JP4408908B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 荷電粒子線を放出する電子銃と、メッシュを用いて試料を保持する試料ステージと、試料を透過した荷電粒子線を検出する撮像装置と、該撮像装置からの透過像を画像処理する画像処理制御装置と、上記透過像を表示するモニタと、を有する透過型荷電粒子線装置において、
上記画像処理制御装置は、濃淡値0の画素の数が、上記透過像内の監視領域の画素数に対して所定のパーセント以上である場合に、上記監視領域のうち当該濃淡値の画素を除いた領域を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過型荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の透過型荷電粒子線装置において、
上記画像処理制御装置は、上記濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント未満である場合に、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過型荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の透過型荷電粒子線装置において、
上記画像処理制御装置は、上記濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント以上である場合に、倍率を増加し、それによって、メッシュのグリッドが表す濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント未満となったとき、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過型荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の透過型荷電粒子線装置において、
上記画像処理制御装置は、上記濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント以上である場合に、上記試料ステージを移動し、それによって、メッシュのグリッドが表す濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント未満となったとき、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過型荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の透過型荷電粒子線装置において、
上記画像処理制御装置は、上記濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント以上である場合に、ビーム偏向を行い、それによって、メッシュのグリッドが表す濃淡値の画素の数が前記監視領域の画素数に対して所定のパーセント未満となったとき、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過型荷電粒子線装置。 - 試料を保持するメッシュを試料ステージに装着するステップと、
電子銃から荷電粒子線を放出するステップと、
上記試料を透過した荷電粒子線を撮像装置によって検出するステップと、
上記撮像装置からの透過像を得るステップと、
濃淡値0の画素の数が、上記透過像内の監視領域の画素数に対して所定のパーセント以上である場合に、上記監視領域のうち当該濃淡値の画素を除いた領域を他の階調に変換して透過像を得るステップと、
上記透過像をモニタに表示するステップと、
を含む透過像を得る方法。 - 請求項6記載の透過像を得る方法において、
上記濃淡値の画素の数が、上記監視領域の画素数に対して所定のパーセント以上である場合に、上記監視領域において上記メッシュの像が含まれると判定し、
上記濃淡値の画素の数が、上記監視領域の画素数に対して所定のパーセント未満である場合に、上記監視領域において上記メッシュの像が含まれないと判定することを特徴とする透過像を得る方法。 - 請求項7記載の透過像を得る方法において、
上記監視領域において上記メッシュの像が含まれる場合に、倍率を増加し、それによって、上記透過像に上記メッシュの像が含まれなくなったときに、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過像を得る方法。 - 請求項7記載の透過像を得る方法において、
上記監視領域において上記メッシュの像が含まれる場合に、上記試料ステージを移動し、それによって、上記透過像に上記メッシュの像が含まれなくなったときに、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過像を得る方法。 - 請求項7記載の透過像を得る方法において、
上記監視領域において上記メッシュの像が含まれる場合に、ビーム偏向を行い、それによって、上記透過像に上記メッシュの像が含まれなくなったときに、上記透過像の各画素を表示する所定の階調を他の階調に変換して透過像を得ることを特徴とする透過像を得る方法。
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