JP4419237B2 - 成膜装置及び被処理体の処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体に薄膜を堆積させる成膜装置及び被処理体の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体集積回路の製造工程にあっては、被処理体である半導体ウエハの表面に成膜処理、酸化拡散処理、エッチング処理等の各種の処理が繰り返し行なわれる。ここで成膜処理を行なう枚葉式の従来の成膜装置について概略的に説明する。図7は従来の成膜装置を示す概略構成図、図8は図7中の一部を示す拡大図である。この成膜装置2は、底部の排気口6より真空引き可能になされた筒体状の処理容器4を有しており、この処理容器4内には加熱ヒータ8を有する載置台10が設けられて、この載置台10の上面の載置面に被処理体としての半導体ウエハWを載置するようになっている。
【0003】
また、この載置台10の上側周縁部には、断面逆L字状になされたリング状のガイドリング部材12が嵌め込まれている。このガイドリング部材12の上部内周面は中心に向けて下向き傾斜されたテーパ面よりなるガイド面14として構成され、ウエハWを持ち上げて昇降させるリフタピン(図示せず)でウエハWを載置する際の載置位置の位置ずれを防止するようになっている。このガイドリング部材12は、図8にも示すように載置台10の上部周縁部に非常に高い寸法精度で載置台10の上面に密接するようにして取り付けられている。
また、この載置台10に対向する天井部には、この処理容器4内へ成膜ガス等の必要なガスを導入するためのシャワーヘッド部16が設けられており、これより導入した成膜ガスを反応させて、ウエハWの表面に所定の膜を堆積させるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のようにガイドリング部材12が寸法精度良く、載置台10の上部周縁部に嵌め込まれているとはいえ、微視的に見れば図9に示すようにガイドリング部材12の下面12Aと載置台10の上面の載置面10Aとは点接触状態にならざるを得ないことから、これら両面10Aと12Aとの間に、幅L1が4μm程度の僅かな間隙18が発生することは避けられなかった。
【0005】
成膜時には図9に示すようにウエハWの表面上に目的とする膜20が付着するのみならず、載置台10の表面やガイドリング部材12の表面にも膜22、24が不要な膜として付着堆積してしまうが、上述したような間隙18が発生すると間隙18の入口側に特に成膜レートが高い部分が発生し、ここに膜厚のピーク部分22A、24Aが発生する原因となっていた。例えばウエハWの表面の膜20の目標とする膜厚が500Å程度とすると、上記ピーク部分22A、24Aの膜厚はそれぞれ1000Å程度となって略2倍の成膜レートで膜が堆積していた。
【0006】
このため、ウエハWに対する成膜処理を繰り返し行なっていると、上記膜のピーク部分22A、24Aが剥がれ落ちるなどして、パーティクル数が急激に増加するといった問題があった。図10はこの時の状況を示すグラフであり、処理されたウエハ番号とパーティクル数との関係を示している。このグラフによれば、ウエハ処理枚数が40枚程度を越えた当たりで、パーティクル数(0.2μm以上)が急激に増加しており、例えば良否判定基準30個を大幅に上回ってしまっている。尚、ここではTiN膜をウエハW上に堆積した時の例を示している。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、繰り返し成膜処理を行なってもパーティクルの発生を抑制することができる成膜装置及び被処理体の処理方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ガイドリング部材への膜の堆積について鋭意研究した結果、成膜ガスの分圧がある程度低くなった所に成膜レートのピーク値が存在することを発見し、これによりガイドリング部材の形状を、成膜ガスの分圧があえて低くなって、しかも膜が堆積しても剥がれ難いような形状とすれば、パーティクルの発生を抑制することができる、という知見を得ることにより本発明に至ったものである。
【0008】
請求項1に規定する発明は、真空引き可能になされた処理容器と、この処理容器内に設置されてその上面の載置面に被処理体を載置する載置台と、前記載置台の周縁部に前記被処理体の外周端よりも僅かに外方へ離間させて設けられて前記被処理体の載置時にこれを適正な載置位置へ案内するリング状のガイドリング本体を有するガイドリング部材とよりなる成膜装置において、前記ガイドリング本体の内周側を断面段部状に形成することにより前記ガイドリング本体の下面と前記載置台の載置面との間でパーティクル発生防止空間を設けるように構成する。
【0009】
これにより、ガイドリング部材の奥まった領域であるパーティクル発生防止空間を区画する上下の壁面に膜が堆積することになり、この空間は堆積する膜の厚さに対して十分に大きく設定されているので、膜同士が接触することがなく、従って、膜の剥がれも生じ難いので、パーティクルが発生することを大幅に抑制することが可能となる。また、堆積した膜が壁面から剥がれたとしても、パーティクル発生防止空間の奥まった位置で膜剥がれが生ずることになるので、これが処理空間側に飛散することもないので、剥がれ落ちた膜がパーティクルとして被処理体の表面に付着することも防止することが可能となる。
【0010】
この場合、請求項2に規定するように、例えば前記パーティクル発生防止空間の高さは、略0.2mm以上に設定されている。
また、請求項3に規定するように、例えば前記パーティクル発生防止空間の載置台半径への長さは、略2mm以上に設定されている。
本発明の関連技術は、上記ガイドリング部材の構造をクランプリング部材に適用したものであり、真空引き可能になされた処理容器と、この処理容器内に設置されてその上面の載置面に被処理体を載置する載置台と、前記被処理体の周縁部に接近及び離間可能に設けられて前記被処理体を前記載置台側へ押圧固定するリング状のクランプリング本体を有するクランプリング部材とよりなる成膜装置において、前記クランプリング本体の内周側を断面段部状に形成することにより前記クランプリング本体の下面と前記被処理体の上面との間でパーティクル発生防止空間を設けるように構成した。
この場合にも、前述したようなガイドリング部材の構造の場合と、同様な作用効果を発揮することが可能となる。
請求項4に係る発明は、真空引き可能になされた処理容器内で、被処理体を載置する際の位置ずれを防止するためのガイドリング部材を、その上側周縁部に設けた載置台上に前記被処理体を載置し、前記処理容器内へ成膜ガスを供給しつつ前記被処理体を所定の温度に加熱して前記被処理体の表面に薄膜を堆積させるようにした被処理体の処理方法において、前記ガイドリング部材の水平部分の内周側の下面と前記載置台の載置面との間にパーティクル発生防止空間を形成した状態で前記薄膜を堆積させるようにしたことを特徴とする被処理体の処理方法である。
この場合、例えば請求項5に記載されたように、前記パーティクル発生防止空間は、薄いリング状の空間である。
また、例えば請求項6に記載されたように、前記被処理体を複数枚処理した後に、前記載置台上に前記被処理体を載置していない状態で前記パーティクル発生防止空間を区画する面に付着している不要な膜を除去するクリーニングを行なう。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る成膜装置及び被処理体の処理方法の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
図1は本発明に係る成膜装置を示す構成図、図2は図1に示す載置台とガイドリング部材の一部を示す拡大断面図、図3は図2中のA部において膜が堆積した時の状態を示す拡大図である。尚、本実施例ではTiN膜を堆積する場合を例にとって説明する。
図示するように、この成膜装置30は、例えばアルミニウム等により筒体状に成形された処理容器32を有しており、この処理容器32内には、底部より支柱34を介して起立された、例えばAlN製の円柱状の載置台36が設けられている。そして、この載置台36内には、抵抗加熱ヒータ38が埋め込まれており、この上面の載置面36A上に載置された被処理体としての半導体ウエハWを所定の温度まで昇温し、維持するようになっている。
【0012】
また、この載置台36には、例えば3つのピン孔40(図示例では2個のみ記す)が上下方向に貫通して形成されると共に、各ピン孔40にはその基端部が共通に連結されたリフタピン42が挿通されている。そして、このリフタピン42の支持軸44は、容器底部にベローズ46を介して気密に貫通して上下動可能に設けられており、上記リフタピン42を昇降させて、ウエハWを持ち上げるために載置台36の載置面36Aより上方へ出没可能になされている。
そして、この載置台36に対向する容器天井部には、この処理容器32内へ成膜ガス等の必要なガスを供給するためのシャワーヘッド46が設けられており、これに導入された成膜ガス等の必要なガスを、下面の噴射面に形成した噴射孔48より処理空間Sに噴出するようになっている。また、この処理容器32には、この中に対してウエハWの搬出入を行なうときに開閉されるゲートバルブ50が設けられると共に、底部周辺部には、図示しない真空ポンプ等を介設した排気系に接続される排気口52が設けられており、処理容器32内を所定の圧力まで真空引きできるようになっている。
【0013】
そして、上記載置台36の上側周縁部には、本発明の特徴とするガイドリング部材54が設けられる。具体的には、このガイドリング部材54は、断面逆L字状のリング部材よりなり、例えばAl2 O3 などのセラミックや石英ガラスなどにより構成されて、載置台36の上側周縁部に密接して嵌め込まれている。このガイドリング部材54は、載置台36の載置面36Aに当接する水平部分56と載置台36の側面と接触する垂直部分58とよりなるガイドリング本体59を有しており、上記水平部分56の上部内周面は載置台36の中心に向けて下向き傾斜されたテーパ面よりなるガイド面60として構成され、前記リフタピン42により支持されたウエハWを降下させて載置面36A上に載置する際、ウエハWが位置ずれしている場合には上記ガイド面60によりウエハWの位置ずれを修正してウエハWを適正な載置位置へ案内するようになっている。
【0014】
そして、上記ガイドリング本体59の水平部分56の内周側の下部には、細長く断面段部状になされたリング状の切り欠き62(図2及び図3参照)が形成されており、この水平部分56の下面56Aと載置台36の載置面36Aとの間で断面が細長い長方形状のパーティクル発生防止空間64を形成している。従って、このパーティクル発生防止空間64は、全体ではガイドリング部材54に沿って非常に薄いリング状の空間となっている。
【0015】
ここで各部の寸法の一例について図3を参照して説明すると、ウエハWの直径サイズに関係なく、ウエハWが正確に中心に載置された時のウエハWの外周端とガイドリング部材54の水平部分56の内周端との間の距離L3は0.5〜1.5mmの範囲内、例えば1mm程度、上記水平部分56の厚さL4は1.5〜3mmの範囲内、例えば2mm程度、上記切り欠き62の高さ、すなわち上記パーティクル発生防止空間64の高さL5は0.2mm以上、例えば0.3mm程度(図示例では説明の都合上、空間64を大きく記載している)、パーティクル発生防止空間64の載置台半径方向の長さL6は2mm以上、例えば3mm程度である。この場合、この空間64の断面の高さと長さの比、すなわち(L6)/(L5)は10以上に設定するのが好ましい。尚、上記高さL5の0.2mmは略加工限界長さである。
さて、以上のように構成された成膜装置を用いて、例えばTiN(チタンナイトライド)膜を成膜する場合を例にとって説明する。
【0016】
まず、開放されたゲートバルブ50を介して搬入される半導体ウエハWをリフタピン42で受け取り、このリフタピン42を降下させることによりウエハWを載置台36の載置面36A上に載置する。この時、ウエハWが位置ずれしている場合には、載置台36の周縁部に嵌装してあるガイドリング部材54のテーパ状のガイド面60にウエハWの外周端が接して位置ずれが補正され、ウエハWは適正な位置に載置される。
このようにして、ウエハWのロードが終了したならば、ウエハWを所定のプロセス温度に昇温してこの温度に維持すると共に、処理容器32内を真空引きしつつこれに成膜ガス等の所定のガスを流し、膜の堆積を行なう。
【0017】
ここではガスとして例えばTiCl4 、NH3 及びN2 を用いて、TiN膜を堆積させる。また、ウエハサイズとしては8インチのものが用いられ、プロセス条件としては、TiCl4 の流量が20sccm程度、NH3 の流量が400sccm程度、N2 の流量が50sccm程度である。また、プロセス温度は680℃程度、プロセス圧力は40Pa(0.3Torr)程度である。この成膜処理を例えば60秒間程度行なうことにより、ウエハ表面上に目標値として500Å程度の膜厚のTiN膜を堆積させる。
【0018】
このような成膜処理を行なって行くと、図3に示すように、ウエハW上に必要とする膜68が堆積するのみならず、載置面36Aやガイドリング部材54の表面には不要な膜70、72が次第に堆積することになる。これらの不要な膜70、72は、ウエハWの成膜処理枚数に比例して膜厚が増大して行くが、この場合、パーティクル発生防止空間64の上下の壁面にも膜が堆積し、この内、原料ガスであるTiCl4 の分圧が低くて成膜レートが高くなる部分にそれぞれの膜70、72のピーク部分70A、72Aが発生する。
【0019】
この時のピーク部分70A、72Aは、ガイドリング部材54の内周端から所定の距離L8、例えば2.8mm程度だけパーティクル発生防止空間64内に奥まった位置に発生する。この理由について図4を参照して説明する。図4は原料ガスであるTiCl4 ガスの流量と載置台上の成膜レートとの関係を示すグラフであり、ここではTiCl4 ガスの流量以外の他のプロセス条件は先に述べたプロセス条件と同じである。このグラフから明らかなように、当初はTiCl4 ガスの流量を少しずつ増加すると成膜レートは少しずつ増加するが、点P1の時(TiCl4 ガスの流量が略10sccm程度の時)にピークになった後に急激に低下し、あとは流量を増加しても成膜レートは低い値で一定となっている。前述のように、本発明ではTiCl4 ガスの流量は20sccm程度であるので、それよりも流量が少なくて分圧が低い所で成膜のピーク点P1が生じている。
【0020】
このように原料ガスであるTiCl4 ガスの分圧が低くなっている部分は、図3においてパーティクル発生防止空間64内にTiCl4 ガスが拡散して、その分圧がある程度低くなった点、すなわち空間64の先端よりもある程度奥まったところであり、これがために、例えば距離L8だけ空間64内に奥まった位置に膜厚のピーク部分70A、72Aが発生することになる。尚、この距離L8は、プロセス条件やこの空間64の高さL5の大きさ等によって変動するのは勿論である。また、この高さL5は、この成膜装置のクリーニングサイクルや成膜レート等を勘案して決めればよい。
【0021】
この場合、ガイドリング本体59の水平部分56の下面を段部状に削ることによってパーティクル発生防止空間64が形成されており、この空間64の高さL5が成膜される膜厚に対して十分に大きな値である0.3mm程度に設定されているので、上記膜70、72のそれぞれのピーク部分70A、72Aが成長して大きくなっても、このピーク部分70A、72A同士が接触することはなく、従って、このピーク部分が剥がれ落ちないのでパーティクルの発生を抑制することが可能となる。
例えば1回の成膜操作でピーク部分70A、72Aにそれぞれ500Å(0.05μm)の膜厚の膜が堆積すると仮定すると、ウエハを100枚処理した時には、膜厚は5μm(=0.05×100)となり、2つのピーク部分70A、72Aを合計しても10μmとなる。ここで、空間64の高さL5は0.3mm(=300μm)であるので上記10μmよりも遥かに大きくて余裕があり、両ピーク部分70A、72Aが接触することはない。尚、ある程度、ウエハ枚数を処理したならばクリーニング操作が行なわれるのは従来と同じである。
【0022】
また、万一、膜70、72のピーク部分70A、72Aが壁面から剥がれ落ちたとしても、この剥がれ落ちた膜は、パーティクル発生防止空間64内の奥まった部分に位置するので、これが処理空間S側へ拡散することもなく、従って、ウエハWの表面にパーティクルとして付着することも阻止することができる。
ここで、上述したようなプロセス条件で100枚のウエハに対して成膜処理を行なった時のパーティクルの評価を行なったので、その評価結果について図5を参照して説明する。
【0023】
図5は半導体ウエハ100枚について成膜処理を行なった時のパーティクル数(0.2μm以上)の変化を示すグラフであり、図5(A)はパーティクル発生防止空間64の奥行きの長さL6が8.8mmの時、図5(B)は奥行きの長さL6が3.0mmの時の結果をそれぞれ示している。このグラフから明らかなように、従来装置の評価結果を示す先の図10に表われた結果と比較して、本発明装置の場合には、長さL6が8.8mmの場合も3.0mmの場合も共にパーティクル数は少なくて2〜3個程度であり、共に良否判定基準である30個を大幅に下回っており、良好な結果を得られることが判明した。
【0024】
上記実施例では、ガイドリング部材54の内周部の下面を段部状に削り取ることによって、パーティクル発生防止空間64を形成したが、これを、ウエハWを載置台36上に押圧固定するクランプリング部材に適用するようにしてもよい。図6はこのような本発明の他の実施例を示す成膜装置を示す構成図である。尚、図6中においては図1に示した部分と同一部分について同一符号を付してその説明を省略する。すなわち、ここでは、クランプリング部材72は、円板リング状のクランプリング本体74を有しており、リフタピン42と共に昇降するようになっている。そして、このクランプリング本体74の内周縁の下面でウエハWの外周縁と当接し、ウエハWを載置台36側へ押圧固定するようになっている。そして、このクランプリング本体74の内周端の下面側に、先に図3において説明したと同様な段部形状り切り欠きを形成し、ウエハ周縁部の表面との間でパーティクル発生防止空間76を形成している。
【0025】
この場合にも、図3等を参照して前述したと同様な作用を呈し、堆積した膜のピーク部分の剥がれを防止できるので、その分、パーティクルの発生を抑制することが可能となる。
尚、以上の各実施例ではTiN膜を堆積する場合を例にとって説明したが、これに限定されず、どのような膜を堆積させる成膜装置にも適用でき、例えばWN(タングステンナイトライド)膜、SiO2 膜等を成膜する成膜装置にも適用できるのは勿論である。
また、被処理体としては、半導体ウエハに限定されず、LCD基板、ガラス基板等も用いることができる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の成膜装置及び被処理体の処理方法によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
本発明によれば、ガイドリング部材、或いはクランプリング部材の奥まった領域であるパーティクル発生防止空間を区画する上下の壁面に膜が堆積することになり、この空間は堆積する膜の厚さに対して十分に大きく設定されているので、膜同士が接触することがなく、従って、膜の剥がれも生じ難いので、パーティクルが発生することを大幅に抑制することができる。また、堆積した膜が壁面から剥がれたとしても、パーティクル発生防止空間の奥まった位置で膜剥がれが生ずることになるので、これが処理空間側に飛散することもないので、剥がれ落ちた膜がパーティクルとして被処理体の表面に付着することも防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る成膜装置を示す構成図である。
【図2】図1に示す載置台とガイドリング部材の一部を示す拡大断面図である。
【図3】図2中のA部において膜が堆積した時の状態を示す拡大図である。
【図4】原料ガスであるTiCl4 ガスの流量と載置台上の成膜レートとの関係を示すグラフである。
【図5】半導体ウエハ100枚について成膜処理を行なった時のパーティクル数(0.2μm以上)の変化を示すグラフである。
【図6】本発明の他の実施例を示す成膜装置を示す構成図である。
【図7】従来の成膜装置を示す概略構成図である。
【図8】図7中の一部を示す拡大図である。
【図9】図7に示す成膜装置の一部を拡大した拡大図である。
【図10】処理されたウエハ番号とパーティクル数との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
30 成膜装置
32 処理容器
36 載置台
46 シャワーヘッド
54 ガイドリング部材
56 水平部分
58 垂直部分
59 ガイドリング本体
62 切り欠き
64,76 パーティクル発生防止空間
72 クランプリング部材
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (6)
- 真空引き可能になされた処理容器と、この処理容器内に設置されてその上面の載置面に被処理体を載置する載置台と、前記載置台の周縁部に前記被処理体の外周端よりも僅かに外方へ離間させて設けられて前記被処理体の載置時にこれを適正な載置位置へ案内するリング状のガイドリング本体を有するガイドリング部材とよりなる成膜装置において、前記ガイドリング本体の内周側を断面段部状に形成することにより前記ガイドリング本体の下面と前記載置台の載置面との間でパーティクル発生防止空間を設けるように構成したことを特徴とする成膜装置。
- 前記パーティクル発生防止空間の高さは、略0.2mm以上に設定されていることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記パーティクル発生防止空間の載置台半径への長さは、略2mm以上に設定されていることを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置。
- 真空引き可能になされた処理容器内で、被処理体を載置する際の位置ずれを防止するためのガイドリング部材を、その上側周縁部に設けた載置台上に前記被処理体を載置し、前記処理容器内へ成膜ガスを供給しつつ前記被処理体を所定の温度に加熱して前記被処理体の表面に薄膜を堆積させるようにした被処理体の処理方法において、
前記ガイドリング部材の水平部分の内周側の下面と前記載置台の載置面との間にパーティクル発生防止空間を形成した状態で前記薄膜を堆積させるようにしたことを特徴とする被処理体の処理方法。 - 前記パーティクル発生防止空間は、薄いリング状の空間であることを特徴とする請求項4記載の被処理体の処理方法。
- 前記被処理体を複数枚処理した後に、前記載置台上に前記被処理体を載置していない状態で前記パーティクル発生防止空間を区画する面に付着している不要な膜を除去するクリーニングを行なうことを特徴とする請求項4又は5記載の被処理体の処理方法。
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TW357404B (en) * | 1993-12-24 | 1999-05-01 | Tokyo Electron Ltd | Apparatus and method for processing of plasma |
US5968379A (en) * | 1995-07-14 | 1999-10-19 | Applied Materials, Inc. | High temperature ceramic heater assembly with RF capability and related methods |
US5635244A (en) * | 1995-08-28 | 1997-06-03 | Lsi Logic Corporation | Method of forming a layer of material on a wafer |
US5891348A (en) * | 1996-01-26 | 1999-04-06 | Applied Materials, Inc. | Process gas focusing apparatus and method |
US5846332A (en) * | 1996-07-12 | 1998-12-08 | Applied Materials, Inc. | Thermally floating pedestal collar in a chemical vapor deposition chamber |
KR100469908B1 (ko) * | 1996-09-30 | 2005-02-02 | 램 리서치 코포레이션 | 기재 지지수단 상의 폴리머 증착을 감소시키는 장치 |
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US6051286A (en) * | 1997-02-12 | 2000-04-18 | Applied Materials, Inc. | High temperature, high deposition rate process and apparatus for depositing titanium layers |
US5942042A (en) * | 1997-05-23 | 1999-08-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for improved power coupling through a workpiece in a semiconductor wafer processing system |
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KR100292410B1 (ko) * | 1998-09-23 | 2001-06-01 | 윤종용 | 불순물 오염이 억제된 반도체 제조용 반응 챔버 |
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US6159299A (en) * | 1999-02-09 | 2000-12-12 | Applied Materials, Inc. | Wafer pedestal with a purge ring |
US6451181B1 (en) * | 1999-03-02 | 2002-09-17 | Motorola, Inc. | Method of forming a semiconductor device barrier layer |
US6162336A (en) * | 1999-07-12 | 2000-12-19 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Clamping ring design to reduce wafer sticking problem in metal deposition |
US6375748B1 (en) * | 1999-09-01 | 2002-04-23 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for preventing edge deposition |
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