JP4440370B2 - Pattern replication device to flexible sheet base material - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細な凹凸状情報トラックを有する光カード等の光学的記録媒体を製造するための装置に係り、とりわけ、可撓性シート基材に対して微細な凹凸パターンを低コストかつ安定に複製することが可能な可撓性シート基材へのパターン複製装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、光カード等の光学的記録媒体は、光学的記録媒体用の基材の上に微細な凹凸状光学的情報記録パターンが形成されることによって、高密度記録を達成している。このような凹凸状光学的情報記録パターンの形成方法は、従来から幾つかが提案されている。現在では、これらの成型方法のうち、微細パターンの複製精度が極めて高く設備投資も少なくて済む、いわゆる「2P法」が主に採用されている。
【0003】
2P法は、表面に凹凸を有するスタンパを用意し、当該スタンパと光情報記録媒体用基材との間に液状の紫外線硬化型樹脂を充填し、当該樹脂に紫外線を照射して硬化させた後、スタンパを剥がすことによって光情報記録媒体を作製するものである。
【0004】
従来の2P法は、スタンパ上に紫外線硬化型樹脂を滴下し、その上に光学的記録媒体用の基材を重ね、紫外線硬化型樹脂を光学的記録媒体用基材とスタンパとでサンドイッチした状態でプレスし、紫外線硬化型樹脂を押し広げて微細パターンの複製に必要な所定面積を得ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の2P法では、紫外線硬化型樹脂をスタンパの中央付近に滴下して、当該樹脂を基材を介してプレスすることで押し広げている。従って、滴下した樹脂の形状、基材をセットした後の樹脂の形状、プレス用平板の平面性、樹脂の塗出量などにバラツキが有った場合には、複製後の紫外線硬化型樹脂の形状が均一でなくなる可能性が高い。
【0006】
特に、光カード等の光情報記録媒体の面付け数が少なく小面積の場合は、比較的均一な形状で樹脂を押し広げることが可能であるが、量産に対応すべく面付け数を増やし、大面積にした場合には、複製後の紫外線硬化型樹脂の形状が不均一となる可能性が高い。
【0007】
この問題を解決するため、本件発明者は当初、スタンパと基材の面積を凹凸状光学的情報記録パターンの面積よりも十分大きくして、紫外線硬化型樹脂の滴下量を多くすることを考えた。しかし、この場合、樹脂の必要量が増大するため、コストが高くなってしまう。
【0008】
一方、平板によるプレスでは、紫外線硬化型樹脂中への気泡混入が、完全に回避できないという問題もある。
【0009】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、微細な凹凸状パターンを、低コストで、精度良く安定に複製することができる可撓性シート基材へのパターン複製装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上面に微細な凹凸パターンが形成されたスタンパと、スタンパ上面に樹脂を塗出するディスペンサと、樹脂が塗出されたスタンパ上面の上方に、スタンパ上面と鋭角をなすように可撓性シート基材を供給するシート供給部と、シート供給部によって供給される可撓性シート基材の上方面側にスタンパ及び可撓性シート基材に対して相対移動可能に設けられ、当該可撓性シート基材のスタンパ上面との最近接縁側から当該可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けるニップローラと、を備えたことを特徴とする可撓性シート基材へのパターン複製装置である。
【0011】
本発明によれば、ニップローラが可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けることにより、樹脂が効果的に押し広げられると共に、樹脂内への気泡の混入が防止される。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0013】
図1は、本発明の第1の実施の形態による可撓性シート基材へのパターン複製装置を示す概略平面図である。また、図2は、図1のパターン複製装置の概略側面図である。
【0014】
図1及び図2に示すように、本発明の第1の実施の形態の可撓性シート基材へのパターン複製装置40は、上面に微細な凹凸パターン1p(図3参照)が形成されたスタンパ1と、スタンパ1の上面に樹脂30を塗出するディスペンサ2とを備えている。ディスペンサ2は、アーム3によって位置決めされるようになっている。
【0015】
ディスペンサ2の近傍に、シート供給部としてのシート移動部5及び傾斜ガイド6が設けられている。シート移動部5及び傾斜ガイド6は、樹脂30が塗出されたスタンパ1上面の上方に、スタンパ1上面に対して鋭角をなすように可撓性シート基材Sを供給するようになっている。また、傾斜ガイド6から供給される可撓性シート基材Sの上方面側に、スタンパ1及び可撓性シート基材Sに対して相対移動可能なニップローラ7が設けられている。ニップローラ7は、可撓性シート基材Sのスタンパ1上面との最近接縁側から可撓性シート基材Sを連続的にスタンパ1上面に押し付けるようになっている(詳細は後述する)。
【0016】
ディスペンサ2、アーム3、傾斜ガイド6及びニップローラ7は、遮蔽室36内に収容されている。遮蔽室36には、遮蔽室36内の空気を清浄化するためのHEPAフィルタ10が取付けられている。また遮蔽室36外には、操作盤が取付けられている。
【0017】
本実施の形態においては、樹脂は紫外線硬化型樹脂である。そして、遮蔽室36の外側であってニップローラ7の近傍位置に、紫外線照射装置8が設けられている。
【0018】
また、遮蔽室36の外側であって傾斜ガイド6の近傍位置に、基材セット部4が設けられている。シート移動部5は、基材セット部4にセットされた可撓性シート基材Sを、傾斜ガイド6まで移送するようになっている。
【0019】
また、遮蔽室36の外側であってディスペンサ2の近傍位置に、剥離部35が設けられている。
【0020】
本実施の形態のスタンパ1は、スタンパテーブル31上に載置されている。スタンパテーブル31は、コンベヤ12上に載置されており、コンベヤ12の移動に伴って、ディスペンサ2が設けられた領域と、傾斜ガイド6及びニップローラ7が設けられた領域と、紫外線照射装置8が設けられた領域と、剥離部35が設けられた領域と、を順に移動するようになっている。すなわち、図2の左右方向に往復移動するようになっている。
【0021】
図3は、ディスペンサ2による樹脂塗出状態について説明する図である。図3に示すように、スタンパ1が、コンベヤ12の移動に伴ってディスペンサ2による樹脂塗出領域に移動した後、ディスペンサ2が、スタンパ1上面の、ニップローラ7による可撓性シート基材Sの押し付け開始位置近傍、すなわち、この場合スタンパ1進行方向前方側の端縁近傍に、樹脂30を塗出するようになっている。
【0022】
より具体的には、ディスペンサ2は、基本位置2aから、スタンパ1の進行方向(スタンパ1及び可撓性シート基材Sに対するニップローラ7の相対移動方向)に対して垂直な方向に沿って移動し、移動の途中で間欠的に停止しながら、樹脂30を塗出するようになっている。ディスペンサ2の位置決め制御は、アーム3を介してなされる。
【0023】
図3に示す場合、ディスペンサ2は、基本位置2aから図3の下方向(スタンパ1の進行方向と垂直な方向)へx1 だけ移動して停止し、樹脂30の塗出を開始する。所定の設定時間が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx2 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間(先の設定時間と同一である必要はない)が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx3 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間(先の各設定時間と同一である必要はない)が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx4 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間(先の各設定時間と同一である必要はない)が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx5 だけ移動して停止する。そして、所定の設定時間(先の各設定時間と同一である必要はない)が経過すると、樹脂30の塗出を停止して、基本位置a2に戻る。
【0024】
このような塗出方法によって、各停止ポイントに相対的に多量の樹脂30を塗出することができる。停止ポイントの数、各停止ポイントの位置、停止時間等は、スタンパ1の面積や凹凸パターン1bの面付け数、樹脂30の特性等に応じて、適宜に決定され得る。さらに、ディスペンサ2の樹脂30の塗出量も、適宜に制御され得る。
【0025】
また本実施の形態の場合、ディスペンサ2の、図3の上下方向以外の位置決めについても制御可能である。具体的には、スタンパ1に設けた位置決めピン1cと基本位置2aとの相対位置関係yを、図示しない位置センサ等で検出し、スタンパ1を更に移動したり、ディスペンサ2の停止ポイントを微調整したりできるようになっている。
【0026】
更に、ディスペンサ2は、樹脂30の塗出口2tを有しており(図2参照)、塗出口2tのスタンパ1上面に対する高さを適宜に制御可能となっている。例えば、基本位置2aでは、スタンパ1との衝突回避の確実のため塗出口2tの高さを比較的高くしておく一方で、樹脂30の塗出時にはスタンパ1からの高さを低くして気泡の混入を防止することが可能である。
【0027】
次に、図4乃至図8を用いて、可撓性シート基材Sの供給部について説明する。図4は、基材セット部4近傍の概略平面図である。図4に示すように、基材セット部4は、可撓性シート基材Sの周縁を支持するためのガイド4cを有している。本実施の形態の可撓性シート基材Sは、略正方形状で、3つのコーナ部に位置決め孔が形成されており、当該位置決め孔を貫通して位置決めを行う位置決めピン4aが、ガイド4c上に形成されている。位置決めピン4aは、カイド4cに設けられたエアシリンダ4bによって各々昇降可能となっている。
【0028】
シート移動部5は、図5に示すように、回転アーム5aと、9(3×3)個の吸着パッド5bとを有している。可撓性シート基材Sが基材セット部4にセットされると、各吸着パッド5bは、基材セット部4にセットされた可撓性シート基材Sの上面側において、可撓性シート基材Sと垂直に位置決めされる。その後、吸着パッド5bが可撓性シート基材Sに近づいて当該可撓性シート基材Sを吸着する。
【0029】
基材セット部4の位置決めピン4aは、吸着パッド5bによる可撓性シート基材Sの吸着後に、エアシリンダ4bの作動によって下降するようになっている。これにより、当該可撓性シート基材Sは拘束が解かれ、シート移動部5の移動に伴って傾斜ガイド6の上方に移動可能となる。さらに回転アーム5aによって、可撓性シート基材Sは、図5に示すような傾斜状態をとることができる。
【0030】
傾斜ガイド6は、図4及び図5に示すように、一対の側方ガイド6sと、各側方ガイド6sに一対が設けられたスプロケット6bと、各一対のスプロケット6bに渡されたチェーン6yと、チェーン6yに取付けられた断面L字型の移動ガイド6aと、移動ガイド6aに連結された摺動部6cとを有している。
【0031】
図5に示すように、スプロケット6bの軸及び側方ガイド6sは、角度調整アーム17によって、角度調整可能に支持されている。角度調整アーム17は、レール22に沿って水平方向に移動可能となっている。また、角度調整アーム17は、エアシリンダ18を有しており、エアシリンダ18の伸縮部に設けられた連結ピン18aと送りユニット20の連結部18bとが結合可能になっている。
【0032】
摺動部6cは、摺動アーム15の移動に伴って、移動ガイド6aを移動させるようになっている。摺動アーム15は、角度調整アーム17の側壁部に設けられたレール21に沿って水平方向に移動可能となっている。また、摺動アーム15は、エアシリンダ19を有しており、エアシリンダ19の伸縮部に設けられた連結ピン19aと送りユニット20の連結部19bとが結合可能になっている。
【0033】
送りユニット20は、連結板26を介して一軸ロボット25に接続されている。また、送りユニット20には、後述する位置決めピン24が設けられている。
【0034】
一方、樹脂30が塗出されたスタンパ1は、コンベヤ12の移動と、傾斜ガイド6の下方に設けられたストッパ23と、複数の位置決めピン24(図5では、図示の便宜のため、1つのみが図示されている)とによって、傾斜ガイド6の下方位置に位置決めされ得る。位置決めピン24は、ストッパ31によって停止させられたスタンパテーブル31をコンベヤ12から浮かせて支持し、スタンパ1に高い平面性と強度とを提供する。
【0035】
図5に示す状態から、エアシリンダ18、19が作動して、連結ピン18a、19aがそれぞれ送りユニット20の連結部18b、19bに連結されるようになっている。
【0036】
また、シート移動部5は、可撓性シート基材Sの位置決め孔のうちの2つが、スタンパ1の2つの位置決めピン1cを貫通するように位置決めされるようになっている。位置決め完了時に、可撓性シート基材Sは、傾斜ガイド6の側方ガイド6sに接触する。位置決めの後に、吸着パッド5bによる吸着が解除され、シート移動部5は、基材セット部4の上方に戻るようになっている。
【0037】
そして、送りユニット20と一体となった位置決めピン24、スタンパ1、角度調整ガイド17、摺動ガイド15、傾斜ガイド6及び可撓性シート基材Sは、一軸ロボット25による送りユニット20のニップローラ7側への移動に伴って、ニップローラ7の中心線真下に位置決めピン1cが到達するようになっている。なお、ストッパ23は、この移動の開始時に退避するようになっている。
【0038】
その後、ニップローラ7が下降し、可撓性シート基材Sをスタンパ1に押し付けるようになっている。この状態が図6に示されている。ニップローラ7は、なお、位置決めピン1cと干渉しないように、例えば溝が形成されている。
【0039】
次に、エアシリンダ18が逆に作動することにより、連結ピン18aと連結部18bとの連結が解除され、角度調整アーム17の移動が停止するようになっている。
【0040】
そして、更なる送りユニット20による摺動アーム15の移動に伴い、スタンパ1の移動に略同期して、摺動部6cを介して移動ガイド6aが移動し、ニップローラ7がつれ回りして、樹脂30が押し広げられつつ、スタンパ1上面に可撓性シート基材Sがプレスされるようになっている。この状態が図7に示されている。
【0041】
さらに、エアシリンダ19が逆に作動することにより、連結ピン19aと連結部19bとの連結が解除され、送りユニット20が更に移動して、スタンパ1と可撓性シート基材Sとが完全に密着するようになっている。この状態が図8に示されている。
【0042】
この後、ニップローラ7が元の位置にまで上昇し、エアシリンダ14及びエアシリンダ16によって摺動アーム15及び角度調整アーム17が図5に示す位置に戻され、位置決めピン24が退避して、一軸ロボット25も元の位置に戻るようになっている。
【0043】
次に、このような構成よりなる本実施の形態の作用について、図9を用いて説明する。
【0044】
まず、パターン複製装置1のメイン電源、UV電源、エアー供給源(いずれも図示せず)が、それぞれONにされる(SETP01)。
【0045】
次に、可撓性シート基材Sが、基材セット部4にセットされる(STEP02)。そして、シート基材移動スイッチ(図示せず)がONにされる(STEP03)と、基材セット部4に真に可撓性シート基材Sがセットされているか否かを点検する(STEP03)。可撓性シート基材Sがセットされていなければ、再びSTEP02に戻る(STEP04)。そして、シート移動部5が作動する(STEP05)。
【0046】
一方、図1及び図2に示す初期位置にて待機していたスタンパ1及びスタンパテーブル31が、コンベヤ12の移動に伴って移動を開始する(STEP06)。スタンパテーブル31は、樹脂塗出領域にて位置決めされて停止する(STEP07)。
【0047】
時系列的に、本実施の形態では、スタンパテーブル31の位置決め停止後に、シート移動部5が、基材セット部4にセットされた可撓性シート基材S上に到達する(STEP08)。
【0048】
そして、ディスペンサ2及びアーム3が作動して、スタンパ1上に樹脂30を塗出する(STEP09)。
【0049】
図3に示すように、ディスペンサ2は、基本位置2aから図3の下方向(スタンパ1の進行方向と垂直な方向)へx1 だけ移動して停止し、樹脂30の塗出を開始する。所定の設定時間が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx2 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx3 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx4 だけ移動して停止する。同様に所定の設定時間が経過すると、樹脂30の塗出を継続したままで更に同方向へx5 だけ移動して停止する。そして、所定の設定時間が経過すると、樹脂30の塗出を停止して、基本位置a2に戻る。
【0050】
このような塗出方法によって、各停止ポイントに相対的に多量の樹脂30を塗出することができる。停止ポイントの数、各停止ポイントの位置、停止時間等は、スタンパ1の面積や凹凸パターン1bの面付け数、樹脂30の特性等に応じて、適宜に決定され得る。さらに、ディスペンサ2の樹脂30の塗出量も、適宜に制御され得る。
【0051】
時系列的に、本実施の形態では、ディスペンサ2による樹脂30の塗出中に、可撓性シート基材Sが、シート移動部5によって、基材セット部4から傾斜ガイド6に向けて移動を開始する(STEP10)。そして、ディスペンサ2による樹脂30の塗出が終了する(STEP11)頃に、可撓性シート基材Sは傾斜ガイド6上に到達する(STEP12)。
【0052】
その後、スタンパ1及びスタンパテーブル31は、樹脂塗出領域から移動を開始し(STEP13)、傾斜ガイド6の下方に位置決めされて停止する(STEP14)。この状態が図5に示してある。そして、シート移動部5から、傾斜ガイド6及びスタンパ1上に、可撓性シート基材Sが位置決めピン1cを利用して位置決めされて、供給される(STEP15)。
【0053】
傾斜ガイド6、可撓性シート基材S、スタンパ1及びスタンパテーブル31は、エアシリンダ18、19の作動により送りユニット20と一体になっており、送りユニット20の移動に伴って、ニップローラ7の下方位置にまで移動する(STEP17)。そしてニップローラ7が下降する(STEP18)。この状態が図6に示してある。
【0054】
そして、エアシリンダ18が逆作動して角度調整アーム17の移動は終了し、スタンパ1及びスタンパテーブル31のみが移動を継続する(STEP19)。この時、可撓性シート基材Sは、位置決めピン1cに引張られると共に移動ガイド6aに案内されて、連続的にスタンパ1の上面に供給され、ニップローラ7の連れ回りによってプレスされる。この状態が図7に示してある。
【0055】
このようにニップローラ7が可撓性シート基材Sを連続的にスタンパ1の上面に押し付けることにより、樹脂30が効果的に押し広げられると共に、樹脂30内への気泡の混入が防止される。
【0056】
その後、ニップローラ7が上昇し(STEP21)、傾斜ガイド6が初期位置に復帰して(STEP22)、図5に示す状態に戻る。
【0057】
その後、スタンパ1及びスタンパテーブル31は、シート供給領域から移動を開始し(STEP23)、紫外線照射装置8の下方に位置決めされて停止する(STEP24)。そして、紫外線照射装置8が所定の設定時間だけONにされて、樹脂30が硬化される(STEP25〜27)。
【0058】
その後、スタンパ1及びスタンパテーブル31は、紫外線照射領域から移動を開始し(STEP28)、初期位置に位置決めされて停止する(STEP29)。本実施の形態では、初期位置が剥離領域となっており、剥離部35によって、樹脂30が硬化して一体となった可撓性シート基材Sが、スタンパ1から剥離される。
【0059】
以上のように、本実施の形態によれば、ニップローラ7が可撓性シート基材Sを連続的にスタンパ1の上面に押し付けることにより、樹脂30が効果的に押し広げられると共に、樹脂30内への気泡の混入が防止される。
【0060】
なお、樹脂によって形成される凹凸パターンは、スタンパ1の凹凸パターン1bと逆凹凸の関係となる。本実施の形態によって形成される樹脂による凹凸パターンは、低コストで、精度良く安定に複製され、光学的記録媒体の凹凸状情報トラックとして利用される。
【0061】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ニップローラが可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けることにより、樹脂が効果的に押し広げられると共に、樹脂内への気泡の混入が防止される。従って、微細な凹凸状パターンを、低コストで、精度良く安定に複製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による可撓性シート基材へのパターン複製装置の第1の実施の形態を示す概略平面図。
【図2】図1の可撓性シート基材へのパターン複製装置の概略側面図。
【図3】ディスペンサによる樹脂塗出状態について説明する図。
【図4】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図5】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図6】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図7】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図8】可撓性シート基材の供給部について説明する図。
【図9】図1の可撓性シート基材へのパターン複製装置の作用を示すフローチャート。
【符号の説明】
1 スタンパ
1b 凹凸パターン
1c 位置決めピン
2 ディスペンサ
2t 塗出口
4 基材セット部
5 シート移動部
5a 回転アーム
5b 吸着パッド
6 傾斜ガイド
6a 移動ガイド
6b スプロケット
6c 摺動部
6s 側方ガイド
6y チェーン
7 ニップローラ
8 紫外線照射装置
10 HEPAフィルタ
12 コンベヤ
14 エアシリンダ
15 摺動アーム
16 エアシリンダ
17 角度調整アーム
18 エアシリンダ
18a 連結ピン
18b 連結部
19 エアシリンダ
19a 連結ピン
19b 連結部
20 送りユニット
21、22 レール
23 ストッパ
24 位置決めピン
25 一軸ロボット
26 連結板
30 樹脂
31 スタンパテーブル
35 剥離部
36 遮蔽室
40 可撓性シート基材へのパターン複製装置
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for manufacturing an optical recording medium such as an optical card having a fine concavo-convex information track, and in particular, a fine concavo-convex pattern can be formed on a flexible sheet substrate at low cost and stably. The present invention relates to an apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet base material that can be replicated.
[0002]
[Prior art]
In general, an optical recording medium such as an optical card achieves high-density recording by forming a fine uneven optical information recording pattern on a substrate for an optical recording medium. Several methods for forming such an uneven optical information recording pattern have been proposed. At present, among these molding methods, the so-called “2P method”, which has a very high precision of replicating a fine pattern and requires little equipment investment, is mainly employed.
[0003]
In the 2P method, a stamper having an uneven surface is prepared, a liquid ultraviolet curable resin is filled between the stamper and the optical information recording medium substrate, and the resin is irradiated with ultraviolet rays and cured. The optical information recording medium is manufactured by removing the stamper.
[0004]
In the conventional 2P method, an ultraviolet curable resin is dropped on a stamper, an optical recording medium substrate is stacked thereon, and the ultraviolet curable resin is sandwiched between the optical recording medium substrate and a stamper. And a UV-curable resin is spread to obtain a predetermined area necessary for replicating a fine pattern.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional 2P method, an ultraviolet curable resin is dropped near the center of the stamper, and the resin is pressed through a substrate to spread it. Therefore, if there is variation in the shape of the dropped resin, the shape of the resin after setting the substrate, the flatness of the flat plate for pressing, the amount of resin applied, etc., the UV curable resin after duplication There is a high possibility that the shape is not uniform.
[0006]
In particular, when the number of impositions of optical information recording media such as optical cards is small and the area is small, it is possible to spread the resin in a relatively uniform shape, but to increase the number of impositions to accommodate mass production, In the case of a large area, there is a high possibility that the shape of the ultraviolet curable resin after replication becomes non-uniform.
[0007]
In order to solve this problem, the present inventors initially considered that the area of the stamper and the base material should be sufficiently larger than the area of the concave-convex optical information recording pattern to increase the dripping amount of the ultraviolet curable resin. . However, in this case, since the required amount of resin increases, the cost increases.
[0008]
On the other hand, in the press using a flat plate, there is a problem that bubbles cannot be completely avoided in the ultraviolet curable resin.
[0009]
The present invention has been made in consideration of such points, and a pattern duplicating apparatus for a flexible sheet base material capable of accurately and stably replicating a fine concavo-convex pattern at low cost is provided. The purpose is to provide.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides a stamper having a fine concavo-convex pattern formed on the upper surface, a dispenser for applying a resin to the upper surface of the stamper, and a flexible shape so as to form an acute angle above the upper surface of the stamper on which the resin is applied A sheet supply unit for supplying the flexible sheet base material, and an upper surface side of the flexible sheet base material supplied by the sheet supply unit, which is provided to be movable relative to the stamper and the flexible sheet base material. And a nip roller that continuously presses the flexible sheet substrate against the stamper upper surface from a side closest to the stamper upper surface of the flexible sheet substrate. Device.
[0011]
According to the present invention, the nip roller continuously presses the flexible sheet substrate against the upper surface of the stamper, so that the resin is effectively spread and the bubbles are prevented from being mixed into the resin.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0013]
FIG. 1 is a schematic plan view showing an apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet base material according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic side view of the pattern duplicating apparatus of FIG.
[0014]
As shown in FIGS. 1 and 2, the pattern duplicating apparatus 40 for a flexible sheet base material according to the first embodiment of the present invention has a fine uneven pattern 1 p (see FIG. 3) formed on the upper surface. A stamper 1 and a dispenser 2 for applying a resin 30 on the upper surface of the stamper 1 are provided. The dispenser 2 is positioned by the arm 3.
[0015]
In the vicinity of the dispenser 2, a sheet moving unit 5 and an inclined guide 6 as a sheet supply unit are provided. The sheet moving unit 5 and the inclined guide 6 are configured to supply the flexible sheet base material S so as to form an acute angle with respect to the upper surface of the stamper 1 above the upper surface of the stamper 1 coated with the resin 30. . In addition, a nip roller 7 that can move relative to the stamper 1 and the flexible sheet substrate S is provided on the upper surface side of the flexible sheet substrate S supplied from the inclined guide 6. The nip roller 7 is configured to continuously press the flexible sheet substrate S against the upper surface of the stamper 1 from the side closest to the upper surface of the stamper 1 of the flexible sheet substrate S (details will be described later).
[0016]
The dispenser 2, the arm 3, the inclined guide 6 and the nip roller 7 are accommodated in the shielding chamber 36. A HEPA filter 10 for cleaning the air in the shielding chamber 36 is attached to the shielding chamber 36. An operation panel is attached outside the shielding chamber 36.
[0017]
In the present embodiment, the resin is an ultraviolet curable resin. An ultraviolet irradiation device 8 is provided outside the shielding chamber 36 and in the vicinity of the nip roller 7.
[0018]
Further, the base material set portion 4 is provided outside the shielding chamber 36 and in the vicinity of the inclined guide 6. The sheet moving unit 5 is configured to transfer the flexible sheet substrate S set in the substrate setting unit 4 to the inclined guide 6.
[0019]
Further, a peeling portion 35 is provided outside the shielding chamber 36 and in the vicinity of the dispenser 2.
[0020]
The stamper 1 of the present embodiment is placed on a stamper table 31. The stamper table 31 is placed on the conveyor 12, and as the conveyor 12 moves, the area where the dispenser 2 is provided, the area where the inclined guide 6 and the nip roller 7 are provided, and the ultraviolet irradiation device 8 The provided area and the area provided with the peeling portion 35 are moved in order. That is, it moves reciprocally in the left-right direction in FIG.
[0021]
FIG. 3 is a diagram for explaining a resin coating state by the dispenser 2. As shown in FIG. 3, after the stamper 1 moves to the resin coating region by the dispenser 2 as the conveyor 12 moves, the dispenser 2 moves the flexible sheet base material S by the nip roller 7 on the upper surface of the stamper 1. The resin 30 is applied in the vicinity of the pressing start position, that is, in the vicinity of the edge on the front side in the stamper 1 traveling direction in this case.
[0022]
More specifically, the dispenser 2 moves from the basic position 2a along a direction perpendicular to the traveling direction of the stamper 1 (the relative movement direction of the nip roller 7 with respect to the stamper 1 and the flexible sheet substrate S). The resin 30 is applied while stopping intermittently during the movement. Positioning control of the dispenser 2 is performed via the arm 3.
[0023]
In the case shown in FIG. 3, the dispenser 2 moves from the basic position 2 a downward in FIG. 3 (direction perpendicular to the direction of travel of the stamper 1) by x 1 and stops, and starts the coating of the resin 30. When a predetermined set time elapses, the coating of the resin 30 is continued and further moved in the same direction by x 2 and stopped. Similarly, when a predetermined set time (which does not have to be the same as the previous set time) elapses, the resin 30 continues to be applied and further moves in the same direction by x 3 and stops. Similarly, when a predetermined set time (not necessarily identical to the previous respective set time) has elapsed, further stops moved by x 4 in the same direction while continuing the coating and out of the resin 30. Similarly, when a predetermined set time (not necessarily identical to the previous respective set time) has elapsed, further stops moved by x 5 in the same direction while continuing the coating and out of the resin 30. Then, when a predetermined set time (which does not have to be the same as the previous set times) elapses, the application of the resin 30 is stopped and the process returns to the basic position a2.
[0024]
By such a coating method, a relatively large amount of resin 30 can be coated at each stop point. The number of stop points, the position of each stop point, the stop time, and the like can be appropriately determined according to the area of the stamper 1, the number of imprints of the uneven pattern 1 b, the characteristics of the resin 30, and the like. Furthermore, the coating amount of the resin 30 of the dispenser 2 can be appropriately controlled.
[0025]
In the case of the present embodiment, the positioning of the dispenser 2 other than the vertical direction in FIG. 3 can also be controlled. Specifically, the relative positional relationship y between the positioning pin 1c provided on the stamper 1 and the basic position 2a is detected by a position sensor or the like (not shown), and the stamper 1 is further moved or the stop point of the dispenser 2 is finely adjusted. You can do it.
[0026]
Further, the dispenser 2 has a coating outlet 2t of the resin 30 (see FIG. 2), and the height of the coating outlet 2t with respect to the upper surface of the stamper 1 can be appropriately controlled. For example, in the basic position 2a, the height of the coating outlet 2t is kept relatively high to ensure collision avoidance with the stamper 1, while the height from the stamper 1 is reduced when the resin 30 is applied. It is possible to prevent contamination.
[0027]
Next, the supply part of the flexible sheet base material S is demonstrated using FIG. 4 thru | or FIG. FIG. 4 is a schematic plan view of the vicinity of the base material setting unit 4. As shown in FIG. 4, the base material setting unit 4 has a guide 4 c for supporting the periphery of the flexible sheet base material S. The flexible sheet base material S of the present embodiment has a substantially square shape, and positioning holes are formed in three corner portions, and positioning pins 4a that perform positioning through the positioning holes are provided on the guide 4c. Is formed. The positioning pins 4a can be moved up and down by air cylinders 4b provided on the guides 4c.
[0028]
As shown in FIG. 5, the sheet moving unit 5 includes a rotary arm 5 a and 9 (3 × 3) suction pads 5 b. When the flexible sheet base S is set on the base set part 4, each suction pad 5 b is placed on the upper surface side of the flexible sheet base S set on the base set part 4. Positioned perpendicular to the substrate S. Thereafter, the suction pad 5b approaches the flexible sheet base S and sucks the flexible sheet base S.
[0029]
The positioning pins 4a of the base material setting unit 4 are lowered by the operation of the air cylinder 4b after the flexible sheet base material S is sucked by the suction pads 5b. As a result, the flexible sheet base S is released from the restraint, and can move above the inclined guide 6 as the sheet moving unit 5 moves. Furthermore, the flexible sheet base material S can take an inclined state as shown in FIG. 5 by the rotating arm 5a.
[0030]
4 and 5, the inclined guide 6 includes a pair of side guides 6s, a pair of sprockets 6b provided on each side guide 6s, and a chain 6y passed to each pair of sprockets 6b. , A moving guide 6a having an L-shaped cross section attached to the chain 6y, and a sliding portion 6c connected to the moving guide 6a.
[0031]
As shown in FIG. 5, the shaft of the sprocket 6 b and the side guide 6 s are supported by an angle adjustment arm 17 so that the angle can be adjusted. The angle adjustment arm 17 is movable in the horizontal direction along the rail 22. Further, the angle adjusting arm 17 has an air cylinder 18, and a connecting pin 18 a provided at an expansion / contraction part of the air cylinder 18 and a connecting part 18 b of the feed unit 20 can be coupled.
[0032]
The sliding part 6 c moves the movement guide 6 a as the sliding arm 15 moves. The sliding arm 15 is movable in the horizontal direction along the rail 21 provided on the side wall portion of the angle adjusting arm 17. Further, the sliding arm 15 has an air cylinder 19, and a connecting pin 19 a provided at an expansion / contraction part of the air cylinder 19 and a connecting part 19 b of the feed unit 20 can be coupled.
[0033]
The feed unit 20 is connected to the uniaxial robot 25 via a connecting plate 26. The feeding unit 20 is provided with positioning pins 24 to be described later.
[0034]
On the other hand, the stamper 1 coated with the resin 30 includes a movement of the conveyor 12, a stopper 23 provided below the inclined guide 6, and a plurality of positioning pins 24 (in FIG. Can be positioned at a position below the inclined guide 6. The positioning pin 24 floats and supports the stamper table 31 stopped by the stopper 31 from the conveyor 12, and provides the stamper 1 with high flatness and strength.
[0035]
From the state shown in FIG. 5, the air cylinders 18 and 19 are operated, and the connecting pins 18a and 19a are connected to the connecting portions 18b and 19b of the feed unit 20, respectively.
[0036]
Further, the sheet moving unit 5 is positioned so that two of the positioning holes of the flexible sheet base material S pass through the two positioning pins 1 c of the stamper 1. When the positioning is completed, the flexible sheet base material S comes into contact with the side guides 6 s of the inclined guide 6. After the positioning, the suction by the suction pad 5 b is released, and the sheet moving unit 5 returns to above the base material setting unit 4.
[0037]
The positioning pin 24, the stamper 1, the angle adjustment guide 17, the sliding guide 15, the tilt guide 6, and the flexible sheet base S integrated with the feeding unit 20 are connected to the nip roller 7 of the feeding unit 20 by the single axis robot 25. With the movement to the side, the positioning pin 1c reaches just below the center line of the nip roller 7. The stopper 23 is retracted at the start of this movement.
[0038]
Thereafter, the nip roller 7 is lowered to press the flexible sheet base material S against the stamper 1. This state is shown in FIG. For example, a groove is formed on the nip roller 7 so as not to interfere with the positioning pin 1c.
[0039]
Next, when the air cylinder 18 operates in reverse, the connection between the connection pin 18a and the connection portion 18b is released, and the movement of the angle adjustment arm 17 is stopped.
[0040]
Then, as the slide arm 15 is further moved by the feed unit 20, the movement guide 6a is moved through the sliding portion 6c substantially in synchronization with the movement of the stamper 1, and the nip roller 7 is swung around. The flexible sheet base material S is pressed onto the upper surface of the stamper 1 while 30 is spread. This state is shown in FIG.
[0041]
Further, when the air cylinder 19 is operated in reverse, the connection between the connecting pin 19a and the connecting portion 19b is released, the feeding unit 20 is further moved, and the stamper 1 and the flexible sheet base S are completely connected. It comes to adhere closely. This state is shown in FIG.
[0042]
Thereafter, the nip roller 7 is raised to the original position, the sliding arm 15 and the angle adjusting arm 17 are returned to the positions shown in FIG. The robot 25 also returns to the original position.
[0043]
Next, the effect | action of this Embodiment which consists of such a structure is demonstrated using FIG.
[0044]
First, the main power source, UV power source, and air supply source (all not shown) of the pattern duplicating apparatus 1 are turned on (SETP01).
[0045]
Next, the flexible sheet base material S is set in the base material set part 4 (STEP02). Then, when a sheet base material movement switch (not shown) is turned on (STEP 03), it is checked whether or not the flexible sheet base material S is truly set in the base material setting unit 4 (STEP 03). . If the flexible sheet base material S is not set, it returns to STEP02 again (STEP04). Then, the sheet moving unit 5 operates (STEP 05).
[0046]
On the other hand, the stamper 1 and the stamper table 31 that have been waiting at the initial positions shown in FIGS. 1 and 2 start moving as the conveyor 12 moves (STEP 06). The stamper table 31 is positioned and stopped in the resin coating area (STEP07).
[0047]
In chronological order, in the present embodiment, after the positioning of the stamper table 31 is stopped, the sheet moving unit 5 reaches the flexible sheet base material S set on the base material setting unit 4 (STEP08).
[0048]
Then, the dispenser 2 and the arm 3 are operated to apply the resin 30 onto the stamper 1 (STEP 09).
[0049]
As shown in FIG. 3, the dispenser 2 is moved by x 1 stops from the basic position 2a to the downward direction in FIG. 3 (a traveling direction perpendicular to the direction of the stamper 1), it starts to paint and out of the resin 30. When a predetermined set time elapses, the coating of the resin 30 is continued and further moved in the same direction by x 2 and stopped. Similarly, when a predetermined set time elapses, the coating of the resin 30 is continued and further moved in the same direction by x 3 and stopped. When a predetermined set time has elapsed in the same manner, further stops moved by x 4 in the same direction while continuing the coating and out of the resin 30. When a predetermined set time has elapsed in the same manner, further stops moved by x 5 in the same direction while continuing the coating and out of the resin 30. Then, when a predetermined set time has elapsed, the application of the resin 30 is stopped and the process returns to the basic position a2.
[0050]
By such a coating method, a relatively large amount of resin 30 can be coated at each stop point. The number of stop points, the position of each stop point, the stop time, and the like can be appropriately determined according to the area of the stamper 1, the number of imprints of the uneven pattern 1 b, the characteristics of the resin 30, and the like. Furthermore, the coating amount of the resin 30 of the dispenser 2 can be appropriately controlled.
[0051]
In the present embodiment, in the present embodiment, the flexible sheet base material S is moved from the base material setting section 4 toward the inclined guide 6 by the sheet moving section 5 during application of the resin 30 by the dispenser 2. Is started (STEP 10). Then, when the application of the resin 30 by the dispenser 2 is completed (STEP 11), the flexible sheet substrate S reaches the inclined guide 6 (STEP 12).
[0052]
Thereafter, the stamper 1 and the stamper table 31 start moving from the resin coating area (STEP 13), and are positioned below the inclined guide 6 and stopped (STEP 14). This state is shown in FIG. Then, the flexible sheet base material S is positioned and supplied using the positioning pins 1c on the inclined guide 6 and the stamper 1 from the sheet moving unit 5 (STEP 15).
[0053]
The inclined guide 6, the flexible sheet base S, the stamper 1, and the stamper table 31 are integrated with the feed unit 20 by the operation of the air cylinders 18 and 19, and the nip roller 7 moves along with the movement of the feed unit 20. It moves to the lower position (STEP 17). Then, the nip roller 7 is lowered (STEP 18). This state is shown in FIG.
[0054]
Then, the air cylinder 18 is reversely operated to end the movement of the angle adjusting arm 17, and only the stamper 1 and the stamper table 31 continue to move (STEP 19). At this time, the flexible sheet base S is pulled by the positioning pins 1 c and guided by the moving guide 6 a, continuously supplied to the upper surface of the stamper 1, and pressed by the rotation of the nip roller 7. This state is shown in FIG.
[0055]
Thus, the nip roller 7 continuously presses the flexible sheet substrate S against the upper surface of the stamper 1, so that the resin 30 is effectively spread and the bubbles are prevented from being mixed into the resin 30.
[0056]
Thereafter, the nip roller 7 is raised (STEP 21), the inclined guide 6 is returned to the initial position (STEP 22), and the state shown in FIG. 5 is restored.
[0057]
Thereafter, the stamper 1 and the stamper table 31 start moving from the sheet supply area (STEP 23), and are positioned below the ultraviolet irradiation device 8 and stopped (STEP 24). Then, the ultraviolet irradiation device 8 is turned on for a predetermined set time, and the resin 30 is cured (STEP 25 to 27).
[0058]
Thereafter, the stamper 1 and the stamper table 31 start moving from the ultraviolet irradiation region (STEP 28), and are positioned at the initial position and stopped (STEP 29). In the present embodiment, the initial position is a peeling region, and the flexible sheet base material S in which the resin 30 is cured and integrated is peeled from the stamper 1 by the peeling portion 35.
[0059]
As described above, according to the present embodiment, the nip roller 7 continuously presses the flexible sheet substrate S against the upper surface of the stamper 1, so that the resin 30 is effectively expanded and the resin 30 Air bubbles can be prevented from entering.
[0060]
In addition, the uneven | corrugated pattern formed with resin becomes a reverse uneven | corrugated relationship with the uneven | corrugated pattern 1b of the stamper 1. FIG. The concavo-convex pattern made of the resin formed according to the present embodiment is stably copied with high accuracy at low cost, and is used as the concavo-convex information track of the optical recording medium.
[0061]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the nip roller continuously presses the flexible sheet substrate against the upper surface of the stamper, so that the resin is effectively spread and the bubbles are prevented from being mixed into the resin. Is done. Therefore, a fine concavo-convex pattern can be replicated accurately and stably at low cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic plan view showing a first embodiment of an apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate according to the present invention.
2 is a schematic side view of an apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate of FIG. 1; FIG.
FIG. 3 is a diagram for explaining a resin coating state by a dispenser.
FIG. 4 is a diagram illustrating a flexible sheet base material supply unit.
FIG. 5 is a diagram illustrating a flexible sheet base material supply unit.
FIG. 6 is a diagram illustrating a supply unit of a flexible sheet base material.
FIG. 7 is a diagram illustrating a flexible sheet base material supply unit.
FIG. 8 is a diagram illustrating a flexible sheet base material supply unit.
FIG. 9 is a flowchart showing the operation of the pattern duplicating apparatus on the flexible sheet base material of FIG. 1;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stamper 1b Uneven | corrugated pattern 1c Positioning pin 2 Dispenser 2t Coating outlet 4 Base material setting part 5 Sheet moving part 5a Rotating arm 5b Suction pad 6 Inclination guide 6a Moving guide 6b Sprocket 6c Sliding part 6s Side guide 6y Chain 7 Nip roller 8 Ultraviolet light Irradiation device 10 HEPA filter 12 Conveyor 14 Air cylinder 15 Sliding arm 16 Air cylinder 17 Angle adjustment arm 18 Air cylinder 18a Connecting pin 18b Connecting portion 19 Air cylinder 19a Connecting pin 19b Connecting portion 20 Feed unit 21, 22 Rail 23 Stopper 24 Positioning Pin 25 Uniaxial robot 26 Connecting plate 30 Resin 31 Stamper table 35 Peeling part 36 Shielding chamber 40 Pattern replication device on flexible sheet base material

Claims (12)

コーナ部に少なくとも2つの位置決め孔が形成されている枚葉状の可撓性シート基材を位置決めするための2つの位置決めピンと微細な凹凸パターンとが上面に形成されたスタンパと、
スタンパ上面に樹脂を塗出するディスペンサと、
樹脂が塗出されたスタンパ上面の上方に、前記枚葉状の可撓性シート基材の位置決め孔のうちの2つが前記スタンパの2つの位置決めピンを貫通するように位置決めされるように可撓性シート基材を移動させるシート移動部と、当該シート移動部によって移動されて位置決めされた可撓性シート基材がスタンパ上面と鋭角をなすように可撓性シート基材をガイドする傾斜ガイドと、を有するシート供給部と、
シート供給部によって供給される可撓性シート基材の上方面側に設けられ、前記スタンパの2つの位置決めピンから当該可撓性シート基材を連続的にスタンパ上面に押し付けるようになっている一方、前記2つの位置決めピンとは干渉しないように溝が設けられているニップローラと、
を備えたことを特徴とする可撓性シート基材へのパターン複製装置。
A stamper in which two positioning pins for positioning a sheet-like flexible sheet base material in which at least two positioning holes are formed in a corner portion and a fine uneven pattern are formed on the upper surface;
A dispenser that paints resin on the upper surface of the stamper;
Flexible so that two of the positioning holes of the sheet-like flexible sheet base material are positioned so as to pass through the two positioning pins of the stamper above the upper surface of the stamper coated with resin. A sheet moving unit for moving the sheet base material, and an inclined guide for guiding the flexible sheet base material so that the flexible sheet base material moved and positioned by the sheet moving unit forms an acute angle with the stamper upper surface, A sheet supply unit having
One provided on the upper surface side of the flexible sheet substrate supplied by the sheet supply unit, and continuously presses the flexible sheet substrate against the stamper upper surface from the two positioning pins of the stamper. A nip roller provided with a groove so as not to interfere with the two positioning pins;
An apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet base material.
ディスペンサは、スタンパ上面の、ニップローラによる可撓性シート基材の押し付け開始位置近傍に樹脂を塗出するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The dispenser is adapted to apply a resin on the upper surface of the stamper in the vicinity of the pressing start position of the flexible sheet substrate by the nip roller. Pattern replication device. ディスペンサは、スタンパ及び可撓性シート基材に対するニップローラの相対移動方向に対して垂直な方向に沿って移動しながら樹脂を塗出するようになっていることを特徴とする請求項2に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The dispenser is adapted to apply resin while moving along a direction perpendicular to the relative movement direction of the nip roller with respect to the stamper and the flexible sheet base material. An apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate. ディスペンサは、移動の途中で間欠的に停止するようになっていることを特徴とする請求項3に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。4. The apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate according to claim 3, wherein the dispenser stops intermittently during the movement. ディスペンサは、樹脂の塗出位置及び塗出量を適宜に制御可能となっていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the dispenser can appropriately control the application position and the application amount of the resin. ディスペンサは、樹脂の塗出口を有しており、当該塗出口のスタンパ上面に対する高さが適宜に制御可能となっていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。6. The flexibility according to claim 1, wherein the dispenser has a resin coating outlet, and the height of the coating outlet with respect to the upper surface of the stamper can be appropriately controlled. Pattern replication device for sheet base material. シート供給部は、可撓性シート基材を弛まないように供給するようになっていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。7. The pattern duplicating apparatus for a flexible sheet base material according to claim 1, wherein the sheet supply unit supplies the flexible sheet base material so as not to loosen. . 樹脂は、紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate according to any one of claims 1 to 7, wherein the resin is an ultraviolet curable resin. 紫外線照射装置を更に備えたことを特徴とする請求項8に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet substrate according to claim 8, further comprising an ultraviolet irradiation device. 紫外線硬化型樹脂が硬化した後で可撓性シートをスタンパから剥離する剥離部を更に備えたことを特徴とする請求項9に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet base material according to claim 9, further comprising a peeling portion for peeling the flexible sheet from the stamper after the ultraviolet curable resin is cured. スタンパは、ディスペンサが設けられた領域と、シート供給部及びニップローラが設けられた領域と、紫外線照射装置が設けられた領域と、剥離部が設けられた領域と、を順に移動するスタンパテーブル上に載置されていることを特徴とする請求項10に記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The stamper is placed on a stamper table that sequentially moves in an area where a dispenser is provided, an area where a sheet supply unit and a nip roller are provided, an area where an ultraviolet irradiation device is provided, and an area where a peeling unit is provided. The apparatus for replicating a pattern onto a flexible sheet base material according to claim 10, wherein the pattern duplication apparatus is placed. スタンパの凹凸パターンと逆凹凸の関係に形成される樹脂による凹凸パターンは、光学的記録媒体の凹凸状情報トラックであることを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の可撓性シート基材へのパターン複製装置。The flexible sheet according to any one of claims 1 to 11, wherein the concave / convex pattern made of resin formed in a relationship between the concave / convex pattern of the stamper and the reverse concave / convex pattern is a concave / convex information track of an optical recording medium. A device for pattern replication onto a substrate.
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