に固定されたものである。そのため、図７の２０ａ，２０ｂの薄膜太陽電池群で示すように、セルの配置パターンが異なる場合には、そのセルの配置パターンと合致させる必要があり、パターンの変更に合わせて測定用プローブ電極の位置ないしは測定用プローブ自体を変更しなければならない。
【００２９】
上記変更は架台の交換や位置調整等、多大の段取り時間を要する。特に、図７で示すように、同一の長尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する場合には、自動連続測定は不可能となる。そのためセルパターンを自動的に検知して測定回路を切り替える機構が必要となる。
【００３０】
この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、この発明の課題は、同一の長尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する場合であっても、太陽電池セル特性の連続自動測定が可能な測定方法および装置を提供することにある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため、請求項１の発明によれば、電気絶縁性を有する基板の表面に下電極層としての第１電極層，光電変換層，透明電極層（第２電極層）を順次積層してなる光電変換部と、前記基板の裏面に形成した接続電極層としての第３電極層および第４電極層とを備え、前記光電変換部および接続電極層を互いに位置をずらして単位部分にパターニングしてなり、前記光電変換層形成領域内に形成した接続孔ならびに集電孔を介して、前記表面上の互いにパターニングされて隣合う単位光電変換部分（ユニットセル）を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池と、この太陽電池の電力取り出し用の電力取出電極層とを有する薄膜太陽電池群を、長尺基板の長尺方向に所定の間隔をおいて複数形成した前記各薄膜太陽電池群のセル特性を連続的に自動測定する方法において、以下の１）から６）までの全ての工程を含むこととする。
１）薄膜太陽電池群が形成された基板を所定位置に搬送する工程。
２）前記基板の太陽電池の受光面側に、太陽の模擬光を照射する工程。
３）前記基板の太陽電池の非受光面側における電力取出電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セルパターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もしくは非短絡の検出により、セルパターンを判定する工程。
４）前記セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極対を選択する工程。
５）前記選択されたセル特性測定用電極対により、セル特性を測定する工程。
６）前記セル特性測定完了後、隣接する次の薄膜太陽電池群を測定するために、基板を所定位置に搬送する工程。
【００３２】
上記によれば、セルパターンに応じてセル特性測定用電極対を切り替えて測定できるので、連続自動測定が可能となる。
【００３３】
また、前記請求項１の発明を実施するための装置としては、下記請求項２の発明が好ましい。即ち、請求項１記載の測定方法を実施するための測定装置であって、基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１およびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作するリレーと、このリレーの接続動作により、セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル特性測定手段とを接続する回路とを備えるものとする（請求項２の発明）。
【００３４】
さらに、前記請求項２の発明の実施態様としては、下記請求項３ないし６の発明が好適である。即ち、請求項２記載の測定装置において、前記セル特性測定用電極対と前記セル特性測定手段との接続を自己保持するための遅延タイマーを備える（請求項３の発明）。遅延タイマーの所定の設定時間後にセル特性測定用の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）を切り離すことにより、セル特性測定のための接続が確保できる。
【００３５】
また、請求項３記載の測定装置において、前記セル特性測定手段における所定の測定時間を確保するために、前記遅延タイマーによって駆動される第２の遅延タイマーを備える（請求項４の発明）。これにより、セル特性測定が確実に実施できる。
【００３６】
さらに、請求項２記載の測定装置において、前記セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、かつ前記セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ互いに直交配置してなり、さらに、前記各電極対の対間距離は、前記ユニットセルのパターニング幅と同一としてなるものとする（請求項５の発明）。
【００３７】
上記により、各電極対は、隣接するユニットセルを確実に跨って配置されるので、パターンの判別およびセル特性測定が、シンプルな構成で確実となる。
【００３８】
さらにまた、請求項５記載の測定装置において、前記セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ、電流測定用電極（Ｉ１およびＩ２）と電圧測定用電極（Ｖ１およびＶ２）とを備えるものとする（請求項６の発明）。これにより、測定が容易にできる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
図面に基づき、本発明の実施例について以下に述べる。
【００４０】
図１は、薄膜太陽電池群上の電流測定用電極（Ｉ１およびＩ２）と電圧測定用電極（Ｖ１およびＶ２）とを備える２組のセル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）と、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）の配置例を示し、図２は、電極対の自動切替回路の実施例を示す。
【００４１】
図１（ａ）は、前記２並列多数直列の薄膜太陽電池群２０ａの場合の例、図１（ｂ）は、４並列多数直列の薄膜太陽電池群２０ｂの場合の例を示す。
【００４２】
電流，電圧の測定は、４端子法で行なうため、セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ、Ｉ₊，Ｉ_-，Ｖ₊，Ｖ_-の４個が必要で、これらを正負の各電力取出電極層２２に接触させて測定を行なう。各電力取出電極層２２直近の、ユニットセル２１に相当する接続電極層に接触させて測定を行なうこともできる。
【００４３】
図１（ｃ）は、接続電極層に接触させて測定を行なう場合において、図１（ａ）相当と図１（ｂ）相当のとを重ね合わせた場合の、２組のセル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）と、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）の左上部の配置例であって、セルパターンとしては、図１（ａ）に相当するものを示す。セルパターンに応じてセル特性測定用電極対を切り替えて測定できるようにするために、発明に係る装置は、図１（ｃ）に示すように、各電極対を重ね合わせた配置とする必要がある。
【００４４】
また、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、かつセル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）も、それぞれ互いに直交配置し、さらに、各電極対の対間距離は、ユニットセルのパターニング幅と同一とする。
【００４５】
上記各電極対配置により、後述する図２に示す自動切替回路によってセルパターンに応じて切り替えて、セル特性の測定を行なう。セル特性の測定は、前述の図６に示す装置により、薄膜太陽電池群に模擬光を照射して起電力を発生させ、負荷を短絡から開放まで変化させながら、電流および電圧を測定し、電圧−電流特性を求める。これから、特性パラメータとして、開放電圧，短絡電流，最大電力，形状パラメータ，変換効率等を求める。
【００４６】
次に、図２に示す自動切替回路について説明する。各電極対をセルに押しつけると、図１（ａ）に相当するセルパターンの場合、電極対Ｐ1が短絡状態となる。そこでリレーＳ１が動作し、遅延タイマーＴ1を起動する。Ｔ1はパターン検出完了を意味しており、一定時間の後に電極対Ｐ1，Ｐ２を切り離す。この時Ｓ１は自己保持されるので、測定用電極Ｉ１，Ｖ１が測定回路との接続を保持する。
【００４７】
Ｔ1は同時に遅延タイマーＴ２を起動し測定完了を待つ。測定が完了すると測定用電極対はセルから離れるので、Ｐ1，Ｐ２，Ｉ１，Ｉ２，Ｖ1，Ｖ２はすべて回路から切り離される。そこでＴ２がタイムアップしてＳ１の自己保持を解除して初期状態に戻る。図１（ｂ）に相当するセルパターンの場合も同様である。このようにしてセルパターンを自動検知して自動連続測定が可能となる。
【００４８】
ところで、図８に示したＳＣＡＦ型薄膜太陽電池においては、図３に示すように、ハッチングで示したセルパターンの外側に太陽電池セルとは切り離され独立した外側電極が存在する。これは外部との電気的絶縁を確実にするために設けられた領域である。ここにパターン検出用電極対を配置することにより、前述と同様に自動切替回路を構成することができる。
【００４９】
この電極領域はセルパターンとは絶縁されているために、セル特性の測定中もパターン検出用電極対を切り離す必要がなく、パターン検出用のリレーＳ１，Ｓ２を保持できる。そのため自動切替回路も、図５に示すように簡単な回路でよい。
【００５０】
この方式は、セルパターン領域と外側電極とが確実に絶縁されていることが前提であり、場合によっては、図４に示すように、２重のパターニングラインを設ける。
【００５１】
【発明の効果】
この発明によれば前述のように、電気絶縁性を有する基板の表面に下電極層としての第１電極層，光電変換層，透明電極層（第２電極層）を順次積層してなる光電変換部と、前記基板の裏面に形成した接続電極層としての第３電極層および第４電極層とを備え、前記光電変換部および接続電極層を互いに位置をずらして単位部分にパターニングしてなり、前記光電変換層形成領域内に形成した接続孔ならびに集電孔を介して、前記表面上の互いにパターニングされて隣合う単位光電変換部分（ユニットセル）を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池と、この太陽電池の電力取り出し用の電力取出電極層とを有する薄膜太陽電池群を、長尺基板の長尺方向に所定の間隔をおいて複数形成した前記各薄膜太陽電池群のセル特性を連続的に自動測定する場合において、
基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１およびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作するリレーと、このリレーの接続動作により、セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル特性測定手段とを接続する回路とを備えるものとし、
電力取出電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セルパターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もしくは非短絡の検出により、セルパターンを判定し、前記セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極対を選択することとしたので、
同一の長尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する場合であっても、太陽電池セル特性の連続自動測定が可能な測定方法および装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例に関わる各電極対の配置図
【図２】この発明の実施例に関わる電極対の自動切替回路図
【図３】この発明の実施例に関わる各電極対の異なる配置図
【図４】この発明の実施例に関わる各電極対の異なる配置図
【図５】この発明の実施例に関わる電極対の異なる自動切替回路図
【図６】太陽電池セル特性の連続自動測定装置の概略構成図
【図７】長尺基板上に複数個の薄膜太陽電池群が形成された一例の概略構成の模式的平面図
【図８】ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池の構成を示す図
【図９】ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池の概略構成を示す斜視図
【図１０】薄膜太陽電池の製造プロセスおよび各種装置の概要を示す図
【符号の説明】
２０ａ，２０ｂ：薄膜太陽電池群、２１：ユニットセル、２２：電力取出電極層、Ｉ１，Ｉ２：電流測定用電極、Ｍ１，Ｍ２：セル特性測定用電極対、Ｐ１，Ｐ２：セルパターン検出用電極対、Ｖ１，Ｖ２：電圧測定用電極。

Claims

電気絶縁性を有する基板の表面に下電極層としての第１電極層，光電変換層，透明電極層（第２電極層）を順次積層してなる光電変換部と、前記基板の裏面に形成した接続電極層としての第３電極層および第４電極層とを備え、前記光電変換部および接続電極層を互いに位置をずらして単位部分にパターニングしてなり、前記光電変換層形成領域内に形成した接続孔ならびに集電孔を介して、前記表面上の互いにパターニングされて隣合う単位光電変換部分（ユニットセル）を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池と、この太陽電池の電力取り出し用の電力取出電極層とを有する薄膜太陽電池群を、長尺基板の長尺方向に所定の間隔をおいて複数形成した前記各薄膜太陽電池群のセル特性を連続的に自動測定する方法において、
以下の１）から６）までの全ての工程を含むことを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定方法。
１）薄膜太陽電池群が形成された基板を所定位置に搬送する工程。
２）前記基板の太陽電池の受光面側に、太陽の模擬光を照射する工程。
３）前記基板の太陽電池の非受光面側における電力取出電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セルパターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もしくは非短絡の検出により、セルパターンを判定する工程。
４）前記セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極対を選択する工程。
５）前記選択されたセル特性測定用電極対により、セル特性を測定する工程。
６）前記セル特性測定完了後、隣接する次の薄膜太陽電池群を測定するために、基板を所定位置に搬送する工程。
請求項１記載の測定方法を実施するための測定装置であって、基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１およびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作するリレーと、このリレーの接続動作により、セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル特性測定手段とを接続する回路とを備えることを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。
請求項２記載の測定装置において、前記セル特性測定用電極対と前記セル特性測定手段との接続を自己保持するための遅延タイマーを備えることを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。
請求項３記載の測定装置において、前記セル特性測定手段における所定の測定時間を確保するために、前記遅延タイマーによって駆動される第２の遅延タイマーを備えることを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。
請求項２記載の測定装置において、前記セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、かつ前記セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ互いに直交配置してなり、さらに、前記各電極対の対間距離は、前記ユニットセルのパターニング幅と同一としてなることを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。
請求項５記載の測定装置において、前記セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ、電流測定用電極（Ｉ１およびＩ２）と電圧測定用電極（Ｖ１およびＶ２）とを備えることを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。