JP4449686B2 - ケミカルエアフィルタ運転制御システム - Google Patents
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Description
そのためケミカルエアフィルタの長寿命化および分子状汚染物質の発生時のすみやかな除去が必要であった。
また、前記清浄空間は、ミニエンバイロメント、ストッカ、クリーンブースまたはクリーンルームであることを特徴としている。
また清浄空間42の下部には、清浄空間42内のエアの一部を清浄空間設備40の外部へ排気するための手段54が設けられている。
また検知センサは、吸着膜を設けない構成にすることもできる。
また検知センサは、吸着膜を設けない構成にすることもできる。
Claims (3)
- 清浄空間を介して循環するエアから汚染物質を除去するケミカルエアフィルタと、前記ケミカルエアフィルタにエアを通気させる風量調整手段とを前記清浄空間の入力段に設け、前記清浄空間に生じる前記汚染物質を検知する表面弾性波センサを前記清浄空間に設け、前記表面弾性波センサの出力値変化の差分と予め設定された基準値とを比較し、当該比較値に応じて前記風量調整手段を制御する手段を設けたケミカルエアフィルタ運転制御システムであって、
前記表面弾性波センサは、圧電基板上に電極を形成するとともに、前記汚染物質の吸着膜を少なくとも前記電極上に形成してなり、
前記ケミカルフィルタの後段に塵埃除去フィルタを配置し、
前記吸着膜は、前記清浄空間内の製品表面と同じ物質からなるとともに、
前記風量調整する制御手段は汚染物質が吸着することにより変化する発振周波数の変化量を求め、この変化量と予め記憶された基準値とを比較して、変化量が基準値以上であれば前記風量調整手段による風量を増大し、前記変化量が基準値未満であれば前記風量調整手段による風量を減少させる信号を出力可能とされ、前記清浄空間内に供給するエア供給量は、通常時は清浄空間に要求される清浄度を満たす最小風量に設定されるように出力可能とされてなる、
ことを特徴とするケミカルエアフィルタ運転制御システム。 - 前記清浄空間は、ミニエンバイロメント、ストッカ、クリーンブースまたはクリーンルームであることを特徴とする請求項1ないし2のいずれかに記載のケミカルエアフィルタ運転制御システム。
- 清浄空間から清浄空間内のエアを排出する構成であり、当該排出口と前記風量調整手段とがレタンダクトにより接続されていて、清浄空間を介してエアが循環する構成であり、前記レタンダクトは、その間において分岐しており、一方の経路にはモータダンパが設けられ、他方の経路にはモータダンパとその後段に前記ケミカルフィルタとが設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1に記載のケミカルエアフィルタ運転制御システム。
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JP2001244322A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハストッカー及びストック方法 |
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JP2002168748A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Ebara Corp | ケミカルフィルタ終点検知モニター、該モニターを備えた基板搬送容器、基板搬送容器充電ステーション、及び、ケミカルフィルタ終点検知方法 |
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Cited By (1)
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