JP4438709B2 - ウェーハの枚葉式エッチング方法 - Google Patents
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Description
その特徴ある構成は、ウェーハの表面へ所定の供給量のエッチング液を2回以上に分けて間欠的に供給することにより1回で供給するエッチング液によるエッチング取り代を小さくし、1回分のエッチング液を供給した後、エッチング液の供給を止め、供給したエッチング液がウェーハの端部から流れ去った後に次回分のエッチング液を供給して所望のエッチング取り代を確保するところにある。
請求項1に係る発明では、エッチング液を間欠的に供給することで1回で供給するエッチング液によるエッチング取り代を小さくし、1回分のエッチング液を供給した後はエッチング液の供給を止めて、供給したエッチング液がウェーハの端部から流れ去った後に次回分のエッチング液を供給するので、ウェーハ端部に留まるエッチング液による局所的な形状崩れを最小限に抑えつつ、ウェーハ裏面への回り込みを防止しながらウェーハ表面だけでなくウェーハ端部も均一にエッチングすることが可能となる。また、エッチング液を上記所定の回数に分けて間欠的に供給するため、所望のエッチング取り代も確保できる。
請求項3に係る発明は、請求項1に係る発明であって、ウェーハの保持がウェーハ裏面をチャックにより真空吸着することにより行われる方法である。
請求項4に係る発明は、請求項1に係る発明であって、エッチング液が酸性エッチング溶液である方法である。
本発明のウェーハの枚葉式エッチング方法は、表裏面が平面化され、端部が面取りされた単一のウェーハを保持した状態でウェーハの表面に所定の供給量でエッチング液を供給し、ウェーハを水平回転させることにより生じた遠心力によりウェーハ表面及びウェーハ端部を所望の取り代でエッチングし、エッチングの際に、ウェーハ裏面と裏面側端部の間の位置から裏面側端部に向かってガスを送り込み、エッチング液がウェーハ裏面へと回り込むのを防止する枚葉式エッチング方法の改良である。その特徴ある構成は、ウェーハの表面へ所定の供給量のエッチング液を2回以上、好ましくは2回〜5回に分けて間欠的に供給することにより1回で供給するエッチング液によるエッチング取り代を小さくし、1回分のエッチング液を供給した後、エッチング液の供給を止め、供給したエッチング液がウェーハの端部から流れ去った後に次回分のエッチング液を供給して所望のエッチング取り代を確保するところにある。
<実施例1>
先ず、端部に面取りが施され、表裏面が平坦化処理された300mmφのシリコンウェーハを用意した。また、HF、HNO3、H3PO4及びH2Oが重量比で7.0%:31.7%:34.6%:26.7%の混合割合で含有したエッチング液を用意した。面取りが施されたウェーハの断面形状を図2に示す。図2において、tはウェーハの厚さを、A1はウェーハ表面側の面取り幅を、A2はウェーハ裏面側の面取り幅を、Rはウェーハ端部の曲率半径を、θ1はウェーハ表面側端部の面取り角度を、θ2はウェーハ裏面側端部の面取り角度をそれぞれ示す。
次いで、図1に示す枚葉式エッチング装置のチャックに表面が上面となるようにウェーハを載置した。次に、ウェーハを水平回転させ、ウェーハ上方に設けられた供給ノズルからエッチング液をウェーハの上面に供給して水平回転により生じた遠心力により、エッチング液をウェーハ表面及びウェーハ表面側端部にまで行き渡らせることで平坦化処理により生じた加工変質層をエッチングした。また、円筒状ブロックの内部を貫通するガス供給通路からはウェーハ裏面と裏面側端部の間の位置から裏面側端部に向かって窒素ガスを送り込み、エッチング液の一部がウェーハ裏面側端部からウェーハ裏面へと回り込むのをこの窒素ガスの流れにより防止した。エッチング液の供給は、1回分のエッチング取り代が約3μmとなるようにエッチング液の供給量を制御し、1回分のエッチング液を供給した後、エッチング液の供給を止め、10〜15秒間の間隔をおいて、供給したエッチング液がウェーハの端部から流れ去った後に次回分のエッチング液を供給するようにし、ウェーハの表面へエッチング液を5回に分けて間欠的に供給することにより、シリコンウェーハの表面を合計15μmエッチングした。
エッチング液の供給を連続供給した以外は実施例1と同様にしてシリコンウェーハの表面を合計15μmエッチングした。
エッチング液の供給を連続供給し、かつ円筒状ブロックの内部を貫通するガス供給通路よりウェーハ裏面と裏面側端部の間の位置から裏面側端部に向かってガスを送り込まない以外は実施例1と同様にしてシリコンウェーハの表面を合計15μmエッチングした。
実施例1及び比較例1,2の枚葉式エッチングを施したシリコンウェーハのウェーハ表面側の面取り幅A1、ウェーハ裏面側の面取り幅A2及びウェーハ端部の曲率半径Rについて、45°間隔で7点測定した。また、枚葉式エッチングを施す前のシリコンウェーハについても同様に面取り幅A1、面取り幅A2及び曲率半径Rをそれぞれ測定した。
11 ウェーハ回転手段
12 回り込み防止手段
13 エッチング液供給手段
14 カップ
15 ウェーハ
20 エッチング液
Claims (4)
- 表裏面が平面化され、端部が面取りされた単一のウェーハを保持した状態で前記ウェーハの表面に所定の供給量でエッチング液を供給し、前記ウェーハを水平回転させることにより生じた遠心力により前記ウェーハ表面及びウェーハ表面側端部を所望の取り代でエッチングし、前記エッチングの際に、前記ウェーハ裏面と裏面側端部の間の位置から裏面側端部に向かってガスを送り込み、エッチング液がウェーハ裏面へと回り込むのを防止する前記枚葉式エッチング方法において、
前記ウェーハの表面へ前記所定の供給量のエッチング液を2回以上に分けて間欠的に供給することにより1回で供給するエッチング液によるエッチング取り代を小さくし、1回分のエッチング液を供給した後、前記エッチング液の供給を止め、前記供給したエッチング液が前記ウェーハの端部から流れ去った後に次回分のエッチング液を供給して前記所望のエッチング取り代を確保することを特徴とするウェーハの枚葉式エッチング方法。 - 2回以上に分けて間欠的に供給するエッチング液の供給量及び供給時間をそれぞれ均一とする請求項1記載の方法。
- ウェーハの保持が前記ウェーハ裏面をチャックにより真空吸着することにより行われる請求項1記載の方法。
- エッチング液が酸性エッチング溶液である請求項1記載の方法。
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