JP4401865B2 - Substrate transfer device - Google Patents
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Description
本発明は、基板搬送装置に関し、特に、基板が収納されるカセットから、基板を出し入れする技術に関するものである。 The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly to a technique for taking a substrate in and out of a cassette in which the substrate is stored.
従来より、周知のように、プラズマディスプレイ用基板、液晶表示基板や半導体基板などの精密電子基板(以下、単に「基板」という)の製造プロセスにおいては、回転アーム部を有する基板搬送ロボットなどの基板搬送装置により基板をカセットから取り出し、取り出した基板を、例えば回転式塗布処理部、回転式現像処理部、密着強化ユニット、クリーニングプレート及びホットプレート等の各処理部に所定の搬送順序で搬送させて一連の処理を行った後、当該処理済みの基板をカセットに戻す基板処理装置が使用される。
しかし、上記のような基板処理装置の場合、上記各処理部における各処理機能を向上させたとしても、上記基板搬送ロボットによる動作、すなわち、基板をカセットから取り出して各処理部に搬送する動作の能力と、処理済の基板を最終処理部から受け取ってカセットに収納する動作の能力とを向上させなければ、基板処理装置全体としての処理能力を向上させ難い。そのため、基板搬送ロボットによる上記各動作の能力を向上させることが望まれる。 However, in the case of the substrate processing apparatus as described above, even if each processing function in each processing unit is improved, the operation by the substrate transport robot, that is, the operation of taking out the substrate from the cassette and transporting it to each processing unit. Unless the capability and the capability of receiving processed substrates from the final processing unit and storing them in the cassette are not improved, it is difficult to improve the processing capability of the entire substrate processing apparatus. Therefore, it is desired to improve the capability of each operation by the substrate transfer robot.
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、カセットからの基板取り出し及びカセットへの基板収納に関する動作能力が向上された基板搬送装置を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus with improved operational capabilities relating to substrate removal from a cassette and substrate storage in the cassette.
本発明の請求項1に記載の発明は、複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内からの基板搬出、及び前記カセット内への基板収納を行うカセット内コンベアと、
前記カセット内で、前記カセット内コンベアを、少なくとも上方位置と下方位置との2つの所定位置の間で昇降させるコンベア昇降手段と、
前記カセット内に収納されている基板を、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記上方位置又は下方位置に配設され、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納を行う第1コンベアと、
前記第1コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアのいずれかと対向する位置に配置する第1コンベア移動手段と、
前記上方位置又は下方位置のいずれかであって、前記第1コンベアが配置されていない方の位置に配置され、前記コンベア昇降手段によって移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納のいずれかの動作のうち、前記第1コンベアによって行われていない方の動作を行う第2コンベアと、
前記第2コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記第1コンベアが配置されていない方の位置に移動された前記カセット内コンベアと対向する位置に配置する第2コンベア移動手段と
を備えるものである。
The invention according to claim 1 of the present invention is a substrate transport apparatus that includes a cassette in which a plurality of substrates are stored in a horizontal posture, and carries out the substrates from the cassette or stores the substrates in the cassette. And
A cassette stage in which a plurality of the cassettes are juxtaposed,
A cassette that is disposed in each of the plurality of cassettes, transports the substrate in a transport direction orthogonal to the direction in which the cassettes are juxtaposed, and carries the substrate out of the cassette and stores the substrate in the cassette. An inner conveyor,
In the cassette, conveyor lifting means for lifting the conveyor in the cassette at least between two predetermined positions of the upper position and the lower position,
Cassette lifting and lowering means for raising and lowering the cassette in order to transfer the substrate housed in the cassette to and from the conveyor in the cassette moved to the upper position or the lower position by the conveyor lifting and lowering means;
Unloading the substrate from the cassette or storing the substrate in the cassette with the conveyor in the cassette disposed at the upper position or the lower position and moved to the upper position or the lower position by the conveyor lifting means A first conveyor for performing
The first conveyor is moved in the direction in which the cassettes are juxtaposed, and is arranged at a position facing one of the in-cassette conveyors moved to the upper position or the lower position by the conveyor lifting means. Means,
Between the upper position or the lower position and the position where the first conveyor is not disposed, and the conveyor in the cassette moved by the conveyor lifting means, the substrate of the substrate Of the operations of either carrying out from the cassette or storing the substrate in the cassette, the second conveyor that performs the operation that is not performed by the first conveyor;
Second conveyor moving means for moving the second conveyor in a direction in which the cassettes are arranged side by side and arranging the second conveyor at a position facing the conveyor in the cassette moved to a position where the first conveyor is not arranged. Are provided.
この構成では、コンベア昇降手段がカセット内コンベアを第1コンベア又は第2コンベアに対向する位置に移動させると共に、カセット昇降手段が、カセット内の基板をカセット内コンベアとの間で受け渡しできる位置にカセットを昇降させることで、カセット内コンベアと第1コンベア又は第2コンベアとの間での基板受け渡しを可能とし、さらには、第1又は第2コンベア移動手段が第1又は第2コンベアをカセット内コンベアの対向位置に移動させることで、並設された複数のカセットの中で、所望のカセットへの基板の収納、所望のカセットからの基板搬出を可能としている。 In this configuration, the conveyor lifting / lowering means moves the in-cassette conveyor to a position facing the first conveyor or the second conveyor, and the cassette lifting / lowering means can transfer the substrate in the cassette to and from the cassette conveyor. The substrate can be transferred between the in-cassette conveyor and the first conveyor or the second conveyor, and the first or second conveyor moving means replaces the first or second conveyor with the in-cassette conveyor. By moving to the opposite position, it is possible to store a substrate in a desired cassette and carry out the substrate from the desired cassette among a plurality of cassettes arranged side by side.
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の基板搬送装置であって、前記カセットステージは、前記各カセット毎に設けられた複数のステージ部を有し、
前記カセット昇降手段は、前記カセット内コンベアが、前記第1コンベア又は第2コンベアのいずれと前記基板の受け渡しを行うかに応じて、前記各ステージ部を昇降させて、前記カセットの高さ位置を、前記第1コンベア又は第2コンベアに合わせて設定するものである。
Moreover, invention of Claim 2 is a board | substrate conveyance apparatus of Claim 1, Comprising: The said cassette stage has several stage part provided for every said cassette,
The cassette raising / lowering means raises and lowers each stage unit according to whether the in-cassette conveyor transfers the substrate to or from the first conveyor or the second conveyor, and sets the height position of the cassette. , Set according to the first conveyor or the second conveyor.
この構成では、カセット昇降手段が、カセット内コンベアが第1コンベア又は第2コンベアのいずれと基板の受け渡しを行うかに応じて、ステージ部を昇降させ、カセットの高さ位置を、第1コンベア又は第2コンベアに合わせて設定する。 In this configuration, the cassette lifting / lowering means lifts and lowers the stage unit depending on whether the in-cassette conveyor transfers the substrate to or from the first conveyor or the second conveyor, and sets the cassette height position to the first conveyor or Set according to the second conveyor.
また、請求項3に記載の発明は、複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記カセット内搬出用コンベアの配設位置とは異なる高さ位置において、前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記カセット内に収納されている基板を、前記カセット内搬出用コンベア又は前記カセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記基板搬出コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内搬出用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板搬出コンベア移動手段と、
前記カセット内収納用コンベアに前記基板を搬送する基板収納コンベアと、
前記基板収納コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内収納用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板収納コンベア移動手段と
を備えるものである。
The invention according to claim 3 is a substrate transport apparatus comprising a cassette in which a plurality of substrates are stored in a horizontal posture, and carrying out the substrate from the cassette or storing the substrate in the cassette. ,
A cassette stage in which a plurality of the cassettes are juxtaposed,
Each of the plurality of cassettes, and a conveyor for carrying out the cassette in the cassette in a conveyance direction orthogonal to a direction in which the cassettes are arranged in parallel,
The substrate is transported in a transport direction perpendicular to the direction in which the cassettes are arranged in parallel at a height position different from the disposition position of the in-cassette conveyor, A cassette storage conveyor for storing substrates in the cassette;
Cassette lifting and lowering means for raising and lowering the cassette in order to transfer the substrate stored in the cassette between the conveyor in the cassette and the conveyor in the cassette;
A substrate carry-out conveyor for receiving and carrying the substrate in the cassette from the cassette carry-out conveyor;
Substrate carry-out conveyor moving means for moving the substrate carry-out conveyor in a direction in which the cassettes are juxtaposed and facing each of the cassette carry-out conveyors arranged in the cassettes;
A substrate storage conveyor for transferring the substrate to the cassette storage conveyor;
And a substrate storage conveyor moving means for moving the substrate storage conveyor in a direction in which the cassettes are arranged side by side and facing each of the cassette storage conveyors disposed in the cassettes. It is.
この構成によれば、カセット昇降手段が、カセットを、カセット内の基板がカセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡し可能な位置に移動させることで、カセット内搬出用コンベアから基板搬出コンベアへの基板搬送と、基板収納コンベアからカセット内収納用コンベアへの基板搬送とが可能となるようにし、さらには、基板搬出コンベア移動手段又は基板収納コンベア移動手段が基板搬出コンベア又は基板収納コンベアを移動させることで、並設された複数のカセットの中で、所望のカセットへの基板の収納、所望のカセットからの基板搬出を可能としている。 According to this configuration, the cassette lifting / lowering means moves the cassette from the in-cassette carry-out conveyor by moving the cassette to a position where the substrate in the cassette can be transferred between the cassette carry-out conveyor or the cassette carry-in conveyor. It is possible to carry the substrate to the substrate carry-out conveyor and to carry the substrate from the substrate storage conveyor to the cassette storage conveyor, and further, the substrate carry-out conveyor moving means or the substrate storage conveyor moving means is the substrate carry-out conveyor or the substrate. By moving the storage conveyor, it is possible to store a substrate in a desired cassette and carry out the substrate from the desired cassette among a plurality of cassettes arranged in parallel.
請求項1に記載の発明では、従来は回転アーム部を有する基板搬送ロボットが行っていた、処理部から受け取った基板のカセットへの収納動作と、カセットから基板を取り出して処理部に搬送する動作とを、(1)カセット内コンベア、第1コンベア、第2コンベアによる基板搬送動作に置き換える。また、従来は基板搬送ロボットが行っていた、カセットへの基板収納位置又はカセットからの基板搬出位置に応じて、基板を持つアーム部の高さを変える動作を、(2)カセット昇降手段によるカセット自身の上下動動作に置き換える。さらに、従来は基板搬送ロボットが行っていた、複数のカセットが並設された方向へのアーム部の移動動作を、(3)第1又は第2コンベア移動手段による第1又は第2コンベアのカセット並設方向への移動動作に置き換える。これら各動作の置き換えにより、(2)と(3)の動作を互いに独立して同時に行わせることが可能となる。 In the first aspect of the invention, the operation of storing the substrate received from the processing unit into the cassette and the operation of taking out the substrate from the cassette and transporting it to the processing unit, which are conventionally performed by the substrate transfer robot having the rotating arm unit, are performed. And (1) Substrate transport operation by the in-cassette conveyor, the first conveyor, and the second conveyor. In addition, the operation of changing the height of the arm portion with the substrate according to the substrate storage position in the cassette or the substrate unloading position from the cassette, which has been conventionally performed by the substrate transfer robot, is as follows. Replace with your own vertical movement. Further, the movement operation of the arm portion in the direction in which a plurality of cassettes are arranged in parallel, which has been conventionally performed by the substrate transfer robot, is (3) the cassette of the first or second conveyor by the first or second conveyor moving means. Replace with movement in parallel direction. By replacing these operations, operations (2) and (3) can be performed independently and simultaneously.
また、第1コンベアと第2コンベアとを備えることにより、カセットに対する基板収納動作と、基板取り出し動作とを互いに独立させて同時に行わせることが可能になる。 In addition, by providing the first conveyor and the second conveyor, it is possible to perform the substrate storing operation and the substrate taking-out operation for the cassette independently and simultaneously.
これにより、カセットに対する基板収納及び取り出しに係る基板搬送能力を大幅に向上することができる。 Thereby, the board | substrate conveyance capability concerning the board | substrate accommodation with respect to a cassette and taking-out can be improved significantly.
請求項2に記載の発明によれば、それぞれのステージ部を昇降させることで、各カセットを、それぞれ第1コンベア又は第2コンベアのいずれと基板受け渡しを行うかに応じて、別々の高さ位置に配置することができる。 According to the second aspect of the present invention, by moving the respective stage portions up and down, the respective cassettes are arranged at different height positions depending on which of the first conveyor and the second conveyor is to be transferred to the substrate. Can be arranged.
請求項3に記載の発明によれば、基板搬出コンベアへの基板搬送のためにカセット内搬出用コンベアが設けられ、基板収納コンベアからの基板受け取りのためにカセット内収納用コンベアが設けられているので、第1コンベア又は第2コンベアのいずれと基板受け渡しを行うかに合わせて上記2つのカセット内コンベアを上下動させる必要がない。これにより、基板の受け渡し時における上記2つのカセット内コンベアの動作制御が簡単になる。 According to the third aspect of the present invention, the in-cassette carry-out conveyor is provided for transferring the substrate to the substrate carry-out conveyor, and the in-cassette storage conveyor is provided for receiving the substrate from the substrate storage conveyor. Therefore, it is not necessary to move the two cassette inner conveyors up and down in accordance with which of the first conveyor and the second conveyor to transfer the substrate. This simplifies the operation control of the two cassette inner conveyors when transferring the substrates.
本発明の実施形態について図面を用いて説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の一例を示している。この図に示す基板処理装置1は、例えば、液晶表示器用のガラス基板の処理においてフォトリソグラフィ工程を担う装置で、レジスト塗布前の洗浄処理からレジスト塗布・露光・現像までを連続して順次行うように構成されている。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of a substrate processing apparatus provided with a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. The substrate processing apparatus 1 shown in this figure is an apparatus that takes charge of a photolithography process in the processing of a glass substrate for a liquid crystal display, for example, and sequentially performs a cleaning process before resist coating to resist coating / exposure / development sequentially. It is configured.
基板処理装置1は、同図に示すように、基板供給部であるインデクサー部2と、単位処理部としての洗浄ユニット10、脱水ベークユニット20、レジスト塗布ユニット30、プリベークユニット40、露光ユニット60、現像ユニット80及びポストベークユニット90と、プリベークユニット40及び露光ユニット60の間に設けられたバッファ(バッファ部)50とを有している。基板処理装置1は、インデクサー部2から供給される基板を所定の搬送順序で各単位処理部に搬送しながら各単位処理部で処理した後、再度、上記インデクサー部2に基板を戻すように、インデクサー部2に対して他の処理部がU字型に接続されたレイアウト構成となっている。
As shown in the figure, the substrate processing apparatus 1 includes an indexer unit 2 as a substrate supply unit, a
インデクサー部2には、基板を収納した複数のカセット4と、本発明に係る基板搬送装置3が設けられている。基板搬送装置3は、カセット4から基板を取り出して洗浄ユニット10に渡すとともに、処理後の基板をポストベークユニット90から受け取ってカセット4に収納する。この基板搬送装置3の構成及び動作の詳細は後述する。
The indexer unit 2 is provided with a plurality of
上記洗浄ユニット10は、搬入部11、UVオゾン洗浄部12、水洗部13、液滴除去部14及び搬出部15を有し、インデクサー部2から供給された基板を、例えば水平姿勢で搬送しながら洗浄処理を施すように構成されている。
The
脱水ベークユニット20は、搬入部21、加熱部22、密着強化処理部23及び冷却部24を有しており、洗浄処理を終えた基板に対し、まず、加熱部22において加熱処理を施して水分を除去し、レジスト液の密着性を向上させるべく密着強化処理部23においてHMDS(ヘキサメチルジシラザン)を塗布する。そして、最後に冷却部24において基板に冷却処理を施すように構成されている。
The
レジスト塗布ユニット30は、搬入部31、スピンコータ部32、減圧乾燥部33、エッジリンス部34及び搬出部35を有しており、まず、スピンコータ部32において基板の表面に均一なレジスト膜を形成し、これを減圧乾燥部33で減圧ベークした後、エッジリンス部34において基板周縁の不要なレジスト膜を除去するように構成されている。
The resist
プリベークユニット40は、加熱部と冷却部とを多段に備えた2つの処理部41を有しており、これら処理部41の間に介設されたロボット42により、該処理部41に対して基板を出し入れして基板に加熱及び冷却処理を施すように構成されている。
The
バッファ50は、多数の基板を収納可能とする2つの収納部51と、これら収納部51の間に介設されるロボット52とから構成されており、露光前の基板及び露光後の基板をロボット52により各収納部51に収納して一時的に基板を待機させる構成である。
The
露光ユニット60は、例えば、縮小投影露光機等の露光機や、露光機での露光パターンの焼き付けのための位置決め行うアライメント機構等を備えており、プリベーク後の基板を露光するように構成されている。
The
現像ユニット80は、搬入部81、現像部82、水洗乾燥部83及び搬出部84を有しており、現像部82では、例えば、現像液を基板に対して噴霧しながら現像処理を施す構成とされている。
The developing
ポストベークユニット90は、搬入部91、加熱部92、冷却部93及び搬出部94を有しており、まず、現像処理の後の基板に対して加熱処理を施して基板上に残留した現像液や洗浄液を蒸発除去し、その後、冷却処理を施すように構成されている。
The
なお、図1中、符号7及び8は、基板の載置テーブルであり、レジスト塗布ユニット30とプリベークユニット40との間での基板の受渡し、あるいはプリベークユニット40とバッファ50との間での基板の受渡しの際に、一時的に基板が載置されるものである。また、符号70は、露光処理後の基板を現像ユニット80まで搬送するコンベアである。
In FIG. 1,
基板搬送装置3の構成を説明する。図2は基板搬送装置3の概略構成を示す斜視図である。なお、図2は、基板搬送装置3の構成を明確に示すために、2つのステージ部311を互いに基板搬送方向にずらして図示すると共に、基板収納コンベア305及び基板収納コンベア移動装置306を、基板搬出コンベア307及び基板搬出コンベア移動装置308に対して基板搬送方向にずらした状態で図示しているが、これらは、実際には、基板搬送方向の位置が揃った状態で配設される。なお、上記のようにずらした状態で配置されていても構わない。
The configuration of the substrate transfer device 3 will be described. FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus 3. 2 clearly shows the configuration of the substrate transfer device 3, the two
基板搬送装置3は、カセットステージ301と、カセット内コンベア302と、コンベア昇降装置303と、カセット昇降装置304と、基板収納コンベア305と、基板収納コンベア移動装置306と、基板搬出コンベア307と、基板搬出コンベア移動装置308とを備える。
The substrate transfer device 3 includes a
カセットステージ301は、各カセット4毎に設けられた複数のステージ部311からなり、カセットステージ301全体としては複数のカセットが並設されている。なお、カセット4の内部は、基板Gの側端部を支持する溝が内壁に形成されるか、又は、後述するカセット内コンベア302の上下動に支障のない位置に基板支持用の鋼線が配設された構造となっていることが好ましい。これにより、カセット4とカセット内コンベア302とが互い支障なく相対移動できるようにされる。
The
カセット内コンベア(カセット内基板収納用コンベア、カセット内基板搬出用コンベア)302は、複数のカセット4の内部にそれぞれ配設されている。カセット内コンベア302は、カセット4が並設された方向と直交する搬送方向に基板Gを搬送するものであり、例えば、基板搬送方向に並べて設けられた複数のローラからなり、このローラが基板Gの下部に接触した状態で回転することで、基板Gを搬送するようになっている。このカセット内コンベア302により、カセット4内からの基板搬出、及びカセット4内への基板収納が行われる。
In-cassette conveyors (intra-cassette substrate storage conveyors and in-cassette substrate carry-out conveyors) 302 are respectively disposed in the plurality of
コンベア昇降装置(コンベア昇降手段)303は、例えば、カセット内コンベア302の下部に取り付けられたエアシリンダ等からなり、カセット内コンベア302をカセット4の内部で昇降させ、カセット内コンベア302と、基板収納コンベア305又は基板搬出コンベア307との高さ位置を揃えるようになっている。
The conveyor lifting / lowering device (conveyor lifting / lowering means) 303 includes, for example, an air cylinder attached to the lower portion of the cassette
カセット昇降装置(カセット昇降手段)304は、例えば、エアシリンダ等からなり、ステージ部311を昇降させることによって、カセット4をカセット内コンベア302に対して上下動させるものである。
The cassette lifting / lowering device (cassette lifting / lowering means) 304 includes, for example, an air cylinder and the like, and moves the
カセット昇降装置304は、カセット4を上下動させることによって、(1)カセット4内の基板Gの下部をカセット内コンベア302に接触させ、カセット内コンベア302による基板搬出を可能にしたり、(2)基板収納コンベア305から搬送されてくる基板Gの下部とカセット内コンベア302とが接触するようにして、カセット内コンベア302によるカセット内への基板収納を可能にする。
The cassette lifting / lowering
カセット昇降装置304は、カセット内コンベア302が、基板収納コンベア305又は基板搬出コンベア307のいずれと基板Gの受け渡しを行うかに応じて、ステージ部311を昇降させて、カセット4を、基板収納コンベア305又は基板搬出コンベア307に合わせた高さ位置に配置する。
The cassette lifting / lowering
基板収納コンベア(第1コンベア、第2コンベア、基板収納コンベア)305は、本実施形態では、基板搬出コンベア307よりも上方位置に配設されている。基板収納コンベア305は、最終の処理部(図1のポストベークユニット90)から送られてきた基板Gを、カセット4内のカセット内コンベア302に渡すものである。この基板収納コンベア305は、例えば、基板搬送方向に並べて設けられた複数のローラ等からなり、基板Gの下部に接触した状態で回転することで基板Gを搬送するようになっている。なお、基板収納コンベア305は、基板搬出コンベア307よりも下方位置に配設されていても構わない。
In this embodiment, the substrate storage conveyor (first conveyor, second conveyor, substrate storage conveyor) 305 is disposed above the substrate carry-out
基板収納コンベア移動装置(第1コンベア移動手段、第2コンベア移動手段、基板収納コンベア移動手段)306は、基板収納コンベア305を、複数のカセット4が並設されている方向(図2の矢印方向)に移動させるものであり、例えば、ベルトコンベア等からなる。基板収納コンベア移動装置306は、基板収納コンベア305を各カセット4に対向する位置に移動させ、そのカセット4内に配設されているカセット内コンベア302と対向する位置に基板収納コンベア305を配置する。これにより、複数のカセット4のいずれにおいても、カセット4内のカセット内コンベア302と基板収納コンベア305との基板Gの受け渡しが可能とされている。
A substrate storage conveyor moving device (first conveyor moving means, second conveyor moving means, substrate storage conveyor moving means) 306 is a
基板搬出コンベア(第1コンベア、第2コンベア、基板搬出コンベア)307は、本実施形態では、基板収納コンベア305よりも下方位置に配設され、カセット4内のカセット内コンベア302から受け取った基板Gを、最初の処理部(図1の洗浄ユニット10)に渡すものである。この基板搬出コンベア307も、基板収納コンベア305と同様に、例えば、基板搬送方向に並べて設けられた複数のローラ等からなり、基板Gの下部に接触した状態で回転することで基板Gを搬送するようになっている。
In this embodiment, the substrate carry-out conveyor (first conveyor, second conveyor, substrate carry-out conveyor) 307 is disposed below the
基板搬出コンベア移動装置(第1コンベア移動手段、第2コンベア移動手段、基板搬出コンベア移動手段)308は、基板搬出コンベア307を、複数のカセット4が並設されている方向(図2の矢印方向)に移動させるものであり、例えば、ベルトコンベア等からなる。基板搬出コンベア移動装置308は、基板搬出コンベア307を各カセット4に対向する位置に移動させ、そのカセット4内に配設されているカセット内コンベア302と対向する位置に基板搬出コンベア307を配置する。これにより、複数のカセット4のいずれにおいても、カセット4内のカセット内コンベア302と基板搬出コンベア307との基板Gの受け渡しが可能とされている。
A substrate carry-out conveyor moving device (first conveyor moving means, second conveyor moving means, substrate carry-out conveyor moving means) 308 is a substrate carry-out
次に、基板搬送装置3の動作を説明する。図3(a)(b)は基板搬送装置3によるカセット4内からの基板搬出動作の概略を示す図である。上記図2及び当該図3を参照して基板搬出動作を説明する。
Next, the operation of the substrate transfer apparatus 3 will be described. FIGS. 3A and 3B are diagrams showing an outline of the substrate carry-out operation from the
カセット4から基板Gを搬出する場合、(1) 基板Gの取り出しの対象となるカセット4内のカセット内コンベア302を、コンベア昇降装置303が上下動させ、カセット内コンベア302と、基板搬出コンベア307との高さ位置を揃える。
When unloading the substrate G from the
(2)カセット昇降装置304は、カセット4内に収納されている最下段の基板G1がカセット内コンベア302に当接するまで、当該カセット4のステージ部311を下降させる(図3(a))。従って、カセット昇降装置304は、ステージ部311を昇降させて、カセット4を、カセット内コンベア302及び基板搬出コンベア307に合わせた高さ位置に配置することになる。
(2) The cassette lifting / lowering
(3)基板搬出コンベア移動装置308が、基板搬出コンベア307を図2の矢印方向に移動させ、基板搬出コンベア307を、基板Gの取り出しの対象となるカセット4(カセット内コンベア302)に対向する位置に配置する。
(3) The substrate carry-out
(4)上記カセット内コンベア302が、基板G1をカセット4の外に搬出させる方向に回転駆動され、基板搬出コンベア307も同方向に回転駆動され、これにより、基板G1カセット内コンベア302から基板搬出コンベア307に渡され、基板Gがカセット4から搬出される(図3(a))。
(4) The in-
(5)カセット4内から搬出された基板G1は、基板搬出コンベア307が洗浄ユニット10(図1)に搬送する。
(5) The board | substrate carrying-out
(6)基板G1がカセット4内から完全に搬出されると、カセット昇降装置304は、それまでカセット4内の最下段に収納されていた基板G1よりも1つ上の段に収納されている基板G2がカセット内コンベア302に当接するまで、当該カセット4のステージ部311を下降させる(図3(b))。この後は、順次、各基板に対して、上記(4)〜(6)の動作を繰り返すようにする。
(6) When the substrate G1 is completely unloaded from the
(7)基板搬出コンベア移動装置308は、基板搬出コンベア307を、基板取り出し対象となっている上記カセット4(カセット内コンベア302)の対向位置まで復帰させる。
(7) The substrate carry-out
上記(1)〜(7)の動作では、(1)(2)の動作に対して(3)の動作を並行して行わせることができる。また、(5)の動作に対して(6)の動作を並行して行わせることができる。これにより、従来のアーム部を有する基板搬送ロボットによる動作のように各動作を順番に行う必要がなくなるので、カセット4からの基板取り出し時間を短縮でき、基板搬送装置3による基板取り出し能力を大幅に向上させることができる。
In the operations (1) to (7), the operation (3) can be performed in parallel with the operations (1) and (2). Further, the operation (6) can be performed in parallel with the operation (5). As a result, it is not necessary to perform each operation in turn as in the case of the operation by the substrate transfer robot having the conventional arm portion, so that the time required for taking out the substrate from the
図4(a)(b)は基板搬送装置3によるカセット4内への基板収納動作の概略を示す図である。なお、以下の説明は、図4に加えて、前述の図2も参照して説明する。
FIGS. 4A and 4B are diagrams showing an outline of the operation of storing a substrate in the
カセット4に基板Gを収納する場合、(1)基板Gを収納するカセット4内のカセット内コンベア302を、コンベア昇降装置303が上下動させ、カセット内コンベア302と、基板収納コンベア305との高さ位置を揃える。
When the substrate G is stored in the
(2)カセット昇降装置304は、ステージ部311を昇降させ、カセット4内の最上段の基板収納スペースに基板Gが収納されたと仮定した場合に、この収納された基板Gがカセット内コンベア302に当接するように、カセット4の高さ位置を調整する(図4(a))。従って、カセット昇降装置304は、ステージ部311を昇降させて、ステージ部311をカセット内コンベア302及び基板収納コンベア305に合わせた高さ位置に配置することになる。
(2) The
(3)基板収納コンベア305が、基板G1をカセット4内に導入する方向に回転駆動される。基板収納コンベア305が、最終の処理部(図1のポストベークユニット90)から基板G1を受け取って、基板G1が基板収納コンベア305に載置されると、基板収納コンベア305の回転駆動が停止される。
(3) The
(4)基板収納コンベア移動装置306が、基板G1が載置された基板収納コンベア305を、基板Gを収納するカセット4(カセット内コンベア302)に対向する位置まで、図2の矢印方向に移動させる。
(4) The substrate storage
(5)基板収納コンベア305が、基板G1をカセット4内に導入する方向に再び回転駆動され、カセット内コンベア302も同方向に回転駆動される。これにより、基板G1が基板収納コンベア305からカセット内コンベア302に渡され、基板Gがカセット4内部方向に搬送されて、カセット4内に収納される(図4(a))。
(5) The
(6)基板G1がカセット4内に収納されると、カセット昇降装置304は、上記基板G1が収納された基板収納スペースよりも1つ下の段の基板収納スペースに、別の基板が収納されたと仮定した場合に、この基板にカセット内コンベア302が当接すると想定される高さ位置まで、カセット4を上昇させる(図4(b))。
(6) When the substrate G1 is stored in the
(7) 基板収納コンベア移動装置306は、基板収納コンベア305を、ポストベークユニット90から基板Gを受け取る位置まで復帰させる。
(7) The substrate storage
この後は、順次、各基板に対して、上記(3)〜(5)の動作を繰り返すようにする。 Thereafter, the operations (3) to (5) are repeated for each substrate in sequence.
上記(1)〜(7)の動作は、(1)(2)の動作に対して(3)(4)の動作を並行して行わせることができる。また、(6)の動作に対して(7)の動作を並行して行わせることができる。これにより、カセット4への基板収納時間を短縮できるので、基板搬送装置3による基板収納能力を大幅に向上させることができる。
In the operations (1) to (7), the operations (3) and (4) can be performed in parallel with the operations (1) and (2). Further, the operation (7) can be performed in parallel with the operation (6). Thereby, since the time for storing the substrate in the
さらに、図2に示したように、基板搬送装置3には、基板収納コンベア305及び基板収納コンベア移動装置306による基板収納機構と、基板搬出コンベア307及び基板搬出コンベア移動装置308による基板搬出機構の両機構が設けられているので、これら各機構による基板搬出及び基板収納動作を並行して行わせることができる。この点においても、基板搬送装置3による基板収納能力を大幅に向上させることができる。
Further, as shown in FIG. 2, the substrate transfer device 3 includes a substrate storage mechanism by the
図5はAGV(無人搬送車)によるカセット4交換時のカセット内コンベア302の高さ位置を示す図である。図5に示すように、AGVによるカセット4交換時には、カセット内コンベア302は、コンベア昇降装置303によって、カセット4の下方、すなわち、ステージ部311の下方の退避位置まで移動される。カセット昇降装置304は、ステージ部311の高さ位置を、AGVによるカセット4の搬送に適した高さ位置に移動させる。これにより、AGVによるカセット4の搬送を円滑に行わせることができる。
FIG. 5 is a diagram showing the height position of the cassette
なお、本発明は上記実施の形態の構成に限られず種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、コンベア昇降装置303がカセット内コンベア302を上下動させ、基板収納コンベア305又は基板搬出コンベア307の高さ位置に、カセット内コンベア302を移動させることで、どのカセット4からも基板搬出及び収納の両方が可能となるようにしているが、カセット4には、コンベア昇降装置303を設けず、基板収納コンベア305又は基板搬出コンベア307に対向する高さ位置に配置されたカセット内コンベア302のみを設けるようにしてもよい。この場合、各カセット4から基板搬出又は基板収納のいずれかのみが可能となるが、コンベア昇降装置303を設けない分、基板搬送装置3の構成を簡単にすることができる。
The present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in the above embodiment, the
また、コンベア昇降装置303、基板収納コンベア移動装置306及び基板搬出コンベア移動装置308を設けず、カセット4には、基板収納コンベア305又は基板搬出コンベア307に対向する高さ位置に配置されたカセット内コンベア302のみを設けるようにしてもよい。この場合、各カセット4から基板搬出又は基板収納のいずれかのみが可能であり、また、基板搬出コンベア307は基板搬出用カセット4に対向する位置に固定して設けられ、基板収納コンベア305は基板収納用カセット4に対向する位置に固定して設けられることになり、基板搬出又は基板収納基板を収納又は搬出するカセット4を自由に選択することもできないが、コンベア昇降装置303、基板収納コンベア移動装置306及び基板搬出コンベア移動装置308を設けない分、基板搬送装置3の構成を簡単にすることができる。
Further, the
また、上記実施形態では、各カセット4はそれぞれ別々のステージ部311に設けられ、各ステージ部311が昇降することによって、各カセット4が上下動する構成とされているが、各カセット4が同一のステージ部上に設けられ、各カセット4部分を独立して別々に上下動させることができるカセット昇降装置を備えるようにしてもよい。
Moreover, in the said embodiment, although each
1 基板処理装置
3 基板搬送装置
301 カセットステージ
302 カセット内コンベア
303 コンベア昇降装置
304 カセット昇降装置
305 基板収納コンベア
306 基板収納コンベア移動装置
307 基板搬出コンベア
308 基板搬出コンベア移動装置
311 ステージ部
4 カセット
G,G1〜G5 基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate processing apparatus 3
Claims (3)
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内からの基板搬出、及び前記カセット内への基板収納を行うカセット内コンベアと、
前記カセット内で、前記カセット内コンベアを、少なくとも上方位置と下方位置との2つの所定位置の間で昇降させるコンベア昇降手段と、
前記カセット内に収納されている基板を、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記上方位置又は下方位置に配設され、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納を行う第1コンベアと、
前記第1コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアのいずれかと対向する位置に配置する第1コンベア移動手段と、
前記上方位置又は下方位置のいずれかであって、前記第1コンベアが配置されていない方の位置に配置され、前記コンベア昇降手段によって移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納のいずれかの動作のうち、前記第1コンベアによって行われていない方の動作を行う第2コンベアと、
前記第2コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記第1コンベアが配置されていない方の位置に移動された前記カセット内コンベアと対向する位置に配置する第2コンベア移動手段と
を備える基板搬送装置。 A substrate transport apparatus that includes a cassette in which a plurality of substrates are stored in a horizontal posture, and carries out the substrate from the cassette or stores the substrate in the cassette,
A cassette stage in which a plurality of the cassettes are juxtaposed,
A cassette that is disposed in each of the plurality of cassettes, transports the substrate in a transport direction orthogonal to the direction in which the cassettes are juxtaposed, and carries the substrate out of the cassette and stores the substrate in the cassette. An inner conveyor,
In the cassette, conveyor lifting means for lifting the conveyor in the cassette at least between two predetermined positions of the upper position and the lower position,
Cassette lifting and lowering means for raising and lowering the cassette in order to transfer the substrate housed in the cassette to and from the conveyor in the cassette moved to the upper position or the lower position by the conveyor lifting and lowering means;
Unloading the substrate from the cassette or storing the substrate in the cassette with the conveyor in the cassette disposed at the upper position or the lower position and moved to the upper position or the lower position by the conveyor lifting means A first conveyor for performing
The first conveyor is moved in the direction in which the cassettes are juxtaposed, and is arranged at a position facing one of the in-cassette conveyors moved to the upper position or the lower position by the conveyor lifting means. Means,
Between the upper position or the lower position and the position where the first conveyor is not disposed, and the conveyor in the cassette moved by the conveyor lifting means, the substrate of the substrate Of the operations of either carrying out from the cassette or storing the substrate in the cassette, the second conveyor that performs the operation that is not performed by the first conveyor;
Second conveyor moving means for moving the second conveyor in a direction in which the cassettes are arranged side by side and arranging the second conveyor at a position facing the conveyor in the cassette moved to a position where the first conveyor is not arranged. A substrate transfer device comprising:
前記カセット昇降手段は、前記カセット内コンベアが、前記第1コンベア又は第2コンベアのいずれと前記基板の受け渡しを行うかに応じて、前記各ステージ部を昇降させて、前記カセットの高さ位置を、前記第1コンベア又は第2コンベアに合わせて設定する請求項1に記載の基板搬送装置。 The cassette stage has a plurality of stage portions provided for each cassette,
The cassette raising / lowering means raises and lowers each stage unit according to whether the in-cassette conveyor transfers the substrate to or from the first conveyor or the second conveyor, and sets the height position of the cassette. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the substrate transfer apparatus is set according to the first conveyor or the second conveyor.
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記カセット内搬出用コンベアの配設位置とは異なる高さ位置において、前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記カセット内に収納されている基板を、前記カセット内搬出用コンベア又は前記カセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記基板搬出コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内搬出用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板搬出コンベア移動手段と、
前記カセット内収納用コンベアに前記基板を搬送する基板収納コンベアと、
前記基板収納コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内収納用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板収納コンベア移動手段と
を備える基板搬送装置。 A substrate transport apparatus that includes a cassette in which a plurality of substrates are stored in a horizontal posture, and carries out the substrate from the cassette or stores the substrate in the cassette,
A cassette stage in which a plurality of the cassettes are juxtaposed,
Each of the plurality of cassettes, and a conveyor for carrying out the cassette in the cassette in a conveyance direction orthogonal to a direction in which the cassettes are arranged in parallel,
The substrate is transported in a transport direction perpendicular to the direction in which the cassettes are arranged in parallel at a height position different from the disposition position of the in-cassette conveyor, A cassette storage conveyor for storing substrates in the cassette;
Cassette lifting and lowering means for raising and lowering the cassette in order to transfer the substrate stored in the cassette between the conveyor in the cassette and the conveyor in the cassette;
A substrate carry-out conveyor for receiving and carrying the substrate in the cassette from the cassette carry-out conveyor;
Substrate carry-out conveyor moving means for moving the substrate carry-out conveyor in a direction in which the cassettes are juxtaposed and facing each of the cassette carry-out conveyors arranged in the cassettes;
A substrate storage conveyor for transferring the substrate to the cassette storage conveyor;
Substrate storage conveyor moving means for moving the substrate storage conveyor in a direction in which the cassettes are juxtaposed and facing each of the cassette storage conveyors arranged in the cassettes. Conveying device.
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