JP4441918B2 - 光源装置及び画像表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は、光源装置及び画像表示装置に関する。
近年の投射型画像表示装置では、光源として超高圧水銀ランプなどの放電ランプが用いられるのが一般的である。しかし、このような放電ランプは、寿命が比較的短い、瞬時点灯が難しい、色再現性範囲が狭い、ランプから放射された紫外線が液晶ライトバルブを劣化させてしまうことがある等の課題がある。そこで、このような放電ランプの代わりに、単色光を照射するレーザ光源を用いた投射型画像表示装置が提案されている。しかしながら、レーザ光源は、上記の課題を持たない反面、干渉性を有するという欠点を持っている。これにより、レーザ光が投射される被投射面において干渉縞がスペックルノイズとして現れ画像が劣化してしまうので、高精細な画像を表示させるためには、スペックルノイズの対策が必要となる。
スペックルノイズを除去する手段としては、被投射面や、被投射面にレーザ光を投影する光学系内に散乱素子を配置したり、散乱素子を振動させたりする手段がある。このような手段を備えた画像表示装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
この特許文献1に記載の画像表示装置は、表面に所定形状の凹凸が形成された拡散素子を備えている。この拡散素子を光軸に直交する平面内において、加振手段により、所定の周波数で振動させることで、拡散素子に入射したレーザ光の強度分布が変化する。これによって、スペックルノイズを抑えることが可能となっている。
また、高輝度であるプロジェクタの光源には、高出力レーザが必要となり、高出力化のためにアレイ光源が用いられている。このアレイ光源によるスペックルノイズの対策方法として、アレイ光源の温度を制御する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照。
)。この特許文献2に記載の画像表示装置は、アレイ光源の一つ一つの半導体レーザが、異なる温度に維持されており、各半導体レーザが、この温度の違いに応じて異なる波長の光束を射出している。このように、出力波長を異ならせることにより、半導体レーザ同士のコヒーレンスが低減し、出力光全体としてスペックルノイズが低減する。
特開2004−144936号公報 特開2004−144794号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載の画像表示装置は、光源を一つだけ用いており、アレイ光源のような複数の光源を用いた場合、同一の拡散素子により光が拡散されるため、複数の光源から射出された光同士のコヒーレンスを低下することはできない。また、拡散素子を振動させるために、加振手段を用いているため、装置全体が大型化し、また、振動による騒音等が発生してしまう。
また、特許文献2に記載の画像表示装置は、外部共振器構造を必要としない光源、すなわち、直接レーザ光を出力する光源の使用を前提としたものである。確かに、外部共振器構造を必要としない光源の場合には、スペックルノイズを抑える効果がある。
ここで、外部共振器を備える光源の場合、基本構成要素は、発光素子と、波長選択素子(共振器ミラー)とである。また、複数の発光素子を用いる場合であっても、コストや組み立ての容易さを考慮して、単一の波長を選択する波長選択素子が用いられるのが一般的である。この波長選択素子においては、レーザ発振させるために、選択する波長の帯域を狭くする必要がある。その結果、特許文献2に記載のように、アレイ光源から射出される光それぞれの波長にばらつきを持たせたとしても、波長選択素子により、単一の波長が選択されることになり、波長選択素子を含めた光源全体のコヒーレンスは低下しない。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、小型であって、かつ、複数のレーザ光同士のコヒーレンスを低減させ、スペックルノイズを抑えた光源装置及びこれを備えた画像表示装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の光源装置は、レーザ光を発する複数の発光素子と、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光のうち所定の選択波長の光の一部を選択して前記発光素子に向かって反射させることによって前記発光素子の共振器ミラーとして機能するとともに、残りのレーザ光を透過させる波長選択素子と、を備え、前記波長選択素子は、前記複数の発光素子から射出された光がそれぞれ選択される複数の光選択領域を備えた1つの基体によって構成され、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長が互いに異なることを特徴とする。
本発明に係る光源装置では、複数の発光素子から射出された光は、波長選択素子において、所定の選択波長の一部の光が反射し共振器ミラー間で共振し増幅され、残りのレーザ光が増幅されずに透過する。また、選択波長のうち波長選択素子を透過した一部の光は、他の波長とは異なり増幅されているため、非常に強い光強度となる。このとき、波長選択素子は、1つの基体上の光選択領域ごとに選択される光の波長が異なっている。これにより、たとえ、複数の発光素子から射出される光のピーク波長が同じであったとしても、発光素子から射出される光は、帯域幅を持っているので、帯域幅内で異なる波長の光が増幅され取り出される。すなわち、発光素子から射出されたそれぞれの光は、波長選択素子のそれぞれの光選択領域において共振すると、各領域から射出される共振器ミラー構造において増幅された光の波長が異なることになる。すなわち、本発明は、従来のように、波長選択素子が単一波長の光を射出するものではないため、波長選択素子を透過した光の波長帯域は全体として広がることになる。これにより、波長選択素子の各領域から射出された増幅光同士のコヒーレンスが低減するため、スペックルノイズを抑えることが可能となる。
また、波長選択素子は、従来のように、拡散素子や加振手段を設ける必要がないため、装置全体の小型化が可能となる。
また、複数の発光素子は、製造の誤差等により、それぞれの発光素子から射出される光のピーク波長が数nm程度異なる場合がある。この場合、発光素子のそれぞれのピーク波長と同じ波長の光が選択される領域を有する波長選択素子を用いることにより、発光素子から射出された光を効率良く波長選択素子から取り出すことができる。すなわち、従来では、単一波長しか選択されることができない波長選択素子を用いているため、光源装置から射出される光の面内においてバラツキが生じる。しかしながら、本発明の光源装置は、波長選択素子により、入射した光の強度を落とすことなく光を透過させることができるので、光の利用効率を向上させることが可能となる。
また、本発明の光源装置は、前記複数の光選択領域に、互いに大きさの異なる歪みを付与する歪み付与手段を備え、該歪み付与手段によって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、歪み付与手段として、例えば、圧電素子を用いて波長選択素子の領域ごとに歪みが異なるように歪みを付与する。これにより、波長選択素子の内部の格子の間隔が変化するため、波長選択素子は、領域ごとに反射させる波長が異なることになる。したがって、複数の発光素子から射出された光は、波長選択素子により反射され共振を起こすと、各領域から射出される際、増幅された光は異なる波長となる。したがって、簡易な構成により、波長選択素子の各領域を透過した光同士のコヒーレンスが低減するため、低コスト化を図りつつ、スペックルノイズを抑えることが可能となる。
また、歪み付与手段が複数設けられ、歪み付与手段が光選択領域の複数ごとにそれぞれ設けられていても良い。この構成の場合も、複数の光選択領域によって選択される光の波長が互いに異なるように歪みを付与すれば良い。
また、本発明の光源装置は、前記歪み付与手段が複数設けられ、該歪み付与手段が前記光選択領域ごとにそれぞれ設けられていることが好ましい。
本発明の光源装置では、1つの光選択領域ごとに歪み付与手段を設けることにより、領域ごとに付与する歪みの量を変えることができる。これにより、波長選択素子の各領域の内部の格子の間隔を調整することができる。したがって、発光素子から射出される光にばらつきがある場合、発光素子から射出される光の波長に合うように、領域ごとに選択波長を変えることができる。すなわち、各発光素子から射出された光の波長と対応する波長選択素子の各領域の選択波長とを揃えることが可能となるため、光の利用効率を向上させることが可能となる。
また、本発明の光源装置は、前記複数の光選択領域の温度を互いに異ならせる温度変化手段を備え、該温度変化手段によって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、温度変化手段により、波長選択素子の光選択領域ごとの温度を異ならせるため、各光選択領域の温度に応じて波長選択素子の内部の格子の間隔が変化する。これにより、波長選択素子は、各光選択領域において選択される光の波長が異なることになる。したがって、複数の発光素子から射出され、波長選択素子の各光選択領域で反射されたそれぞれの光は、波長が異なる光となる。このように、波長選択素子は、外力を与えることなく各光選択領域の温度が変わるだけで波長選択素子の内部の周期格子の間隔が変わる。これにより、より簡易な構成で波長選択素子の各領域を反射し増幅された光同士のコヒーレンスが低減するため、スペックルノイズを抑えることが可能となる。
また、温度変化手段が複数設けられ、温度変化手段が光選択領域の複数ごとに設けられていても良い。この構成の場合も、複数の光選択領域によって選択される光の波長が互いに異なるように温度を変化させれば良い。
また、本発明の光源装置は、前記温度変化手段が複数設けられ、該複数の温度変化手段が前記光選択領域ごとに設けられていることが好ましい。
本発明の光源装置では、1つの光選択領域ごとに温度変化手段を設けることにより、領域ごとの温度を変えることができる。これにより、各領域の内部の格子の間隔を調整することができる。したがって、発光素子から射出される光にばらつきがある場合、発光素子から射出される光の波長に合うように、領域ごとに選択波長を変えることができる。したがって、各発光素子から射出された光の波長と対応する波長選択素子の各領域の選択波長とを揃えることが可能となるため、光の利用効率を向上させることが可能となる。
また、本発明の光源装置では、前記波長選択素子は、波長選択膜によって構成されており、前記複数の光選択領域における前記波長選択膜の厚みを互いに異ならせることによって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、基板上に形成された屈折率の異なる薄膜の膜厚が、波長選択素子の光選択領域ごとに異なっているため、波長選択素子は、光選択領域ごとに選択される光の波長が異なることになる。したがって、複数の発光素子から射出された光が波長選択素子を透過すると、各光選択領域から射出される光の波長は異なることになる。すなわち、波長選択素子は、選択波長に応じた膜厚の薄膜が成膜されているため、波長選択素子の各選択領域における選択波長が異なるように波長選択素子を制御する必要がない。これにより、簡易な構成で波長選択素子の各領域を透過した光同士のコヒーレンスを確実に低減させるため、スペックルノイズを低減させることが可能となる。
また、本発明の光源装置は、レーザ光を発する複数の発光素子と、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光のうち、一部の波長をそれぞれ所定の波長に変換するとともに、前記所定の波長に変換された光と所定の波長に変換されなかった光とを、前記波長選択素子に射出する波長変換素子と、前記波長変換素子から射出されたレーザ光のうち前記所定の波長に変換されなかった光を選択して前記発光素子に向かって反射させることによって前記発光素子の共振器ミラーとして機能するとともに、残りのレーザ光を透過させる波長選択素子と、を備え、前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出された光がそれぞれ通過する複数の光通過領域を備えており、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長は互いに異なっており、前記波長選択素子は、前記複数の発光素子から射出された光がそれぞれ選択される複数の光選択領域を備えた1つの基体によって構成されており、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長は互いに異なっていることを特徴とする。
本発明に係る光源装置では、例えば、緑色のレーザ光を射出させる場合、発光素子として、1060nmの波長の光源を用い、波長選択素子として、緑色の光を透過させるものを用いる。これにより、発光素子から射出された光は、波長変換素子を透過し、発光素子と波長選択素子との間で反射を繰り返す。その後、緑色に変換されたレーザ光は、波長選択素子より射出される。したがって、波長変換素子により、所望の波長の光を得ることができ、スペックルノイズを抑えた光を射出することが可能となる。
また、本発明の光源装置は、前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光の中心軸に沿って、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有しており、前記ドメインの前記レーザ光の中心軸方向の幅を、前記光通過領域ごとに異ならせることによって、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、波長変換素子の光通過領域ごとに、波長変換素子を透過する光の光軸方向の分極反転周期が異なっているため、波長変換素子は、光通過領域ごとに変換される光の波長が異なる。したがって、複数の発光素子から射出された光は、波長変換素子を透過すると、各光通過領域から射出される光の波長は異なることになる。すなわち、波長選択素子の各光選択領域において選択される光の波長に対応して、波長変換素子の各光通過領域の分極周期を変えれば良いため、波長選択素子に選択される光の波長に波長変換素子に変換される光の波長を合わせ易い。これにより、簡易な構成により、複数の発光素子から射出される光の利用効率を向上させつつ、スペックルノイズを抑えた光源装置を得ることが可能となる。
また、本発明の光源装置は、前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光の中心軸に沿って、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有しており、前記ドメインの前記レーザ光の中心軸方向の幅は、前記複数の光通過領域のすべてにおいて等しく、前記複数の各光通過領域の温度を異ならせる温度変化手段を設け、該温度変化手段によって、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、波長変換素子の各光通過領域の透過する光の光軸方向の分極反転周期が同じである。しかしながら、温度変化手段により、波長変換素子の光通過領域ごとの温度が変わるため、各光通過領域は温度に応じて屈折率が変わる。これにより、波長変換素子の光通過領域ごとに変換される光の波長が異なることになる。したがって、複数の発光素子から射出され、波長変換素子の各光通過領域を透過したそれぞれの光は、波長が異なる光となる。このように、波長変換素子の各光通過領域の温度を変えるだけで、波長変換素子の内部構造を容易に変えることができる。これにより、簡易な構成で、複数の発光素子から射出される光の利用効率を向上させつつ、スペックルノイズを抑えた光源装置を得ることが可能となる。
また、本発明の光源装置は、前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光の中心軸に沿って、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有しており、前記ドメインの前記レーザ光の中心軸方向の幅は、前記複数の光通過領域のすべてにおいて等しく、前記複数の光通過領域に、互いに異なる電圧を印加する電圧印加手段を設け、該電圧印加手段によって、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、波長変換素子の各光通過領域の電圧印加手段に印加する印加電圧を異ならせることにより、波長変換素子の光通過領域ごとに屈折率が異なる。このように、波長変換素子の光通過領域ごとに印加する電圧を変えることで、波長変換素子の各光通過領域において変換される光の波長と、この各領域に対応する波長選択素子の各光選択領域において透過する光の波長とを同一にすることができる。これにより、波長変換素子の各光通過領域において変換される光の波長を変えることができる。したがって、より簡易な構成で、複数の発光素子から射出される光の利用効率を向上させつつ、スペックルノイズを抑えた光源装置を得ることが可能となる。
また、本発明の光源装置は、前記波長選択素子の前記複数の光選択領域に、互いに大きさの異なる歪みを付与する歪み付与手段を備え、該歪み付与手段によって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、上記歪み付与手段を備えたときと同様の効果を得ることができる。
また、本発明の光源装置は、前記歪み付与手段が複数設けられ、該歪み付与手段が前記光選択領域ごとにそれぞれ設けられていることが好ましい。
また、本発明の光源装置では、上記歪み付与手段が複数設けられた場合と同様の効果を得ることができる。
また、本発明の光源装置は、前記波長選択素子の前記複数の光選択領域の温度を互いに異ならせる温度変化手段を備え、該温度変化手段によって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、上記温度変化手段を備えたときと同様の効果を得ることができる。
また、本発明の光源装置は、前記温度変化手段が複数設けられ、該温度変化手段が前記光選択領域ごとにそれぞれ設けられていることが好ましい。
また、本発明の光源装置では、上記温度変化手段が複数設けられた場合と同様の効果を得ることができる。
また、本発明の光源装置は、前記波長選択素子は、波長選択膜によって構成されており、前記複数の光選択領域における前記波長選択膜の厚みを互いに異ならせることによって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、上記波長選択膜の厚みを互いに異ならせたときと同様の効果を得ることができる。
また、本発明の光源装置は、前記複数の発光素子から射出された光のピーク波長が、対応する前記波長選択素子の各光選択領域において選択される光のピーク波長と同一であることが好ましい。
本発明に係る光源装置では、波長変換素子の各光通過領域において変換される光の波長が、対応する波長選択素子の各領域において選択される光の波長と同一である。これにより、波長変換素子の各領域において変換されたそれぞれの光は、対応する波長選択素子の各光選択領域を透過する際、光量が落ちることはない。したがって、複数の発光素子から射出される光の利用効率を向上させることが可能であるとともに、波長選択素子の各領域を透過した光同士のコヒーレンスが低減するため、スペックルノイズを抑えることが可能となる。
本発明の画像表示装置は、上記の光源装置と、該光源装置から射出された光を画像信号に応じて変調する光変調装置と、該光変調装置により形成された画像を投射する投射装置とを備えることが好ましい。
本発明に係る画像表示装置では、光源装置より射出された光は光変調装置に入射される。そして、光変調装置により形成された画像が、投射装置によって投射される。このとき、光源装置より射出される光は、上述したように、コヒーレンスが低減された光となっているので、投射装置によって投射される光はスペックルノイズを抑えたものとなる。したがって、良好な画像を表示することができる。
本発明の画像表示装置は、上記の光源装置と、該光源装置から射出されたレーザ光を被投射面上で走査する走査手段とを備えることを特徴とする。
本発明に係る画像表示装置では、光源装置から射出された光は走査手段により走査される。そして、走査手段により走査された光は、被投射面に投影される。このとき、光源装置より射出される光は、上述したように、コヒーレンスが低減された光となっているので、被投射面に照射される光はスペックルノイズが抑えられたものとなる。したがって、輝度ムラがなく良質な画像を表示することが可能となる。
以下、図面を参照して、本発明に係る光源装置及び画像表示装置の実施形態について説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
[第1実施形態]
次に、本発明の第1実施形態について、図1から図3を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置10は、図1に示すように、発光部11と、波長選択素子12とを備えている。
発光部11は、レーザ光を発する5つの発光素子(半導体レーザ:LD)11a,11b,11c,11d,11eを備えている。これらの発光素子11a〜発光素子11eは、いずれも支持部13に支持されている。発光素子11a〜発光素子11eから射出される光のピーク波長は、概ね一致している。ただし、完全に一致している必要は無く、多少のばらつきがあっても構わない。通常は、発光素子の製造誤差等により、数nm程度異なることが多い。
波長選択素子12は、入射したレーザ光のうち所定の選択波長の光(図1に示す二点鎖線)W1の一部(98〜99%程度)を選択して発光部11に向かって反射させることによって発光素子11a〜11eの共振器ミラーとして機能するとともに、残りのレーザ光(図1に示す一点鎖線)W2を透過させるものである。波長選択素子12としては、例えば、周期格子を有するホログラムのような光学素子を用いることができる。
発光部11から射出された基本波の光(図1に示す実線)W3は、発光部11と波長選択素子12との間で反射を繰り返し、増幅された後、レーザ光W2として、波長選択素子12から射出されるようになっている。波長選択素子12は様々な波長の光を透過させるが、そのうち、所定の波長の光だけが増幅されている。増幅された光の強度は、他の波長の光の強度と比較して著しく高い。よって、波長選択素子12を透過した光W2は、ほぼ単一波長の光とみなすことができる。この光W2の波長は、波長選択素子12の選択波長、つまり波長選択素子12が反射する光W1の波長とほぼ同一である。波長選択素子12は、所定の選択波長の光の一部(98〜99%程度)を反射するので、その残り(1〜2%程度)の光が出力光として利用されることになる。
波長選択素子12の発光部11から射出された光が入射する入射端面12aに垂直な一端面(後述する領域E側の端面)12cには、図1に示すように、圧電素子(歪み付与手段)15が接着されている。この圧電素子15としては、水晶、チタン酸鉛(PbTiO)、ジルコン酸鉛(PbZrO)、チタン酸バリウム(BaTiO)等の圧電セラミックス及び圧電性結晶を用いることができる。また、波長選択素子12の一端面12cの反対の他端面(後述する領域A側の端面)12bには、図1に示すように、吸収体16が設けられている。吸収体16は、動かないように固定されている。また、圧電素子15の波長選択素子12の長手方向の厚みは、0.1mm程度である。ただしこの数値は一例であり、材料によって変化する。
圧電素子15は、電圧が印加されると変位し、この変位によって波長選択素子12に歪みを生じさせるものである。圧電素子15は、波長選択素子12の一端面12cに設けられており、吸収体16の位置は固定されている。よって、圧電素子15は、吸収体16の方向、つまり、各発光素子11a〜発光素子11eから射出されたレーザ光の中心軸(光軸)Oに対して垂直な方向に加圧することになる。これにより、波長選択素子12に歪みが発生する。歪みの大きさは、圧電素子15が設けられている端面12c側が最も大きく、吸収体16が設けられている端面12b側に向かうに従って徐々に小さくなる。そして、この歪みに対応して、波長選択素子12の選択波長、つまり、波長選択素子12によって反射される光W1の波長が変化する。選択波長は、波長選択素子12の屈折率との関係で、歪みが大きいほど短くなり、歪みが小さくなるに従って長くなる。つまり、圧電素子15によって加圧を行うと、圧電素子15側の選択波長が、吸収体16側の選択波長に比べて短波長側にシフトする。
ここで、波長選択素子12を構成する1つの基体において、発光素子11a、11b,11c,11d,11eから射出された光が選択される領域(光選択領域)を、それぞれ領域A、B,C,D,Eとする。ただし、領域A〜領域Eは、実際には選択波長や歪みの大きさが徐々に変化する連続した領域であるため、これらの間に物理的な境界は存在しない。
歪みの大きさは、圧電素子15が設けられている端面12c側が最も大きく、吸収体16が設けられている端面12b側に向かうに従って徐々に小さくなることから、歪みの大きさは、圧電素子15に最も近い領域Eが最も大きく、領域D,C,B,Aの順に小さくなる。したがって、波長選択素子12の選択波長、つまり、波長選択素子12によって反射される光W1の波長は、領域A,B,C,D,Eごとに異なる。そして、選択波長は、歪みが大きいほど短くなり、歪みが小さくなるに従って長くなるので、圧電素子15に最も近い領域Eが最も短く、領域D,C,B,Aの順に長くなる。つまり、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eによって反射される光W1の波長をそれぞれλ1,λ2,λ3,λ4,λ5とすると、λ1>λ2>λ3>λ4>λ5となる。
そして、このように、波長選択素子12によって反射される光W1の波長が、領域A,B,C,D,Eごとに異なることにより、発光部11と波長選択素子12との間で反射を繰り返し、増幅された後、波長選択素子12から射出される光W2の波長も、領域A,B,C,D,Eごとに異なったものとなる。先に説明したとおり、波長選択素子12から射出される光W2の波長は、波長選択素子12によって反射される光W1の波長とほぼ同一である。よって、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eから射出される光W2の波長は、それぞれλ1,λ2,λ3,λ4,λ5となり、λ1>λ2>λ3>λ4>λ5の関係となる。
なお、波長λ1〜λ5は、歪みの大きさによって変化するので、圧電素子15の制御によって、λ1,λ2,λ3,λ4,λ5の値や、これらの大きさの差を所望の値に設定することも可能である。
次に、本実施形態に係る光源装置10の具体例について説明する。
まず、発光素子11a〜発光素子11eは、赤色の半導体レーザであり、いずれも射出される光のピーク波長は630nmとなっている。このピーク波長は、すべての発光素子11a〜発光素子11eにおいて、ぴったりと一致している必要は無く、多少のばらつきがあっても構わない。通常は、発光素子の製造誤差等により、数nm程度異なることが多い。そして、このとき、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eにおける選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が、それぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nm(選択波長の差が、最大で4nm)となるように圧電素子15を制御すると、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eから射出される光W2の波長も、それぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nmとなる。
以上述べたように、本実施形態に係る光源装置10では、1つの基体において、互いに選択波長が異なる複数の光選択領域A〜Eを有する波長選択素子12を備えることにより、領域A〜Eからそれぞれ射出される光の波長を互いに異ならせることができる。したがって、波長選択素子12から射出される光の帯域が、すべての領域から同一波長の光が射出される場合に比べて広がるため、レーザ光同士のコヒーレンスが低減する。その結果、スペックルノイズを抑えた光源装置10を得ることが可能となる。
また、波長選択素子12は、通常用いられる大きさのままであるため、装置が大型化することは無く、従来のように、拡散素子や加振手段を設けてスペックルノイズを低減させる構成に比べ、装置全体の小型化が可能となる。
以上より、本発明の光源装置10は、小型であって、かつ、複数のレーザ光同士のコヒーレンスを低減させ、スペックルノイズを抑えることが可能である。
なお、本実施形態では、複数の発光素子11a〜発光素子11eとして、ピーク波長が概ね一致するものを用いたが、ピーク波長の異なる発光素子を積極的に用いるようにしても良い。すなわち、ピーク波長がそれぞれこの順に小さい値となるような発光素子11a,11b,11c,11d,11eを用い、領域A〜Eにおいて、発光素子11a〜発光素子11eのそれぞれのピーク波長と同じ波長の光が選択されるように、圧電素子15を制御するようにしても良い。
また、圧電素子15による波長選択素子12の歪みの伝搬を所望の状態にし易くするために、波長選択素子12の形状を非対称な形、すなわち、他端面12bから一端面12cに向かって断面積が小さくなる形状にしても良い。
また、具体例において、波長選択素子12の各領域A〜領域Eにおける選択波長の差は、最大で4nmとしたが、最大で10nm程度までの範囲であれば、人間が感知する光の色度は変わらない。このように、各領域A〜Eにおける選択波長の差を最大で10nm程度の範囲に抑えることにより、例えば、画像表示装置に光源装置10を用いた場合、極めて鮮明な画像を表示することが可能となる。
また、歪み付与手段として圧電素子15を用いたが、これに限ることはなく、例えば、歪みゲージや磁歪素子を用いても良い。
[第2実施形態]
次に、本発明に係る第2実施形態について、図2を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第1実施形態に係る光源装置10と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係る光源装置20では、第1実施形態の圧電素子15と吸収体16に代えて、発熱素子21と吸熱素子22を備えている。それ以外の点は、具体例や変形例の適用も含め、第1実施形態と同様である。
発熱素子(温度変化手段)21は、図2に示すように、波長選択素子12の発光部11から射出された光の入射端面12aに垂直な他端面(領域E側の端面)12bに接着されている。
また、波長選択素子12の一端面(領域A側の端面)12cには、吸熱素子22が設けられている。
このように、波長選択素子12の他端面12bに発熱素子21が設けられ、一端面12cには吸熱素子22が設けられているため、波長選択素子12は、レーザ光の中心軸Oに対して垂直な方向、すなわち、発熱素子21側から吸熱素子22側に向かって加熱されることになる。また、波長選択素子12には発熱素子21側から吸熱素子22側に向かって徐々に低温となるような温度勾配が作られることになる。つまり、本実施形態では、波長選択素子12の温度が、領域Aから領域Eに向かうに従って徐々に低くなっている。波長選択素子12は、加熱により熱膨張して、屈折率が変化する。この熱膨張に対応して、波長選択素子12の選択波長、つまり、波長選択素子12によって反射される光W1の波長が変化する。選択波長は、第1実施形態で説明したように、歪みが大きいほど短くなり、歪みが小さくなるに従って長くなる。熱膨張も歪みの一種であると考えられるので、より高温で熱膨張が大きい発熱素子側21の選択波長が、吸収体16側の選択波長に比べて長波長側にシフトする。
つまり、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eにおける選択波長をそれぞれλ1,λ2,λ3,λ4,λ5とすると、λ1>λ2>λ3>λ4>λ5となる。また、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eから射出される光W2の波長は、それぞれλ1,λ2,λ3,λ4,λ5となり、λ1>λ2>λ3>λ4>λ5の関係となる。
本実施形態に係る光源装置20においても第1実施形態の光源装置と同様の効果を得ることができる。温度は圧力に比べて監視が容易であり、制御もしやすいため、第1実施形態の光源装置と同様の効果をより容易に得ることが可能である。さらに、本実施形態では、波長選択素子12として、周期格子を有するホログラムのような光学素子を用いた場合、波長選択素子12に熱を加えることにより、内部の周期格子の間隔を容易に変えることができる。よって、より簡易な構成で、波長選択素子12の領域A〜領域Eから射出された光同士のコヒーレンスを低減させ、スペックルノイズを抑えることが可能となる。
なお、本実施形態では、温度変化手段として発熱素子を用いて、波長選択素子12を加熱したが、発熱素子の代わりにペルチェ素子を用いても良い。ペルチェ素子を用いた場合、加熱及び冷却が可能であるため、特に、波長選択素子12の領域A〜領域Eにおける選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5を所望の値に制御する場合に有利である。
また、吸熱素子22を用いずに、空冷等の方法で放熱するようにしても良い。
また、選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5の制御を行うために、波長選択素子12の領域A〜領域Eに、サーミスタ等の温度センサを設けて温度を測定し、測定された温度に応じて、発熱素子21よる加熱温度や加熱時間を制御したり、ペルチェ素子に流す電流を制御したりするようにしても良い。
[第3実施形態]
次に、本発明に係る第3実施形態について、図3を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置30では、波長選択素子33が基板32上により形成された波長選択膜で構成されている点において、第1実施形態と異なる。それ以外の点は、具体例を含め、第1実施形態と同様である。
波長選択素子33は、図3に示すように、光透過性を有する基板32上に形成されており、基板32側から第1の膜31a,第2の膜31b,第3の膜31cの順に積層された構成になっている。基板32としては、例えばガラスを用いることができる。膜31bとしては、例えば、TiO膜31a,31cとしては、例えばSiOを用いることができる。なお、波長選択素子33を構成する膜の種類や数は、所望の特性に応じて適宜選択可能である。この点については周知であるため、詳細な説明を省略する。
波長選択素子33は、一方の端33b側から他方の端33cに向かうに従って、膜31a,31b,31cの厚みをそれぞれ小さくすることにより、全体の厚みが小さくなるように形成されている。このような波長選択素子33は、斜め蒸着を行うことで形成することができる。そして、この膜の厚みの変化に対応して、波長選択素子33の選択波長、つまり、波長選択素子33によって反射される光W1の波長が変化する。選択波長は、膜の厚みが大きいほど長く、厚みが小さくなるに従って短くなる。領域A〜領域Eのうち、レーザ光が通過する部分の膜の厚みJ,K,L,M,Nは、領域Aから領域Eに向かって順に小さくなっているので、それぞれの領域における選択波長λ1〜λ5はλ1>λ2>λ3>λ4>λ5となる。
なお、波長λ1〜λ5は、膜の材料、層数、厚み等によって変化するので、これらの要素を制御することによって、λ1,λ2,λ3,λ4,λ5の値や、これらの大きさの差を所望の値に設定することが可能である。
本実施形態に係る光源装置30においても、第1実施形態の光源装置と同様の効果を得ることができる。さらに、本実施形態に係る光源装置30では、膜厚の設定によって確実に選択波長の制御を行うことが可能であり、何ら機械的な制御を行う必要がない。したがって、第1,第2実施形態に比べて、より簡易な構成により、波長選択素子33の各領域から射出された光同士のコヒーレンスを確実に低減させ、スペックルノイズを低減させることが可能となる。
なお、本実施形態では、複数の発光素子11a〜発光素子11eとして、ピーク波長が概ね一致するものを用いたが、第1実施形態で述べたように、ピーク波長の異なる発光素子を積極的に用いるようにしても良い。
また、本実施形態では、膜の厚みが一方の端33b側から他方の端33cに向かうに従って、徐々に小さくなる構成としたが、波長選択素子33の領域ごとに厚みを変えるようにしても良い。
[第4実施形態]
次に、本発明に係る第4実施形態について、図4を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置70では、波長選択素子12に設けられた圧電素子15及び吸収体16に代えて、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eごとに圧電素子15a,15b,15c,15d,15eが設けられている点において、第1実施形態と異なる。それ以外の点は、具体例を含め、第1実施形態と同様である。
本実施形態の波長選択素子12では、図4に示すように、表面12d上の領域A〜Eのそれぞれに、圧電素子(歪み付与手段)15a〜15eが所定の間隔をあけて設けられている。また、隣接する圧電素子15a〜15eの間には防振材を設けて、隣接する領域間で歪みが伝わらないようにしても良い。
これらの圧電素子15a〜15eにより、それぞれ領域A〜Eに異なる歪みを生じさせることが可能となっている。なお、圧電素子15a〜15eは第1実施形態の圧電素子15と同様のものを用いているため、電圧が印加されると変位し、この変位によって波長選択素子12に歪みを生じさせるものである。
ここで、第1実施形態では、図5(a)に示すように、波長選択素子12における選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が、領域Aから領域Eに向かって連続的に小さくなるように波長選択素子12を制御した。本実施形態では、図5(b)に示すように、波長選択素子12における選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が断続的な波長分布(ランダムな波長分布)となるように制御可能である。なお、図5(b)に示す分布は一例に過ぎない。
そこで、本実施形態では、例えば、製造誤差により、発光素子11a〜11eから射出される光のピーク波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5がそれぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nmである素子を用いる。このとき、圧電素子15a〜15eにより、波長選択素子12の領域A,B,C,D,Eの歪みを制御することにより、各領域A〜Eの屈折率が変化する。そして、各領域A〜Eにおける選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が、それぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nmとなるように各領域A〜Eの歪みを制御する。
本実施形態に係る光源装置70においても、第1実施形態の光源装置と同様にスペックルノイズを低減させることができる。さらに、本実施形態では、領域A〜Eごとに圧電素子15a〜15eが設けられているため、波長選択素子12から射出される出力波長分布の自由度が高まる。したがって、発光素子11a〜11eから射出された光の波長と対応する波長選択素子12の各領域A〜Eの選択する光の波長とを揃えることが可能となる。これにより、発光素子11a〜11eが製造誤差等により、出力波長にばらつきがあっても、波長選択素子12から射出される光の利用効率を向上させることが可能となる。
さらに、領域A〜Eごとに圧電素子15a〜15eが設けられているため、領域A〜Eごとの選択波長の差を1nmに限らず大きくすることや小さくすることができるため、より効率的にスペックルノイズを低減させることが可能となる。
なお、意図的に異なる波長の光を射出する発光素子11a〜11eを用いても良い。
また、第1実施形態と同様に発光素子11a〜11eから射出される光のピーク波長がすべて同じである場合も用いることができる。この構成の場合、各領域A〜Eの選択波長が異なるように各領域A〜Eの歪みを制御することにより、スペックルノイズを低減することが可能となる。
さらに、複数の光選択領域A〜Eごとに、すなわち、例えば2つの領域をまとめて1つの圧電素子により歪みを制御しても良い。この構成の場合も、複数の光選択領域A〜Eによって選択される光の波長が互いに異なるように歪みを付与すれば良い。
また、圧電素子15a〜15eに代えて、各領域A〜Eにペルチェ素子(温度変化手段)を設けても良い。ペルチェ素子を用いた場合も圧電素子を用いた場合と同様に、波長選択素子12の領域A〜Eの温度を制御することにより熱膨張が生じ、各領域A〜Eの屈折率が変化する。そして、各領域A〜Eにおける選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が、それぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nmとなるように各領域A〜Eの温度を制御する。この構成の場合も、スペックルノイズを抑えることができるとともに、光の利用効率を向上させることが可能となる。
また、温度変化手段としてペルチェ素子を用いることにより、波長選択素子12の各領域A〜Eの温度を上げることも下げることもできるため、より正確に発光素子11a〜11eから射出される光の波長に波長選択素子の選択波長を対応させることが可能となる。
なお、ペルチェ素子に代えて、発熱素子(温度変化手段)として、電熱線等を用いて波長選択素子12の各領域A〜Eの温度を変えても良い。
[第5実施形態]
次に、本発明に係る第5実施形態について、図6を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置80では、第4実施形態の圧電素子15a〜15eに代えて熱吸収膜81a,81b,81c,81d,81eが設けられている点において、第5実施形態と異なる。それ以外の点は、具体例を含め、第5実施形態と同様である。
光源装置80に用いられる温度変化部(温度変化手段)85は、熱発生用レーザ光源82と、ミラー83と、熱吸収膜81a〜81eとを備えている。
熱吸収膜81a〜81eは、図6に示すように、所定の間隔をあけて表面12d上の領域A〜Eそれぞれに設けられている。また、熱吸収膜81a〜81eのそれぞれの膜厚は同じである。なお、隣接する熱吸収膜81a〜81eの間には断熱材を設けて、隣接する領域A〜E間で熱が伝わらないようにしても良い。
また、ミラー83は、熱発生用レーザ光源82から射出されたレーザ光を熱吸収膜81a〜81eに向かって走査するものである。そして、ミラー83の傾きを制御することにより、熱吸収膜81a〜81eに照射されるレーザ光の時間を調整する。これにより、照射されるレーザ光の時間が長いほど熱吸収膜81a〜81eの温度が上昇し、領域A〜Eの温度が上昇する。
本実施形態でも、第5実施形態と同様に発光素子11a〜11eのピーク波長に一致するように波長選択素子12の各領域A〜Eの温度を制御する。
本実施形態に係る光源装置80においても、第1実施形態の光源装置と同様にスペックルノイズを低減させることができる。さらに、本実施形態では、第5実施形態と同様に波長選択素子12から射出される光の利用効率を向上させることが可能となる。
なお、本実施形態では、熱吸収膜81a〜81eの膜厚を同じにしたが、熱吸収膜81a〜81eの膜厚を不規則に代えておいても良い。この構成では、ミラー83の走査速度を変えることなく、波長選択素子12の各領域A〜Eに温度分布を持たせることができる。つまり、領域A〜Eまでミラー83を振る1走査ごとの走査速度は一定で良いため、ミラー83の制御が容易になる。
なお、熱吸収膜81a〜81eを領域A〜Eごとに設けたが、波長選択素子12の表面12dの全面に設けても良い。
また、ミラー83としてはMEMSミラーを用いることも可能である。
[第6実施形態]
次に、本発明に係る第6実施形態について、図7を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置40は、図7に示すように、発光部41と、発光部41から射出された光の波長を変換する波長変換素子43と、波長変換素子43により変換した波長を選択して反射させる波長選択素子42とを備えている。
発光部41は、支持部41fに、発光素子41a,41b,41c,41d,41eの5つが直線状に支持された構成となっている。発光素子41a〜発光素子41eから射出される光のピーク波長λ0は、概ね一致している。ただし、完全に一致している必要は無く、多少のばらつきがあっても構わない。通常は、発光素子の製造誤差等により、数nm程度異なることが多い。ピーク波長λ0は、例えば、青色のレーザ光を射出する青色レーザ光源装置の場合は920nm、緑色のレーザ光を射出する緑色レーザ光源装置の場合は1060nm、赤色のレーザ光を射出する赤色レーザ光源装置の場合は1240nmである。ただし、この波長は単なる一例に過ぎない。
波長変換素子(第2高調波発生素子、SHG:Second Harmonic Generation)43は、入射光をほぼ半分の波長に変換する非線形光学素子である。
発光部41から射出され、波長選択素子42に向かう光W3は、波長変換素子を通過することによって、ほぼ半分の波長の光に変換される。波長変換素子43による波長変換効率は非線形の特性を有しており、例えば、波長変換素子43に入射するレーザ光の強度が強いほど、変換効率が向上する。また、波長変換素子43の変換効率は40〜50%程度である。つまり、発光部41から射出されたレーザ光のすべてが、所定波長のレーザ光に変換されるわけではない。
波長変換素子43としては、板形状のものを用いている。波長変換素子43は、複数の発光素子41a〜発光素子41eに対応して5つの領域P,Q,R,S,Tに分かれている。すなわち、発光素子41a,41b,41c,41d,41eから射出された光が通過する領域を、それぞれ領域(光通過領域)P,Q,R,S,Tとする。
また、波長変換素子43は、領域P〜領域Tごとに分極周期構造、つまり、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有している。この分極周期構造内を光が透過することにより、入射した光の波長を変換するようになっている。この波長変換素子43の領域P,Q,R,S,Tの各ドメインのレーザ光の中心軸O方向の幅(以下、「ピッチ」という)は、それぞれΛ1,Λ2,Λ3,Λ4,Λ5となっている。ピッチΛ1〜Λ5はそれぞれ異なっており、Λ1>Λ2>Λ3>Λ4>Λ5となっている。
このような分極周期構造は、例えば、特開平4−19719号公報に記載されている製造方法を応用して製造することができる。すなわち、まず、非線形強誘電体材料(例えばLiTaO)からなる基板に、レーザ光の中心軸O方向に沿って電極が有る領域と無い領域とが交互に並んだストライプ状の電極パターンを形成する。この時、各電極パターンの幅及び電極パターン同士の間隔は、領域P,Q,R,S,Tにおける各ドメインのピッチが、それぞれΛ1,Λ2,Λ3,Λ4,Λ5となるように最適化される。つまり、電極パターンの幅及び間隔は、領域P,Q,R,Sにおいてそれぞれ異なったものとする。次に、これら電極パターンにパルス状の電圧を印加することにより、図7に示したような分極周期構造が得られる。このようにして分極周期構造を形成した後、通常電極パターンは除去されるが、そのまま残しておいても良い。
このように、波長変換素子43は、領域P〜領域Tにおいて、それぞれ周期(ピッチ)の異なる分極反転構造を有している。よって、領域P〜領域Tを通過した光は、ピーク波長λ0の光に含まれる様々な波長成分のうち、互いに若干異なる波長λ01〜λ05の成分に変換作用を受け、それぞれ若干異なる波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5に変換される。
青色レーザ光源装置を用いた場合の波長を例に挙げて説明すると、発光素子41a,41b,41c,41d,41eからそれぞれ射出されたピーク波長λ0=920nmの波長の光のうち、それぞれ波長λ01=920nm,λ02=918nm,λ03=916nm,λ04=914nm,λ05=912nm付近の光が、波長λ1=460nm,λ2=459nm,λ3=458nm,λ4=457nm,λ5=456nmの光に変換される。
同様に、緑色レーザ光源装置を用いた場合の波長を例に挙げて説明すると、発光素子41a,41b,41c,41d,41eからそれぞれ射出されたピーク波長λ0=1060nmの光のうち、それぞれ波長λ01=1060nm,λ02=1058nm,λ03=1056nm,λ04=1054nm,λ05=1052nm付近の光が、波長λ1=530nm,λ2=529nm,λ3=528nm,λ4=527nm,λ5=526nmの光に変換される。
また同様に、赤色レーザ光源装置を用いた場合の波長を例に挙げて説明すると、発光素子41a,41b,41c,41d,41eからそれぞれ射出されたピーク波長1240nmの光のうち、それぞれ波長λ01=1240nm,λ02=1238nm,λ03=1236nm,λ04=1234nm,λ05=1232nm付近の光が、波長λ1=620,λ2=619nm,λ3=618nm,λ4=617nm,λ5=616nmの波長の光に変換される。
ただし、ここに挙げた波長は、単なる一例に過ぎない。
波長選択素子42は、波長変換素子43によって所定波長λ1〜λ5に変換されなかったレーザ光W1(つまり、波長λ01〜λ05の光)のみを選択して発光部41に向かって反射させ、それ以外のレーザ光を透過させるものである。波長選択素子42の構造は第1実施形態と同様であり、一方の端面(領域E側の端面)42bに圧電素子15が、他方の端面(領域A側の端面)42cに吸収体16が設けられている。圧電素子15は、領域P,Q、R,S,Tにおいて変換されなかったレーザ光の波長λ01〜λ05と、波長選択素子の領域A〜領域Eにおいて選択される光の波長とが、それぞれ同じ値となるように制御される。
つまり、例えば青色レーザ光源装置の場合、圧電素子15は、領域A〜領域Eにおいて反射される光の波長が、それぞれ920nm、918nm、916nm、914nm、912nmとなるように制御される。緑色レーザ光源装置の場合、圧電素子15は、波長選択素子42の領域A〜領域Eにおいて反射される光の波長が、それぞれ1060nm、1058nm、1056nm、1054nm、1052nmとなるように制御される。赤色レーザ光源装置の場合、圧電素子15は、領域A〜領域Eにおいて選択される光の波長が、それぞれ1240nm、1238nm、1236nm、1234nm、1232nmとなるように制御される。
ただし、ここに挙げた波長は、単なる一例に過ぎない。
波長選択素子42によって反射された光W1(図7に示す2点鎖線)は、再び波長変換素子43を通過し、発光素子41a〜41eに戻る。発光素子41a〜41eへ戻された光は、一部そこで吸収されて熱となってしまうが、大部分は発光のエネルギーとして用いられたり、発光素子41a〜41e内で反射されて再度発光素子41a〜41eから射出されたりすることで、有効に利用される。
一方、波長変換素子43によって波長選択素子42を通過する波長λ1〜λ5に変換された光W2(図7に示す一点鎖線)は、波長選択素子42を透過する。
以上説明したように、発光部41から射出された光W3は、発光部41と波長選択素子42との間で反射を繰り返し、所定の波長に変換された変換光W2(図7に示す一点鎖線)が、波長選択素子42から射出されるようになっている。つまり、波長選択素子42は、第1〜第3実施形態の波長選択素子12や33とは若干作用が異なるものの、発光素子41a〜41eの共振器ミラーとしての機能を有している。
本実施形態に係る光源装置40では、領域P〜Tにおけるドメインのピッチを変えることにより、異なる波長λ1〜λ5への変換を可能とした波長変換素子43と、選択波長が異なる複数の光選択領域A〜Eを備えた圧電素子15との組み合わせにより、波長選択素子42から射出される光の波長を互いに異ならせることができる。したがって、波長選択素子12から射出される光の帯域が、すべての領域から同一の光が射出される場合に比べて広がるため、レーザ光同士のコヒーレンスが低減する。その結果、スペックルノイズを抑えた光源装置40を得ることが可能となる。
また、波長変換素子43や波長選択素子42は通常用いられる大きさのままであるため、装置が大型化することは無く、従来のように拡散素子や加振手段を設けてスペックルノイズを低減させる構成に比べ、装置全体の小型化が可能となる。
以上より、本発明の光源装置40は、小型であって、かつ、複数のレーザ光同士のコヒーレンスを低減させ、スペックルノイズを抑えることが可能である。
なお、本実施形態では、複数の発光素子41a〜発光素子41eとして、ピーク波長が概ね一致するものを用いたが、ピーク波長の異なる発光素子を積極的に用いるようにしても良い。すなわち、ピーク波長がそれぞれλ01,λ02,λ03,λ04,λ05(つまり、波長変換素子43となるような発光素子41a,41b,41c,41d,41eを用い、領域A〜Eにおいて、発光素子11a〜発光素子11eのそれぞれのピーク波長と同じ波長の光が選択されるように、圧電素子15を制御するようにしても良い。このように、発光素子11a〜発光素子11eそれぞれのピーク波長と、波長選択素子42の領域A〜Eにおける選択波長とを一致させることにより、光の利用効率を向上させることが可能となる。
また、本実施形態では、圧電素子15を波長選択素子42の一端面12cにのみ設けることにより、選択波長が、圧電素子15側から吸収体16側に向かうに従って徐々に長くなる構成としたが、第4実施形態に示すように、波長選択素子の領域ごとに個別の圧電素子を設けて、個々の領域の歪みを制御するようにしても良い。さらには、第5実施形態で示すように、熱吸収膜により各領域の温度を制御するようにしても良い。
また、圧電素子15による波長選択素子42の歪みの伝搬を所望の状態にし易くするために、波長選択素子42の形状を非対称な形、すなわち、一端面42bから他端面42cに向かって断面積が小さくなる形状にしても良い。
また、具体例において、各領域A〜領域Eから射出される光W2の波長の差は、最大で4nmとしたが、最大で10nm程度までの範囲であれば、人間が感知する光の色度は変わらない。このように、各領域A〜領域Eから射出される光W2の波長の差を最大で10nm程度の範囲に抑えることにより、例えば、画像表示装置に光源装置40を用いた場合、極めて鮮明な画像を表示することが可能となる。
また、歪み付与手段として圧電素子15を用いたが、これに限ることはなく、例えば、歪みゲージや磁歪素子を用いても良い。
[第7実施形態]
次に、本発明に係る第7実施形態について、図8を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置50では、波長変換素子51のドメインのピッチが異なる点、ペルチェ素子52を備える点において、第6実施形態と相違している。それ以外の点は、具体例や変形例の適用も含め、第6実施形態と同様である。なお、本実施形態の説明において、上述した第6実施形態に係る光源装置40と構成を共通とする箇所には、同一符号を付けて、その説明を省略する。
第6実施形態の波長変換素子43では、分極周期構造のドメインのピッチΛ1〜Λ5がそれぞれ異なっており、この順番に徐々に小さな値となっていたが、本実施形態の波長変換素子51では、後に説明するペルチェ素子52による作用を受けていない時、ピッチΛ1〜Λ5はほぼ同一となっている。このように、ドメインのピッチΛ1〜Λ5がそれぞれ等しい波長変換素子51も、第6実施形態で説明したような方法に従って製造することが可能である。第6実施形態で説明した製造工程において、パルス状の電圧を印加するために使用する電極パターンの幅及び間隔を、領域P,Q,R,S,Tにおいて、すべて同じにすれば良い。
ペルチェ素子(温度変化手段)52は、波長変換素子51の発光部41から射出された光が入射する入射端面51cに垂直な一端面(領域P側の端面)51dに接着されている。ペルチェ素子52は、波長変換素子51に適度の温度勾配を付与するために使用される。温度勾配は、波長変換素子51の各領域P〜Tにおいて、発光素子41a〜41eから射出された光W3が所望の波長λ1〜λ5に変換されるように、制御されなければならない。ペルチェ素子52は、このような適切な温度勾配が得られるように制御され、波長変換素子51を加熱したり、冷却したりする。
ペルチェ素子52の制御は、波長変換素子51の入射端面51cの領域P〜Tごとに設けられた、温度センサ53a,53b,53c,53d,53eを用いて行われる。すなわち、温度センサ53a〜温度センサ53eにより測定された温度に応じて、ペルチェ素子52に流す電流が制御される。なお、これらの温度センサ53a〜53eは、波長変換素子51に入射する光W3や、波長変換素子51から戻ってくる光W1の経路を避けた位置に設けられており、これらの光に対して影響を及ぼすことがない構成となっている。
ここで、ペルチェ素子52によって付与される温度勾配は、波長変換素子51のペルチェ素子52が設けられている端面51d側(領域P側)から反対の端面51a側(領域A側)に向かうに従って、徐々に低温となるように制御されている。つまり、波長変換素子51には、入射するレーザ光の中心軸Oに対して垂直な方向に、高温から低温へと徐々に変化する温度勾配が付与されている。この温度勾配に従って、波長変換素子51の屈折率が変化するとともに、熱膨張によるドメインピッチの変化が生じる。このような屈折率の変化やドメインピッチの変化の影響を受けて、領域P〜Tを通過した光は、ピーク波長λ0の光に含まれる様々な波長成分のうち、互いに若干異なる波長λ01〜λ05の成分に変換作用を受け、それぞれ若干異なる波長λ1〜λ5に変換される。
本実施形態に係る光源装置50においても、第6実施形態の光源装置と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態に係る光源装置50では、ドメインのピッチΛ1〜Λ5がそれぞれ等しい波長変換素子51を用いて、ペルチェ素子52で温度勾配を付与することにより、波長変換素子51の内部構造を変化させている。よって、ピッチΛ1〜Λ5をそれほど厳密に制御する必要がなくなるため、波長変換素子51の製造コスト、ひいては光源装置50の製造コストを低減することが可能となる。
[第8実施形態]
次に、本発明に係る第8実施形態について、図9を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置55では、ペルチェ素子52,温度センサ53a〜53eに代えて、波長変換素子51の領域P,Q,R,S,Tごとにペルチェ素子52a,52b,52c,52d,52eが設けられている点及び第4実施形態の波長選択素子12を用いる点において、第7実施形態と異なる。それ以外の点は、具体例を含め、第7実施形態と同様である。
本実施形態の波長変換素子51では、図9に示すように、表面51b上の領域P〜Tのそれぞれに、ペルチェ素子(温度変化手段)52a〜52eが所定の間隔をあけて設けられている。なお、隣接するペルチェ素子52a〜52eの間には断熱材を設けて、隣接する領域間で熱が伝わらないようにしても良い。
これらペルチェ素子52a〜52eにより、それぞれの領域P〜Tを異なる温度に制御可能となっている。
ここで、第7実施形態では、図5(a)に示すように、波長変換素子51における選択波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が、領域Pから領域Tに向かって連続的に小さくなるように波長変換素子51を制御した。本実施形態では、図5(b)に示すように、波長変換素子51における変換波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が断続的な波長分布(ランダムな波長分布)となるように制御可能である。
そこで、本実施形態では、例えば、製造誤差により、発光素子41a〜41eから射出される光のピーク波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5がそれぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nmである素子を用いる。このとき、ペルチェ素子52a〜52eにより、波長変換素子51の領域P,Q,R,S,Tの温度を制御することにより熱膨張が生じ、各領域P〜Tの屈折率が変化する。そして、各領域A〜Eにおける変換波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5が、それぞれ630nm,626nm,627nm,629nm,628nmとなるように各領域P〜Tの温度を制御する。
本実施形態に係る光源装置55においても、第7実施形態の光源装置と同様にスペックルノイズを低減させることができる。さらに、本実施形態では、領域P〜Tごとにペルチェ素子52a〜52eが設けられているため、波長変換素子51から射出される出力波長分布の自由度が高まる。したがって、発光素子41a〜41eから射出された光の波長と対応する波長変換素子51の各領域P〜Tの変換する光の波長とを揃えることが可能となる。これにより、発光素子41a〜41eが製造誤差等により、出力波長にばらつきがあっても、波長変換素子51から射出される光の利用効率を向上させることが可能となる。さらには、波長選択素子12も領域A〜Eごとに選択波長を変化させることができるため、波長変換素子51と波長選択素子12との対応波長を揃えることができる。これにより、光の利用効率をより向上させることが可能となる。
さらに、領域P〜Tごとにペルチェ素子52a〜52eが設けられているため、領域P〜Tごとの選択波長の差を1nmに限らず大きくすることや小さくすることができるため、より効率的にスペックルノイズを低減させることが可能となる。
なお、ペルチェ素子52a〜52eに変えて、発熱素子(温度変化手段、例えば電熱線等)や圧電素子(歪み付与手段)を用いても良い。この構成の場合も、波長選択素子12に用いたときと同様に、各領域P〜Tを個別に制御することができるため、各領域P〜Tのドメインピッチを変えて変換波長を変えることが可能となる。
さらには、第5実施形態の図6に示す波長選択素子12と同様に、波長変換素子51の表面51bの各領域P〜Tに熱吸収膜を設けても良い。この構成の場合も第5実施形態と同様に、熱吸収膜に照射されるレーザ光の時間を調整する。これにより、波長変換素子51の各領域P〜Tの温度が変わるため、熱膨張によるドメインピッチの変化が生じる。したがって、波長変換素子51のドメインピッチを発光素子41a〜41eの出力波長に合わせることにより、光の利用効率を向上させることが可能となる。
さらに、波長変換素子51の複数の領域P〜Tごと、すなわち、例えば2つの領域をまとめて1つのペルチェ素子により温度を制御しても良い。この構成の場合も、複数の光選択領域P〜Tによって選択される光の波長が互いに異なるように温度を制御すれば良い。
また、本実施形態では、第4実施形態で示した波長選択素子12を用いたが、第1〜3,第5実施形態で示した波長選択素子を用いることも可能である。
[第9実施形態]
次に、本発明に係る第9実施形態について、図10を参照して説明する。
本実施形態に係る光源装置60では、ペルチェ素子52に代えて、波長変換素子61の領域P〜Tを含む表面61a上に、電極(電圧印加手段)65a〜65eが設けられている点において、第7実施形態と相違している。それ以外の点は、具体例や変形例の適用を含め、第7実施形態と同様である。
本実施形態の波長変換素子61では、表面61a上の領域P〜Tそれぞれに、隣接する電極と所定の間隔を保つように、シート状の電極65a,65b,65c,65d,65eが設けられている。これらの電極65a〜65eには、それぞれ異なった電圧が印加されるようになっており、印加される電圧に従って、各領域P〜Tは異なった温度となる。この温度の違いによって、波長変換素子61の領域P〜Tにおいて、それぞれ屈折率が変化するとともに、熱膨張によるドメインピッチの変化が生じる。そして、電極65a〜65eに印加する電圧は、第7実施形態と同様、領域P側から領域T側に向かうに従って徐々に低温となるように制御されている。
なお、図10では表面61a上に形成された電極65a〜65eのみが示されているが、表面61aとは反対側の表面上にも電極65a〜65eとそれぞれ対になる5つの電極がそれぞれ形成されており、この対になった電極によって領域P〜Tを挟み込むことにより、領域P〜Tにそれぞれ所定の電圧を印加するような構成となっている。
本実施形態に係る光源装置50においても、第7実施形態の光源装置と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態に係る光源装置50では、領域P〜Tのそれぞれに異なった電圧を印加することができるため、領域ごとの変換特性の制御をより精密に行うことが可能となる。
また、波長変換素子61の領域P〜Tごとのドメインピッチを変えることができるため、発光素子41a〜41eから射出される光の波長が異なる場合、出力波長に合わせて対応する領域P〜Tのドメインピッチを変えることが可能となる。これにより、波長変換素子における光の利用効率を向上させることが可能となる。
[第10実施形態]
次に、本発明に係る第10実施形態について、図11を参照して説明する。
本実施形態では、上記第1実施形態の光源装置10を備える画像表示装置100について説明する。なお、図11中においては、簡略化のため画像表示装置100を構成する筐体は省略している。
画像表示装置100において、赤色光を射出する赤色レーザ光源(光源装置)101Rとしては、上記第1実施形態の光源装置10を用い、緑色光、青色光を射出する緑色レーザ光源(光源装置)101G、青色レーザ光源(光源装置)101Bとしては、上記第6実施形態の光源装置40を用いる。
また、画像表示装置100は、レーザ光源101R,101G,101Bから射出されたレーザ光をそれぞれ変調する液晶ライトバルブ(光変調装置)104R,104G,104Bと、液晶ライトバルブ104R,104G,104Bから射出された光を合成して投写レンズ107に導くクロスダイクロイックプリズム(色光合成手段)106と、液晶ライトバルブ104R,104G,104Bによって形成された像を拡大してスクリーン110に投射する投射レンズ(投射装置)107とを備えている。
さらに、画像表示装置100は、レーザ光源101R,101G,101Bから射出されたレーザ光の照度分布を均一化させるため、各レーザ光源101R,101G,101Bよりも光路下流側に、均一化光学系102R,102G,102Bを設けており、これらによって照度分布が均一化された光によって、液晶ライトバルブ104R,104G,104Bを照明している。例えば、均一化光学系102R,102G、102Bは、例えば、ホログラム102a及びフィールドレンズ103bによって構成される。
各液晶ライトバルブ104R,104G,104Bによって変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム106に入射する。このプリズムは4つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成され、カラー画像を表す光が形成される。そして、合成された光は投写光学系である投射レンズ107によりスクリーン110上に投写され、拡大された画像が表示される。
上述した本実施形態の画像表示装置100は、赤色レーザ光源101R,緑色レーザ光源101G,青色レーザ光源101Bより射出される光は、コヒーレンスが低減された光となっているので、投射レンズ107によって投射される光は、スペックルノイズを抑えたものとなる。したがって、スクリーン110に良好な画像を表示することができる。
なお、本実施形態の画像表示装置において、緑色及び青色のレーザ光源101G、101Bについては、第6実施形態の光源装置40を用いたものを説明したが、他の実施形態の光源装置を用いることも可能である。このとき、光源装置101R,101G,101Bのそれぞれに異なる実施形態の光源装置を採用することも可能であるし、同じ実施形態の光学装置を採用することも可能である。
また、光変調装置として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、液晶以外のライトバルブを用いても良いし、反射型のライトバルブを用いても良い。このようなライトバルブとしては、例えば、反射型の液晶ライトバルブや、デジタルマイクロミラーデバイス(Digital Micromirror Device)が挙げられる。投射光学系の構成は、使用されるライトバルブの種類によって適宜変更される。
また、第1〜第6実施形態の光源装置10〜80は、走査型の画像表示装置にも適用される。このような画像表示装置の例を図12に示す。図12に示した画像表示装置200は、第1実施形態の光源装置10と、光源装置10から射出された光をスクリーン210に向かって走査するMEMSミラー(走査手段)202と、光源装置10から射出された光をMEMSミラー202に集光させる集光レンズ203とを備えている。光源装置10から射出された光は、MEMSミラーを動かすことによって、スクリーン210上を横方向、縦方向に走査するように導かれる。カラーの画像を表示する場合は、発光部11を構成する複数の発光素子を、赤、緑、青のピーク波長を持つ発光素子の組み合わせによって構成すれば良い。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、第6,第7,第9実施形態では、第1実施形態と同様の構造を備えた波長選択素子42を用いていたが、これに変えて、第2〜第5実施形態と同様の構造を備えた波長選択素子を用いるようにしても良い。
また、波長選択素子12,33,42は、光選択領域ごとに選択波長が異なっていれば良く、上記のように順に短くなるようにしなくても良い。波長変換素子43,51,61についても同様である。
また、発光素子としては、端面発光レーザや、面発光レーザを用いることが可能である。
本発明の第1実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第2実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第3実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第4実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 図4の光源装置の発光素子の出力波長を示す図である。 本発明の第5実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第6実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第7実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第8実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第9実施形態に係る光源装置を示す平面図である。 本発明の第10実施形態に係る画像表示装置を示す平面図である。 本発明の画像表示装置の変形例を示す平面図である。
符号の説明
A,B,C,D,E…波長選択素子の領域、O…レーザ光の中心軸(光軸)、P,Q,R,S,T…波長変換素子の領域、10,20,30,40,50,60…光源装置、11a,11b,11c,11d,11e,41a,41b,41c,41d,41e…発光素子、12,33,42…波長選択素子、15,15a〜15e…圧電素子(歪み付与手段)、21…発熱素子(温度変化手段)、31a,31b,31c…薄膜、43,51,61…波長変換素子、52,52a〜52e…ペルチェ素子(温度変化手段)、65a,65b,65c,65d,65e…電極、85…温度変化部(温度変化手段)、104R,104G,104B…液晶ライトバルブ(光変調装置)、107…投射レンズ(投射装置)

Claims (10)

  1. レーザ光を発する複数の発光素子と、
    前記複数の発光素子から射出されたレーザ光のうち所定の選択波長の光の一部を選択して前記発光素子に向かって反射させることによって前記発光素子の共振器ミラーとして機能するとともに、残りのレーザ光を透過させる波長選択素子と、を備え、
    前記波長選択素子は、前記複数の発光素子から射出された光がそれぞれ選択される複数の光選択領域を備えた1つの基体によって構成され、
    前記複数の光選択領域に、互いに大きさの異なる歪みを付与する歪み付与手段を備え、該歪み付与手段として、前記複数の光選択領域が配列された方向の前記波長選択素子の一端に前記歪みを発生させる圧電素子が設けられ、他端に前記歪みを吸収する吸収体が設けられ、前記歪み付与手段によって、前記複数の光選択領域によって選択される光の波長を互いに異ならせることを特徴とする光源装置。
  2. レーザ光を発する複数の発光素子と、
    前記複数の発光素子から射出されたレーザ光のうち所定の選択波長の光の一部を選択して前記発光素子に向かって反射させることによって前記発光素子の共振器ミラーとして機能するとともに、残りのレーザ光を透過させる波長選択素子と、を備え、
    前記波長選択素子は、前記複数の発光素子から射出された光がそれぞれ選択される複数の光選択領域を備えた1つの基体によって構成され、
    前記複数の光選択領域の温度を互いに異ならせる温度変化手段を備え、該温度変化手段として、前記複数の光選択領域が配列された方向の前記波長選択素子の一端に発熱素子が設けられ、他端に吸熱素子が設けられ、前記温度変化手段によって、前記複数の光選択手段の温度を互いに異ならせることを特徴とする光源装置。
  3. 前記複数の発光素子と前記波長選択素子との間には、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光のうち、一部の波長をそれぞれ所定の波長に変換するとともに、前記所定の波長に変換された光と所定の波長に変換されなかった光とを前記波長選択素子に射出する波長変換素子が設けられ、
    前記波長選択素子は、前記波長変換素子から射出されたレーザ光のうち前記所定の波長に変換されなかった光を選択して前記発光素子に向かって反射させることによって前記発光素子の共振器ミラーとして機能するとともに、残りのレーザ光を透過させるものとされ、
    前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出された光がそれぞれ通過する複数の光通過領域を備えており、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長は互いに異なり、
    前記複数の発光素子のうちの任意の一つの発光素子から射出されるレーザ光に対応する前記波長変換素子の前記光通過領域と前記波長選択素子の前記光選択領域とにおいて、前記光通過領域で変換されなかった光の波長と前記光選択領域で選択される光の波長とが一致していることを特徴とする請求項1または2に記載の光源装置。
  4. 前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光の中心軸に沿って、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有しており、
    前記ドメインの前記レーザ光の中心軸方向の幅を、前記光通過領域ごとに異ならせることによって、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長を互いに異ならせることを特徴とする請求項に記載の光源装置。
  5. 前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光の中心軸に沿って、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有しており、前記ドメインの前記レーザ光の中心軸方向の幅は、前記複数の光通過領域のすべてにおいて等しく、
    前記複数の各光通過領域の温度を異ならせる温度変化手段を設け、該温度変化手段によって、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長を互いに異ならせることを特徴とする請求項に記載の光源装置。
  6. 前記波長変換素子は、前記複数の発光素子から射出されたレーザ光の中心軸に沿って、分極が互いに反転したドメインの繰り返し構造を有しており、前記ドメインの前記レーザ光の中心軸方向の幅は、前記複数の光通過領域のすべてにおいて等しく、
    前記複数の光通過領域に互いに異なる電圧を印加する電圧印加手段を設け、該電圧印加手段によって、前記複数の光通過領域によって変換された光の波長を互いに異ならせることを特徴とする請求項に記載の光源装置。
  7. 前記複数の発光素子から射出された光のピーク波長が、対応する前記波長選択素子の各光選択領域において選択される光のピーク波長と同一であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の光源装置。
  8. 前記複数の発光素子から射出される光のピーク波長が一致していることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の光源装置。
  9. 請求項1から請求項のいずれか1項に記載の光源装置と、
    該光源装置から射出された光を画像信号に応じて変調する光変調装置と、
    該光変調装置により形成された画像を投射する投射装置とを備えることを特徴とする画像表示装置。
  10. 請求項1から請求項のいずれか1項に記載の光源装置と、
    該光源装置から射出されたレーザ光を被投射面上で走査する走査手段とを備えることを特徴とする画像表示装置。
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