JP4403004B2 - ボンディング用フィルムを用いた半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Description
表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを該複数のストリートに沿って分割し個々の半導体チップに分離するウエーハ分割工程と、
個々の半導体チップに分離された半導体ウエーハの裏面に該ボンディング用フィルムの該粘着層側を貼着する粘着層貼着工程と、
該ボンディング用フィルムを貼着した半導体ウエーハの個々に分離された半導体チップをピックアップすることにより、該粘着層を半導体ウエーハの裏面に貼着した状態で該サポートフィルムから剥離する粘着層剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするボンディング用フィルムを用いた半導体チップの製造方法が提供される。
表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを該複数のストリートに沿って個々の半導体チップに分離するウエーハ分割工程と、
個々に分離された該半導体チップの裏面に該ボンディング用フィルムの該粘着層側を貼着する粘着層貼着工程と、
該半導体チップの裏面に貼着された該粘着層を半導体チップの裏面に貼着した状態で該サポートフィルムから剥離する粘着層剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするボンディング用フィルムを用いた半導体チップの製造方法が提供される。
図4を参照して説明する。
図4に示すダイボンディグ用フィルム2は、サポートフィルム21の表面全面に粘着層22を敷設したものであり、粘着層22の上面に接着防止用のカバーフィルム23が配設されている。なお、サポートフィルム21と粘着層22およびカバーフィルム23の材質は、上記図1乃至図3に示すダイボンディグ用フィルム2と同一のものでよい。
図5には、ここの分割された半導体チップを製造するための半導体ウエーハの斜視図が示されている。図5に示す半導体ウエーハ3は、例えば厚さが600μmのシリコンウエーハからなっており、表面3aに複数のストリート31が格子状に形成されているとともに該複数のストリート31によって区画された複数の領域に回路32が形成されている。この半導体ウエーハ3を個々の半導体チップに分割してその裏面に粘着層を貼着する半導体チップの製造方法の第1の実施形態について、図6乃至図12を参照して説明する。
図13乃至図17に示す実施形態においては、先ず上記図5に示す半導体ウエーハ3をストリート31に沿って個々の半導体チップに分離するウエーハ分割工程を実施する。なお、ウエーハ分割工程を実施するに際し、半導体ウエーハ3は裏面が所定の厚さに研削された後、図13に示すように環状のフレーム9に装着されたダイシングテープ90の表面に貼着される(ウエーハ支持工程)。このように環状のフレーム9にダイシングテープ90を介して支持された半導体ウエーハ3を個々の半導体チップに分離するウエーハ分割工程は、図14に示す切削装置4によって実施する。なお、図14に示す切削装置4は、上記図6の(a)に示す切削装置4と同一のものでよく、従って同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
21:サポートフィルム
22:粘着層
23:カバーフィルム
3:半導体ウエーハ
30:半導体チップ
31:ストリート
32:回路
33:分割溝
4:切削装置
41:切削装置のチャックテーブル
42:切削手段
5:保護部材
6:研削装置
61:研削装置のチャックテーブル
62:研削手段
621:研削砥石
7:環状のフレーム
8:ピックアップ装置
81:円筒状のベース
82:クランプ
83:ピックアップコレット
9:環状のフレーム
90:ダイシングテープ
10:粘着層貼着装置
101:粘着層貼着巣地の基台
102:送りロール
103:第1の巻き取りロール
104:押さえロール
105:第2の巻き取りロール
Claims (2)
- サポートフィルムと、該サポートフィルムの表面に粒径が20〜50μmの微粒子に形成された接着剤を半導体ウエーハに対応した大きさに噴射することで敷設された粘着層とからなるボンディング用フィルムを用いた半導体チップの製造方法であって、
表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを該複数のストリートに沿って分割し個々の半導体チップに分離するウエーハ分割工程と、
個々の半導体チップに分離された半導体ウエーハの裏面に該ボンディング用フィルムの該粘着層側を貼着する粘着層貼着工程と、
該ボンディング用フィルムを貼着した半導体ウエーハの個々に分離された半導体チップをピックアップすることにより、該粘着層を半導体ウエーハの裏面に貼着した状態で該サポートフィルムから剥離する粘着層剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするボンディング用フィルムを用いた半導体チップの製造方法。 - 該ウエーハ分割工程は、半導体ウエーハの表面から該複数のストリートに沿って所定の深さの分割溝を形成する分割溝形成工程と、該分割溝が形成された半導体ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、半導体ウエーハの裏面を研削して該裏面に該分割溝を表出させ個々の半導体チップに分離する分割溝表出工程と、を含んでいる請求項1記載のボンディング用フィルムを用いた半導体チップの製造方法。
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