JP4437240B2 - How to attach / detach the gasket - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、リテーナに保持されたガスケットを２つの継手部材間に介在させるさいに使用されるガスケット着脱方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
第１および第２の継手部材と、両継手部材の突合わせ端面間に介在させられる円環状ガスケットと、いずれか一方の継手部材の突合わせ端部に係合する継手部材保持部を有しガスケットを保持してこれを該継手部材に保持させるリテーナとを備えている流体継手は、半導体製造用流体制御装置によく用いられているが、リテーナに保持されたガスケットを継手部材に着脱するさいには、手によるのが普通で、ガスケット着脱具は全く知られていなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
半導体製造用流体制御装置には、極めて厳しいクリーン度が要求され、ガスケットを着脱するさい、ガスケットと継手部材とのこすれによる微粒子の発生を極力抑える必要がある。一方、この種の流体制御装置では、各種制御機器を集積化することにより、そのコンパクト化が図られており、ガスケットを継手部材に着脱するさいには狭い場所での作業が必要となり、手による場合、作業性が悪いのに加えて、ガスケットと継手部材とのこすれを抑えるのにも限界があった。
【０００４】
この発明の目的は、ガスケット着脱具を使用することにより、ガスケットを２つの継手部材間に介在させるさいの作業性を向上させるとともに、ガスケットおよび継手部材により構成された流体継手のクリーン度も向上させたガスケット着脱方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明によるガスケット着脱方法は、ガスケット収納凹所とガスケット収納凹所の外側にあるリテーナ収納凹所とがそれぞれ突き合わせ端面に設けられている第１および第２の継手部材と、両継手部材の突合わせ端面間に介在させられるガスケットと、ガスケットの外周面を保持するガスケット保持部およびいずれか一方の継手部材(12)の突合わせ端部に係合する継手部材保持部を有しガスケットを保持した状態で該継手部材に着脱されるリテーナとよりなる流体継手を組み立てる際のガスケット着脱方法であって、ガスケット着脱具を使用するものとし、該ガスケット着脱具は、一対の板状部材が基端部同士接合されるとともにその中程部分で交差させられることにより形成され、基端部近くを両板状部材が接近するように押さえることにより両板状部材の先端部同士の間隔が広がるようになされた板バネ部(81)と、各板状部材の先端部に互いに向かい合うように設けられた一対の半円筒状部材により形成され、両半円筒状部材同士が互いに接近することによりガスケットを保持したリテーナを保持するようになされた保持部とよりなり、各半円筒状部材は、リテーナの外周面に外側から当てられる周壁と、リテーナの上面に上側から当てられてリテーナの軸方向の移動を阻止する頂壁とを有し、ガスケット着脱具の使用に際し、ガスケットを保持したリテーナを着脱具の保持部内に嵌め入れて、着脱具の保持部を継手部材の端部に押し付け、ガスケットをガスケット収納凹所の底面に当接させることを特徴とするものである。
【０００６】
この発明のガスケット着脱方法によると、両板状部材の基端部近くを両板状部材が接近するように指で押さえることにより両板状部材の先端部同士の間隔を広げ、ガスケットを保持したリテーナを外側から囲むように保持部を位置させてから指の力を抜くと、両板状部材の先端部同士の間隔が狭まり、これに伴って半円筒状部材同士が互いに接近する。これにより、ガスケットを保持したリテーナは保持部に保持される。この状態で、ガスケット着脱具の保持部を継手部材の端部に押し付けると、リテーナの継手部材保持部が継手部材の端部に係合する。ここで、再び、両板状部材の基端部近くを両板状部材が接近するように指で押さえることにより両板状部材の先端部同士の間隔を広げ、ガスケット着脱具を継手部材の端部から離隔させる。これにより、ガスケットを保持したリテーナを一方の継手部材に保持させることができる。また、一方の継手部材に保持されているリテーナを保持部に保持して、ガスケット着脱具を継手部材の端部から離隔させることにより、ガスケットを保持したリテーナを継手部材から抜き取ることも可能である。
【０００７】
上記のガスケット着脱操作は、簡単で、狭い場所でも容易に行えるため、ガスケットを２つの継手部材間に介在させるさいの作業性が向上し、しかも、ガスケットやリテーナを手でさわらなくてもよいので、流体継手のクリーン度も向上する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【０００９】
図５から図７までは、この発明のガスケット着脱方法が使用される流体制御装置を示している。
【００１０】
図５に示す流体制御装置は、左から順に、流体流入部(1)、第１開閉弁(2)、マスフローコントローラ（調整器）(3)、第２開閉弁(4)および流体流出部(5)を備えている。第１開閉弁(2)は、左向きに開口した流入路(42)および右向きに開口した流出路(50)を有するブロック状本体(6)と、両流路(42)(50)を開閉するアクチュエータ(7)とよりなる。同様に、第２開閉弁(4)は、左向きに開口した流入路(53)および右向きに開口した流出路(48)を有するブロック状本体(8)と、両流路(53)(48)を開閉するアクチュエータ(9)よりなる。
【００１１】
調整器(3)の左右側面の下端部には、左右上側通路ブロック(10)(11)が左右に張り出して設けられている。左上側通路ブロック(10)には、調整器(3)の流入路（図示略）に連通しかつ下向きに開口した流入路(51)が設けられており、右上側通路ブロック(11)には、調整器(3)の流出路（図示略）に連通しかつ下向きに開口した流出路(54)が設けられている。調整器(3)と左右上側通路ブロック(10)(11)とは、図示省略したが、側方からねじ込まれたねじにより固定されている。
【００１２】
左右上側通路ブロック(10)(11)の下方には、それぞれ左右下側通路ブロック(12)(13)が設けられ、左下側通路ブロック(12)の左面に第１開閉弁(2)の本体(6)の右面が、右下側通路ブロック(13)の右面に第２開閉弁(4)の本体(8)の左面がそれぞれ当接させられている。
【００１３】
左下側通路ブロック(12)には、第１開閉弁(2)の右向きに開口した流出路(50)と左上側通路ブロック(10)の下向きに開口した流入路(51)とを連通する流入路(49)が設けられ、右下側通路ブロック(13)には、右上側通路ブロック(11)の下向きに開口した流出路(54)と第２開閉弁(4)の左向きに開口した流入路(53)とを連通する流出路(52)が形成されている。
【００１４】
第１開閉弁(2)の本体(6)と左下側通路ブロック(12)とは、左下側通路ブロック(12)の右方よりねじ込まれたねじ(22)により連結されている。同様に、第２開閉弁(4)の本体(8)と右下側通路ブロック(13)とは、右下側通路ブロック(13)の左方よりねじ込まれたねじ(22)により連結されている。さらに、左右上側通路ブロック(10)(11)と左右下側通路ブロック(12)(13)とは、それぞれ左右上側通路ブロック(10)(11)の上方よりねじ込まれたねじ(23)により連結されている。
【００１５】
第１開閉弁(2)の本体(6)と左下側通路ブロック(12)との間、第２開閉弁(4)の本体(8)と右下側通路ブロック(13)との間、左右上側通路ブロック(10)(11)と左右下側通路ブロック(12)(13)との間および調整器(3)と左右上側通路ブロック(10)(11)との間には、それぞれ流体継手(27)が設けられている。
【００１６】
図６を参照して、左上側通路ブロック（以下、第１継手部材と称す）(10)と左下側通路ブロック（以下、第２継手部材と称す）(12)との間に設けられた流体継手(27)について説明する。
【００１７】
流体継手(27)は、第１の流路(51)を有する第１継手部材(10)と第１の流路(51)に通じる第２の流路(49)を有する第２継手部材(12)とを流体密に連結するための構成であって、後述する形状に形成された両継手部材(10)(12)の突合わせ端面と、両継手部材(10)(12)の突合わせ端面間に介在させられている円環状ガスケット(32)と、ガスケット(32)の外周面を保持してガスケット(32)を図示した例では第２の継手部材(12)に保持させているリテーナ(33)と、両継手部材(10)(12)を連結するねじ手段とよりなる。
【００１８】
第１継手部材(10)および第２継手部材(12)の突き合わせ端面には、ガスケット(32)の厚みの約半分凹まされたガスケット収納凹所(34)(35)と、ガスケット収納凹所(34)(35)の外側にありかつこれより深い環状のリテーナ収納凹所(36)(37)とがそれぞれ設けられている。各ガスケット収納凹所(34)(35)の底面の径方向ほぼ中央に、ガスケット押さえ用環状突起(38)(39)が設けられている。これらのガスケット収納凹所(34)(35)、リテーナ収納凹所(36)(37)およびガスケット押さえ用環状突起(38)(39)は、第１継手部材(10)と第２継手部材(12)とで同一形状となるように形成されている。
【００１９】
ガスケット(32)は、ステンレス鋼製で、両継手部材(10)(12)の流路(51)(49)径に等しい内径を有しており、小径部(61)とこれよりも外径の大きい大径部(62)とよりなる。
【００２０】
リテーナ(33)は、ステンレス鋼板で一体的に形成されたもので、図７に詳しく示すように、骨格となる円環部(71)と、ガスケット(32)の外周面を保持するためのガスケット保持部(72)と、継手部材(10)(12)の端部を保持するための継手部材保持部(73)と、指でつかみやすくするための把手部(74)とを備えている。円環部(71)は、断面Ｌ形であり、指で押さえる程度の力では径方向に変形しないようになされている。ガスケット保持部(72)は、円環部(71)の内周面に等間隔で設けられかつ径方向内方に突出した４つのガスケット保持用爪(72a)よりなる。各爪(72a)は、それぞれ若干の弾性を有しており、各爪(72a)の先端が軸方向に折曲げられて、この折曲げ部(72b)の内周面がガスケット(32)の小径部(61)の外周面を弾性力によって押圧するようになされている。これにより、ガスケット(32)のリテーナ(33)内における径方向および軸方向への移動が阻止されている。ガスケット(32)をリテーナ(33)に嵌め入れるさいには、ガスケット(32)の大径部(62)がガスケット保持用爪(72a)に当たって抜止めが果たされ、ガスケット(32)はリテーナ(33)から脱落することがない。継手部材保持部(73)は、円環部(71)の内周面に径方向内方に突出して対向状に設けられた２つの内方突出縁部(71a)の各先端より軸方向にのびる２つの継手部材保持用爪(73a)よりなる。各継手部材保持用爪(73a)は、ガスケット保持用爪(72a)よりも大きくなされて、２つのガスケット保持用爪(72a)の間に、それぞれ若干の隙間をおいて位置させられている。各継手部材保持用爪(73a)は、それぞれ若干の弾性を有しており、２つの爪(73a)が第１継手部材(10)のリテーナ保持用円筒部(14)の外周面を弾性力によって挾みつけることにより、リテーナ(33)が第１継手部材(10)に保持されている。把手部(74)は、継手部材保持用爪(73a)が設けられている円環部(71)の部分の外周に設けられかつ継手部材保持用爪(73a)と軸方向反対側に突出させられた２つの把手用爪(74a)よりなる。
【００２１】
上記流体継手(27)によると、リテーナ(33)は、第１および第２の継手部材(10)(12)のどちらでも保持できるから、図５に示す流体制御装置を組立てるさいに、各部材(3)(6)(8)(10)(11)(12)(13)の突き合わせ端面が雄型か雌型かを区別せずに、これらを順次連結していくことができる。また、リテーナ(33)が、ガスケット(32)の小径部(61)が当接している第１継手部材(10)のリテーナ保持用円筒部(14)を保持することにより、第１継手部材(10)のガスケット押さえ用環状突起(38)に対するガスケット(32)の位置決めが正確に行われる。また、第２継手部材(12)については、ガスケット(32)の大径部(62)が当接させられるから、ねじ(23)締め付けにさいして、両継手部材(10)(12)の間に軸方向に対して直角な方向へのずれ（軸ずれ）が生じ、第２継手部材(12)のガスケット押さえ用環状突起(39)がガスケット(32)に対してずれたときでも、ガスケット(32)の端面の面積が大きい分だけ、ガスケット(32)の端面からガスケット押さえ用環状突起(39)が外れにくく、ずれによるシール性の悪化を防ぐことができる。また、流体継手(27)を締付けたときのガスケット(32)の変形が４つのガスケット保持用爪(72a)の変形によって吸収されるので、継手部材保持部(73)は影響を受けることがなく、リテーナ(33)を継手部材(10)に保持する力が低下しない。上記の効果は、流体継手(27)を分解して再組立てする時にも持続され、再組立て時のシール性も確保される。
【００２２】
上記流体制御装置においては、図５からわかるように、マスフローコントローラ(3)と開閉弁(2)(4)との間には、手を入れるスペースがわずかしかなく、ガスケット(33)を着脱する作業は極めてやりにくいものとなっている。
【００２３】
この発明のガスケット着脱方法は、このような状況であってもガスケット(33)を着脱する作業を極めて容易に行い得るガスケット着脱具(80)を使用したものであり、以下に図１から図４までを参照して説明する。
【００２４】
図１に示すように、ガスケット着脱具(80)は、一対の板状部材(81a)が基端部同士接合されることにより形成された板バネ部(81)と、板ばね部(81)の先端部に設けられてガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を保持する保持部(82)とよりなる。
【００２５】
板バネ部(81)は、把手部となる基端側半部(83)と、保持部(82)が設けられている先端側半部(85)と、両半部(83)(85)の間にある交差部(84)とよりなる。基端側半部(83)では、両板状部材(81a)間の間隔は、基端の接合部から離れるほど広がるようになされている。先端側半部(85)では、その先端同士を互いに接近させる付勢力が働くようにようになされており、この先端側半部(85)での板状部材(81a)間の間隔が基端側半部(83)の最大間隔よりも狭くかつほぼ一定となるように、両半部(83)(85)間に交差部(84)が介在されている。こうして、板バネ部(81)は、基端側半部(83)を両板状部材(81a)が接近するように指で押さえることにより両板状部材(81a)の先端側半部(85)の間隔が広がるように構成されている。
【００２６】
保持部(82)は、各板状部材(81a)の先端部に互いに向かい合うように設けられた一対の半円筒状部材(82a)により形成されている。
【００２７】
図２に示すように、保持部(82)の各半円筒状部材(82a)は、リテーナ(33)の外周面に外側から当てられる周壁(86)と、リテーナ(33)の上面に上側から当てられる頂壁(87)と、頂壁(87)より上方に突出して板状部材(81a)の先端部に接合されている上方突出部(88)とよりなる。各半円筒状部材(82a)は、リテーナ(33)の外径に等しい直径を有する完全な半円筒体を直径が作る面に平行な面で切断した形状であり、保持部(82)は、図２に鎖線で示すように、両半円筒状部材(82a)同士の間隔が１ｍｍ程度のときに、両半円筒状部材(82a)の周壁(86)同士の間隔が直径に等しくなるように、すなわち、横断面が間隔部分を除きちょうど円となるように形成されている。また、図３に示すように、周壁(86)の下端から頂壁(87)下面までの距離は、リテーナ(33)の軸方向全長よりも若干小さくなされている。
【００２８】
両半円筒状部材(82a)は、板バネ部(81)の付勢力により互いに当接するように付勢されており、両半円筒状部材(82a)同士の間隔は、板バネ部(81)の基端側半部(83)を押さえる力を調整することにより調整自在とされている。そして、両半円筒状部材(82a)同士が互いに接近することにより、保持部(82)がガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を保持するようになされている。
【００２９】
以下では、リテーナ(33)に保持されたガスケット(32)を第２の継手部材(12)に上から装着する場合を例にして説明する。
【００３０】
板バネ部(81)の基端側半部(83)を先端側半部(85)の板状部材(81a)同士が互いに接近するように指で押さえて、半円筒状部材(82a)同士の間隔を広げ、ガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を両半円筒状部材(82a)により外側から囲むようにしてから指の力を抜くと、板バネ部(81)の付勢力により半円筒状部材(82a)同士の間隔が狭まり、図３および図４に示すように、ガスケット(32)を保持したリテーナ(33)が保持部(82)に保持される。この状態で、保持部(82)を継手部材(12)の端部に押し付けると、リテーナ(33)の軸方向の移動が半円筒状部材(82a)の頂壁(87)に阻止され、図３に鎖線で示すように、リテーナ(33)の継手部材保持部(73)が継手部材(12)のリテーナ収納凹所(37)の周面に係合する。ここで、再び、板バネ部(81)の基端側半部(83)を先端側半部(85)の板状部材(81a)同士が互いに接近するように指で押さえて、半円筒状部材(82a)同士の間隔を広げ、ガスケット着脱具(80)を継手部材(12)の端部から離隔させる。これにより、ガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を継手部材(12)に保持させることができる。この後、第２の継手部材(12)の上に第１の継手部材(10)を載せて、ねじ(23)を締め付けることにより、図６に示すような流体継手(27)が得られる。また、第２の継手部材(12)に保持されているリテーナ(33)を保持部(82)に保持して、ガスケット着脱具(80)を継手部材(12)の端部から離隔させることにより、ガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を継手部材(12)から抜き取ることも可能である。
【００３１】
第１継手部材(10)の端部と第２継手部材(12)の端部とは、同一形状に形成されており、先に、第１継手部材(10)にガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を保持させ、これを第２継手部材(12)の上に載せて、ねじ(23)を締め付けることによっても、図６に示す流体継手(27)が得られる。
【００３２】
上記のガスケット着脱操作は、簡単で、狭い場所でも容易に行えるため、ガスケット(32)を２つの継手部材(10)(12)間に介在させるさいの作業性が向上し、しかも、ガスケット(32)やリテーナ(33)を手でさわらなくてもよいので、流体継手(27)のクリーン度も向上する。なお、第１継手部材(10)、第２継手部材(12)、ガスケット(32)およびリテーナ(33)の上記構成は、一例であり、これらの構成が変更されても、それに対応するガスケット着脱具を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明によるガスケット着脱方法で使用するガスケット着脱具を示す斜視図である。
【図２】 ガスケット着脱具を先端側から見た図である。
【図３】 ガスケット着脱具の使用状態を示す拡大図である。
【図４】 図３のIII-III 線に沿う断面図である。
【図５】 この発明によるガスケット着脱方法を使用してガスケットが着脱される流体制御装置の一例を示す図である。
【図６】 図５のシール部を拡大して示す要部の拡大断面図である。
【図７】 シール部を構成するガスケットおよびリテーナの分解斜視図である。
【符号の説明】
(10) 第１継手部材
(12) 第２継手部材
(27) 流体継手
(32) 円環状ガスケット
(33) リテーナ
(34)(35)ガスケット収納凹所
(36)(37)リテーナ収納凹所
(73) 継手部材保持部
(80) ガスケット着脱具
(81) 板バネ部
(81a) 板状部材
(82) 保持部
(82a) 半円筒状部材
(86) 周壁
(87) 頂壁[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gasket attaching / detaching method used for interposing a gasket held by a retainer between two joint members.
[0002]
[Prior art]
A gasket having first and second joint members, an annular gasket interposed between the butted end surfaces of both joint members, and a joint member holding portion that engages with the butted end of one of the joint members A fluid coupling provided with a retainer that holds the retainer on the joint member is often used in a fluid control device for semiconductor manufacturing. However, when the gasket held on the retainer is attached to or detached from the joint member, It was usually done by hand, and the gasket attaching / detaching tool was not known at all.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The fluid control device for semiconductor manufacturing is required to have extremely strict cleanliness, and it is necessary to suppress generation of fine particles due to rubbing between the gasket and the joint member as much as possible when the gasket is attached and detached. On the other hand, this type of fluid control device is made compact by integrating various control devices, and when attaching and detaching the gasket to and from the joint member, it is necessary to work in a narrow place, and it is done manually. In this case, in addition to the poor workability, there was a limit in suppressing the rubbing between the gasket and the joint member.
[0004]
An object of the present invention is to improve the workability when a gasket is interposed between two joint members by using a gasket attachment / detachment tool , and also improve the cleanliness of a fluid coupling constituted by the gasket and the joint member. to provide a gasket removably method.
[0005]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
Gasket detachable method according to the invention includes first and second coupling member and the outer near Brighter retainer accommodating recesses gasket housing concavity and the gasket housing concavity is provided on the abutting end faces respectively, both fitting Yes and Ruga gasket is interposed between the abutting end faces of the member, the joint member holding portion engaged with butt ends of the gasket holding portion and one of the joint members for holding the outer peripheral surface of the gasket (12) A gasket attachment / detachment method for assembling a fluid coupling comprising a retainer attached / detached to / from the joint member while holding the gasket , wherein the gasket attachment / detachment tool uses a pair of plate-like It is formed by joining the base end parts and intersecting at the middle part of the member, and holding both plate-like members close to the base end part It is formed by a leaf spring part (81) made so that the distance between the tip parts of both plate-like members is widened, and a pair of semi-cylindrical members provided so as to face each other at the tip parts of each plate-like member, Each semi-cylindrical member is made up of a holding portion configured to hold the retainer holding the gasket when the semi-cylindrical members come close to each other. Each semi-cylindrical member includes a peripheral wall applied to the outer peripheral surface of the retainer from the outside, And a top wall that prevents the retainer from moving in the axial direction, and when using the gasket detachable tool, the retainer holding the gasket is fitted into the holder of the detachable tool, Installing pressing the retaining portion to the end portion of the joint member, and is characterized in Rukoto abut the gasket to the bottom surface of the gasket housing concavity.
[0006]
According to the gasket attaching / detaching method of the present invention, the gap between the tip portions of the two plate-like members is widened by holding the gasket close to the base end portions of the two plate-like members with fingers so that the gasket is held. When the holding portion is positioned so as to surround the retainer from the outside and the finger force is removed, the distance between the tip portions of the two plate-like members is narrowed, and accordingly, the semicylindrical members approach each other. Thereby, the retainer holding the gasket is held by the holding portion. In this state, when the holding portion of the gasket attaching / detaching tool is pressed against the end portion of the joint member, the joint member holding portion of the retainer is engaged with the end portion of the joint member. Here, again, the gap between the tips of the two plate-like members is widened by pressing the fingers near the base ends of the two plate-like members so that the two plate-like members approach each other. Separated from the part. Thereby, the retainer holding the gasket can be held by one joint member. It is also possible to pull out the retainer holding the gasket from the joint member by holding the retainer held by one joint member in the holding portion and separating the gasket attachment / detachment tool from the end of the joint member. .
[0007]
The above-mentioned gasket attaching / detaching operation is simple and can be easily performed in a narrow place, so that the workability when the gasket is interposed between the two joint members is improved and the gasket and the retainer need not be touched by hand. The cleanliness of the fluid coupling is also improved.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0009]
5 to 7 show a fluid control apparatus in which the gasket attaching / detaching method of the present invention is used.
[0010]
The fluid control device shown in FIG. 5 includes a fluid inflow portion (1), a first on-off valve (2), a mass flow controller (regulator) (3), a second on-off valve (4), and a fluid outflow portion (in order from the left). 5). The first on-off valve (2) opens and closes the block-shaped body (6) having an inflow passage (42) opened leftward and an outflow passage (50) opened rightward, and both flow passages (42) (50). It consists of an actuator (7). Similarly, the second on-off valve (4) includes a block-shaped body (8) having an inflow passage (53) opened leftward and an outflow passage (48) opened rightward, and both flow passages (53) (48). It consists of an actuator (9) that opens and closes.
[0011]
Left and right upper passage blocks (10) and (11) are provided on the lower ends of the left and right side surfaces of the adjuster (3) so as to protrude left and right. The upper left passage block (10) is provided with an inflow passage (51) that communicates with the inflow passage (not shown) of the regulator (3) and opens downward. The upper right passage block (11) An outflow path (54) communicating with the outflow path (not shown) of the regulator (3) and opening downward is provided. Although not shown, the adjuster (3) and the left and right upper passage blocks (10) (11) are fixed by screws screwed from the side.
[0012]
The left and right lower passage blocks (12) and (13) are provided below the left and right upper passage blocks (10) and (11), respectively, and the main body of the first on-off valve (2) is provided on the left surface of the lower left passage block (12). The right surface of (6) is in contact with the left surface of the main body (8) of the second on-off valve (4) on the right surface of the lower right passage block (13).
[0013]
The lower left passage block (12) has an inflow communicating with an outflow passage (50) opened to the right of the first on-off valve (2) and an inflow passage (51) opened downward in the upper left passage block (10). A passage (49) is provided, and the lower right passage block (13) has an outflow passage (54) opened downward and an inflow opening leftward of the second on-off valve (4). An outflow channel (52) communicating with the channel (53) is formed.
[0014]
The main body (6) of the first on-off valve (2) and the lower left passage block (12) are connected by a screw (22) screwed in from the right side of the lower left passage block (12). Similarly, the main body (8) of the second on-off valve (4) and the lower right passage block (13) are connected by a screw (22) screwed in from the left of the lower right passage block (13). Yes. Further, the left and right upper passage blocks (10) and (11) and the left and right lower passage blocks (12) and (13) are connected by screws (23) screwed from above the left and right upper passage blocks (10) and (11), respectively. Has been.
[0015]
Between the main body (6) of the first on-off valve (2) and the lower left passage block (12), between the main body (8) of the second on-off valve (4) and the lower right passage block (13), left and right Between the upper passage block (10) (11) and the left and right lower passage blocks (12) (13) and between the regulator (3) and the left and right upper passage blocks (10) (11), fluid couplings are respectively provided. (27) is provided.
[0016]
Referring to FIG. 6, the fluid provided between the upper left passage block (hereinafter referred to as the first joint member) (10) and the lower left passage block (hereinafter referred to as the second joint member) (12). The joint (27) will be described.
[0017]
The fluid coupling (27) includes a first coupling member (10) having a first channel (51) and a second coupling member (2) having a second channel (49) communicating with the first channel (51). 12) are fluid-tightly connected to each other, and the joint end faces of both joint members (10) and (12) formed in a shape to be described later, and the joints of both joint members (10) and (12) An annular gasket (32) interposed between the end faces, and a retainer holding the outer peripheral surface of the gasket (32) and holding the gasket (32) on the second joint member (12) in the illustrated example (33) and screw means for connecting the joint members (10) and (12).
[0018]
On the butted end faces of the first joint member (10) and the second joint member (12), there are gasket housing recesses (34) and (35) recessed about half the thickness of the gasket (32), and gasket housing recesses ( An annular retainer receiving recess (36) (37) is provided on the outside of (34) and (35) and deeper than this. Gasket pressing annular projections (38) and (39) are provided at substantially the center in the radial direction of the bottom surface of each gasket housing recess (34) and (35). These gasket storage recesses (34) and (35), retainer storage recesses (36) and (37), and gasket pressing annular projections (38) and (39) are formed by the first joint member (10) and the second joint member ( 12) and the same shape.
[0019]
The gasket (32) is made of stainless steel and has an inner diameter equal to the diameter of the flow path (51) (49) of both joint members (10) (12), and has a smaller diameter portion (61) and an outer diameter larger than this. And a large-diameter portion (62) having a large diameter.
[0020]
The retainer (33) is integrally formed of a stainless steel plate. As shown in detail in FIG. 7, the retainer (33) is a gasket for holding the annular portion (71) as a skeleton and the outer peripheral surface of the gasket (32). A holding portion (72), a joint member holding portion (73) for holding the end portions of the joint members (10) and (12), and a handle portion (74) for easily grasping with a finger are provided. The annular portion (71) has an L-shaped cross section, and is not deformed in the radial direction by a force that can be held by a finger. The gasket holding portion (72) includes four gasket holding claws (72a) provided at equal intervals on the inner peripheral surface of the annular portion (71) and projecting radially inward. Each claw (72a) has a slight elasticity, the tip of each claw (72a) is bent in the axial direction, and the inner peripheral surface of this bent part (72b) is the gasket (32). The outer peripheral surface of the small diameter portion (61) is pressed by an elastic force. This prevents the gasket (32) from moving in the radial direction and the axial direction in the retainer (33). When fitting the gasket (32) into the retainer (33), the large diameter portion (62) of the gasket (32) hits the gasket retaining pawl (72a) to prevent the gasket (32) from being removed. 33) will not fall off. The joint member holding portion (73) extends axially from the tips of the two inwardly projecting edge portions (71a) that are provided radially inwardly on the inner peripheral surface of the annular portion (71). It consists of two extending joint member holding claws (73a). Each joint member holding claw (73a) is larger than the gasket holding claw (72a), and is positioned between the two gasket holding claws (72a) with a slight gap between them. Each of the joint member holding claws (73a) has a slight elasticity, and the two claws (73a) have an elastic force on the outer peripheral surface of the retainer holding cylindrical portion (14) of the first joint member (10). Thus, the retainer (33) is held by the first joint member (10). The handle portion (74) is provided on the outer periphery of the annular portion (71) where the joint member holding claws (73a) are provided, and protrudes to the opposite side of the joint member holding claws (73a) in the axial direction. 2 grip claws (74a).
[0021]
According to the fluid coupling (27), the retainer (33) can be held by either the first or second coupling member (10) (12). Therefore, when assembling the fluid control device shown in FIG. (3) (6) (8) (10) (11) (12) (13) can be sequentially connected without distinguishing whether the butt end face is male or female. Further, the retainer (33) holds the retainer holding cylindrical portion (14) of the first joint member (10) with which the small diameter portion (61) of the gasket (32) is in contact, so that the first joint member ( Positioning of the gasket (32) with respect to the annular protrusion (38) for gasket pressing in (10) is performed accurately. In addition, since the large-diameter portion (62) of the gasket (32) is brought into contact with the second joint member (12), when tightening the screw (23), the space between the joint members (10) and (12) is reduced. Even when the annular protrusion (39) of the second joint member (12) is displaced with respect to the gasket (32), the gasket (32) is displaced in the direction perpendicular to the axial direction. As the area of the end face of 32) is larger, the annular protrusion (39) for holding the gasket is less likely to come off from the end face of the gasket (32), and deterioration of the sealing performance due to the shift can be prevented. Further, since the deformation of the gasket (32) when the fluid coupling (27) is tightened is absorbed by the deformation of the four gasket holding claws (72a), the coupling member holding portion (73) is not affected. The force for holding the retainer (33) on the joint member (10) does not decrease. The above effect is maintained even when the fluid coupling (27) is disassembled and reassembled, and the sealing performance at the time of reassembly is ensured.
[0022]
In the fluid control device, as can be seen from FIG. 5, there is little space for putting a hand between the mass flow controller (3) and the on-off valves (2) and (4), and the gasket (33) is attached and detached. The work is extremely difficult.
[0023]
The gasket attaching / detaching method of the present invention uses the gasket attaching / detaching tool (80) that can perform the operation of attaching / detaching the gasket (33) very easily even in such a situation. This will be described with reference to the above.
[0024]
As shown in FIG. 1, the gasket attaching / detaching tool (80) includes a leaf spring portion (81) formed by joining a pair of plate-like members (81a) to the base end portions, and a leaf spring portion (81). And a holding portion (82) for holding the retainer (33) holding the gasket (32).
[0025]
The leaf spring portion (81) includes a proximal half (83) serving as a grip portion, a distal half (85) provided with a holding portion (82), and both halves (83) (85). And an intersection (84) between the two. In the proximal half (83), the distance between the two plate-like members (81a) increases as the distance from the joint at the proximal end increases. The distal half (85) is configured to exert an urging force that causes the distal ends to approach each other, and the distance between the plate-like members (81a) at the distal half (85) is the base end. An intersection (84) is interposed between both halves (83) and (85) so as to be narrower and substantially constant than the maximum interval between the side halves (83). In this way, the leaf spring portion (81) is configured such that the proximal half (83) is pressed with a finger so that the two plate-like members (81a) approach each other, thereby causing the distal half (85) of both plate-like members (81a). ) Is widened.
[0026]
The holding part (82) is formed by a pair of semi-cylindrical members (82a) provided to face each other at the tip of each plate-like member (81a).
[0027]
As shown in FIG. 2, each semi-cylindrical member (82 a) of the holding portion (82) includes a peripheral wall (86) applied from the outside to the outer peripheral surface of the retainer (33), and an upper surface of the retainer (33) from the upper side. A top wall (87) to be applied and an upper projecting portion (88) projecting upward from the top wall (87) and joined to the tip of the plate-like member (81a). Each semi-cylindrical member (82a) has a shape obtained by cutting a complete semi-cylindrical body having a diameter equal to the outer diameter of the retainer (33) by a plane parallel to the surface of which the diameter is formed, and the holding portion (82) As shown by the chain line in FIG. 2, when the distance between the two semi-cylindrical members (82a) is about 1 mm, the distance between the peripheral walls (86) of the two semi-cylindrical members (82a) is equal to the diameter. That is, the cross section is formed so as to be a circle except for the interval portion. Further, as shown in FIG. 3, the distance from the lower end of the peripheral wall (86) to the lower surface of the top wall (87) is slightly smaller than the total axial length of the retainer (33).
[0028]
Both the semi-cylindrical members (82a) are urged so as to contact each other by the urging force of the leaf spring portion (81), and the interval between the both semi-cylindrical members (82a) is determined by the leaf spring portion (81). It can be adjusted by adjusting the force to hold down the proximal half (83). Then, the two semi-cylindrical members (82a) approach each other, whereby the holding portion (82) holds the retainer (33) holding the gasket (32).
[0029]
Hereinafter, the case where the gasket (32) held by the retainer (33) is attached to the second joint member (12) from above will be described as an example.
[0030]
Hold the proximal half (83) of the leaf spring part (81) with fingers so that the plate-like members (81a) of the distal half part (85) approach each other, and the semi-cylindrical members (82a) When the finger force is released after the retainer (33) holding the gasket (32) is surrounded from the outside by both semi-cylindrical members (82a), the half-cylinder is urged by the biasing force of the leaf spring (81). As shown in FIGS. 3 and 4, the retainer (33) holding the gasket (32) is held by the holding portion (82). In this state, when the holding portion (82) is pressed against the end of the joint member (12), the axial movement of the retainer (33) is prevented by the top wall (87) of the semi-cylindrical member (82a). 3, the joint member holding portion (73) of the retainer (33) engages with the peripheral surface of the retainer housing recess (37) of the joint member (12). Here, again, the proximal half (83) of the leaf spring part (81) is pressed with a finger so that the plate-like members (81a) of the distal half part (85) are close to each other, and is semicylindrical. The space between the members (82a) is widened, and the gasket attaching / detaching tool (80) is separated from the end of the joint member (12). Thereby, the retainer (33) holding the gasket (32) can be held by the joint member (12). Thereafter, the fluid coupling (27) as shown in FIG. 6 is obtained by placing the first coupling member (10) on the second coupling member (12) and tightening the screw (23). Further, the retainer (33) held by the second joint member (12) is held by the holding portion (82), and the gasket attaching / detaching tool (80) is separated from the end of the joint member (12). The retainer (33) holding the gasket (32) can be removed from the joint member (12).
[0031]
The end portion of the first joint member (10) and the end portion of the second joint member (12) are formed in the same shape, and the gasket (32) is first held by the first joint member (10). The fluid coupling (27) shown in FIG. 6 can also be obtained by holding the retainer (33), placing the retainer (33) on the second coupling member (12), and tightening the screw (23).
[0032]
The above-described gasket attaching / detaching operation is simple and can be easily performed in a narrow space, so that the workability when the gasket (32) is interposed between the two joint members (10) (12) is improved, and the gasket (32 ) And the retainer (33) do not have to be touched by hand, the cleanliness of the fluid coupling (27) is also improved. In addition, the said structure of a 1st joint member (10), a 2nd joint member (12), a gasket (32), and a retainer (33) is an example, and even if these structures are changed, the corresponding gasket attachment or detachment is possible. You can easily get the ingredients.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a gasket attaching / detaching tool used in a gasket attaching / detaching method according to the present invention.
FIG. 2 is a view of a gasket attaching / detaching tool as viewed from the tip side.
FIG. 3 is an enlarged view showing a usage state of the gasket attaching / detaching tool.
4 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
FIG. 5 is a view showing an example of a fluid control device in which a gasket is attached / detached using the gasket attaching / detaching method according to the present invention.
6 is an enlarged cross-sectional view of the main part showing the seal part of FIG. 5 enlarged.
FIG. 7 is an exploded perspective view of a gasket and a retainer constituting a seal portion.
[Explanation of symbols]
(10) First joint member
(12) Second joint member
(27) Fluid coupling
(32) Annular gasket
(33) Retainer
(34) (35) Gasket storage recess
(36) (37) Retainer storage recess
(73) Fitting member holding part
(80) Gasket removal tool
(81) Leaf spring
(81a) Plate member
(82) Holding part
(82a) Semi-cylindrical member
(86) Perimeter wall
(87) Top wall

Claims (1)

ガスケット収納凹所(34)(35)とガスケット収納凹所(34)(35)の外側にあるリテーナ収納凹所(36)(37)とがそれぞれ突き合わせ端面に設けられている第１および第２の継手部材(10)(12)と、両継手部材(10)(12)の突合わせ端面間に介在させられるガスケット(32)と、ガスケット(32)の外周面を保持するガスケット保持部(72)およびいずれか一方の継手部材(12)の突合わせ端部に係合する継手部材保持部(73)を有しガスケット(32)を保持した状態で該継手部材(12)に着脱されるリテーナ(33)とよりなる流体継手(27)を組み立てる際のガスケット着脱方法であって、
ガスケット着脱具(80)を使用するものとし、該ガスケット着脱具(80)は、一対の板状部材(81a)が基端部同士接合されるとともにその中程部分で交差させられることにより形成され、基端部近くを両板状部材(81a)が接近するように押さえることにより両板状部材(81a)の先端部同士の間隔が広がるようになされた板バネ部(81)と、各板状部材(81a)の先端部に互いに向かい合うように設けられた一対の半円筒状部材(82a)により形成され、両半円筒状部材(82a)同士が互いに接近することによりガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を保持するようになされた保持部(82)とよりなり、各半円筒状部材(82a)は、リテーナ(33)の外周面に外側から当てられる周壁(86)と、リテーナ(33)の上面に上側から当てられてリテーナ(33)の軸方向の移動を阻止する頂壁(87)とを有し、
ガスケット着脱具(80)の使用に際し、ガスケット(32)を保持したリテーナ(33)を着脱具(80)の保持部(82)内に嵌め入れて、着脱具(80)の保持部(82)を継手部材(12)の端部に押し付け、ガスケット(32)をガスケット収納凹所(35)の底面に当接させることを特徴とするガスケット着脱方法。The outer near ruri retainer accommodating recesses gasket housing concavity (34) (35) and gasket housing concavity (34) (35) (36) (37) are provided on the abutting end face respectively 1 a and a second coupling member (10) (12), and both coupling members (10) are interposed between the abutting end face of (12) Ruga gasket (32), holds the outer peripheral surface of the gasket (32) The joint member (12) with the gasket holding part (72) and the joint member holding part (73) engaged with the butted end of one of the joint members (12) and holding the gasket (32) A gasket attaching / detaching method for assembling a fluid coupling (27) comprising a retainer (33) attached to and detached from
The gasket attaching / detaching tool (80) is used, and the gasket attaching / detaching tool (80) is formed by joining a pair of plate-like members (81a) to each other at the base end portions and intersecting at the middle portion thereof. A leaf spring portion (81) formed so that the distance between the tip portions of both plate-like members (81a) is widened by pressing the plate-like members (81a) close to each other near the base end portion, and each plate Formed by a pair of semi-cylindrical members (82a) provided so as to face each other at the tip of the cylindrical member (81a), and the gasket (32) is held by the two semi-cylindrical members (82a) approaching each other The retainer (33) is configured to hold the retainer (33), and each semi-cylindrical member (82a) includes a peripheral wall (86) applied to the outer peripheral surface of the retainer (33) from the outside, and the retainer A top wall (87) applied to the upper surface of (33) from above to prevent the retainer (33) from moving in the axial direction ;
When using the gasket attaching / detaching tool (80), the retainer (33) holding the gasket (32) is fitted into the holding part (82) of the attaching / detaching tool (80) to hold the attaching part (82) of the attaching / detaching tool (80). the Installing pushing the end portion of the coupling member (12), a gasket removably wherein the Rukoto abut gasket (32) on the bottom surface of the gasket housing concavity (35).

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