JP4419790B2 - 圧電ダイヤフラムポンプ - Google Patents
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Description
2 電極層
3 ダイヤフラム板
3a 絶縁層
4 空間
5 筐体
6 制御部
7c 吸入口
7d 吐出口
Claims (6)
- 平板形状の圧電素子と、前記圧電素子の一面に配された導電部材よりなる電極層と、前記圧電素子の他面を覆うように接合され、圧電素子の変形に応じて弾性変形可能な導電部材よりなるダイヤフラム板と、前記ダイヤフラム板の圧電素子が接合された面の反対面を覆うように配された絶縁層と、前記ダイヤフラム板の端部近傍を保持し、前記絶縁層の下面に気体または液体でなる流体を圧縮するための空間を持ち、該空間に連通して前記流体を該空間に吸入する吸入口および前記流体を該空間から吐出する吐出口とを持つ筐体と、前記電極層と前記ダイヤフラム板の間に電圧を印加することにより圧電素子を変形させて前記流体の吸入時間および吐出時間を制御する制御部とを備えた圧電ダイヤフラムポンプにおいて、
前記ダイヤフラム板は、圧電素子の接合に因り、電圧を印加していない初期状態において前記空間が膨らんだ方向に湾曲しており、電圧印加により空間内の流体を吐出するように構成されており、
前記制御部は、流体吸入のための電圧印加時間よりも流体吐出のための電圧印加時間が長くなるように設定され、流体吐出時に印加する電圧の上昇が矩形波形よりも上昇速度が低くなるように制御可能であり、該電圧の下降が矩形波形の下降速度となるように設定されていることを特徴とする圧電ダイヤフラムポンプ。 - 前記制御部は、吐出時に印加する電圧の上昇が積分波形の電圧に設定されていることを特徴とする請求項1記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
- 前記制御部は、吐出時に印加する電圧の上昇が階段状のステップ波形の電圧に設定されていることを特徴とする請求項1記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
- 前記制御部は、吐出時に印加する電圧の上昇が三角波形の電圧に設定されていることを特徴とする請求項1記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
- 前記制御部は、吐出時に印加する電圧を、ポンプの始動開始時には矩形波形に、定常状態時には矩形波形よりも上昇速度が低い波形に切替え可能とする回路を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
- 前記制御部は、流体の種類に応じて、吐出時に印加する電圧を、矩形波形よりも上昇速度が低く、互いに上昇速度が異なる複数の波形のいずれかに切替え可能とする回路を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の圧電ダイヤフラムポンプ。
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