JP4440034B2 - 無声放電形オゾン発生管およびそれを備えた無声放電形オゾン発生装置 - Google Patents
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Description
オゾン発生装置の筐体は、両端が開口している筒状をしたステンレス鋼からなる胴部1と、その両開口端部にそれぞれ締めつけられている2つのステンレス鋼からなる側板9および10とによって構成されている。2つの側板9および10と胴部1とは気密に結合される必要があるため、両開口端部のそれぞれにパッキン20および21を介して、ネジ(図示していない)などの締めつけ手段を用いて気密に結合されている。胴部1の内面側には、多数のオゾン発生管を保持するための、少なくとも一対のステンレス鋼からなる支持板11および12が互いに適当な間隔をおいて嵌め込まれている。胴部1の管壁には、側板9と側板9側の支持板11との中間の位置に、原料ガスを供給するためのガス入口5が有り、反対側の側板10と側板10側の支持板12との中間の位置に、生成されたオゾンを含むガスを取り出すためのガス出口6がある。更に、2つの支持板11および12の中間の位置に、冷却水を流入させる為の冷却水入口7と、冷却水を排出するための冷却水出口8とが、ほぼ対向して設けられている。通常は、冷却水入口7が下部に、冷却水出口8が上部に設けられる。また、胴部1の側板9に近い位置に高電圧導入端子18が装着されている。
絶縁チューブ28が用いられているのは、高電圧電極4と胴部1とを電気的に絶縁するためであり、冷却水系にイオン交換器25が設置されているのは、冷却水の電気抵抗値を高く保って、冷却水による絶縁不良を発生させないためである。
オゾン発生管は、支持板11および12に形成されている貫通孔に嵌め込まれて支持板11および12に支持されており、その接触部は、冷却水が漏れないようにOリング(図示していない)によってシールされている。
筐体、オゾン発生管などにステンレス鋼を使用しているのは、ステンレス鋼がオゾンの強い酸化作用に対して耐性を有するからである。
オゾン発生管の接地電極3を冷却する冷却水は、既述の高電圧電極4の冷却水と共通に熱交換器24で冷却されてポンプ23で加圧され、冷却配管22を通って冷却水入口から水ジャケット2に供給されて接地電極3を冷却し、冷却水出口8から冷却配管22を通って熱交換器24に戻る。この冷却系は高電圧電極4の冷却をも兼ねているため、高純度水を使用した水供給系となっており、既述の様にイオン交換器25を備えている。接地電極3の冷却には高抵抗の純水を必要とはしないが、冷却システムを簡素化するために高純度水を用いている。
このような両面冷却オゾン発生装置において、ガス入口5から供給された酸素を含む原料ガス(空気あるいは酸素など)は、側板9側の接地電極3の開口部から放電ギャップ15に流入し、放電ギャップ15における無声放電によって酸素の一部がオゾン化され、オゾンを含むガスとなってガス出口6から取り出される。ガス出口6の後方には圧力調整弁(図示していない)が装着されており、ガスの圧力値を例えば1.6気圧に調整して、オゾンを含むガス消費設備に供給する。
これらのグラフからも分かるように、従来のオゾン発生装置を使用してオゾンを発生させるときには、そのオゾンのオゾン濃度が安定せず、変動するという不都合さがある。このような現象が起きる理由は明確ではないが、オゾン発生装置の置かれた環境や雰囲気、つまり水分、油分や誇りなどに影響されるのではないかと推測される。また、オゾン発生管を取り付けるときの環境や雰囲気にも影響されるのではないかと推測される。
そこで、本発明の課題は、発生オゾン濃度を安定・維持することができるとともに、発生オゾン濃度が変動する時間を短くすることができるオゾン発生用電極を有するオゾン発生管およびそれを備えるオゾン発生装置を提供することにある。また、殺菌、脱色、脱臭などの処理プロセスに組み込まれた場合に、予備運転時間を短くすることができる、オゾン発生装置を提供することにある。
すなわち、本発明の請求項1に係る発明は、両端が開口された筒状をなした接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して配置された円筒状の高電圧電極からなり、接地電極と高電圧電極のどちらか一方の電極表面に誘電体層を有し、酸素を含む原料ガスの放電によりオゾンを生成するオゾン発生管において、前記誘電体層を有さない電極の金属電極の表面に厚みが0.1μm以上2μm以下であって、Crの酸化物量を10%〜20%、Niの酸化物量を0%〜15%、Feの酸化物量を65%〜90%の組成からなる金属酸化物の被覆層を有することを特徴とする。
請求項2に係る発明は、請求項1記載の無声放電形オゾン発生管において、前記金属酸化物の被覆層が、前記接地電極と高電圧電極の電極間に酸素濃度99.8%以上の純高濃度酸素ガス雰囲気下放電酸化処理して形成される金属酸化物の被覆層であることを特徴とする。
請求項4に係る発明は、請求項3記載の無声放電形オゾン発生装置において、前記金属酸化物の被覆層が、前記接地電極と高電圧電極の電極間に酸素濃度99.8%以上の純高濃度酸素ガス雰囲気下放電酸化処理して形成される金属酸化物の被覆層であることを特徴とする。
なお、特開平8−165106号公報には電極表面に金属酸化膜を被覆した電極構造を有するオゾン発生装置が開示されているが、そこでの金属酸化膜は自然酸化膜であり、その酸化膜の厚みは一般的に数十オングストロ−ム程度でしかない。そして、前記文献記載の発明は、オゾン濃度が高いオゾンを発生させることが目的であり、本発明の目的や効果を何ら開示してはいない。
本発明では、用いる対向電極は従来からすでに使用されている対向電極であればとくに制限されないのである。最も一般的な素材である、ステンレススチール(以下、SUSということがある)製の電極が好ましいが、そのほか、アルミニウム製あるいは鉄製などの導電性のある金属製の電極も使用可能である。
前記対向電極のうち、どちらか一方の電極表面には誘電体層を配置する。この誘電体は一般的な材質を使用し、一般的な方法を適用すればよいのであり、たとえばガラスをライニング処理することにより電極表面には誘電体層を形成することができる。
金属酸化物の層の厚みは電子顕微鏡等で確認することができる。また、収束イオンビーム(FIB)機能を有する走査型電子顕微鏡付きエネルギー分散型X線元素分析装置(EDX−SEM)を用いて確認することもできる。ここで電極表面から深さ方向に解析していき、酸素のスペクトルが極端に減った地点を知り、その地点までの厚みを金属酸化物の層の厚みとする。
前記金属酸化物の被覆層はFeの酸化物およびCrの酸化物からなる金属酸化物の被覆層あるいはFeの酸化物、Crの酸化物およびNi酸化物からなる金属酸化物の被覆層であることも本発明の特徴の一つである。とくにCr の酸化物量が10%〜20%、Niの酸化物量が0%〜15%、 Feの酸化物量が65%〜90%である組成からなる被服層とすることが本発明の目的を達成するためには好ましい。なお、本発明では「%」はとくに断らない限り「重量%」である。また、酸化物量の測定は電子プローブ微小部解析法(EPMA)によった。
本発明では、対向電極間の保持方法、オゾン発生管を内蔵する筐体、オゾン発生装置の冷却法、冷却媒質などは、一般的なものを使用すればよい。
図1に、電極の表面にFeの酸化物およびCrの酸化物の層あるいはFeの酸化物、Crの酸化物およびNiの酸化物の層で被覆した円筒高電圧電極の概念図を示す。
円筒高電圧電極の外側に放電空間を介して、内側に誘電体をライニングされた円筒接地電極を同軸状に配置し、オゾン発生管が構成される。
この円筒高電圧電極表面には、Feの酸化物およびCrの酸化物の層あるいはFeの酸化物、Crの酸化物およびNiの酸化物の層(以下、Fe、Cr、Niの酸化物の層ということがある)29が隙間なく被覆されている。その層の厚さは0.1μm以上である。なお、前記層の厚みは2μm以下とすることが好ましい。
Feの酸化物、Crの酸化物およびNiの酸化物の比率は、Crの酸化物が10%〜20%、Niの酸化物が0%〜15%であり、残部がFeの酸化物である。
この金属酸化物の被覆層は次のとおりである。対向電極間に酸素濃度99.8%以上の純高濃度酸素ガスを、約2MPaで圧入し、室温下、4,5〜30時間放電処理すると、電極表面に緻密に被覆された金属酸化物の層が形成される。
この円筒高電圧電極を有するオゾン発生装置が、なぜオゾン発生濃度が変動する時間を短くすることができるのであるか、その理由は解明されたわけではないが、円筒高電圧電極の表面を前記比較的厚めの金属酸化物の被覆層であって、特定の比率のFe、Cr、Niの酸化物の層で覆うことによって電極表面状態が安定し、無声放電による金属電極表面の変化を防ぐことができるため、オゾン発生特性を常に安定化させることができる、と推測される。
(1)両端が開口された筒状をなした接地電極と円筒状の高電圧電極とのどちらか一方の電極表面に誘電体層を形成する工程前記筒状をなした接地電極に前記円筒状の高電圧電極を一定の間隔を保持して対向設置する工程、前記二つの電極の誘電体層を形成していない表面に厚みが0.1μm以上の金属酸化物の層を被覆する工程および前記対向設置された電極間の空隙に、酸素を含む原料ガスを供給し、電極間の放電によりオゾンを生成する工程を含むことを特徴とするオゾンの生成方法。
(2)電極の表面を被覆した金属酸化物の層がCrの酸化物量を10%〜20%、Niの酸化物量を0%〜15%、Feの酸化物量を65%〜90%の組成からなる層であることを特徴とする前記(1)記載のオゾンの生成方法。
(3)両端が開口された筒状をなした接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して配置された高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極のどちらか一方の電極に誘電体層を有する無声放電形オゾン発生装置用金属電極において、金属電極側表面に厚みが0.1μm以上の金属酸化物の被覆層を有することを特徴とする無声放電形オゾン発生装置用金属電極。
(4)電極の表面を被覆した金属酸化物の層がCrの酸化物量を10%〜20%、Niの酸化物量を0%〜15%、Feの酸化物量を65%〜90%とする組成からなる層であることを特徴とする前記(3)記載の無性放電形オゾン発生装置用金属電極管。
水ジャケット
接地電極
高電圧電極
ガス入り口
ガス出口
冷却水入口
冷却水出口
側板
側板
支持板
支持板
金属管
誘電体層
放電ギャップ
突起体
リード線
電圧導入端子
高周波電源
パッキン
パッキン
冷却配管
ポンプ
熱交換器
イオン交換器
マニホールド
マニホールド
絶縁チューブ
酸化物の層
Claims (4)
- 両端が開口された筒状をなした接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して配置された円筒状の高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極のどちらか一方の電極表面に誘電体層を有し、酸素を含む原料ガスの放電によりオゾンを生成するオゾン発生管において、前記誘電体層を有さない電極の表面に厚みが0.1μm以上2μm以下であって、Crの酸化物量を10%〜20%、Niの酸化物量を0%〜15%、Feの酸化物量を65%〜90%の組成からなる金属酸化物の被覆層を有することを特徴とする無声放電形オゾン発生管。
- 前記金属酸化物の被覆層が、前記接地電極と高電圧電極の電極間に酸素濃度99.8%以上の純高濃度酸素ガス雰囲気下放電酸化処理して形成される金属酸化物の被覆層であることを特徴とする請求項1記載の無声放電形オゾン発生管。
- 両端が開口された筒状をなした接地電極と、その接地電極の内側に空隙を介して配置された円筒状の高電圧電極からなり、前記接地電極と高電圧電極のどちらか一方の電極表面に誘電体層を有するオゾン発生管と、オゾン発生管を内蔵する筐体とを備え、酸素を含む原料ガスの放電によりオゾンを生成するオゾン発生装置において、前記誘電体層を有さない電極の電極表面に厚みが0.1μm以上2μm以下であって、Crの酸化物量を10%〜20%、Niの酸化物量を0%〜15%、Feの酸化物量を65%〜90%の組成からなる金属酸化物の被覆層を有することを特徴とする無声放電形オゾン発生装置。
- 前記金属酸化物の被覆層が、前記接地電極と高電圧電極の電極間に酸素濃度99.8%以上の純高濃度酸素ガス雰囲気下放電酸化処理して形成させる金属酸化物の被覆層であることを特徴とする請求項3記載の無声放電形オゾン発生装置。
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