JP4417073B2 - 搬送物位置ずれ検出方法及びその装置 - Google Patents
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Description
ウェハ位置ずれモニタ8は、受けたデータをDPM表示すると共にウェハ位置ずれ検出装置9に送る。ウェハ位置ずれ検出装置9は、位置ずれ量の演算値に対して警報するべく予め定められた警報設定値を保持しており、その演算値と警報設定値とを比較(手順S16)する。
この時間のずれTdは上述したように長さ単位に変換する。この機能は搬送物位置ずれ検出装置の調整におおいに役立つ。
2 べルト
2−R 向う側搬送路
2−F 手前側搬送路
3−L 搬入具
3−U 搬出具
4、4−LR、4−LF、4−UR、4−UF 光電センサ
5 ベルト搬送装置
6−L 自動搬入装置
6−U 自動搬出装置
7 シーケンサ
8 ウェハ位置ずれモニタ
9 ウェハ位置ずれ検出装置
Claims (6)
- ベルト搬送装置で複数の物品を並列搬送した後、縦列搬送する際、並列搬送における位置ずれを検出する搬送物位置ずれ検出方法において、ベルト上で並列に隣接して搬送される二つの物品を対象としてそれぞれの通過時点からその時間差を検出し、この時間差と前記物品を搬送するベルト速度とを用いて対象となる前記並列に隣接する二つの物品のずれ量を長さ単位の位置差により検出する際、
前記各物品の積み込み側と荷降ろし側との二個所を前記通過時点として一方の側を基準に演算し、演算の結果得られた二つの前記物品のずれ量と前記二個所間の距離とにより、並列に隣接する前記物品相互間における前記ベルトにおける単位長あたりの位置ずれ量を演算することを特徴とする搬送物位置ずれ検出方法。 - 請求項1に記載の搬送物位置ずれ検出方法において、縦列に隣接する物品のずれ量が所定の最大値を越える場合及び所定の最小値に満たない場合の一方を検出した際に警報を発することを特徴とする搬送物位置ずれ検出方法。
- ベルト搬送装置で複数の物品を並列搬送した後、縦列搬送する際、並列搬送における位置ずれを検出する搬送物位置ずれ検出装置において、隣接する二つの物品それぞれの通過を検出するセンサと、前記物品を搬送するベルト速度をモニタするベルト搬送装置と、前記センサから二つの物品の検出時点を受けてその時間差を演算し、前記ベルト搬送装置からベルト速度を受けて前記時間差から二つの物品の位置ずれを長さ単位に変換演算して求めるシーケンサとを備え、前記センサは、少なくとも物品の前記並列搬送における荷降ろし側に設けることを特徴とする搬送物位置ずれ検出装置。
- 請求項3に記載の搬送物位置ずれ検出装置において、対象となる前記二つの物品がベルト上で並列に隣接する場合、前記シーケンサから位置ずれ演算値を受け、この演算値が所定値を越えた際に警報を発する位置ずれ検出装置を更に備えることを特徴とする搬送物位置ずれ検出装置。
- 請求項3に記載の搬送物位置ずれ検出装置において、前記シーケンサからずれ情報を含むデータを受けてデジタルパネルメータに表示する位置ずれモニタを更に備え、前記シーケンサは、並列に隣接する物品のずれ量を、前記並列搬送における物品の積み込み側と荷降ろし側との二個所を前記通過時点として一方の側を基準に演算し、演算結果の二つのずれ量と前記二箇所間の距離とにより並列に隣接する物品相互の、ベルトにおける単位長あたりのずれ量を長さ単位で時系列に演算し、前記位置ずれモニタに送り表示させることを特徴とする搬送物位置ずれ検出装置。
- 請求項3に記載の搬送物位置ずれ検出装置において、対象となる前記二つの物品がベルト上で縦列に隣接する場合、前記シーケンサから位置ずれ演算値を受け、この演算値が所定の最大値を越える場合及び所定の最小値に満たない場合の一方を検出した際に警報を発する位置ずれ検出装置を更に備えることを特徴とする搬送物位置ずれ検出装置。
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