JP4401847B2 - 変位測定装置 - Google Patents
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- 測定軸方向に延びる目盛りが形成された目盛板、及びこの目盛板を支持する支持体を備えたスケールと、
このスケールに対向すると共に前記スケールに対して前記測定軸方向に相対移動自在に配置されて、前記スケールの目盛りを読み取る読み取りヘッドと
を備えた変位測定装置において、
前記目盛板は、前記測定軸方向の一方の端部が固定支持部を介して前記支持体に支持されると共に、前記測定軸方向の他方の端部が弾性支持部を介して前記支持体に支持され、
前記固定支持部は、前記支持体から前記目盛板に向けて突出し前記支持体と前記目盛板との間の距離を規定する第1のスペーサと、この第1のスペーサの周囲の前記支持体と目盛板との間に充填された固定接着剤とを備え、
前記弾性支持部は、前記支持体から前記目盛板に向けて突出し前記支持体と前記目盛板との間の距離を規定する第2のスペーサと、この第2のスペーサの周囲の前記支持体と前記目盛板との間に充填された弾性接着剤とを備えた
ことを特徴とする変位測定装置。 - 前記目盛板は、前記測定軸方向の両端部の間の一又は複数箇所が前記弾性支持部を介して前記支持体に支持されていることを特徴とする請求項1記載の変位測定装置。
- 前記第1のスペーサは固定スペーサであり、
前記第2のスペーサは、その突出量を調整可能な可動スペーサである
ことを特徴とする請求項1又は2記載の変位測定装置。 - 前記可動スペーサは、前記目盛板に対して点接触し、
前記支持体は、前記可動スペーサの測定軸方向の両側に前記測定軸方向と直交する方向に延びる突起部を備え、
前記弾性接着剤は、前記可動スペーサの両側の突起部と前記目盛板との間に充填されている
ことを特徴とする請求項3記載の変位測定装置。
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